JPS5933765U - イオンミリングエツチング装置 - Google Patents
イオンミリングエツチング装置Info
- Publication number
- JPS5933765U JPS5933765U JP12771082U JP12771082U JPS5933765U JP S5933765 U JPS5933765 U JP S5933765U JP 12771082 U JP12771082 U JP 12771082U JP 12771082 U JP12771082 U JP 12771082U JP S5933765 U JPS5933765 U JP S5933765U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion milling
- sample surface
- etching equipment
- milling etching
- argon ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の概念図、第２図Ａ、 Ｂは本考案
装置に依る検出状況を示すエネルギー図であって、１は
イオンソースチャンバー、２はワークチャンバー、８は
サンプルホルダー、９は、イオン検出器、を夫々示して
いる。
装置に依る検出状況を示すエネルギー図であって、１は
イオンソースチャンバー、２はワークチャンバー、８は
サンプルホルダー、９は、イオン検出器、を夫々示して
いる。
Claims (1)
- 電離したアルゴンイオンを電界に衣って加速して試料表
面に衝突させ、該試料表面原子に運動エネルギーを与え
てその表面原子をエツチングするイオンミリングエツチ
ング装置に於て、試料表面から反射して来るアルゴンイ
オンの運動エネルギーを測定する事に依って上記試料表
面のエツチンク状況を検知することを特徴とするイオン
ミリングエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12771082U JPS5933765U (ja) | 1982-08-23 | 1982-08-23 | イオンミリングエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12771082U JPS5933765U (ja) | 1982-08-23 | 1982-08-23 | イオンミリングエツチング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933765U true JPS5933765U (ja) | 1984-03-02 |
| JPS6133000Y2 JPS6133000Y2 (ja) | 1986-09-26 |
Family
ID=30289961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12771082U Granted JPS5933765U (ja) | 1982-08-23 | 1982-08-23 | イオンミリングエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933765U (ja) |
-
1982
- 1982-08-23 JP JP12771082U patent/JPS5933765U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6133000Y2 (ja) | 1986-09-26 |
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