JPS5933734A - ゲツタ装置及びその製造方法 - Google Patents
ゲツタ装置及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS5933734A JPS5933734A JP57142057A JP14205782A JPS5933734A JP S5933734 A JPS5933734 A JP S5933734A JP 57142057 A JP57142057 A JP 57142057A JP 14205782 A JP14205782 A JP 14205782A JP S5933734 A JPS5933734 A JP S5933734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- getter
- material powder
- getter material
- getter device
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はゲッタ装置及びその製造方法に関するものであ
る。
る。
ゲッタ装置が使用される電子管、特に大型電子管は胃内
部品数も多くなｐｌこの電子管が動作するときに管内に
多量の残部ガスが残存しやすく、との残部ガスのため電
子管の緒特性に悪影譬を及ｔｔｔ。そのため、管内に被
着されるバリウムからなるゲッタ膜の表面積を増加しな
ければならない。
部品数も多くなｐｌこの電子管が動作するときに管内に
多量の残部ガスが残存しやすく、との残部ガスのため電
子管の緒特性に悪影譬を及ｔｔｔ。そのため、管内に被
着されるバリウムからなるゲッタ膜の表面積を増加しな
ければならない。
その手段としてゲッタ會Ｉａを大きくすると共にこのゲ
ッタ容量に充填されるゲッタ材粉末の量を増加すること
が行なわれている。
ッタ容量に充填されるゲッタ材粉末の量を増加すること
が行なわれている。
次に従来のゲッタ装置を第１図によｐ説明する。
岬ち、ゲッタ装置は断面Ｕ字状をなす壊状金属製容ｎ
（１）例えば外径２２闘、内径１５鳳１高さ２．７闘・
のステンレス製の容器（１）内にバリウム−アルミニウ
ム合金粉末とニッケル粉末とを１：１に混合したゲッタ
材粉末（２）を１０００■、一度に入れてプレス等によ
−（２） り加圧充填したものであ不。
（１）例えば外径２２闘、内径１５鳳１高さ２．７闘・
のステンレス製の容器（１）内にバリウム−アルミニウ
ム合金粉末とニッケル粉末とを１：１に混合したゲッタ
材粉末（２）を１０００■、一度に入れてプレス等によ
−（２） り加圧充填したものであ不。
この様にして製造されたゲッタ装置は電子管の所定の位
置に配設され、高周波誘導加熱などの方法により外部か
ら加熱することにより管内壁にバリウム膜を形成するよ
うになっている。
置に配設され、高周波誘導加熱などの方法により外部か
ら加熱することにより管内壁にバリウム膜を形成するよ
うになっている。
然るにこのようにゲッタ材粉末の量を増やし、管内に被
着されるバリウムのゲッタ膜表面積を増加する目的で形
成されたゲッタ装置を高周波誘導加熱などの外部加熱に
より管内壁にバリウムからガるゲッタ膜を形成する時に
環状金属製容器（１）からゲッタ材粉末（２）が浮き上
がる現象が発生し易くなる。
着されるバリウムのゲッタ膜表面積を増加する目的で形
成されたゲッタ装置を高周波誘導加熱などの外部加熱に
より管内壁にバリウムからガるゲッタ膜を形成する時に
環状金属製容器（１）からゲッタ材粉末（２）が浮き上
がる現象が発生し易くなる。
そしてこのような現象が発生すると、所定のゲッタフラ
ッシュが行なわれず、バリウムのゲッタ膜表面積を増加
する目的が達成されなくなる。即ち、ゲッタ材粉末（２
）の浮き上が９部分は環状金属製容器（１）との間に隙
間が形成されているため加熱されなくなり浮き上がり部
分のゲッタ材粉末からのバリウムの飛散が起こらなくな
り、そのため、飛散されるバリウムの量も減ヤゲツタ膜
表面積を増加する目的でゲッタ材粉末を増やしたことに
よる効果がでないばか９でなく、管内の不所望部にゲッ
タ膜を形成させて耐圧特性の原因となったり、ゲッタフ
ラッシュ後、ゲッタ残留物が管内に落下し、管内のごみ
のもとになり、管機能を著しく損う結果となる。
ッシュが行なわれず、バリウムのゲッタ膜表面積を増加
する目的が達成されなくなる。即ち、ゲッタ材粉末（２
）の浮き上が９部分は環状金属製容器（１）との間に隙
間が形成されているため加熱されなくなり浮き上がり部
分のゲッタ材粉末からのバリウムの飛散が起こらなくな
り、そのため、飛散されるバリウムの量も減ヤゲツタ膜
表面積を増加する目的でゲッタ材粉末を増やしたことに
よる効果がでないばか９でなく、管内の不所望部にゲッ
タ膜を形成させて耐圧特性の原因となったり、ゲッタフ
ラッシュ後、ゲッタ残留物が管内に落下し、管内のごみ
のもとになり、管機能を著しく損う結果となる。
とのゲッタ材粉末（２）の浮き上がる現象を調査した結
果、壌状金ＸＩ器（１）の中央部（Ａ）では第２図に拡
大して示すようにゲッタ材粉末（２）の充填密度が太き
いが、端部（Ｂ）では＠３図に拡大して示すようにゲッ
タ材粉末（２）の充填密度が小さいため、容器（１）の
加熱により全体的に加熱され、バリウムが飛散する際及
び飛散途中において、前記充填密度の差が原因となり、
熱膨張の差において、ゲッタ材の浮き上がりが生じると
解される。
果、壌状金ＸＩ器（１）の中央部（Ａ）では第２図に拡
大して示すようにゲッタ材粉末（２）の充填密度が太き
いが、端部（Ｂ）では＠３図に拡大して示すようにゲッ
タ材粉末（２）の充填密度が小さいため、容器（１）の
加熱により全体的に加熱され、バリウムが飛散する際及
び飛散途中において、前記充填密度の差が原因となり、
熱膨張の差において、ゲッタ材の浮き上がりが生じると
解される。
この様な現象を防止するため種々な提案がなされている
。？Ｉｌえは実公昭４８（２０３８号公報には容器に充
填されたゲッタ材粉末に■溝を形成したもの木１１特Ｍ
第３，４２８，１６８号明細誉には環状金属製容器の底
面にＬ字型部品を取りつけたもの、底面の内側に突起を
設けたもの米国特許第４，１２８，７８２号明細書には
環状金属容器の内側面に凹凸を設けたものなどがあるが
これらゲッタ装置では何れも末だ十分に所望の目的を達
することができず、更に改善が要望されている。
。？Ｉｌえは実公昭４８（２０３８号公報には容器に充
填されたゲッタ材粉末に■溝を形成したもの木１１特Ｍ
第３，４２８，１６８号明細誉には環状金属製容器の底
面にＬ字型部品を取りつけたもの、底面の内側に突起を
設けたもの米国特許第４，１２８，７８２号明細書には
環状金属容器の内側面に凹凸を設けたものなどがあるが
これらゲッタ装置では何れも末だ十分に所望の目的を達
することができず、更に改善が要望されている。
本発明は前述した問題点及び要望に鑑みなされたもので
ちゃ環状金属容器内でゲッタ材粉末の浮き上りがなく、
外部加熱により、管内にゲッタ膜表面積を増加すること
が可能なゲッタ装置とその製造方法を提供することを目
的としている。
ちゃ環状金属容器内でゲッタ材粉末の浮き上りがなく、
外部加熱により、管内にゲッタ膜表面積を増加すること
が可能なゲッタ装置とその製造方法を提供することを目
的としている。
即ち、本発明は断面Ｕ字状をなす環状金属製容器内にゲ
ッタ材粉末を入れ、加圧充填してなるゲッタ装置におい
て、ゲッタ材粉末の環状金属製容器内の充填密度が各所
において、はぼ均一になされており、この充填密度が各
所で３ 、８ ｍｇ／ ｒｓｍ３乃至５．０ ｍｇ／１
１７１１’であるゲッタ装置と、このゲッタ装置の製造
方法として環状金属製容器に所定量の約半分のゲッタ材
粉末を入れ８０乃至１３０ 却／ｃｍ？で加圧充填する
工程と残部のゲッタ材粉末を入れ１００乃至１５０卯／
ｃｍ２で加圧充填する工程とを具備することを特徴とし
ている。
ッタ材粉末を入れ、加圧充填してなるゲッタ装置におい
て、ゲッタ材粉末の環状金属製容器内の充填密度が各所
において、はぼ均一になされており、この充填密度が各
所で３ 、８ ｍｇ／ ｒｓｍ３乃至５．０ ｍｇ／１
１７１１’であるゲッタ装置と、このゲッタ装置の製造
方法として環状金属製容器に所定量の約半分のゲッタ材
粉末を入れ８０乃至１３０ 却／ｃｍ？で加圧充填する
工程と残部のゲッタ材粉末を入れ１００乃至１５０卯／
ｃｍ２で加圧充填する工程とを具備することを特徴とし
ている。
〔発明の実施例〕
次に本発明のゲッタ装置の一実施例を第４図乃至第６図
によｐ説明する。
によｐ説明する。
即ち、ゲッタ装置は第４図に示すように断面Ｕ字状をな
す項状金ｍ製容器（１）１例えば外径２２龍。
す項状金ｍ製容器（１）１例えば外径２２龍。
内径１５ｉ＋ｍ、高さ２ 、０１１１１のステンレス製
の容器（１）内にバリウム−アルミニウム合金粉末とニ
ッケル粉末とを１：１に混合したゲッタ材粉末σ４をｉ
ｏｏｏｍｇ後述する製造方法に示すように最初６００■
入れプレスにより１００ｋｆ／ｃｍ２の圧を加えて充填
し、次に残部の４００■を入れプレスにより１３０ ＃
／ｃｍｔの圧を加えて充填して作られている。このよう
な製造方法によれは第５図に示すようにゲッタ材粉末Ｑ
榎の中央部（Ｃ）における充填密度と第６図に示すよう
にゲッタ＃粉末ａ４の容器端部（Ｄ）における充填密度
はほぼ均一な４．５ｎ１ｇ／關１となっている。
の容器（１）内にバリウム−アルミニウム合金粉末とニ
ッケル粉末とを１：１に混合したゲッタ材粉末σ４をｉ
ｏｏｏｍｇ後述する製造方法に示すように最初６００■
入れプレスにより１００ｋｆ／ｃｍ２の圧を加えて充填
し、次に残部の４００■を入れプレスにより１３０ ＃
／ｃｍｔの圧を加えて充填して作られている。このよう
な製造方法によれは第５図に示すようにゲッタ材粉末Ｑ
榎の中央部（Ｃ）における充填密度と第６図に示すよう
にゲッタ＃粉末ａ４の容器端部（Ｄ）における充填密度
はほぼ均一な４．５ｎ１ｇ／關１となっている。
このようなゲッタ装置を電子管内に装着し、高周波発生
装置により外部から加熱し、飛散させたところ、従来の
ゲッタ装置では飛散開始時間が７秒になると浮き上り現
象が見られていたが本実施例のゲッタ装置では、更に外
部からの加熱の出力を高め飛散開始時間を５秒に早めて
も浮き上がり現象は見られず、さらに充填密度が一様で
あると同時に全体的な充填密度も高められているので飛
散されるバリウム量も大巾に増加することができた。
装置により外部から加熱し、飛散させたところ、従来の
ゲッタ装置では飛散開始時間が７秒になると浮き上り現
象が見られていたが本実施例のゲッタ装置では、更に外
部からの加熱の出力を高め飛散開始時間を５秒に早めて
も浮き上がり現象は見られず、さらに充填密度が一様で
あると同時に全体的な充填密度も高められているので飛
散されるバリウム量も大巾に増加することができた。
第７図は従来及び本実施例のゲッタ装置の総論熱時間と
飛散されるバリウム量を示すグラフであ９曲Ｎ５Ｃ１！
υは従来のもの曲線し４は本実施例のものであり総論熱
時間を短くしても本実施例のゲッタ装置からのバリウム
量が極めて多いことを示している。
飛散されるバリウム量を示すグラフであ９曲Ｎ５Ｃ１！
υは従来のもの曲線し４は本実施例のものであり総論熱
時間を短くしても本実施例のゲッタ装置からのバリウム
量が極めて多いことを示している。
次に本実施例のゲッタ装置の製造方法を第８図乃至第１
０図により説明する。
０図により説明する。
先ず第８図に示すように分割し得るプレスの下治具（，
３℃内に外径２２１１ｍ＋１．内径１５鵡、高さ２．Ｑ
ｉｍからなる断面Ｕ字状をなす環状金属製容器（ＩＩ）
の開口部（１１Ｌ）が−Ｆになるように固定し、バリウ
ム−アルミニウム合金粉末とニッケル粉末とを１：１に
混合したゲッタ材粉末（１２ａ） ６００〜を入れプレ
スの上治具Ｇ４を矢印方向に降下し最終的に１１０ ｋ
ｇ／／ｃＴ１ｔの圧を加え第９図に示すような充填され
た第１のゲッタ材粉末層（１２ｂ）を形成する。次に第
１０図のようにとのゲッタ材粉末層（１２ｂ）上に下治
具Ｇυ上も含めてゲッタ材粉末（１２ｃ）を環状金属製
容器αυ内に４００１Ｑ入るように設は下治具０榎によ
り矢印方向に最終的に１３０ｋｇ／ｃＩｉの圧を加える
ことにより第３図乃至第５図に示すゲッタ装置が完成す
る。
３℃内に外径２２１１ｍ＋１．内径１５鵡、高さ２．Ｑ
ｉｍからなる断面Ｕ字状をなす環状金属製容器（ＩＩ）
の開口部（１１Ｌ）が−Ｆになるように固定し、バリウ
ム−アルミニウム合金粉末とニッケル粉末とを１：１に
混合したゲッタ材粉末（１２ａ） ６００〜を入れプレ
スの上治具Ｇ４を矢印方向に降下し最終的に１１０ ｋ
ｇ／／ｃＴ１ｔの圧を加え第９図に示すような充填され
た第１のゲッタ材粉末層（１２ｂ）を形成する。次に第
１０図のようにとのゲッタ材粉末層（１２ｂ）上に下治
具Ｇυ上も含めてゲッタ材粉末（１２ｃ）を環状金属製
容器αυ内に４００１Ｑ入るように設は下治具０榎によ
り矢印方向に最終的に１３０ｋｇ／ｃＩｉの圧を加える
ことにより第３図乃至第５図に示すゲッタ装置が完成す
る。
このように塙状金属製賽器αυ内に所定量の約半分のゲ
ッタ材粉末を入れ８０乃至１３０瞭−で加圧充填し、更
に残部のゲッタ材粉末を入れ１００乃至１５０ゆ−で加
圧充填するという２段加圧充填方法を取ることによりゲ
ッタ材粉末は容器内各所において＃１は均一な３．８ｍ
ｐ／ｉｆ乃至５．０ダ４Ｉの充填密度を得ることが可能
であｐ従来の一回の加圧充填によるものに比較し各所の
充填密度を高く、かつ均一にすることかでき、第７図に
示すように従来のものが１８０■のバリウムを飛散する
のに４０秒かかつていたものが本実施例では２０秒で充
分となりまたゲッタ材粉末の浮きなどもほぼ皆無にする
ことが可能となった。
ッタ材粉末を入れ８０乃至１３０瞭−で加圧充填し、更
に残部のゲッタ材粉末を入れ１００乃至１５０ゆ−で加
圧充填するという２段加圧充填方法を取ることによりゲ
ッタ材粉末は容器内各所において＃１は均一な３．８ｍ
ｐ／ｉｆ乃至５．０ダ４Ｉの充填密度を得ることが可能
であｐ従来の一回の加圧充填によるものに比較し各所の
充填密度を高く、かつ均一にすることかでき、第７図に
示すように従来のものが１８０■のバリウムを飛散する
のに４０秒かかつていたものが本実施例では２０秒で充
分となりまたゲッタ材粉末の浮きなどもほぼ皆無にする
ことが可能となった。
上述したように本発明によれば、同一時間で飛散される
バリウムが多くまたゲッタ材粉末の浮きなどもない品位
の良好なゲッタ装置を得ることができるのでその工業的
価値は極めて大である。
バリウムが多くまたゲッタ材粉末の浮きなどもない品位
の良好なゲッタ装置を得ることができるのでその工業的
価値は極めて大である。
第１図乃至第３図は従来のゲッタ装置の一例を示す図で
あｐ１第１図は断面図、第２図は第１図のＡ部拡大図、
第３図は第１図のＢ部拡大図、第４図乃至第６図は本発
明の一実施例のゲッタ装置を示す図であり、第４図は断
面図、第５図は第４図のＣ部拡大図、第６図は第４図の
Ｄ部拡大図、第７図は従来と実施例との総論熱時間に対
する飛散されるバリウム量を示す曲線図、第８図乃至第
１０図は本発明の一実施例の製造方法のそれぞれ異なゐ
１桿を示す説明用断面図でおる。 １．１１・・・環状金属製容器 ２．１２，１２ａ、１２ｃ・・・ゲッタ材粉末３１ 、
３２・・・プレス用治具 代理人 弁理士 井 上 −男
あｐ１第１図は断面図、第２図は第１図のＡ部拡大図、
第３図は第１図のＢ部拡大図、第４図乃至第６図は本発
明の一実施例のゲッタ装置を示す図であり、第４図は断
面図、第５図は第４図のＣ部拡大図、第６図は第４図の
Ｄ部拡大図、第７図は従来と実施例との総論熱時間に対
する飛散されるバリウム量を示す曲線図、第８図乃至第
１０図は本発明の一実施例の製造方法のそれぞれ異なゐ
１桿を示す説明用断面図でおる。 １．１１・・・環状金属製容器 ２．１２，１２ａ、１２ｃ・・・ゲッタ材粉末３１ 、
３２・・・プレス用治具 代理人 弁理士 井 上 −男
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）断面Ｕ字状をなす環状金属製容器内にゲッタ材粉
末を入れ、加圧充填してなるゲッタ装置において、前記
ゲッタ材粉末の前記環状金属製容器内の充填密度が各所
において、はぼ均一になされていることを特徴とするゲ
ッタ装置。 （２） 充填密度が各所において３ 、８ ＋ｎｇ／
ｍ１４”乃至５ 、０ ｍｙ／ｍ”であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のゲッタ装置。 （３）断面Ｕ字状をなす壌状金ｘｉ容器内にゲッタ材粉
末を入れ加圧充填してなるゲッタ装置の製造方法におい
て、前記環状金属製容器内に所定音の約半分の前記ゲッ
タ材粉末を入れ８０乃至１３０ ＡＩＦ ／ ｃｍ２で
加圧充填する工程と、残部の前記ゲッタ材粉末を入れｉ
ｏｏ乃至１５０ Ａｉ’ ／ ｃｍ２で加圧充填する工
程とを具備することを特徴とするゲッタ装置の製造方法
。 （１） −１，、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57142057A JPS5933734A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | ゲツタ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57142057A JPS5933734A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | ゲツタ装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933734A true JPS5933734A (ja) | 1984-02-23 |
Family
ID=15306407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57142057A Pending JPS5933734A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | ゲツタ装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933734A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0653235U (ja) * | 1992-04-30 | 1994-07-19 | トキワケミカル工業株式会社 | 自動車用ドアー硝子の水切り圧接縁枠 |
| JPH0659112U (ja) * | 1991-03-25 | 1994-08-16 | トキワケミカル工業株式会社 | 自動車用窓硝子の水切り圧接縁材 |
-
1982
- 1982-08-18 JP JP57142057A patent/JPS5933734A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0659112U (ja) * | 1991-03-25 | 1994-08-16 | トキワケミカル工業株式会社 | 自動車用窓硝子の水切り圧接縁材 |
| JPH0653235U (ja) * | 1992-04-30 | 1994-07-19 | トキワケミカル工業株式会社 | 自動車用ドアー硝子の水切り圧接縁枠 |
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