JPS5932011A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPS5932011A JPS5932011A JP14193282A JP14193282A JPS5932011A JP S5932011 A JPS5932011 A JP S5932011A JP 14193282 A JP14193282 A JP 14193282A JP 14193282 A JP14193282 A JP 14193282A JP S5932011 A JPS5932011 A JP S5932011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- workpiece
- driven
- motor
- pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
- B23Q15/20—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work before or after the tool acts upon the workpiece
- B23Q15/22—Control or regulation of position of tool or workpiece
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はテーブルに載置されたワークを自動で高精度
に位置決めすることので・きるＶＴＲの自動調節などに
好適な位置決め装置に関する。
に位置決めすることので・きるＶＴＲの自動調節などに
好適な位置決め装置に関する。
たとえば、ＶＴＲのような電気製品などのワークに対し
てねじの回転調整や部品の組付けなどの種々の作業を自
動で行なう場合、工具に対して上記ワークを平面上にお
けるｘ、ｙ、θ・方向において高精度に位置決めしなけ
ればならない。
てねじの回転調整や部品の組付けなどの種々の作業を自
動で行なう場合、工具に対して上記ワークを平面上にお
けるｘ、ｙ、θ・方向において高精度に位置決めしなけ
ればならない。
従来、ワークをＸ、Ｙ、θ方向に位置決めするには、ワ
ークを拡大鏡で観察し、このワークに付された基準マー
クを拡大鏡の基準点に合うようテーブルを手動で駆動し
たり、ワークをテレビカメラで撮影し、そのパターン認
識を行なってテーブルを駆動するなどの手段が用いられ
ていた。しかしながら、前者の場合にはその位置決め作
業が作業者の熟練に頼る手作業となるから、能率や精度
の点で満足することができなかった。また、後者の場合
には装置が複雑化してコスト高となるとともにワークの
表面状態などによってパターンが誤って認識され、位置
決め精度が低下してしまうということがある。
ークを拡大鏡で観察し、このワークに付された基準マー
クを拡大鏡の基準点に合うようテーブルを手動で駆動し
たり、ワークをテレビカメラで撮影し、そのパターン認
識を行なってテーブルを駆動するなどの手段が用いられ
ていた。しかしながら、前者の場合にはその位置決め作
業が作業者の熟練に頼る手作業となるから、能率や精度
の点で満足することができなかった。また、後者の場合
には装置が複雑化してコスト高となるとともにワークの
表面状態などによってパターンが誤って認識され、位置
決め精度が低下してしまうということがある。
この発明は簡単な構成でありながら高精度に、しかも自
動でワークを位置決めすることができるようにした位置
決め装置を提供することにある。
動でワークを位置決めすることができるようにした位置
決め装置を提供することにある。
Ｎ ｃＤ ｔｔイドピンが立設されたワーク’ｇｘ 。
Ｙ、θ方向に駆動されるテーブルに載面し、このテーブ
ルの上方に上下動自在に設けられた検出機構の一対のチ
ャックで上記ガイドビンをそれぞれ把持し、上記チャッ
クとガイドビンとの相対位置がずれているとぎに上記検
出機構に発生するＸ、Ｙ、θ方向の歪を検出し、この検
出信号で上記テーブルを駆動してワークを位置゛決めす
るようにしたものである。
ルの上方に上下動自在に設けられた検出機構の一対のチ
ャックで上記ガイドビンをそれぞれ把持し、上記チャッ
クとガイドビンとの相対位置がずれているとぎに上記検
出機構に発生するＸ、Ｙ、θ方向の歪を検出し、この検
出信号で上記テーブルを駆動してワークを位置゛決めす
るようにしたものである。
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
まず、第１図はテーブルユニット１の平面図である。こ
のテーブルユニットノは、ベース２上にＸテーブル３が
Ｘ方向にスライド−ゾル４がＹ方向にスライド自在に設
けられているとともに、Ｙテーブル４上にはθ゛テーブ
ル５回転自在に設けられてなる。ペース２上にはＸモー
タ６が固定されていて、とのＸモータ６の回転軸６ａに
はカップリング７を介して上記Ｘテーブル３に螺合した
送ｐねじ８が連結されている。また、Ｘテーブル３には
Ｙモータ９が回転軸９ａを上記Ｘモータ６の回転軸６ａ
と直焚して固定されていて、このＹモータ９の回転軸９
ａにはカップリング１ｏを介して上記Ｙテーブル４に螺
合した送りねじ１１が連結されている。さらに、Ｙテー
ブル４にはθモータ１２が固定されている。このθ゛モ
ータ１２回転軸１２ａにはカップリング１３を介して送
りねじ１４が連結され、この送りねじ１４はθテーブル
５の外周面に突設された作動体１５に螺合している。な
お、各送シねじ８，１１．１４は軸受１６・・・によ、
って支承されている。したがって、Ｘ 、 Ｙ 、 １
９．モータ６．９．１２が作動することによｐＸテーブ
ル３はＸ方向に、Ｙテーブル４はＹ方向に、θテーブル
５はθ方向に駆動されるようになっている。θテーブル
５には複数、たとえば４つのクランパ１６ｍ・・・が互
いに２個づつ対向して設けられ、これらクラン・や１６
ａ・・・によって矩形板状のワーク１７例えばＶＴＲが
外形を基準にして保持固定されるようになっている。こ
のワーク１７には被調整部品としてボリーウム１８やね
じ１９などが設けられているとともに、一対のガイドビ
ン２θ、２０が平行に立設されている。
のテーブルユニットノは、ベース２上にＸテーブル３が
Ｘ方向にスライド−ゾル４がＹ方向にスライド自在に設
けられているとともに、Ｙテーブル４上にはθ゛テーブ
ル５回転自在に設けられてなる。ペース２上にはＸモー
タ６が固定されていて、とのＸモータ６の回転軸６ａに
はカップリング７を介して上記Ｘテーブル３に螺合した
送ｐねじ８が連結されている。また、Ｘテーブル３には
Ｙモータ９が回転軸９ａを上記Ｘモータ６の回転軸６ａ
と直焚して固定されていて、このＹモータ９の回転軸９
ａにはカップリング１ｏを介して上記Ｙテーブル４に螺
合した送りねじ１１が連結されている。さらに、Ｙテー
ブル４にはθモータ１２が固定されている。このθ゛モ
ータ１２回転軸１２ａにはカップリング１３を介して送
りねじ１４が連結され、この送りねじ１４はθテーブル
５の外周面に突設された作動体１５に螺合している。な
お、各送シねじ８，１１．１４は軸受１６・・・によ、
って支承されている。したがって、Ｘ 、 Ｙ 、 １
９．モータ６．９．１２が作動することによｐＸテーブ
ル３はＸ方向に、Ｙテーブル４はＹ方向に、θテーブル
５はθ方向に駆動されるようになっている。θテーブル
５には複数、たとえば４つのクランパ１６ｍ・・・が互
いに２個づつ対向して設けられ、これらクラン・や１６
ａ・・・によって矩形板状のワーク１７例えばＶＴＲが
外形を基準にして保持固定されるようになっている。こ
のワーク１７には被調整部品としてボリーウム１８やね
じ１９などが設けられているとともに、一対のガイドビ
ン２θ、２０が平行に立設されている。
上記・θテーブル５の上方には第２図に示す検出機構２
ノが配置されている。この検出機構２ノは図示せぬ駆動
源によって上下方向に駆動される第１の軸体２２に第１
の取付板２３およびこの第１の取付板２３よりも短かな
第２の取付板２４とが各々一端部を連結固定されている
。
ノが配置されている。この検出機構２ノは図示せぬ駆動
源によって上下方向に駆動される第１の軸体２２に第１
の取付板２３およびこの第１の取付板２３よりも短かな
第２の取付板２４とが各々一端部を連結固定されている
。
第Ｊの取付板２３の他端部には第２の軸体２５が取着さ
れていて、これら第１．第２の軸体２２．２５の軸心間
の寸法は上記ワーク１７に立設された一対のガイドビン
２０．２０の間隔と同じに設定されている。これら第１
．第２の軸体２２．２５の下端部にはチー／４’部２６
を介して小径軸部２７が形成され、この個所はコレット
チャック２８となっている。このコレットチャック２８
は、上記ガイドビン２０よりも大径な挿入孔２９と、こ
の挿入孔２９の周壁をＸ方向とＹ方向に溢うそれぞれ２
つのＸ弾性壁３０．３０とＸ弾性壁３１．３１に分割し
た４つのすり割り溝３２・・・とからなる。また、第１
゜第２の軸体２２，２５の下端部には、これらのテーノ
ｊ部２６と対応する角度のテーノＪ？孔３３を有すると
ともに内周面にすべり軸受３４が設けられたキャッゾ３
５．３５がそれぞれ被嵌されている。これらキャラｆ３
５．３５は作動板３６に取着されていて、この作動板３
６は上記第２の取付板２４の他端部上面に垂直に固定さ
れたエアシリンダ３７０ロツド３７ａに連結されている
。したがって、このロッド３７ａが引込む方向に作動す
れば、作動板３６とともにキャップ３５ 、 Ｊ ５が
上昇して第１．第２の軸体２２，２５のテーノ等部２６
．２６がキャップ３５．３５のテーパ孔３３．３３によ
り押圧されるから、Ｘ、Ｙ弾性壁３０．３１が挿入孔２
９の径方向内側に弾性変形する。
れていて、これら第１．第２の軸体２２．２５の軸心間
の寸法は上記ワーク１７に立設された一対のガイドビン
２０．２０の間隔と同じに設定されている。これら第１
．第２の軸体２２．２５の下端部にはチー／４’部２６
を介して小径軸部２７が形成され、この個所はコレット
チャック２８となっている。このコレットチャック２８
は、上記ガイドビン２０よりも大径な挿入孔２９と、こ
の挿入孔２９の周壁をＸ方向とＹ方向に溢うそれぞれ２
つのＸ弾性壁３０．３０とＸ弾性壁３１．３１に分割し
た４つのすり割り溝３２・・・とからなる。また、第１
゜第２の軸体２２，２５の下端部には、これらのテーノ
ｊ部２６と対応する角度のテーノＪ？孔３３を有すると
ともに内周面にすべり軸受３４が設けられたキャッゾ３
５．３５がそれぞれ被嵌されている。これらキャラｆ３
５．３５は作動板３６に取着されていて、この作動板３
６は上記第２の取付板２４の他端部上面に垂直に固定さ
れたエアシリンダ３７０ロツド３７ａに連結されている
。したがって、このロッド３７ａが引込む方向に作動す
れば、作動板３６とともにキャップ３５ 、 Ｊ ５が
上昇して第１．第２の軸体２２，２５のテーノ等部２６
．２６がキャップ３５．３５のテーパ孔３３．３３によ
り押圧されるから、Ｘ、Ｙ弾性壁３０．３１が挿入孔２
９の径方向内側に弾性変形する。
上記第１の軸体２２の一対のＸ弾性壁３０゜３０の外面
にはそれぞれ対応する位置にＸ歪ゲージ３８．３８が取
着され、第２の軸体２５の一対のＹ弾性壁３１．３１の
外面の対応する位置にはそれぞれＹ歪ゲージ３９．３９
が取着されている。さらに、上記第１の取付板２３の長
手方向中途部には他の部分に比べて幅寸法を十分小さく
した狭幅部４θが形成され、この狭幅部４θの両側面に
はそれぞれθ歪ゲージ４１が取着されている。上記各歪
ゲージ３Ｂ 、 ３９ 。
にはそれぞれ対応する位置にＸ歪ゲージ３８．３８が取
着され、第２の軸体２５の一対のＹ弾性壁３１．３１の
外面の対応する位置にはそれぞれＹ歪ゲージ３９．３９
が取着されている。さらに、上記第１の取付板２３の長
手方向中途部には他の部分に比べて幅寸法を十分小さく
した狭幅部４θが形成され、この狭幅部４θの両側面に
はそれぞれθ歪ゲージ４１が取着されている。上記各歪
ゲージ３Ｂ 、 ３９ 。
４１の検出信号は制御装置であるＣＰＵ ４２に入力さ
れる。このＣＰＵ ４２は各一対のＸ、Ｙ、θ歪ｆ−−
）ｓｓ 、ｓ９．４Ｊの検出量を比較する。
れる。このＣＰＵ ４２は各一対のＸ、Ｙ、θ歪ｆ−−
）ｓｓ 、ｓ９．４Ｊの検出量を比較する。
そして、このＣＰＵ ４２は、一対のＸ歪ゲージ３８．
３８の検出値に差があるときにはその差に応じてＸモー
タ６を、一対のＹ歪量−ジ３９゜３９の検出値に差があ
るときにはその差に応じてＹモータ９を、一対のθ歪ゲ
ージ４１，４１の検出値に差があるときにはその差に応
じてθ′モータ１２を駆動する信号をそれぞれ各モータ
６．９．１２に接続された増幅器４３・・・に出力する
ようになっている。
３８の検出値に差があるときにはその差に応じてＸモー
タ６を、一対のＹ歪量−ジ３９゜３９の検出値に差があ
るときにはその差に応じてＹモータ９を、一対のθ歪ゲ
ージ４１，４１の検出値に差があるときにはその差に応
じてθ′モータ１２を駆動する信号をそれぞれ各モータ
６．９．１２に接続された増幅器４３・・・に出力する
ようになっている。
つぎに、上記構成の作用について説明する。
まず、Ｘ、Ｙ、θモータ６．９．１２をＣＰＵ４２に設
定された原点に復帰させた状態で第１の軸体２２によっ
て検出機構２ノを下方に駆動し、第１．第２の軸体２２
，２５に形成されたコレットチャック２８．２８の挿入
孔２９゜２９をワークＩ７に立設されたガイドピン２０
゜２０に嵌合させる。ついで、エアシリンダ３７を作動
させて作動板３６を上昇させ、この作動板３６に取着さ
れたキャップ３５．３５によって各コレットチャック２
８．２１１のｘ 、ｙ４性壁３０．３１を弾性変形させ
る。ここで、ワーク１７がθテーブル５に精密に位置決
め固定されているならば、第１．第２の軸体２２ 、２
５と一対のガイドピン２０．２０との軸４１ｔｓ一致ス
ルタめ、各コレットチャック２８．２８（Ｄ一対のＸ、
Ｙ弾性壁３Ｑ 、３１の歪量力；等しくなｐ１各一対（
７）Ｘ歪量−ジ３ ｇ 、 ３ＢとＹ歪ゲージ３９．３
９との検出値がそれぞれ同じになるから、ｘ、Ｘモータ
６．９が駆動されること７！になく、また第１の取付板
２３がねじられず一対のθ歪ゲージ４１，４１の検出値
も等しくなるから、θモータ１２が駆動されることもな
い。
定された原点に復帰させた状態で第１の軸体２２によっ
て検出機構２ノを下方に駆動し、第１．第２の軸体２２
，２５に形成されたコレットチャック２８．２８の挿入
孔２９゜２９をワークＩ７に立設されたガイドピン２０
゜２０に嵌合させる。ついで、エアシリンダ３７を作動
させて作動板３６を上昇させ、この作動板３６に取着さ
れたキャップ３５．３５によって各コレットチャック２
８．２１１のｘ 、ｙ４性壁３０．３１を弾性変形させ
る。ここで、ワーク１７がθテーブル５に精密に位置決
め固定されているならば、第１．第２の軸体２２ 、２
５と一対のガイドピン２０．２０との軸４１ｔｓ一致ス
ルタめ、各コレットチャック２８．２８（Ｄ一対のＸ、
Ｙ弾性壁３Ｑ 、３１の歪量力；等しくなｐ１各一対（
７）Ｘ歪量−ジ３ ｇ 、 ３ＢとＹ歪ゲージ３９．３
９との検出値がそれぞれ同じになるから、ｘ、Ｘモータ
６．９が駆動されること７！になく、また第１の取付板
２３がねじられず一対のθ歪ゲージ４１，４１の検出値
も等しくなるから、θモータ１２が駆動されることもな
い。
しかしながら、ワーク１７がθテーブル５にＸ方向、Ｙ
方向あるいはθ方向にずれて取付固定されていると、第
１．第２の軸体２２，２５の軸心と一対のガイドピン３
０．２０との軸Ｉヒにずれが生じる。たとえば、ワーク
１７がＸ方向にずれていると、作動板３６を上昇させて
キャラｆ３５．３５によって各コレットチャック２８．
２８のｘ、Ｘ弾性壁３０．３１を弾性変形させたときに
、各一対のＸ弾性壁３ｏ 、 ｓ。
方向あるいはθ方向にずれて取付固定されていると、第
１．第２の軸体２２，２５の軸心と一対のガイドピン３
０．２０との軸Ｉヒにずれが生じる。たとえば、ワーク
１７がＸ方向にずれていると、作動板３６を上昇させて
キャラｆ３５．３５によって各コレットチャック２８．
２８のｘ、Ｘ弾性壁３０．３１を弾性変形させたときに
、各一対のＸ弾性壁３ｏ 、 ｓ。
の変形量が異なる。すると、第１の軸体２２のＸ弾性壁
３０．３０に取着された一対のＸ歪量−ジ３８．３８が
検出する検出値カニ異なるので、この検出値の差に応じ
た信号がＣＰＵ ４２７ｊｈらＸモータ６に出力される
。そして、Ｘモータ６＆よ一対のＸ歪ゲージ３ｇ 、３
Ｂの検出値に差妙；なくなる状態までＸテーブル３をＸ
方向に駆動することになるから、ワーク１７のＸ方向に
おけるずれが補正される。また、ワーク１７がＹ方向に
ずれている場合には、第２の軸体２５のＹ弾性壁３１．
３１に取着された一対のＹ歪ゲージ３９．３９の検出値
が異なり、この検出イ直の差に応じた信号がＣＰＵ ４
２からＹモータ９に出力され、Ｙテーブル４をＹ方向に
駆動してワーク１７のＹ方向におけるずれが補正される
。
３０．３０に取着された一対のＸ歪量−ジ３８．３８が
検出する検出値カニ異なるので、この検出値の差に応じ
た信号がＣＰＵ ４２７ｊｈらＸモータ６に出力される
。そして、Ｘモータ６＆よ一対のＸ歪ゲージ３ｇ 、３
Ｂの検出値に差妙；なくなる状態までＸテーブル３をＸ
方向に駆動することになるから、ワーク１７のＸ方向に
おけるずれが補正される。また、ワーク１７がＹ方向に
ずれている場合には、第２の軸体２５のＹ弾性壁３１．
３１に取着された一対のＹ歪ゲージ３９．３９の検出値
が異なり、この検出イ直の差に応じた信号がＣＰＵ ４
２からＹモータ９に出力され、Ｙテーブル４をＹ方向に
駆動してワーク１７のＹ方向におけるずれが補正される
。
さらに、ワーク１７がθノ方向にずれている場合には、
一対のガイドピン２０．２０に嵌合した第１．第２の軸
体２２＃ ２５を介して第１の取付板２３がねじられる
。そのため、この第１の取付板２３の狭幅部３９両側面
に取着された一対のθ゛歪ゲージ４１．４１の検出値が
異なるから、この検出値の差に応じた信号がＣＰＵ ４
２からθモータ１２に出力され、θノテーブル５をθ・
′方向に駆動してワークノアのθ方向におけるずれが補
正される。
一対のガイドピン２０．２０に嵌合した第１．第２の軸
体２２＃ ２５を介して第１の取付板２３がねじられる
。そのため、この第１の取付板２３の狭幅部３９両側面
に取着された一対のθ゛歪ゲージ４１．４１の検出値が
異なるから、この検出値の差に応じた信号がＣＰＵ ４
２からθモータ１２に出力され、θノテーブル５をθ・
′方向に駆動してワークノアのθ方向におけるずれが補
正される。
このように、ワーク１７のｘ、ｙ、θ・方心壬れが補正
されたなら、θＩＸテーブルの上方に第４図に示すよう
に上下動自在に配置された調整装置４５が下降しこの調
整装Ｒ４５の複数の工具４６・・・によってワーク１７
に設けられたｚ ＩＪニウム１８やねじ１９などを調整
することになる。そして、調整が完了すると、その完了
信号によりてｘ、ｙ、θモータ６゛、 ９ 、ノ２は再
び原点に復帰し、θ″テーブル５つぎのワーク１７が載
置されるのを待機することになる。
されたなら、θＩＸテーブルの上方に第４図に示すよう
に上下動自在に配置された調整装置４５が下降しこの調
整装Ｒ４５の複数の工具４６・・・によってワーク１７
に設けられたｚ ＩＪニウム１８やねじ１９などを調整
することになる。そして、調整が完了すると、その完了
信号によりてｘ、ｙ、θモータ６゛、 ９ 、ノ２は再
び原点に復帰し、θ″テーブル５つぎのワーク１７が載
置されるのを待機することになる。
以上述べたようにこの発明は、一対のガイドビンが立設
されたワークをｘ、ｙ、θノ方向に駆動すれるテーブル
に載置し、このテーブルの上方に上下動自在に設けられ
た検出機構の一対のチャックで上記ガイドビンをそれぞ
れ把持し、上記チャックとガイドビンとの相、対位置ず
れによって発生するＸ、Ｙ、θ・方向の歪を上記検出機
構に設けられた歪ゲージで検出し、この検出信号で上記
テーブルを駆動してワークを位置決泌 りするようにした。したがって、比較的簡単な構成であ
りながらワークの位置決めを自動で高精度に行なうこと
ができるという利点がある。
されたワークをｘ、ｙ、θノ方向に駆動すれるテーブル
に載置し、このテーブルの上方に上下動自在に設けられ
た検出機構の一対のチャックで上記ガイドビンをそれぞ
れ把持し、上記チャックとガイドビンとの相、対位置ず
れによって発生するＸ、Ｙ、θ・方向の歪を上記検出機
構に設けられた歪ゲージで検出し、この検出信号で上記
テーブルを駆動してワークを位置決泌 りするようにした。したがって、比較的簡単な構成であ
りながらワークの位置決めを自動で高精度に行なうこと
ができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はテーブルユ
ニットの平面図、第２図は検出機構の一部断面した側面
図、第３図は第２図ｌｌｌ−’ＩＩＩ線に沿う検出機構
の下面区、第４図は位置決めされたワークを調整装置・
によって調整する状態の概略図である。 ３・・・Ｘテーブル、４・・・Ｙテーブル、５・・・θ
？テーブル、６・・・Ｘモータ、９・・・Ｘモータ、１
２・・・θ′モータ、１７・・・ワーク、２０・・・ガ
イドビン、２８・・・コｌ／、トチャック、３Ｂ、３９
．４１・・・歪ゲージ、４０・・・ＣＰＵ （制御装置
）。
ニットの平面図、第２図は検出機構の一部断面した側面
図、第３図は第２図ｌｌｌ−’ＩＩＩ線に沿う検出機構
の下面区、第４図は位置決めされたワークを調整装置・
によって調整する状態の概略図である。 ３・・・Ｘテーブル、４・・・Ｙテーブル、５・・・θ
？テーブル、６・・・Ｘモータ、９・・・Ｘモータ、１
２・・・θ′モータ、１７・・・ワーク、２０・・・ガ
イドビン、２８・・・コｌ／、トチャック、３Ｂ、３９
．４１・・・歪ゲージ、４０・・・ＣＰＵ （制御装置
）。
Claims (1)
- 一対のガイドピンが立設されたワークを載置しこのワー
クをＸ、Ｙ、θ方向に駆動するテーブルと、このテーブ
ルの上方に上下動自在に設けられ上記一対のガイドピン
をそれぞれ把持する一対のチャックを有した検出機構と
、この検出機構に設けられ上記一対のガイドピンとチャ
ックとの相対位置がずれているときに上記検出機構に発
生するＸ、 Ｙ 、θ方向の歪を検出する歪ゲージと、
この歪ｒ−ソの検出信号によって上記テーブルの位置を
修正する制御装置とを具備したことを特徴とする位置決
め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14193282A JPS5932011A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14193282A JPS5932011A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932011A true JPS5932011A (ja) | 1984-02-21 |
Family
ID=15303499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14193282A Pending JPS5932011A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932011A (ja) |
-
1982
- 1982-08-16 JP JP14193282A patent/JPS5932011A/ja active Pending
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