JPS5930996Y2 - 質量分析装置のイオン源装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は質量分析装置のイオン源装置に関するものであ
る。

従来の質量分析装置のイオン源装置を簡単に第１図を参
照して説明すると、イオンのとり出し方向１、試料の導
入方向４およびイオン源部の着脱方向３はすべて一致し
ており、そしてそれらの方向軸はイオン源ハウジング２
の中心軸上にある。

しかし、この場合においては、イオン源部（第１図は図
示せず）、試料導入管（第１図に図示せず）の一方また
は両方の保守、点検作業等のためには質量分析装置の外
部付属装置である試料導入装置（第１図に図示しないが
たとえばガスクロマトグラフ、間接試料導入装置等があ
り通常かなり大形のものである）をその都度移動して再
設定することが必要であり、保守、点検時間が長くなる
欠点がある。

第２図は質量分析装置のイオン源装置のもう一つの従来
例である。

これにおいては、イオンとり出し方向１、イオン源部の
着脱方向３は一致していると共にそれらの方向軸はイオ
ン源ハウジング２の中心軸上にあるが、試料導入方向４
はこれらと直交している。

しかし、この場合においてもイオン源部、試料導入管（
両方とも第２図に図示せず）の保守点検に際して、前述
のような試料導入装置の移動、再設定作業は免れず、し
たがって保守点検時間の長さは第１図と変らない。

また特に前者（第１図）の場合、試料導入装置の移動量
が大巾となる傾向があり、したがってその移動装置等も
大がかりで高価となりがちである。

後者（第２図）においては特にイオン源部のみの着脱で
あってもそれに伴なって試料導入管をも着脱しなければ
ならないため作業が繁雑となり、またもしこのことが実
行されないと試料導入管やイオン源部が破損する恐れさ
えある。

本考案の目的は、試料ガス導入管およびイオン源部を相
互に独立に他の部分への影響なしに着脱し得る質量分析
装置のイオン源装置を提供するにある。

本考案の一実施例について以下説明する。

第３図は平面概念図を示し、イオン源ハウジング２の中
心軸と一致する方向がイオンとり出し方向１であつ、こ
れと直交する方向にイオン源部の着脱方向３、試料導入
方向４が存在する。

図示の如くイオン源部の着脱と試料導入管の着脱にイオ
ン源ハウジング２の対向する二面を利用する。

第４図は第３図の具体例であるが、イオン源フランジ８
に支持部材７を介して固定されているイオン源部を構成
するイオン化箱６にはイオン源スリット９も一体的に固
定されており、これらの一体部品は第４図でイオン源ハ
ウジング２の右面において着脱される。

−前試料導入管５はイオン源ハウジング２の前記イオン
源部の着脱面に対向する左面において着脱され、該導入
管の装置に当っては、その先端は前記イオン化箱６の側
面にある穴に挿入される。

この際該導入管の位置を正確に規制することにより、該
導入管の先端をイオン化箱６の孔に嵌着させることがで
きる。

また該導入管を装着したままイオン源部のみを着脱する
場合もイオン源部自身の位置決めを行うだけで試料導入
管５とイオン化箱６との接続がなされイオン源部以外の
他部品、他の付属装置等の調節、移動作業は不要である
。

必要な全部品が装着され質量分析装置が稼動している状
態では試料は試料導入管５内を通過してイオン化箱６内
へ流入してここでイオン化され、前記試料導入方向４と
直角でイオン源ハウジング２の中心軸と一致するイオン
とり出し方向１からイオンがとり出され、分析管（図示
せず）内へ飛行する。

上記から明らかなように、本考案の一実施例によればイ
オン源の着脱、試料導入管の着脱が他への影響なしに独
立して行いうる効果がある。

またこの作業を遂行するための装置上の対策が一切不要
となり、原価低減の効果がある。

尚、試料導入管装置面とイオン源部装着面とを第４図と
左右逆にしても全く同じ効果があり、これの選択は装置
全体の床面積、意匠的見地からなされることである。

また第４図は平面図ということで水平面内の例として記
述したが、垂直面内即ち例えばイオン淵部着脱を上部か
ら、試料導入管の着脱を下部から行っても同様の効果が
得られる。

本考案によれば、以上説明したところから明らかなよう
に、イオン源部の着脱、試料導入管の着脱を他部品、他
の付属装置への影響なしに独立して行なうことができる
ので、保守、点検が容易となり、又その作業時間の大巾
低減、作業遂行のための特別な工夫、装置類の不要化に
よる原価低減が図られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の概念平面図、第２図は他の従来例の概
念平面図、第３図は本考案の一実施例の概念平面図、第
４図は第３図の具体例の平面断面図である。 １・・・・・・イオンとり出し方向、５・・・・・・試
料導入管、６・・・・・・イオン化箱、７・・・・・・
支持部材、８・・・・・・イオン源フランジ、９・・・
・・・イオン源スリット。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. イオン源部と該イオン源部に試料を導入するための試料
   導入管とを備え、上記イオン源において上記試料をイオ
   ン化することによって生じたイオンを上記イオン源部の
   外部にとり出すように構成された質量分析装置のイオン
   源装置において、上記イオン源部と上記導入管とをそれ
   ぞれ互いに対向する面において着脱するように構成され
   、且つその着脱方向は上記イオンのとり出し方向と異な
   るように構成された質量分析装置のイオン源装置。