JPS5930008A - 表面形状解析オンライン評価装置 - Google Patents
表面形状解析オンライン評価装置Info
- Publication number
- JPS5930008A JPS5930008A JP14034882A JP14034882A JPS5930008A JP S5930008 A JPS5930008 A JP S5930008A JP 14034882 A JP14034882 A JP 14034882A JP 14034882 A JP14034882 A JP 14034882A JP S5930008 A JPS5930008 A JP S5930008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface shape
- grindstone
- configuration
- digital signal
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
り発明の技術分野］
本発明は被測定物の表面形状をオンラインで解析評（ｌ
ＩＩＩツることのできる表面形状解析オンライン評価装
置に関する。
ＩＩＩツることのできる表面形状解析オンライン評価装
置に関する。
［発明の技術的背珀］
例えば、研削砥石の研削能力の評価は、二乗平均粗さく
Ｒａ＞、最大高さ粗さくＲＩｌｌａＸ）、中心線平均粗
さく＋−１８）、アボット曲線等の被測定物の表面形状
を示す表面形状係数ににって行われている。
Ｒａ＞、最大高さ粗さくＲＩｌｌａＸ）、中心線平均粗
さく＋−１８）、アボット曲線等の被測定物の表面形状
を示す表面形状係数ににって行われている。
従来、このような表面形状係数を求めるためには、第１
図に示ずようにｒｔ！Ｉ削砥石１に樹脂を押付ｔプて型
２を取った後、第２図に示すようにこの型２を表面形状
測定器のベット３上にセットし、この型２の表面をダイ
ヤモンドスタイラス４で１−レースし、このダイヤモン
ドスタイラス４で測定された結果を解析することににり
行われている。
図に示ずようにｒｔ！Ｉ削砥石１に樹脂を押付ｔプて型
２を取った後、第２図に示すようにこの型２を表面形状
測定器のベット３上にセットし、この型２の表面をダイ
ヤモンドスタイラス４で１−レースし、このダイヤモン
ドスタイラス４で測定された結果を解析することににり
行われている。
［背景技術の問題点］
しかしながら、このような方法にＪ：る時には以下に述
べるような問題点がある。
べるような問題点がある。
（１）樹脂′Ｃ：型を作成するためには、樹脂の砥石作
業面への押付【フ、硬化、剥則が必要であり、この作業
に多大な時間を要する。
業面への押付【フ、硬化、剥則が必要であり、この作業
に多大な時間を要する。
（２） １ｆｆｌ脂を砥石作業面に押付けることにより
砥粒粉砕が生じ、砥石原型を残ずことか不可能である。
砥粒粉砕が生じ、砥石原型を残ずことか不可能である。
（３）通常、機械加工工場と測定苗とは離れており、砥
石の移動が非常に煩わしい。
石の移動が非常に煩わしい。
（４）砥石摩耗状態を表わず正（１（１なアボツ１−曲
線や正（１１ｆな砥石切刃形状を迅速かつ確実に求める
ことが困ｆ！Ｉｆ ｔ’ある。
線や正（１１ｆな砥石切刃形状を迅速かつ確実に求める
ことが困ｆ！Ｉｆ ｔ’ある。
［発明の目的］
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたもので、
被測定物の表面形状−を示１表面形状係数ｉＪ３ Ｊ：
び被測定物の表面形状の作図化専をオンラインで実行Ｊ
ることのできる表面形状解析オンライン１ｉｉｐ １曲
装置を提（Ｊζしようとづるものである。
被測定物の表面形状−を示１表面形状係数ｉＪ３ Ｊ：
び被測定物の表面形状の作図化専をオンラインで実行Ｊ
ることのできる表面形状解析オンライン１ｉｉｐ １曲
装置を提（Ｊζしようとづるものである。
［発明の概要］
りなわら本発明は、被測定物の表面形状をアナ［１グ信
号として検出゛りる検出器と、この検出器で検出された
前記アナログ信号をディジタル信号に変換するアナログ
・ディジタル変換器と、このアナログ・ディジタル変換
器で変換されたディジタル信号を入力し被測定物の表面
形状を示す表面形状係数をｈＩ陣する。ｉｌ綽機と、こ
の８１痒機で計痺された前記表面形状係数を出力する出
力装置とからなることを特徴とする表面形状解析オンラ
イン評価装置である。
号として検出゛りる検出器と、この検出器で検出された
前記アナログ信号をディジタル信号に変換するアナログ
・ディジタル変換器と、このアナログ・ディジタル変換
器で変換されたディジタル信号を入力し被測定物の表面
形状を示す表面形状係数をｈＩ陣する。ｉｌ綽機と、こ
の８１痒機で計痺された前記表面形状係数を出力する出
力装置とからなることを特徴とする表面形状解析オンラ
イン評価装置である。
［発明の実施例］
以下本発明の詳細を図面に承り一実施例について説明す
る。
る。
第３図は、本発明の表面形状解析オンライン評１１１ｉ
装置を砥石の表面形状の解析に用いた一実施例を示Ｊも
ので、図において符号５は砥石を示しＣいる。この凪６
５の側面には、例えばチゼル型ダイヤモンドスタイラス
ピックアップからなるピックアップ６が検出器７の先端
に配設されるシュー８を介して砥石５に超微力で接触し
ている。そして検出器７は？ｉｌｌ削盤のベット９上に
配設される両ロンタ１０上に固定されＣいる。
装置を砥石の表面形状の解析に用いた一実施例を示Ｊも
ので、図において符号５は砥石を示しＣいる。この凪６
５の側面には、例えばチゼル型ダイヤモンドスタイラス
ピックアップからなるピックアップ６が検出器７の先端
に配設されるシュー８を介して砥石５に超微力で接触し
ている。そして検出器７は？ｉｌｌ削盤のベット９上に
配設される両ロンタ１０上に固定されＣいる。
検出器７で検出された信号は、この信号を増幅する直流
増幅器１１を通った後、不要な周波数のノイズを除去す
る低周波通過用フィルタ１２を通り１〜ランスミツタ１
／Ｉを介しく゛、例えば機械工場から＝１ンビ１−タ室
（こ配設されるレシーバ１５に入力される。
増幅器１１を通った後、不要な周波数のノイズを除去す
る低周波通過用フィルタ１２を通り１〜ランスミツタ１
／Ｉを介しく゛、例えば機械工場から＝１ンビ１−タ室
（こ配設されるレシーバ１５に入力される。
レシーバ１５に入）〕された信号はデータサンプリング
のための指令を発するオツシレータ１６に入力され、ア
ナログ信号をディジタル信号に変換づるアナ［Ｊグ・デ
ィジタル変換器１７でディジタル信号に変換された後、
被測定物の表面形状を示す表面形状係数を計詐する８１
算機１８に出力され、この訓算（幾１８で計算されたｈ
ｌ算結果はトランスミッションライン１９を通り磁気デ
ィスク２０に記憶された後、（１１（布表面形状を作図
りるためのブ［１ツタ−２１および砥石表面形状係数の
８１律結果をプリン１−するためのラインプリンター２
２に出力される。
のための指令を発するオツシレータ１６に入力され、ア
ナログ信号をディジタル信号に変換づるアナ［Ｊグ・デ
ィジタル変換器１７でディジタル信号に変換された後、
被測定物の表面形状を示す表面形状係数を計詐する８１
算機１８に出力され、この訓算（幾１８で計算されたｈ
ｌ算結果はトランスミッションライン１９を通り磁気デ
ィスク２０に記憶された後、（１１（布表面形状を作図
りるためのブ［１ツタ−２１および砥石表面形状係数の
８１律結果をプリン１−するためのラインプリンター２
２に出力される。
以上のように構成されＩこ表面形状解析オンライン評価
装置では、砥石５が例えば２．１５ｍｍ／ｓの微速度で
回転され、この回転に伴い検出器７にＪ：り砥石５の周
方向に沿う表面形状が検出される。
装置では、砥石５が例えば２．１５ｍｍ／ｓの微速度で
回転され、この回転に伴い検出器７にＪ：り砥石５の周
方向に沿う表面形状が検出される。
このようにして検出された砥石表面形状は、横軸に時間
を縦軸に出力をとって示される第４図に曲線ａとして示
すようにピックアップ６が砥石表面形状に従い変位リ−
るためアナログ信号となっている。このアナログ信号は
振幅が微少なうえに不要なノイズを含むため直流増幅器
１１で増幅された後、低周波通過用フィルタ１２で不要
なノイズを除去されトランスミッタ１４を通り、例えば
コンピユータ室内に配設されるレシーバ１５に伝達され
、横軸に時間を縦軸に出力をとって示される急１５図に
曲線すとして示すようなデータ採集間隔（５秒）および
採集時間（ΔＳ秒）でＡフシレータ１６６３ Ｊ：びア
ナログ・ディジタル変換器１７にＪ：り横軸に時間を縦
軸に出力をとって示される第６図に示すＪ：うにディジ
タル信号に変換される。
を縦軸に出力をとって示される第４図に曲線ａとして示
すようにピックアップ６が砥石表面形状に従い変位リ−
るためアナログ信号となっている。このアナログ信号は
振幅が微少なうえに不要なノイズを含むため直流増幅器
１１で増幅された後、低周波通過用フィルタ１２で不要
なノイズを除去されトランスミッタ１４を通り、例えば
コンピユータ室内に配設されるレシーバ１５に伝達され
、横軸に時間を縦軸に出力をとって示される急１５図に
曲線すとして示すようなデータ採集間隔（５秒）および
採集時間（ΔＳ秒）でＡフシレータ１６６３ Ｊ：びア
ナログ・ディジタル変換器１７にＪ：り横軸に時間を縦
軸に出力をとって示される第６図に示すＪ：うにディジ
タル信号に変換される。
そしてこのディジタル信号は計算機１８に出力され、こ
のＳ１緯機１８において表面形状係数等の計粋がｉラ−
イ１われ、この計算結果は磁気ディスク２０に一時貯蔵
された後、砥石作業面形状はプロッター２１から、また
、砥石表面形状係数はラインプリンター２２から出力さ
れる。
のＳ１緯機１８において表面形状係数等の計粋がｉラ−
イ１われ、この計算結果は磁気ディスク２０に一時貯蔵
された後、砥石作業面形状はプロッター２１から、また
、砥石表面形状係数はラインプリンター２２から出力さ
れる。
第７図〜第９図はプロッター２１にＪ：リブロットされ
た砥石表面形状を示づもので、第７図はドレッシング直
後の砥石表面形状を、第８図は５分間加工後の砥石表面
形状を、第９図は１５分間加工後の（１１石表面形状を
示している。
た砥石表面形状を示づもので、第７図はドレッシング直
後の砥石表面形状を、第８図は５分間加工後の砥石表面
形状を、第９図は１５分間加工後の（１１石表面形状を
示している。
これらの図から明らかなように、加工に伴う砥石作業面
の変化を明確に把ＩＭすることかできる。
の変化を明確に把ＩＭすることかできる。
［発明の効果］
以上）小べたＪ：うに本発明の表面形状解析Δンライン
計１ｌＩＩｌ装置によれば、従来困難であった物体の表
面形状係数の計専および表面形状の作図化が正（ｉＴｆ
Ｇこかつ測定と同時に可能となり多くのデータの採集
、物体形状のＪ：り正確なミクロ形状のＦ￥！識、超粕
密加工、物体性状等の認識を迅速に行なうことができる
。
計１ｌＩＩｌ装置によれば、従来困難であった物体の表
面形状係数の計専および表面形状の作図化が正（ｉＴｆ
Ｇこかつ測定と同時に可能となり多くのデータの採集
、物体形状のＪ：り正確なミクロ形状のＦ￥！識、超粕
密加工、物体性状等の認識を迅速に行なうことができる
。
なお、以上述べた実施例では本発明を砥石作業面の測定
にｊ８用した例について述べたが、万能表面形状測定器
や真円度測定器による測定に本発明を適用すれば、加工
物の真円度や加二［物の表面形状係数を容易に針線およ
び作図覆ることが可能となる。
にｊ８用した例について述べたが、万能表面形状測定器
や真円度測定器による測定に本発明を適用すれば、加工
物の真円度や加二［物の表面形状係数を容易に針線およ
び作図覆ることが可能となる。
第１図は砥石に樹脂を押圧した状態を示ず側面図、第２
図は樹脂の表面形状を測定する方法を説明するための説
明図、第３図は本発明の一実施例の表面形状解析オンラ
イン評価装置を示すブロック図、第４図は検出器により
検出されたアナログ信号を示タグラフ、第５図はディジ
タル信号のデータ採集間隔おＪ、び採集時間を示すグラ
フ、第６図は第４図のアナログ信号をディジタル信号に
変換した状態を示１”グラフ、第７図〜第９図はそれぞ
れドレッシング直後、５分間加工後、１５分間加工後の
ｌｉｔ！を６表面形状を示ずグラフである。 ５・・・・・・・・・・・・砥石 ６・・・・・・・・・・・・ピックアップ７・・・・・
・・・・・・・検出器 １１・・・・・・・・・・・・直流増幅器１２・・・・
・・・・・・・・低周波通過用フィルタ１４・・・・・
・・・・・・・１〜ランスミツタ１５・・・・・・・・
・・・・レシーバ１６・・・・・・・・・・・・Δフシ
レータ１フ・・・・・・・・・・・・アナログ・ディジ
タル変換器１８・・・・・・・・・・・・５１算機２０
・・・・・・・・・・・・磁気ディスク２１・・・・・
・・・・・・・プロッター２２・・・・・・・・・・・
・ラインプリンター代理人弁理士 須 山 佐 −
・ ４７
図は樹脂の表面形状を測定する方法を説明するための説
明図、第３図は本発明の一実施例の表面形状解析オンラ
イン評価装置を示すブロック図、第４図は検出器により
検出されたアナログ信号を示タグラフ、第５図はディジ
タル信号のデータ採集間隔おＪ、び採集時間を示すグラ
フ、第６図は第４図のアナログ信号をディジタル信号に
変換した状態を示１”グラフ、第７図〜第９図はそれぞ
れドレッシング直後、５分間加工後、１５分間加工後の
ｌｉｔ！を６表面形状を示ずグラフである。 ５・・・・・・・・・・・・砥石 ６・・・・・・・・・・・・ピックアップ７・・・・・
・・・・・・・検出器 １１・・・・・・・・・・・・直流増幅器１２・・・・
・・・・・・・・低周波通過用フィルタ１４・・・・・
・・・・・・・１〜ランスミツタ１５・・・・・・・・
・・・・レシーバ１６・・・・・・・・・・・・Δフシ
レータ１フ・・・・・・・・・・・・アナログ・ディジ
タル変換器１８・・・・・・・・・・・・５１算機２０
・・・・・・・・・・・・磁気ディスク２１・・・・・
・・・・・・・プロッター２２・・・・・・・・・・・
・ラインプリンター代理人弁理士 須 山 佐 −
・ ４７
Claims (3)
- （１）被測定物の表面形状をアナログ信号として検出す
る検出器と、この検出器で検１ｊされた前記アナログ信
号をディジタル信号に変換するアナログ・ディジタル変
換器と、このアナログ・ディジタル変換器で変換さ朴だ
ディジタル信号を入力し被測定物の表面形状を示す表面
形状係数をｇＩ綽するに１算機と、このｉ！ｌ算普幾で
８１算されＩＣ前記表面形状係数を出力する出力装置と
からなることを特徴と゛する表面形状解析オンライン評
価装置。 - （２）被測定物は、円筒砥石であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の表面形状解析オンラインかＩ
’ Ｉａｌ＋装置。 - （３）検出器は、チゼル型ダイ１７モンドスタイラスピ
ツクアツプであることを特徴する特許請求の範囲第１項
または第２項に記載の表面形状解析オンライン評価装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14034882A JPS5930008A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 表面形状解析オンライン評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14034882A JPS5930008A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 表面形状解析オンライン評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5930008A true JPS5930008A (ja) | 1984-02-17 |
Family
ID=15266733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14034882A Pending JPS5930008A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 表面形状解析オンライン評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5930008A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1985004707A1 (en) * | 1984-04-10 | 1985-10-24 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Surface roughness measuring machine |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP14034882A patent/JPS5930008A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1985004707A1 (en) * | 1984-04-10 | 1985-10-24 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Surface roughness measuring machine |
| GB2165361A (en) * | 1984-04-10 | 1986-04-09 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | Surface roughness measuring machine |
| US4665739A (en) * | 1984-04-10 | 1987-05-19 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd | Surface roughness measuring instrument |
| DE3590145C2 (ja) * | 1984-04-10 | 1990-02-22 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp |
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