JPS592989B2 - バブル磁区検出器 - Google Patents
バブル磁区検出器Info
- Publication number
- JPS592989B2 JPS592989B2 JP6142581A JP6142581A JPS592989B2 JP S592989 B2 JPS592989 B2 JP S592989B2 JP 6142581 A JP6142581 A JP 6142581A JP 6142581 A JP6142581 A JP 6142581A JP S592989 B2 JPS592989 B2 JP S592989B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubble
- detector
- magnetic
- block
- detectors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C19/00—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers
- G11C19/02—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using magnetic elements
- G11C19/08—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using magnetic elements using thin films in plane structure
- G11C19/0866—Detecting magnetic domains
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気バブルメモリ装置のバブル磁区検出器の改
良に関する。
良に関する。
磁気バブルを利用した磁気バブルメモリ装置は第1図に
示す如く例えば非磁性ガーネット板の上に磁性ガーネッ
トの薄膜を形成した基板の上に磁気バブルの発生器、伝
播路、検出器等をパターン形成したチップ1と、該チッ
プにバイアス磁界をかける永久磁石2、2’と、バブル
を、駆動するための回転磁界をつくるコイル3および4
と、外部磁界を遮断するシールドケース5等により構成
されている。
示す如く例えば非磁性ガーネット板の上に磁性ガーネッ
トの薄膜を形成した基板の上に磁気バブルの発生器、伝
播路、検出器等をパターン形成したチップ1と、該チッ
プにバイアス磁界をかける永久磁石2、2’と、バブル
を、駆動するための回転磁界をつくるコイル3および4
と、外部磁界を遮断するシールドケース5等により構成
されている。
このような磁気バブルメモリ装置におい5 てその記憶
容量は年々増加の一途を辿つている。そのためメモリチ
ップの大きさも大きくなり例えばIMビットになるとチ
ップの大きさは10×10mwl程度の大きさになる。
このためホトリソグラフィ法でパターンを作成する場合
1枚のホトマ10 スクで露光するとウェーハのフラツ
トネスによりパターンの焼付け精度が悪くなり歩留りが
低下すると共に、フォトマスクのコスト高が問題になる
場合がある。このため従来はホトマスクをチップの半分
の大きさとし2回露光して第2図の如く同15−パター
ンを2個並べて作成しIMビットとする方法を採用して
いる。ところがこの方法で作られたチップにはバブルの
発生器6と検出器1がそれぞれ2個づつあり、実際に動
作させる場合2個の発生器又は2個の検出器が全く同時
に作用するこ・0 とは不都合である。このためバブル
発生器6からマイナループ8に情報を入れるトランスフ
ァゲート9までのビット数をAブロックではnビット、
Bブロックではn−1ビットとして1ビットずらしてい
る。このずらした分は読出し用のレプリゲ、’5−卜1
0から検出器7までの間で戻すようにAブロックではm
−1ビット、Bブロックではmビットとしている。この
ような構成を1枚のホトマスクで実現するためバブル検
出器としては3本のディテクタD1、D2、D3を形成
しておきAブロツ30 クではD17D2を使用し、B
ブロックではD2、D3を使用して1ビットのずれを作
つている。このため従来このバブル検出器の配線は第3
図の如く、3本のディテクタD1、D2、D3の一方の
端部はリードL4によリボンディング用端子55P4に
接続され、他端はそれぞれリードLi、L2、L3によ
りそれぞれボンディング用端子P1、P2、P3に接続
されている。そして第2図のAブロツクはPl,P2,
P4を選び、BプロツクはP2,P3,P4を選んで外
部回路に接続するようにしている。
容量は年々増加の一途を辿つている。そのためメモリチ
ップの大きさも大きくなり例えばIMビットになるとチ
ップの大きさは10×10mwl程度の大きさになる。
このためホトリソグラフィ法でパターンを作成する場合
1枚のホトマ10 スクで露光するとウェーハのフラツ
トネスによりパターンの焼付け精度が悪くなり歩留りが
低下すると共に、フォトマスクのコスト高が問題になる
場合がある。このため従来はホトマスクをチップの半分
の大きさとし2回露光して第2図の如く同15−パター
ンを2個並べて作成しIMビットとする方法を採用して
いる。ところがこの方法で作られたチップにはバブルの
発生器6と検出器1がそれぞれ2個づつあり、実際に動
作させる場合2個の発生器又は2個の検出器が全く同時
に作用するこ・0 とは不都合である。このためバブル
発生器6からマイナループ8に情報を入れるトランスフ
ァゲート9までのビット数をAブロックではnビット、
Bブロックではn−1ビットとして1ビットずらしてい
る。このずらした分は読出し用のレプリゲ、’5−卜1
0から検出器7までの間で戻すようにAブロックではm
−1ビット、Bブロックではmビットとしている。この
ような構成を1枚のホトマスクで実現するためバブル検
出器としては3本のディテクタD1、D2、D3を形成
しておきAブロツ30 クではD17D2を使用し、B
ブロックではD2、D3を使用して1ビットのずれを作
つている。このため従来このバブル検出器の配線は第3
図の如く、3本のディテクタD1、D2、D3の一方の
端部はリードL4によリボンディング用端子55P4に
接続され、他端はそれぞれリードLi、L2、L3によ
りそれぞれボンディング用端子P1、P2、P3に接続
されている。そして第2図のAブロツクはPl,P2,
P4を選び、BプロツクはP2,P3,P4を選んで外
部回路に接続するようにしている。
ところがこのようにすると各デイテクタ及びリードが作
るループの大きさが異なるため回転磁界から拾うノイズ
の大きさが異なりノイズキャンセルの上で不都合となり
ノイズが大となる。本発明はこの欠点を改良するために
案出されたものである。このため本発明においては、磁
気バブル結晶基板の上に同一ビツト構成のA,.B2つ
のプロツクを形成した磁気バブルメモリ素子において、
そのバブル磁区検出器は、ボンデイング用端子を有する
金等の導体パターンの第1層と、SiO2等の絶縁材料
からなるスペーサを介して第2層の軟磁性体からなる3
ビツト連続に配置されたデイテクタとをA,.B両プロ
ツクに形成し、Aプロツクは該デイテクタの第1番目と
第2番目を、Bプロツクは第2番目と第3番目とをそれ
ぞれ前記スペーサ層のスルーホールを選択して第1層の
導体パターンに接続することにより、A,.B両プロツ
ク共、各デイテクタとボンデイング用端子までの導体が
作るループの大きさが等しくなるようにしたことを特徴
とするものである。
るループの大きさが異なるため回転磁界から拾うノイズ
の大きさが異なりノイズキャンセルの上で不都合となり
ノイズが大となる。本発明はこの欠点を改良するために
案出されたものである。このため本発明においては、磁
気バブル結晶基板の上に同一ビツト構成のA,.B2つ
のプロツクを形成した磁気バブルメモリ素子において、
そのバブル磁区検出器は、ボンデイング用端子を有する
金等の導体パターンの第1層と、SiO2等の絶縁材料
からなるスペーサを介して第2層の軟磁性体からなる3
ビツト連続に配置されたデイテクタとをA,.B両プロ
ツクに形成し、Aプロツクは該デイテクタの第1番目と
第2番目を、Bプロツクは第2番目と第3番目とをそれ
ぞれ前記スペーサ層のスルーホールを選択して第1層の
導体パターンに接続することにより、A,.B両プロツ
ク共、各デイテクタとボンデイング用端子までの導体が
作るループの大きさが等しくなるようにしたことを特徴
とするものである。
以下添付図面に基づいて本発明の実施例につき詳細に説
明する。
明する。
第4図に実施例を示す。
本実施例は図の如くAlBプロツク共、金等の導体を用
い同一パターンでボンデイング用端子P1〜P4とリー
ドL1〜L4を形成し、その上に絶縁層を形成し、この
絶縁層に、AブロツクにはスルーホールHl,H2及び
Rl,R,を設け、BプロツクにはスルーホールH3,
H4及びR3,R4を設けたのち、パーマロイ等の軟磁
性体薄膜で同一パターンのデイテクタD1〜D3をA,
.B両プロツクに形成したものである。第5図はリード
とデイテクタの接続部(第4図の点線で囲んだ部分)を
拡大して示したもので、符号11はガーネツト等のバブ
ル結晶12及び13はSiO2等の絶縁層、L2,L4
は金等の導体により形成されたリード、D1〜D3はデ
イテクタ、14,15ぱ絶縁層13に設けられたスルー
ホールである。このように形成された本実施例は第4図
の如くAプロツクにおいては、デイテクタD1はリード
L3及びL4により隣り合う端子P3,P4に接続され
、デイテクタD2はリードLl,L2により隣り合う端
子Pl,P2に接続されている。
い同一パターンでボンデイング用端子P1〜P4とリー
ドL1〜L4を形成し、その上に絶縁層を形成し、この
絶縁層に、AブロツクにはスルーホールHl,H2及び
Rl,R,を設け、BプロツクにはスルーホールH3,
H4及びR3,R4を設けたのち、パーマロイ等の軟磁
性体薄膜で同一パターンのデイテクタD1〜D3をA,
.B両プロツクに形成したものである。第5図はリード
とデイテクタの接続部(第4図の点線で囲んだ部分)を
拡大して示したもので、符号11はガーネツト等のバブ
ル結晶12及び13はSiO2等の絶縁層、L2,L4
は金等の導体により形成されたリード、D1〜D3はデ
イテクタ、14,15ぱ絶縁層13に設けられたスルー
ホールである。このように形成された本実施例は第4図
の如くAプロツクにおいては、デイテクタD1はリード
L3及びL4により隣り合う端子P3,P4に接続され
、デイテクタD2はリードLl,L2により隣り合う端
子Pl,P2に接続されている。
またBプロツクにおいてぱ、デイテクタD2はリードL
3,L4により隣り合う端子P3,P4に接続され、デ
イテクタD3はリードLl,L2により隣り合う端子P
l,P2に接続されている。従つて各デイテクタがリー
ドと共につくるループの大きさは全べて等しくなつてい
る。従つて各デイテクタが回転磁界から拾うノイズは等
しくなり、各デイテクタはノイズキヤンセルされ、AB
プロツク共そのバブル磁区検出器はSN比が極めて小さ
くなる。以上説明した如く本発明のバブル磁区検出器構
成は、デイテクタを3段連続に配置したバブル磁区検出
器において、いわゆるサイドバイサイド方式による読み
出しが行なえ、かつSN比が向上する磁気バブルメモリ
の実現を可能としたものである。
3,L4により隣り合う端子P3,P4に接続され、デ
イテクタD3はリードLl,L2により隣り合う端子P
l,P2に接続されている。従つて各デイテクタがリー
ドと共につくるループの大きさは全べて等しくなつてい
る。従つて各デイテクタが回転磁界から拾うノイズは等
しくなり、各デイテクタはノイズキヤンセルされ、AB
プロツク共そのバブル磁区検出器はSN比が極めて小さ
くなる。以上説明した如く本発明のバブル磁区検出器構
成は、デイテクタを3段連続に配置したバブル磁区検出
器において、いわゆるサイドバイサイド方式による読み
出しが行なえ、かつSN比が向上する磁気バブルメモリ
の実現を可能としたものである。
第1図は従来の磁気バブルメモリ装置の1例の1部開切
して示した斜視図、第2図は従来の磁気バブルメモリチ
ツプの1例の構成図、第3図ぱそのバブル磁区検出器の
構成図、第4図は本発明にかかる実施例のバブル磁区検
出器構成の構成図、第5図はその一部の斜視図である。 P1〜P4・・・・・・端子、L1〜L4・・・・・・
リード(導体パターン)、D1〜D3・・・・・・ディ
テクタ、H1〜H4,Rl〜R4,l4,l5・・・・
・・スルーホール、11・・・・・・バブル結晶、12
,13・・・・・・絶縁層。
して示した斜視図、第2図は従来の磁気バブルメモリチ
ツプの1例の構成図、第3図ぱそのバブル磁区検出器の
構成図、第4図は本発明にかかる実施例のバブル磁区検
出器構成の構成図、第5図はその一部の斜視図である。 P1〜P4・・・・・・端子、L1〜L4・・・・・・
リード(導体パターン)、D1〜D3・・・・・・ディ
テクタ、H1〜H4,Rl〜R4,l4,l5・・・・
・・スルーホール、11・・・・・・バブル結晶、12
,13・・・・・・絶縁層。
Claims (1)
- 1 磁気バブル結晶基板の上に同一ビット構成のA、B
2つのブロックを形成した磁気バブルメモリ素子におい
て、そのバブル磁区検出器は、ボンディング用端子を有
する金等の導体パターンの第1層と、SiO_2等の絶
縁材料からなるスペーサを介して第2層の軟磁性体から
なる3ビット連続に配置されたディテクタとをA、B両
ブロックに形成し、Aブロックは該ディテクタの第1番
目と第2番目を、Bブロックは第2番目と3番目とを、
それぞれ前記スペーサ層のスルーホールを選択して第1
層の導体パターンに接続することにより、A、B両ブロ
ック共、各ディテクタとボンディング用端子までの導体
が作るループの大きさが等しくなるようにしたことを特
徴とするバブル磁区検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6142581A JPS592989B2 (ja) | 1981-04-24 | 1981-04-24 | バブル磁区検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6142581A JPS592989B2 (ja) | 1981-04-24 | 1981-04-24 | バブル磁区検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57179986A JPS57179986A (en) | 1982-11-05 |
| JPS592989B2 true JPS592989B2 (ja) | 1984-01-21 |
Family
ID=13170704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6142581A Expired JPS592989B2 (ja) | 1981-04-24 | 1981-04-24 | バブル磁区検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS592989B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7350996B2 (en) * | 2005-03-28 | 2008-04-01 | Sanford, L.P. | Retractable writing utensil |
-
1981
- 1981-04-24 JP JP6142581A patent/JPS592989B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57179986A (en) | 1982-11-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100498182B1 (ko) | 반도체 기억 장치 및 그 제조 방법 | |
| US8884606B2 (en) | Inverted magnetic isolator | |
| US6140139A (en) | Hall effect ferromagnetic random access memory device and its method of manufacture | |
| US6914806B2 (en) | Magnetic memory device | |
| WO1999045405A1 (en) | Magnetic digital signal coupler | |
| US5064499A (en) | Inductively sensed magnetic memory manufacturing method | |
| JP2004047656A (ja) | 磁気不揮発性メモリ素子およびその製造方法 | |
| EP0436274B1 (en) | Thin film magnetic core memory and method of making same | |
| JP2002538614A5 (ja) | ||
| US5140549A (en) | Inductively sensed magnetic memory | |
| JP2005044847A (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気記憶セルおよび磁気メモリデバイスならびにそれらの製造方法 | |
| US3149316A (en) | Inductive matrix arrangement for sensing magnetic configurations | |
| JPS592989B2 (ja) | バブル磁区検出器 | |
| JP2003197879A (ja) | バイポーラ接合トランジスターを用いたマグネチックramの動作方法 | |
| JPH0798823A (ja) | 磁気読み/書きヘッド | |
| Chang et al. | 0.25× 10 6 bit/in 2 NDRO coupled film memory elements | |
| JPS5913111B2 (ja) | 磁気バブルメモリ素子 | |
| US5197025A (en) | Crosstie random access memory element and a process for the fabrication thereof | |
| JPS59111011A (ja) | 磁気抵抗素子を具える磁気検出器 | |
| Yoshizawa et al. | Small bubble domain detection by Hall effect of InSb films | |
| KR20050053746A (ko) | 강자성 터널 접합 소자를 이용한 자기 기억 장치 | |
| EP1754979B1 (en) | Magnetic digital signal coupler | |
| JPS6029115Y2 (ja) | 磁気バブルメモリパッケ−ジ | |
| JPS6150277A (ja) | 磁気記憶素子およびその製造方法 | |
| KR970003919B1 (ko) | 자기저항 소자 |