JPS5926022A - 赤外分光計 - Google Patents
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- JPS5926022A JPS5926022A JP58061039A JP6103983A JPS5926022A JP S5926022 A JPS5926022 A JP S5926022A JP 58061039 A JP58061039 A JP 58061039A JP 6103983 A JP6103983 A JP 6103983A JP S5926022 A JPS5926022 A JP S5926022A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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-
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
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- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光束を直線区間内にある、透議光線で試験す
べき試料を収容するように定められた横断面でピント調
節しかつ検出器の方向に向けて光束を発生させる光学要
素を有する赤外分光計に関する。
べき試料を収容するように定められた横断面でピント調
節しかつ検出器の方向に向けて光束を発生させる光学要
素を有する赤外分光計に関する。
公知の赤外分光計は、赤外線源及び測定信号を発生させ
るモノクロメータ−又は二光線干渉計を有する。この場
合、試料の測定を実施するためには、透過測定法及び反
射測定法を呼称される２つの測定法が公知である。
るモノクロメータ−又は二光線干渉計を有する。この場
合、試料の測定を実施するためには、透過測定法及び反
射測定法を呼称される２つの測定法が公知である。
透過測定法の場合、赤外分光泪には、赤外線源の光線を
透過光線内で試験すべき試料を試料ホルダーにより配置
することができろ平面内でピント調節するための光学要
素が設けられている。この場合、通常平行な光束は、放
物面鏡によりピント調節され、その際に試料を通過する
発散光束は、他の光学要素によって再び平行にされ、改
めて光学検出器上でピント調節される。
透過光線内で試験すべき試料を試料ホルダーにより配置
することができろ平面内でピント調節するための光学要
素が設けられている。この場合、通常平行な光束は、放
物面鏡によりピント調節され、その際に試料を通過する
発散光束は、他の光学要素によって再び平行にされ、改
めて光学検出器上でピント調節される。
しかし、周知のように、このような物質の場合その表面
で鏡面反射され及び／又は拡散反射される赤外線を利用
すべきこの種の所謂反射測定法は、例えば刊行物゛″Ａ
ｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”、第５０巻
、１９７８年、第１９０６貞〜第１９１０頁、から公知
である。この刊行物に記載された赤外分光計は、専ら反
射測定法のために形成されている。
で鏡面反射され及び／又は拡散反射される赤外線を利用
すべきこの種の所謂反射測定法は、例えば刊行物゛″Ａ
ｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”、第５０巻
、１９７８年、第１９０６貞〜第１９１０頁、から公知
である。この刊行物に記載された赤外分光計は、専ら反
射測定法のために形成されている。
赤外−測定装置は、技術的及び４済的に著しく費用がか
かるのて、この種の測定装置に直接の光線案内要素を設
け、したがって光学要素を交換ずろことによって赤外分
光計を相当する改造後に選択的に透過測定法及び反射測
定法に使用することができることも既に公知である。
かるのて、この種の測定装置に直接の光線案内要素を設
け、したがって光学要素を交換ずろことによって赤外分
光計を相当する改造後に選択的に透過測定法及び反射測
定法に使用することができることも既に公知である。
この方法で透過測定法を反射測定法に変えることかでき
る付加的装置は、例えばＨａｒｒｉｃｋＳｃｉｅｎｔｉ
ｆｉｃ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ （Ｏｓｓｉｎｉｎｇ
在、 Ｎ、Ｙ。
る付加的装置は、例えばＨａｒｒｉｃｋＳｃｉｅｎｔｉ
ｆｉｃ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ （Ｏｓｓｉｎｉｎｇ
在、 Ｎ、Ｙ。
ＵＳＡ ）社によって販売されている。更に、この種の
もう１つの付加的装置は、Ａｎａｌｅｃｔ Ｉｎｓｔｒ
ｕ−ｍｅｎｔｓ （Ｉｒｖｉｎｅ在、 Ｃａ、、 ＵＳ
Ａ ）社によって公知である。
もう１つの付加的装置は、Ａｎａｌｅｃｔ Ｉｎｓｔｒ
ｕ−ｍｅｎｔｓ （Ｉｒｖｉｎｅ在、 Ｃａ、、 ＵＳ
Ａ ）社によって公知である。
実際に、この公知の付加的装置により、同じ光線発生要
素ならびに透過測定および反射測定に対して測定結果を
計画するための同じ要素を使用することば可能であるか
、しかし１つの測定法から別の測定法への移行は、多大
の交換費用を必要とする。その結果、赤外分光計は、交
換時間を使用することができず、熟練者の作業時間に拘
束される１、更に、１つの測定法から別の測定法へ変え
る場合には、著しし・停止時間を生じるので、短命の試
料の連続的測定は、不可能であるか又は大きい困難を伴
なってのみ可能でル〕ろ。最後に、光学要素の交換は、
必然的に光路の変化を必要とし、したがって試験すべき
試料は、連続的測定法の用台に同じ試料位置て試験され
ず、このことは、殊に不均質の試料の場合に重大な欠点
と結び付きうろ。
素ならびに透過測定および反射測定に対して測定結果を
計画するための同じ要素を使用することば可能であるか
、しかし１つの測定法から別の測定法への移行は、多大
の交換費用を必要とする。その結果、赤外分光計は、交
換時間を使用することができず、熟練者の作業時間に拘
束される１、更に、１つの測定法から別の測定法へ変え
る場合には、著しし・停止時間を生じるので、短命の試
料の連続的測定は、不可能であるか又は大きい困難を伴
なってのみ可能でル〕ろ。最後に、光学要素の交換は、
必然的に光路の変化を必要とし、したがって試験すべき
試料は、連続的測定法の用台に同じ試料位置て試験され
ず、このことは、殊に不均質の試料の場合に重大な欠点
と結び付きうろ。
それとは異なり、本発明の課題は、透過測定及び反射４
１１ｊ定が同時又は連続的に、すなわち直接の時間的連
続で可能であり、したがって２つの測定法による同時の
又は連続的測定が同じ試料及び同じ試料位置て可能であ
ることにより、赤外分光計を得ろことである。
１１ｊ定が同時又は連続的に、すなわち直接の時間的連
続で可能であり、したがって２つの測定法による同時の
又は連続的測定が同じ試料及び同じ試料位置て可能であ
ることにより、赤外分光計を得ろことである。
この課題は、本発明によれば、光束が向けられた横断面
の同じ側に第２の検出器が光線を受容するために存在し
、この光線が試料で入射光線の方向と１つの角を形成す
る方向に反射されろことによって解決される。
の同じ側に第２の検出器が光線を受容するために存在し
、この光線が試料で入射光線の方向と１つの角を形成す
る方向に反射されろことによって解決される。
それに応じて、本発明による赤外分光計は、同時に作業
の準備かなされる２つの検出器を有し、１つの検出器に
より試料を透過する光線を検出することかでき、別の検
出器により試料で反射した光線を検出することができろ
。部分的透過性試料の場合には、２つの試験法は、完全
に同時に実施することができる。従って、このような分
光計の使用範囲は、著しく拡大されろ。
の準備かなされる２つの検出器を有し、１つの検出器に
より試料を透過する光線を検出することかでき、別の検
出器により試料で反射した光線を検出することができろ
。部分的透過性試料の場合には、２つの試験法は、完全
に同時に実施することができる。従って、このような分
光計の使用範囲は、著しく拡大されろ。
試験すべき試料が如何なる種類であって、透過及び／又
は鏡面反射又は拡散反射で作業しなければならないかど
うかによって、試料をそれを透過する光線に対して垂直
に配置するか又は入射しかつ反射した光線に対して１つ
の定められた角で配置するのが有利である。この目的の
ためには、横断面の範囲内に、試料面を光束の直線区間
に対して垂直に及び／又は入射光線の方向と反射光線の
方向との間の二等分線に対して垂直に配置することを可
能ならしめる試料ホルダーを配置することができる。
は鏡面反射又は拡散反射で作業しなければならないかど
うかによって、試料をそれを透過する光線に対して垂直
に配置するか又は入射しかつ反射した光線に対して１つ
の定められた角で配置するのが有利である。この目的の
ためには、横断面の範囲内に、試料面を光束の直線区間
に対して垂直に及び／又は入射光線の方向と反射光線の
方向との間の二等分線に対して垂直に配置することを可
能ならしめる試料ホルダーを配置することができる。
平行な光束は、光学装置中で発生させるのが好ましい。
このような平行光束は、放物面鏡で焦点が試料面内に生
じるように集束される。これは、第１に高い照射強度を
ｂ」能に１〜、第２に試験される試料範囲の正確でてき
るだけ制限された限界決定を可能にする。更に、透過信
号又は反射信号を評価ずろ場合、放出された発散光束は
、再び平行にされ、有利には検出器に衝突させるために
改めて集束されろ。しかし、測定信号を試料の直ぐ背後
で検出器に供給する二ともそのまま可能である。
じるように集束される。これは、第１に高い照射強度を
ｂ」能に１〜、第２に試験される試料範囲の正確でてき
るだけ制限された限界決定を可能にする。更に、透過信
号又は反射信号を評価ずろ場合、放出された発散光束は
、再び平行にされ、有利には検出器に衝突させるために
改めて集束されろ。しかし、測定信号を試料の直ぐ背後
で検出器に供給する二ともそのまま可能である。
入射光線及び反射光線の光路は、同じ半空間内で試料面
にわたって延ひているので、本発明の他の好ましい実施
態様の場合には、第１に平行な入射／ｌ、線を試料上で
ヒ０ントｘ節し、第２に発散する反射光束を平行にする
共通の放物線外の軸を中心にしてできる回転放物面が使
用されろ。それによって、高い光学的精密度が達成され
、光路を別々に調節する必要がなくなる。
にわたって延ひているので、本発明の他の好ましい実施
態様の場合には、第１に平行な入射／ｌ、線を試料上で
ヒ０ントｘ節し、第２に発散する反射光束を平行にする
共通の放物線外の軸を中心にしてできる回転放物面が使
用されろ。それによって、高い光学的精密度が達成され
、光路を別々に調節する必要がなくなる。
最後に、本発明による赤外分光計により、特に良好な効
果は、試料を水平面に配置することによって得ることが
できる。それによ−′）で、平らな試料を樅に置いた場
合に重力の影響下で起こりうろよ５な欠点は、回避する
ことができる。
果は、試料を水平面に配置することによって得ることが
できる。それによ−′）で、平らな試料を樅に置いた場
合に重力の影響下で起こりうろよ５な欠点は、回避する
ことができる。
全体として本発明による分光計を用いると第１に、光学
的定数を正確に同じ試料位置での同時の透過測定及び反
射測定によって完全に達成することができる。この方法
は、生産・ξラメーターの正確な保持を必要とする、例
えば珪素からなる集積回路の製造の際に特に有利である
。
的定数を正確に同じ試料位置での同時の透過測定及び反
射測定によって完全に達成することができる。この方法
は、生産・ξラメーターの正確な保持を必要とする、例
えば珪素からなる集積回路の製造の際に特に有利である
。
本発明による分光計により、この生産パラメーターの正
確な保持ならびに当面の材料特性の正確な保持は、同時
の透過測定及び反射測定によって保証ずろことかできろ
。
確な保持ならびに当面の材料特性の正確な保持は、同時
の透過測定及び反射測定によって保証ずろことかできろ
。
他の利点は、次の記載及び添付図面から明らかである。
次に、本発明を図面に示した実施例につき詳記し、詳説
する。
する。
第１に示した実施例の場合、１ｏは、分光計要素（モノ
クロメータ−又は干渉計）を示し、例えはこの分光計要
素は、この場合の当該種類の赤外分光計の場合に普通の
ものである。この光学装置は、試料とともに分光計テ
プル１】上に配置されている。分光割装素１０ば、平行
光束１２を放射し、この平行光束は、差当り第１の放物
面鏡１３上に衝突する。この場合、第１の放物面鏡１３
は、特に次になお詳説される第４の放物面鏡１４と一緒
になって共通の放物線外の軸を中心にしてできる回転放
物面１５を形成する。
クロメータ−又は干渉計）を示し、例えはこの分光計要
素は、この場合の当該種類の赤外分光計の場合に普通の
ものである。この光学装置は、試料とともに分光計テ
プル１】上に配置されている。分光割装素１０ば、平行
光束１２を放射し、この平行光束は、差当り第１の放物
面鏡１３上に衝突する。この場合、第１の放物面鏡１３
は、特に次になお詳説される第４の放物面鏡１４と一緒
になって共通の放物線外の軸を中心にしてできる回転放
物面１５を形成する。
第１の放物面鏡１３中で平行光束１２は、入射する発散
光束１６に変形され、例えばこれは第２図からも明らか
である。この場合、光束１６は、図面に図示されてない
試料ホルダーのために判り易（水平位置で存在する試料
１７上に落下する。第２図から明らかなように、入射光
束１６の軸線］８は、試料１７０表１ｎｉに対する垂直
線１９と１つの角ψを形成する。
光束１６に変形され、例えばこれは第２図からも明らか
である。この場合、光束１６は、図面に図示されてない
試料ホルダーのために判り易（水平位置で存在する試料
１７上に落下する。第２図から明らかなように、入射光
束１６の軸線］８は、試料１７０表１ｎｉに対する垂直
線１９と１つの角ψを形成する。
試料１７に入射する光束１６は、第１Ｋ試料１７を通過
する発散光束２０を発生させ、この発散光束の！１ＩＩ
Ｉ線は、入射光束１６の軸線１８と一致し、ならびにこ
の光束１６は、試料１７で反射される発散光束２１を発
生させ、この発散光束の軸線２３ば、鏡面反射光線の場
合に垂直線１９と一緒に同じ角ψを形成する３、しかし
、拡散反射光線を評価するためには、ψだけずれた角を
拡散することもできることが認められる。
する発散光束２０を発生させ、この発散光束の！１ＩＩ
Ｉ線は、入射光束１６の軸線１８と一致し、ならびにこ
の光束１６は、試料１７で反射される発散光束２１を発
生させ、この発散光束の軸線２３ば、鏡面反射光線の場
合に垂直線１９と一緒に同じ角ψを形成する３、しかし
、拡散反射光線を評価するためには、ψだけずれた角を
拡散することもできることが認められる。
第１図及び第２図による本発明による分光計は、第１の
光学的光線案内要素及び透過信号を検出するだめの検出
器を有し、同時に第２の光学的光線案内要素及び反射信
号を検出するための検出器を有する。
光学的光線案内要素及び透過信号を検出するだめの検出
器を有し、同時に第２の光学的光線案内要素及び反射信
号を検出するための検出器を有する。
前記した第１の要素は、本発明による分光計の簡単な実
施で第１の検出器２４によって図示することができ、こ
の第１の検出器は、試料１７の直ぐ下に存在し、透過す
る発散光束２０を直接に受容する。
施で第１の検出器２４によって図示することができ、こ
の第１の検出器は、試料１７の直ぐ下に存在し、透過す
る発散光束２０を直接に受容する。
しかし、正確な測定を実施するため及び光学検出器の表
面上での高り信号密度を得るために、本発明の他の好ま
しい実施態様で光束２０は、第２の放物面鏡２５中で再
び平行にされ、したがって平行光束２６は生じ、この平
行光束は、ント調節される。
面上での高り信号密度を得るために、本発明の他の好ま
しい実施態様で光束２０は、第２の放物面鏡２５中で再
び平行にされ、したがって平行光束２６は生じ、この平
行光束は、ント調節される。
同時に、発散する反射光束２１ば、先に既述した第４の
放物面鏡１４によって平行にされ、したがって平行光束
２９は生じ、この平行光束は、第５の放物面鏡３０によ
って第２の検出器３１上にピント調節されろ。
放物面鏡１４によって平行にされ、したがって平行光束
２９は生じ、この平行光束は、第５の放物面鏡３０によ
って第２の検出器３１上にピント調節されろ。
第１図に図示された検出器２４．２８．３１が図面に図
示されてない、自体公知の電子的評価要素に接続されて
いることは、勿論のことである。
示されてない、自体公知の電子的評価要素に接続されて
いることは、勿論のことである。
第１図の斜視図から容易に認められるように、こうして
透過法及び反射法での同時の又は連続的測定は可能であ
る。この場合には、如何なる交換も必要ではない。それ
というのも、透過光線及び反射光線の光路（上、同時に
起こり、同時に評価可能であるからである。その結果、
光学要素を交換ずろ必要もな（、試料１７を１つの測定
位置から別の測定位置へ移す必要もなく、したがって試
料１７は、正確に同じ６ｒ置で２つの測定法により試験
される。
透過法及び反射法での同時の又は連続的測定は可能であ
る。この場合には、如何なる交換も必要ではない。それ
というのも、透過光線及び反射光線の光路（上、同時に
起こり、同時に評価可能であるからである。その結果、
光学要素を交換ずろ必要もな（、試料１７を１つの測定
位置から別の測定位置へ移す必要もなく、したがって試
料１７は、正確に同じ６ｒ置で２つの測定法により試験
される。
光学的光線案内要素、殊に放物面鏡１３．１４゜２５．
２７．３０が特に好ましい光路を例示的にのみ表わすこ
とは自明の事であり、この場合には、勿論別の光路を使
用することもできる。
２７．３０が特に好ましい光路を例示的にのみ表わすこ
とは自明の事であり、この場合には、勿論別の光路を使
用することもできる。
殊に、第１図に例示的に表わされた、水平方向に置かれ
た試料１７（これは専ら重力又は低圧によって固定され
ている）を測定する装置は好適である。傾斜して立つか
又は垂直に立つ試料１７の測定は、第１Ｋ平行九束１２
の軸を中心に分光計テーブル１１を簡易に旋回させろこ
とによって可能であるか又は光路の自体公知の再配向に
よって可能である。
た試料１７（これは専ら重力又は低圧によって固定され
ている）を測定する装置は好適である。傾斜して立つか
又は垂直に立つ試料１７の測定は、第１Ｋ平行九束１２
の軸を中心に分光計テーブル１１を簡易に旋回させろこ
とによって可能であるか又は光路の自体公知の再配向に
よって可能である。
第１図は、本発明による赤外分光計の１実施例を示す斜
視図であり、第２図は、第１図による分光３」において
試料で起こる光路を示す略図である。 １２・・・平行な入射光束、１３・・・放物面鏡、１４
・・・第４の放物面鏡、１５・・・放物線外の軸を中心
にしてできる回転放物面、１６．２１・・反射光束、１
７・・・試料、Ｊ９・・・二等分線、２０・・・透過光
束、２４．２８・・・検出器、２５・・・第２の放物面
鏡、２６．２９・・・平行光束、２７・・・第３の放物
面鏡、３０・・・第５の放物面鏡、３１・・・第２の検
出器 昭和５８年８ 月 仁 日 特許庁長官殿 １−ＩＧｌｉ−、）＊□ 昭和５８年特許願第６１○３
９号２、発明の名称 赤外分光計 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、復代理人 ６、補正の対象 但し図面の浄書（内容に変更なし） 昭和５８年 ９月 ９日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第 ６１０３９ 号２ 発明の名称 赤外分光計 ３ 補正針する者 事件との関係 特許出願人 名 称 ブルーカー・アナリューティノン工・メステヒ
ニーク・ゲゼル／ヤフト・ミント・Ｋ／ユレンクテル・
・・フノング４復代理人 ５、 補正シこより増加する発明数 ０６、補正の対
象 明細書の特許請求の範囲の欄および発明の詳細な説明の
欄７ 補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第４頁第２行の１を呼称」を「と呼称」と
補正する。 （３） 同第６頁第１５行〜第１６行の「光束が向け
られた」を１光束を向けた」と補正する。 （４）同第１０頁第１３行〜第１４行の１落下」を１降
下」と補正する。 １、光束を直線区間内にある、透過光線で試験すべき試
料を収容するように定められた横断面でピント調節しか
つ検出器の方向に向けて、光束を発生させる光学要素を
有する赤外分光計において、光束（１６）が向けられた
横断面の同じ側に第２の検出器（３１）が光線を受容す
るために存在し、この光線が試料（１７）で入射光線（
１６）の方向と１つの角を形成する方向に反射されるこ
とを特徴とする、赤外分光計。 ２、 試料面を光束（１６，２０）の直線区間に対して
乗直に及び／又は入射光束（１６）の方向と反射光束（
２１）の方向との間の二等分線（１９）に対して垂直に
配置することを可能ならしめる試料ホルダーが横断面の
範囲内に配置されている、特許請求の範囲第１項記載の
赤外分光計。 ３、 平行な入射光束（１２）が試料面と距離をもって
配置された放物面鏡（１３）によって試料（１７）の表
面でピント調節される、特許請求の範囲第１項又は第２
項に記載の赤外分光計。 ４４ 試料（１７）を通過する光束（２０）が直接に
検出器（２４）に衝突する、特許請求の範囲第１項〜第
３項のいずれか１項に記載の赤外分光計。 ５、 試料（１７）を通過する光束（２０）が第２の放
物面鏡（２５）に衝突し、この第２の放物面鏡がこの光
束（２０）を平行にし、第３の放物面鏡（２７）が平行
にされた光束（２６）を検出器（２８）上でピント調節
する、特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれか１項に
記載の赤外分光計。 ６、試料（１７）から反射された発散光束（２１）が第
４の放物面鏡（１４）上に衝突し、この第４の放物里鏡
が受光を平行にしかつ第５の放物面鏡（３０）の方向を
向き、この第５の放物面鏡が平行にされた光束（２９）
を第２の光学検出器（３１）上でピント調節する、特許
請求の範囲第１項〜第５項のいす！主か１項に記載の赤
外分光計。 ７、第１の放物面鏡（１３）及び第４の放物面鏡（１４
）が共通の構成要素、特に放物線外の軸を中心にしてで
きる回転放物面（１５）を特徴する特許請求の範囲第３
項又は第６項に記載の赤外分光計。 ８ 試料（１７）が試料ホルり−に対して水平方向に支
持されている、特許請求の範囲第１項〜第７項のいずれ
か１項に記載の赤外分光計。
視図であり、第２図は、第１図による分光３」において
試料で起こる光路を示す略図である。 １２・・・平行な入射光束、１３・・・放物面鏡、１４
・・・第４の放物面鏡、１５・・・放物線外の軸を中心
にしてできる回転放物面、１６．２１・・反射光束、１
７・・・試料、Ｊ９・・・二等分線、２０・・・透過光
束、２４．２８・・・検出器、２５・・・第２の放物面
鏡、２６．２９・・・平行光束、２７・・・第３の放物
面鏡、３０・・・第５の放物面鏡、３１・・・第２の検
出器 昭和５８年８ 月 仁 日 特許庁長官殿 １−ＩＧｌｉ−、）＊□ 昭和５８年特許願第６１○３
９号２、発明の名称 赤外分光計 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、復代理人 ６、補正の対象 但し図面の浄書（内容に変更なし） 昭和５８年 ９月 ９日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第 ６１０３９ 号２ 発明の名称 赤外分光計 ３ 補正針する者 事件との関係 特許出願人 名 称 ブルーカー・アナリューティノン工・メステヒ
ニーク・ゲゼル／ヤフト・ミント・Ｋ／ユレンクテル・
・・フノング４復代理人 ５、 補正シこより増加する発明数 ０６、補正の対
象 明細書の特許請求の範囲の欄および発明の詳細な説明の
欄７ 補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第４頁第２行の１を呼称」を「と呼称」と
補正する。 （３） 同第６頁第１５行〜第１６行の「光束が向け
られた」を１光束を向けた」と補正する。 （４）同第１０頁第１３行〜第１４行の１落下」を１降
下」と補正する。 １、光束を直線区間内にある、透過光線で試験すべき試
料を収容するように定められた横断面でピント調節しか
つ検出器の方向に向けて、光束を発生させる光学要素を
有する赤外分光計において、光束（１６）が向けられた
横断面の同じ側に第２の検出器（３１）が光線を受容す
るために存在し、この光線が試料（１７）で入射光線（
１６）の方向と１つの角を形成する方向に反射されるこ
とを特徴とする、赤外分光計。 ２、 試料面を光束（１６，２０）の直線区間に対して
乗直に及び／又は入射光束（１６）の方向と反射光束（
２１）の方向との間の二等分線（１９）に対して垂直に
配置することを可能ならしめる試料ホルダーが横断面の
範囲内に配置されている、特許請求の範囲第１項記載の
赤外分光計。 ３、 平行な入射光束（１２）が試料面と距離をもって
配置された放物面鏡（１３）によって試料（１７）の表
面でピント調節される、特許請求の範囲第１項又は第２
項に記載の赤外分光計。 ４４ 試料（１７）を通過する光束（２０）が直接に
検出器（２４）に衝突する、特許請求の範囲第１項〜第
３項のいずれか１項に記載の赤外分光計。 ５、 試料（１７）を通過する光束（２０）が第２の放
物面鏡（２５）に衝突し、この第２の放物面鏡がこの光
束（２０）を平行にし、第３の放物面鏡（２７）が平行
にされた光束（２６）を検出器（２８）上でピント調節
する、特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれか１項に
記載の赤外分光計。 ６、試料（１７）から反射された発散光束（２１）が第
４の放物面鏡（１４）上に衝突し、この第４の放物里鏡
が受光を平行にしかつ第５の放物面鏡（３０）の方向を
向き、この第５の放物面鏡が平行にされた光束（２９）
を第２の光学検出器（３１）上でピント調節する、特許
請求の範囲第１項〜第５項のいす！主か１項に記載の赤
外分光計。 ７、第１の放物面鏡（１３）及び第４の放物面鏡（１４
）が共通の構成要素、特に放物線外の軸を中心にしてで
きる回転放物面（１５）を特徴する特許請求の範囲第３
項又は第６項に記載の赤外分光計。 ８ 試料（１７）が試料ホルり−に対して水平方向に支
持されている、特許請求の範囲第１項〜第７項のいずれ
か１項に記載の赤外分光計。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光束を直線区間内にある、透過光線で試験すべき試
料を収容するように定められた横断面でピント調節しか
つ検出器の方向に向けて、光束を発生させる光学要素を
有する赤外分光計において、光束（１６）か向けられた
横断面の同じ側に第２の検出器（３１）が光線を受容す
るために存在し、この光線が試料（１７）で入射光線（
１６）の方向と１つの角を形成ずろ方向に反射されるこ
とを特徴とする、赤外分光計。 ２、 横断面の範囲内で試料面を光束（１６，２０）の
直線区間に対して垂直に及び／又は入射光束（１６）の
方向と反射光束（２１）の方向との間の二等分線（１９
）に対して垂直に配置することを可能ならしめる試料ホ
ルダーが配置すれている、特許請求の範囲第１項記載の
赤外分光計。 ３、 平行な入射光束（１２）が試料面と距離をもって
配置された放物面鏡（Ｉ３）によって試料（１７）の表
面でヒ゛ント調節される、特許請求の範囲第１項又は第
２項に記載の赤外分光計。 ４ 試料（１７）を通過する光束（２０）が直接に検出
器（２４）に衝突する、特許請求の範囲第１項〜第３項
のいずれか１項に記載の赤外分光計っ ５ 試料（１７）を通過する光束（２０）が第２の放物
面鏡（２５）に衝突し、この第２の放物面鏡がこの光束
（２０）を平行にし、第３の放物面鏡（２７）か平行に
された光束（２６）を検出器（２８）上でピント調節す
る、特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれか１項に記
載の赤外分光計。 ６ 試料（１７）から反射された発散）し束（２１）か
第４の放物面鏡（１４）上に衝突し、この第４の放物明
鏡が受光を平行にしかつ第５の放物面鏡（３０）の方向
を向き、この第５の放物面鏡が平行にされた光束（２９
）を第２の光学検出器（３１）上でピント調節する、特
許請求の範囲第１項〜第５項のいずれ力司項に記載の赤
外分光計。 ７゜ 第１の放物面鏡（１３）及び第４の放物面鏡（１
４）が共通の構成要素、特に放物線外の軸を中心にして
できる回転放物面（１５）を特徴する特許請求の範囲第
３項又は第６項に記載の赤外分光計。 ８ 試料（１７）が試料ホルダーに対して水平方向に支
持されている、特許請求の範囲第１項〜第７項のいずれ
が一１項に記載の赤外分光計。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE32135335 | 1982-04-10 | ||
| DE19823213533 DE3213533A1 (de) | 1982-04-10 | 1982-04-10 | Infrarot-spektrometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5926022A true JPS5926022A (ja) | 1984-02-10 |
Family
ID=6160792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58061039A Pending JPS5926022A (ja) | 1982-04-10 | 1983-04-08 | 赤外分光計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5926022A (ja) |
| DE (1) | DE3213533A1 (ja) |
| FR (1) | FR2524982A1 (ja) |
| GB (1) | GB2119507A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
| US4602160A (en) * | 1983-09-28 | 1986-07-22 | Sentrol Systems Ltd. | Infrared constituent analyzer and control system |
| US4786169A (en) * | 1985-08-08 | 1988-11-22 | Nicolet Instrument Corporation | Optical analytical instrument for testing the transmission and reflection of a sample |
| WO2002059584A2 (en) * | 2000-12-29 | 2002-08-01 | Chromagen, Inc. | Scanning spectrophotometer for high throughput fluorescence detection |
| DE102007037863A1 (de) * | 2007-08-10 | 2009-02-12 | Hans Joachim Bruins | Messeinrichtung und Verfahren zur spektroskopischen Untersuchung einer Probe |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3499716A (en) * | 1966-05-27 | 1970-03-10 | Us Navy | Wide range absolute reflectometer |
| FR1551202A (ja) * | 1967-11-15 | 1968-12-27 | ||
| DE2047952C3 (de) * | 1970-09-30 | 1973-10-18 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren zur photometrischen Auswertung der sich bei der Auftrennung von Substanz gemischen in dünnen Schichten aus licht streuendem Material ergebenden Zonen |
| GB1449565A (en) * | 1973-03-20 | 1976-09-15 | Dihaco Diamanten Handels Co | Apparatus for establishing the valuation data of gems parti cularly cut diamonds |
| CA1051218A (en) * | 1973-12-28 | 1979-03-27 | Nekoosa Edwards Paper Company | Measurement of paper optical properties using reflectance and transmittance means |
| US3992100A (en) * | 1974-02-04 | 1976-11-16 | Nekoosa Papers Inc. | Paper machine optical monitoring device with integral standardizing optical window |
| JPS5123795A (ja) * | 1974-08-21 | 1976-02-25 | Shimadzu Corp | |
| GB1547401A (en) * | 1976-01-12 | 1979-06-20 | Nekoosa Papers Inc | Measurement of optical properties of sheet material |
| JPS5329798A (en) * | 1976-08-31 | 1978-03-20 | Shimadzu Corp | Densitometer |
| US4120582A (en) * | 1976-10-27 | 1978-10-17 | Donnelly Mirrors, Inc. | Light reflectivity and transmission testing apparatus and method |
-
1982
- 1982-04-10 DE DE19823213533 patent/DE3213533A1/de not_active Ceased
-
1983
- 1983-04-07 GB GB08309384A patent/GB2119507A/en not_active Withdrawn
- 1983-04-08 FR FR8305778A patent/FR2524982A1/fr not_active Withdrawn
- 1983-04-08 JP JP58061039A patent/JPS5926022A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8309384D0 (en) | 1983-05-11 |
| GB2119507A (en) | 1983-11-16 |
| FR2524982A1 (fr) | 1983-10-14 |
| DE3213533A1 (de) | 1983-10-20 |
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