JPS59226600A - 超音波探触子 - Google Patents

超音波探触子

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JPS59226600A
JPS59226600A JP58102024A JP10202483A JPS59226600A JP S59226600 A JPS59226600 A JP S59226600A JP 58102024 A JP58102024 A JP 58102024A JP 10202483 A JP10202483 A JP 10202483A JP S59226600 A JPS59226600 A JP S59226600A
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ultrasonic probe
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thermosetting resin
sound
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Masami Kawabuchi
川「淵」 正己
Takayoshi Saito
孝悦 斉藤
Keisaku Yamaguchi
恵作 山口
Keiji Iijima
飯島 啓司
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/002Devices for damping, suppressing, obstructing or conducting sound in acoustic devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
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    • G10K11/165Particles in a matrix

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、医用超音波診断装置に用いられ、音波の送受
波を司る超音波探触子に関するものである。
、従来例の構成とその問題点 医用超音波診断装置には、その目的により種々の形式の
ものがあり、当然の事ながらそれに用いられる超音波探
触子にも種々の形式がある。
代表的な超音波探触子としては、1枚の円形圧電振動子
を用いる単一型超音波探触子、短冊状の微小圧電振動子
を多数個置数上に配列しt−、アレイ型超音波探触子な
どがある。これらの探触子の構成は基本的には同一であ
るため、アレイ型超音波探触子を例に、従来例を説明す
る。
第1図は、プレイ型超音波探触子の構成例を示したもの
で、舘電セラミック等を用いた圧電振動子1の被検体(
図示せず)側に、音波を能率よく被検体に導くための1
層もしくは2層の音響整合層2および方位分解能を向上
させるための音響レンズ3が設けられている。音響整合
層2の材料にガラス、エポキシ樹脂あるいは、エポキシ
樹脂にシリコンカーバイト等を混合したものが用いられ
音響レンズ3材料としてはシリコーンゴムなどが用いら
れている。
一方、圧電振動子1に対して、被検体側と反対側には背
面負荷4が設けられている。この背面負荷4は圧電振動
子1の機械的Qを下げ、その結果として圧電振動子1の
周波数特性を広帯域化させること、および圧電振動子1
.音響整合層2を裏打ちすることによシ、これらの部品
の機械的強度を向上させることが設置の目的である。
この背面負荷4の材料としては、従来タングステン粉末
を充填したプラスチック材やフェライトゴムなどが用い
られている。これらの材料の超音波探触子性能に係る材
料定数は、硬度(JIS−A)が86以上、音響インピ
ーダンスが約6×1o59 / crl S以上、音波
吸収係数が3庫で約1.5 d B/叫以上である。
これらの材料を背面負荷材として用いk=超音波探触子
は、機械的強びは強い反面、音響インピーダンスが約6
X10”plcrlF3以上と比較的高いため、例えば
背面負荷の無い超音波探触子に比べて約6〜1odBも
感度が下がるという欠点を有している。
これに対し、背面負荷4の材料として、シリコンコミ酸
化アルミナ等を充填したゲル状の材料を用いる場合があ
る。(特開昭67−97300号公報参照)これは、上
記材料の音響インピーダンスが1〜1.6×105y/
CMSであるため、背面負荷を設置した事による超音波
探触子の感度低下が、背面負荷のない場合に比べて約1
dB程度に収まるという利点を有する。また上記材料の
tI波吸収係数は5AIkで約1.6dB/m以上であ
るので背面負荷4の端面7からの反射は無視でき、背面
負荷材として具備しなければならない材料定数のうちの
いくつかは満足するものの、前述した如く、材料自体が
ゲル状の之め、背面負荷材が具備しなければならない重
要な材料定数のうちの硬度が低く機械的強度が前述した
フェライトゴム等を用いた超音波探触子よシも低いとい
う欠点があった。
一方、これら背面負荷材を構成する構成方法の一つに、
圧電振動子1のグラス側電極6にリード線6を接着ある
いはワイヤーポンディング法で接続した後、前述した背
面負荷材4を流し込む方法がある。8は共通電極である
。この場合、当該背面負荷材に混入した空気あわがリー
ド線6の周辺あるいはリード線6との接合付近に存在す
ることにより、例えば温度変化に対してリード線6の断
線あるいは、リード線6と電極6とのハガレなどが発生
し、非導通故障が発生する場合がある。
発明の目的 本発明は、以上のような従来の問題点を解決するために
なされたもので、背面負荷材料として機械的強度が大き
く、感度低下も少なく、音波吸収係数も背面負荷の端面
からの反射が無視し得る程度の値を持ち、かつ温度変化
に対して非導通故障の発生しない超音波探触子を提供す
るものである。
発明の構成 この目的を達成するために、本発明に係る超音波探触子
は圧電振動子、背面負荷を少なくとも有し、圧電振動子
と背面負荷の間に熱硬化性樹脂で層を形成し、前記背面
負荷が所定の硬度、音波吸収係数、音響インピーダンス
をもった材料で構成されているものである。
実施例の説明 以下、本発明の実柿例について、図面を用いて説明する
。第2図は本発明の実施例に基く超音波探触子の概観図
で、圧電振動子1の被検体側にはガラスあるいは樹脂を
用いた単厚あるいは多層の音響整合層2が、そして必要
に応じてシリコーンゴムを成形した音響レンズ3を設け
ている。圧電振動子1のプラス側電極6と、リード線6
は超音波ボンディングにより接続する。その後、比較的
粘性の低い熱硬化性樹脂、例えばエポキシ樹脂(MEl
ocs、日本ベルノックス環)を流し込み脱泡を行い所
定の硬度まで硬化させ電極6上にエポキシ層10を形成
する。この場合のエポキシ層10の厚みは超音波探触子
の応答特性(感度、距離分解能および反射)に影響が出
ない様可能な限り吻り、かつ電極とリード線の接合部分
が被覆されることが必要であるが、エポキシ層10を伝
搬する音波のλ/8以下であれば応答特性上の問題は発
生しなかった。
所定の硬度までエポキシ樹脂1oを硬化させた後、背面
負荷材9を流し込み、脱泡し、硬化させる。この背面負
荷利としては、ウレタンゴムあるいは、ウレタンゴムに
、ガラス中空体やプラスチック中空体粉末を充填したも
のを用いる。−例として国際ケミカル製ウレタンゴム(
アダブトE −陥1)の場合、音響インピーダンスは2
.1X1o55! / c、rl S 、硬度(JIS
−A)は98.音波吸収係数は3■hで2 d B /
 rmnである。丑た当該ウレタンゴムをベースに、1
00μm前後の粒径のガラス中空体を重量比で15係充
填した場合、音響インピーダンス1.7X10 y/e
ra S 、硬度(JIS−A)は98〜99で音波吸
収係数は3勘で2.6dB/爺となる。
なおウレタンゴムには硬度が約86で、音響インピーダ
ンスが約3 X 105P /crlsで、音波吸収係
数が1.5〜2程度のものもあり、これはそのまま本実
殉例の背面負荷材9として使用できる。
もちろん感度に関しては背面負荷の音響インピーダンス
が低い程望ましいが、前述したウレタンゴムをベースに
ガラス中空体の充填量を変えることによシ、硬度および
音波吸収係数f l +j・上記程度に維持したま丑音
響インピーダンスを1X105y/cvi S程度捷て
下げることができた。この場合粘性等を考慮すると工業
的には1×105y/cnISが音響インピーダンスの
下限値であり、背面負荷材9の音響インピーダンスとし
ては1〜3×1057 / crl Sであることが望
ましい。これは背面負荷の無い場合に比べて、最大約2
dBの感度低下となるが、装置設計上あるいは臨床応用
上的2dBの感度低下は許容し得るし、また従来のフェ
ライトゴム等ヲ用いたものに比べ4〜9 d B高(、
シリコン等のゲル状の背面負荷側ヲ用いた場合とほぼ同
等な感度を実現できた。なお、熱硬化性樹脂層io’l
設けた場合と、設けずに背面負荷材を流し込んだ場合の
感度差は0.4 d B以下で、粗動解能の劣化および
熱硬化性樹脂層での反射はいずれも観測されなかった。
丑た背面負荷側9の硬度は、探触子の機械的強度に直接
関係し、硬い程望ましいが、振動子面の機械的破損が実
用上問題とならない値は86(JIS−A)以上である
。ちなみに本実施例の場合、硬度的には機械的破壊に強
いとされるフェ′ライトゴム等とほぼ等しいかそれ以上
であり、またシリコンゴムのようなゲル状の背面負荷材
料用いた場合に比べ機械的強度向上が確認できた。
さらに背面負荷材9の音波吸収係数は大であればあるほ
ど背面負荷材9の厚さを薄くすることができる事は言う
寸でもないが、前述した音響インピーダンス、硬度等の
他の主要なパラメータを同時に満足させることが難しく
なる。これらの点を考慮して音波吸収係数が1.6dB
/fi以上(aRIh)(3石)の背面負荷材9を用い
た探触子を100dBの表示ダイナミックレンジをもつ
超音波診断装置に接続して使用する場合、背面負荷の端
面からの反射を無くするための厚さは20〜34咽とな
シ、超音波探触子の外形寸法を著しく大きくすることな
く構成できる。また温度変化に伴う非導通(断線)故障
の発生率は一20C,40C各1時間保持(1サイクル
)、移動時間5秒で1oサイクルの冷熱衝撃試験におい
て、熱硬化性樹脂層10がない場合は10”’−5,あ
る場合は零であり(ボンディングワイヤ数で)信頼性の
向上が確認できた。
更に、本実姉例に係る背面負荷材料は、圧電振動子、音
響整合層、音響レンズ熱硬化性樹脂層等を全て構成した
後当該材料を流し込んで製作することもでき、またあら
かじめ、当該背面負荷材料を所定の形状の型で成形して
おき、その成形された背面負荷材(ブロック)を圧電振
動子に接着して製作することも可能である。
なお上記実施例はウレタンゴムにガラス中空体を充填し
て音響インピーダンスを制御する場合について述べたが
、プラスチック中空体を充填した場合においても同様の
効果が得られた。
また、実施例においては、圧電振動子を直線状に配列し
たいわゆるアレイ型超音波探触子に適用した場合につい
て述べたが、本発明は圧電振動子が1枚の単一型超音波
探触子や弧状配列型超音波探触子などの種々の超音波探
触子に適用できることは明らかである。
発明の効果 以上のように本発明は音波を送受波する圧電振動子の音
波送受波側と反対側に熱硬化性樹脂層を介して背面負荷
を設け、前記背面負荷の音響インピーダンスを1〜3 
×1059 / crl S 、硬度(JIS−A)を
85以上、音波吸収係数を3比で、1.5dB/咽とし
たことを特徴とする超音波探触子を提供するもので、従
来導入されていたフェライトゴムあるいはゲル状の背面
負荷材料にかわる新しい背面負荷材の導入および電極と
背面負荷の間に薄い熱硬化性樹脂層を設けた事にJ、j
)、高い感度を維持したま1、機械的強度を向上させ、
かつ本発明に係る背面負荷材を導入して超音波探触子の
外形寸法を著しく大きくすることがなく、また環境試験
に対しても高い信頼性を有し、た超音波探触子が実現で
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のアレイ型超音波探触子の斜視図第2図は
本発明の一実施例に係るアレイ型超音波探触子の斜視図
である。 1・・・・・・圧電振動子、2・・・・・・音響整合層
、3・・・・・・音響レンズ、4・・・・・・背面負荷
、6・・・・・・プラス側電極、6・・・・・・リード
線、7・・・・・・背面負荷端面、8・・・・・・共通
電極、9・・・・・・背面負荷、10・・・・・・熱硬
化性樹脂層(エポキシ層)。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名 ′
手続補正書 昭和69年3 月 ノ 口 l事件の表示 昭和58年特許願第102024号 2発明の名称 超音波探触子 3補圧をする者 事イ′1との関係      特   許   出  
 願  人住 所  大阪府門真市大字門真1006番
地名 称 (582)松下電器産業株式会社代表名  
     山    下   俊   彦4代理人 〒
571 住 所  大阪府門真市大字門真1006番地松下電器
産業株式会社内 6、補正の内容 (1)明細1の特許請求の範囲を別紙の通り補正します
。 (2)明細書の第4ページ第6行目の「強び」を「強度
」と補正し捷す。 (3)同第6ページ第14行目の「単厚」を1単層」と
補正します。 (4)同第8ページ第5行目の11.5〜2程度」をr
 1.6〜2 dB/mm程度」と補正し1す。 (6)同第11ページ第18行目のr i 、 5 d
 B /mNIとしだ」をr 1.5dB、々薄板上と
した」と補正します。 2、特許請求の範囲 (1)音波を送受波する圧電振動子を備え前記圧電振動
子の音波送受波側と反対側に熱硬化性樹脂層を介して背
面負荷が設けられており、前記背面負荷は音響インピー
ダンスが1〜3 X 1059 / Cm S。 硬度(JIS−A)が86以上、音波吸収係数が3MH
zで1.a;dB、今所以上の材料定数を有することを
特徴とする超音波探触子。 (2)熱硬化性樹脂層の厚みがλ/8以下であるととを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波探触子。 (3)熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項又は第2項記載の超音波探触
子。 (4)  ウレタンゴムを背面負荷として用いたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波探、1 触子。 (6)  ウレタンゴムにガラス中空体またはプラスチ
ック中空体を充填した物質を背面負荷として用いたこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波探触子

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)音波を送受波する圧電振動子を備え前記圧電振動
    子の音波送受波側と反対側に熱硬化性樹脂層を介して背
    面負荷が設けられておシ、前記背面負荷は音響インピー
    ダンスが1〜3 X 105fl’ /crlF3  
    ・硬度(JIS−A)が86以上音波吸収係数が3石で
    1 、5 d B / rtrmの材料定数を有するこ
    とを特徴とする超音波探触子。 (2)熱硬化性樹脂層の厚みがλ/8以下であることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波探触子。 (3)熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項記載の超音波探触
    子。 (4)  ウレタンゴムを背面負荷として用いたことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波探触子。 (6)  ウレタンゴムにガラス中空体またはプラスチ
    ・り中空体を充填した物質を背面負荷として濯荒ことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項fiL載の超音波探触
    子。
JP58102024A 1983-06-07 1983-06-07 超音波探触子 Expired - Lifetime JPH0638679B2 (ja)

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DE8484303872T DE3483174D1 (de) 1983-06-07 1984-06-07 Ultraschallsende mit einem absorbierenden traeger.
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