JPS59222573A - 金属被膜の形成方法 - Google Patents
金属被膜の形成方法Info
- Publication number
- JPS59222573A JPS59222573A JP9632183A JP9632183A JPS59222573A JP S59222573 A JPS59222573 A JP S59222573A JP 9632183 A JP9632183 A JP 9632183A JP 9632183 A JP9632183 A JP 9632183A JP S59222573 A JPS59222573 A JP S59222573A
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- JP
- Japan
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- film
- chromium
- aluminum
- alloy
- metal
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C26/00—Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はアルミニウムを用いた金属被膜の形成方法に関
するものである。
するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、アルミニウム膜の形成は、半導体、セラミック等
の固体上に直接、真空蒸着法又はスパッタ法等既知の方
法によって形成されていた。一方。
の固体上に直接、真空蒸着法又はスパッタ法等既知の方
法によって形成されていた。一方。
マイクロエレクトロニクスの進展により、微細な電極が
必要とされ、上述の方法によって形成したアルシミニウ
ム月莫を、フォｊ・リソグラフィー法によって蝕刻し、
微細電極を得る方法が行われている。
必要とされ、上述の方法によって形成したアルシミニウ
ム月莫を、フォｊ・リソグラフィー法によって蝕刻し、
微細電極を得る方法が行われている。
しかるにフォトリソグラフィー法においては、現像液等
の化学処理液に酸、アルカリ等の薬品が用いられており
、これ等がアルミニウム膜を侵かすという大きな欠点を
有していた。
の化学処理液に酸、アルカリ等の薬品が用いられており
、これ等がアルミニウム膜を侵かすという大きな欠点を
有していた。
発明の目的
本発明は、アルミニウムを構成材料の一つとして使用し
、なおかつ、酸、アルカリ土類金属皮膜の形成方法を提
供することを目的とするものである。
、なおかつ、酸、アルカリ土類金属皮膜の形成方法を提
供することを目的とするものである。
発明の構成
上記目的を達成するため本発明の金属皮膜の形成方法は
、クロムまたはクロム合金、！、たばそれらのいずれか
を主成分とする金属からなる皮膜上に、アルミニウム皮
膜を形成することを特徴としたものであり、これにより
、酸、アルカリ土類金属皮膜となるものである。
、クロムまたはクロム合金、！、たばそれらのいずれか
を主成分とする金属からなる皮膜上に、アルミニウム皮
膜を形成することを特徴としたものであり、これにより
、酸、アルカリ土類金属皮膜となるものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の方法によシ形成した金属被膜の断面図
であり、アルミニウム膜１と、固体基板２との間にクロ
ム又はニッケルクロム膜をはじめとするクロム合金膜も
しくはそれ等を主成分とする金属被膜３を介在さぜた構
造となっている。
であり、アルミニウム膜１と、固体基板２との間にクロ
ム又はニッケルクロム膜をはじめとするクロム合金膜も
しくはそれ等を主成分とする金属被膜３を介在さぜた構
造となっている。
次に、なぜアルミニウム膜１と固体基板２の間にクロム
膜又はニッケルクロム膜をはじめとするクロム合金膜も
しくは、それ等を主成分とする金属膜３を介在さすこと
により、酬アルカリ性、劇酸性の膜ができるかを説明す
る。
膜又はニッケルクロム膜をはじめとするクロム合金膜も
しくは、それ等を主成分とする金属膜３を介在さすこと
により、酬アルカリ性、劇酸性の膜ができるかを説明す
る。
先ず、比較のために、アルミニウム膜を固体基板ｐＬＺ
Ｔ上に直接、真空蒸着法によって５０００〜１０，００
０人の厚さに形成したものをアルカリ性の液体に数分浸
漬した。浸漬後゛水洗し、乾燥後表面を観察すると、小
さな班点がｉ数存在し、それ等イ４を 一一アルミニウム膜が役されて、固体基板より剥離した
跡であることが判明した。
Ｔ上に直接、真空蒸着法によって５０００〜１０，００
０人の厚さに形成したものをアルカリ性の液体に数分浸
漬した。浸漬後゛水洗し、乾燥後表面を観察すると、小
さな班点がｉ数存在し、それ等イ４を 一一アルミニウム膜が役されて、固体基板より剥離した
跡であることが判明した。
次に、第１図に示したように、ｐＬＺＴからな°１
る固体基板２上にクロム膜３を５００〜１０
００への厚さに真空蒸着法によって形成した中に、同じ
方法（てより純度９９．９９％のアルミニウム膜１を′
５．０００〜１０．○○〇への厚さに形成する。そして
、これをアルカリ性の液体に数分浸漬後、水洗。
る固体基板２上にクロム膜３を５００〜１０
００への厚さに真空蒸着法によって形成した中に、同じ
方法（てより純度９９．９９％のアルミニウム膜１を′
５．０００〜１０．○○〇への厚さに形成する。そして
、これをアルカリ性の液体に数分浸漬後、水洗。
乾燥して表面を観察した。この本発明の方法による場合
は何の異常も認められなかった。更に、浸漬時間を数時
間追加したが、異常は発生しなかった。なぜこのように
なったかを明らかにするために、従来の方法と本発明に
よる方法とで新しく試料を作成して、表面から内部に向
かって、膜の元素分布を測定した。第２図は従来の方法
で形成したアルミニウム膜の元素分布であり、第３図は
本発明の方法によって形成したアルミニウム膜の元素分
布である。これ等の図で明らかなように、従来の方法で
形成したアルミニウム膜は、その表面附近が純粋なアル
ミニウムであり、そのためアルミニウム本来の性質によ
り、酸にもアルカリにも侵され易くなっている。一方７
本発明の方法により形成した金属皮膜は、その表面附近
において、純粋なアルミニウムでは無く、アルミニウム
膜１と固体基板２の間に介在させたクロム３の影響によ
り、クロム３のアルミニウム表面へ向かっての拡散に加
えて、固体基板２の構成物質である、ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ
、Ｔｉのアルミニウム表面に向かっての拡散が見られ、
合金が形成されている。以上の説明でも明らかなように
このアルミニウムの合金化により、それが本来持ってい
た、酸にも、アルカリにも弱い性質が改善されて、耐酸
性、 １ｌｉｉ′Ｉアルカリ性の強い金属被膜となった
ものである。
は何の異常も認められなかった。更に、浸漬時間を数時
間追加したが、異常は発生しなかった。なぜこのように
なったかを明らかにするために、従来の方法と本発明に
よる方法とで新しく試料を作成して、表面から内部に向
かって、膜の元素分布を測定した。第２図は従来の方法
で形成したアルミニウム膜の元素分布であり、第３図は
本発明の方法によって形成したアルミニウム膜の元素分
布である。これ等の図で明らかなように、従来の方法で
形成したアルミニウム膜は、その表面附近が純粋なアル
ミニウムであり、そのためアルミニウム本来の性質によ
り、酸にもアルカリにも侵され易くなっている。一方７
本発明の方法により形成した金属皮膜は、その表面附近
において、純粋なアルミニウムでは無く、アルミニウム
膜１と固体基板２の間に介在させたクロム３の影響によ
り、クロム３のアルミニウム表面へ向かっての拡散に加
えて、固体基板２の構成物質である、ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ
、Ｔｉのアルミニウム表面に向かっての拡散が見られ、
合金が形成されている。以上の説明でも明らかなように
このアルミニウムの合金化により、それが本来持ってい
た、酸にも、アルカリにも弱い性質が改善されて、耐酸
性、 １ｌｉｉ′Ｉアルカリ性の強い金属被膜となった
ものである。
なお、上記実施例に記したクロム、アルミニウム膜厚お
よびそれ等の純度は、これ等に限定されることは無く、
用いる固体基板、用途に応じて任意に変えることができ
る。
よびそれ等の純度は、これ等に限定されることは無く、
用いる固体基板、用途に応じて任意に変えることができ
る。
又、上記実施例においては、アルミニウムと固体基板と
の間に介在させる金属としてクロムを用いだが、ニッケ
ルクロムやアルミニウムクロムをはじめとするクロム合
金もしくは、クロム又はクロｌ、合金いずれかを主成分
とする金属であっても同様の効果が得られることは言う
寸でもないことである３゜ すなわち、クロムの代りにニッケルクロム（Ｎ ｉ：
Ｃｔ ＝８０ ： ２０ ）を２０００〜３０００人の
厚さ付着させた場合には、第４図に示すよう（（、クロ
ムがアルミニウム中に拡散し、合金化さｉｔでいるので
、上記実施例と同様の効果かあることか分る。
の間に介在させる金属としてクロムを用いだが、ニッケ
ルクロムやアルミニウムクロムをはじめとするクロム合
金もしくは、クロム又はクロｌ、合金いずれかを主成分
とする金属であっても同様の効果が得られることは言う
寸でもないことである３゜ すなわち、クロムの代りにニッケルクロム（Ｎ ｉ：
Ｃｔ ＝８０ ： ２０ ）を２０００〜３０００人の
厚さ付着させた場合には、第４図に示すよう（（、クロ
ムがアルミニウム中に拡散し、合金化さｉｔでいるので
、上記実施例と同様の効果かあることか分る。
又、上記実施例において固体基板としてＩ） Ｌ Ｚ
Ｔを用いたが、これに限定されるもので（ｄ：無く、ク
ロムと必要な接着強度が保てるものであわは、金属、半
導体、セラミック等とのような固体でも良い。
Ｔを用いたが、これに限定されるもので（ｄ：無く、ク
ロムと必要な接着強度が保てるものであわは、金属、半
導体、セラミック等とのような固体でも良い。
発明の効果
以上の説明でも明らかなように、本発明は、固体基板上
にアルミニウム膜を形成する場合において、固体基板」
−にクロムもしくはクロム合金もしくは、それらのいず
れかを主成分とする金属被膜を形成し、さらにその上に
アルミニウム皮膜を形成する／ζめ、クロムもしくはク
ロム合金、もしくは、それらのいずれかを主成分とする
金属の成分および固体基板の成分がアルミニウム中に拡
散して、合金を形成するため、アルミニウム本来の］制
酸性、耐アルカリ性が改善され、その結果、アルミニラ
ムを構成材料の一つとして使用したにもかかわらず、耐
酸性、耐アルカリ性の良い金属被膜が得られ、耐薬品性
、低コスト電極として、産業上火き々利益をもたらすも
のである。
にアルミニウム膜を形成する場合において、固体基板」
−にクロムもしくはクロム合金もしくは、それらのいず
れかを主成分とする金属被膜を形成し、さらにその上に
アルミニウム皮膜を形成する／ζめ、クロムもしくはク
ロム合金、もしくは、それらのいずれかを主成分とする
金属の成分および固体基板の成分がアルミニウム中に拡
散して、合金を形成するため、アルミニウム本来の］制
酸性、耐アルカリ性が改善され、その結果、アルミニラ
ムを構成材料の一つとして使用したにもかかわらず、耐
酸性、耐アルカリ性の良い金属被膜が得られ、耐薬品性
、低コスト電極として、産業上火き々利益をもたらすも
のである。
第１図は本発明の方法により形成した金属被膜の断面図
、第２図は従来方法のアルミニウム膜の表面から深さ方
向の元素分布を示す図、第３図および第４図はそれぞれ
本発明の方法によるアルミニウム膜の元素分布を示す図
である。 １・・・・・アルミニウム膜、２・・・・・・固体基板
、３・・・・・・クロム又はクロム合金又はそれらのい
ずれかを主成分とする金属被膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ｏ ２４ ／）８ ｔｏ １２／、３ （千り葛享体） ４図
、第２図は従来方法のアルミニウム膜の表面から深さ方
向の元素分布を示す図、第３図および第４図はそれぞれ
本発明の方法によるアルミニウム膜の元素分布を示す図
である。 １・・・・・アルミニウム膜、２・・・・・・固体基板
、３・・・・・・クロム又はクロム合金又はそれらのい
ずれかを主成分とする金属被膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ｏ ２４ ／）８ ｔｏ １２／、３ （千り葛享体） ４図
Claims (1)
- クロム寸たはクロム合金、またはそれらのいずれかを主
成分とする金属からなる皮膜上に、アルミニウム皮膜を
形成することを特徴とする金属被膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9632183A JPS59222573A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 金属被膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9632183A JPS59222573A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 金属被膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59222573A true JPS59222573A (ja) | 1984-12-14 |
Family
ID=14161745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9632183A Pending JPS59222573A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 金属被膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59222573A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0196369A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Kobe Steel Ltd | 耐食性，加工性および耐熱性に優れたＡｌ合金蒸着めっき材料，及びその製造方法 |
| JPH01188666A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-07-27 | Kobe Steel Ltd | 積層型蒸着めっき鋼板 |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9632183A patent/JPS59222573A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0196369A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Kobe Steel Ltd | 耐食性，加工性および耐熱性に優れたＡｌ合金蒸着めっき材料，及びその製造方法 |
| JPH01188666A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-07-27 | Kobe Steel Ltd | 積層型蒸着めっき鋼板 |
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