JPS59218902A - 多次元測定機 - Google Patents

多次元測定機

Info

Publication number
JPS59218902A
JPS59218902A JP9445683A JP9445683A JPS59218902A JP S59218902 A JPS59218902 A JP S59218902A JP 9445683 A JP9445683 A JP 9445683A JP 9445683 A JP9445683 A JP 9445683A JP S59218902 A JPS59218902 A JP S59218902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis direction
axis
surface plate
frame body
detection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9445683A
Other languages
English (en)
Inventor
Ichiro Mizuno
一郎 水野
Kazunori Kuraoka
倉岡 一則
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd filed Critical Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority to JP9445683A priority Critical patent/JPS59218902A/ja
Publication of JPS59218902A publication Critical patent/JPS59218902A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、被測定物の2次元的、あるいは3次几的な寸
法、輪郭等を測定する多次元71111定機の改良に関
する。
被N!If ’N物の・」法、輪郭等を2.3次元的に
I!ll定する多次元xtlI定機が多くの分野で利用
されているが、従来の多次元測定機の一般的構造は定盤
を中心部lとじで各構成部材を順次組み立てていく構成
であった。従って、種々の大きさ、形状等の被xll+
 >、i:’物の測定ができるように予め十分な測定範
囲を確保しておくためには、測定機全体が大きいもので
なければならなかった。
ところか、実際の測定では、被測定物は必ずしも大きな
ものではないことが多く、特に、Z軸方向の大きさく高
さ)は小さいことが多いものであるために、?1lll
定機全体を大型のものどしておくことは不経済となるこ
とが多かった。また、被測定物全体としては大型であっ
ても必要な測定箇所は、たとえば、特定の摺動面とか嵌
合部分の表面粗らさ、内径等だけである等1部分的δI
II定のみであることが多いにもかかわらず、被測定物
を定盤上に載置するために測定機全体を大型化せざるを
得ないものであった。
更に、構造がこのように大型化するので、Δ11定精度
保証のための技術的負担も大きくなり、運搬や組立て等
も困難なものであった。
また、定盤と測定子との位置関係が測定機本体の構造に
より予め所定範囲内に制限されているため、fllll
定可能な被測定物の形状や大きさに制約を受けやすいと
いう利用」−の欠点を有していた。しか、も、被測定物
の定盤上へ成句けや取外しに手間がかかり、特に、被測
定物が大型のものである場合には所定位置への搬入、搬
出も困難で自動化も容易ではなかった。また、測定姿勢
も制約され、これらの点から作業性の低いものであった
本発明は、このような従来構造の有する種々の欠点が、
被測定物を測定機に設けられた定盤上に載1〆1させて
2.3次元的測定をしなければならないという固定観念
より生ずるものであり、また、2.3次元的測定に際し
ては、必要なのは定盤」−からの絶対的=J法ではなく
、測定各所のHわば相対的・J/)、であるという点に
着目してなされたものである。
即ち、本発明の目的は、構造が簡易で小型化も容易であ
り、紅1h的負担が少なく、しかも、作業性にも優れた
多次元7111定機を提供するにある。
そのため本発明は、定盤上あるいは被測定物−に′Aに
適宜載置可能な枠体に、例えばタンチ信壮プローブの先
端等の被all定物に当接して信号を生じさl−る1l
ll+定子あるい1;L被測定物に単に当接するだHの
λ11定了を、互いに直交するX、Y、Zab方向の名
々に移動可能に支持させるとともに、前記flll定子
のX、Y、Z軸方向の各々の移動変位量を検出するX@
力方向Y軸方向、Z軸方向変位検出装置と、を設けて、
これにより1通常とこの作業所にでもある定盤に、ある
いは定盤上に載置された被測定物自体の上に前記枠体を
載置させ、測定子の3次元的移動により被測定物の必要
箇所を測定するようにして前記目的を達成しようとする
ものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図には本発明に係る多次元測定機の第1実施例が示
され、図中、定a I JZには可搬型の(運搬可能な
)枠体2が載置されている。
枠体2は、第1、第2のX軸シール3.4と第1、第2
の支脚5.6と、複数の連結体7と、から構成されてい
る。第1.第2のX軸シール3.4は各々X軸方向に沿
って配された長尺な軸材等であり、たとえば第1のX軸
シール3は1木で第2のX軸シール4は圧いに平行な2
木とされる等している。また、これらX軸シール3.4
は前記支脚5.6に両端が固定されている。支脚5.6
は汁々略コ字型形状とされており、両端部に前記X軸シ
ール3.4の各々の両端部が固定された状!/1:とな
っている。
2つの支脚5.6は両端側において連結体7を介して各
々連結されており、これにより、第1、第2のX軸シー
ル3.4は所定間隔(前記連結体7のI4さに対応した
間隔)を隔てて互いに平行に固定され、また、枠体2は
全体として直角四辺形1大に構成されている。
前記第1の支脚5の下端面の長手方向略中央位;rゞI
には所定の長さの平面状の載置部8が形成され、一方、
前記第2の支脚6の下端面の長平方向両端側には各々前
記載置部8と同様に平面状の載置部9、loが形成され
ており、従って、枠体2Ll 3箇所の載置部8〜1o
において前記定盤1−1−に載置されている。また、載
置部8と載置部9゜IOとはlLいに一+i−行に配置
されている。
前記第1 、 ’A 2 (7) X軸シール3.4間
ニハ第1のスライダ11がX eb力方向泊って移動可
能に渡架されている。第1のスライダ11は、両端側に
第1.第2の移動体12.13を各々有し、第1の移動
体12は第1のX軸シール3に移動o(能に支持され1
g:fS2の移動体13は第2のX軸シール4に移動口
f能に支持されている。また、2つの移動体12.13
はY軸シール14により互いに連結されている。Y軸シ
ール14はたとえば図中上下に所定間隔を隔てて平行に
並べられた2木の長尺な軸材より構成され、このY軸シ
ール14により前記2つの移動体重2.13は共に(同
時に)X軸方向に泊って移動可能とされている。
前記第2の移動体13には、X軸方向変位検出装置15
が備えられている。このX軸方向変位検出装置15は、
X軸シール4に対する第1のスライダ11(第2の移動
体13)の移動変位量を検出する装置であり、機械的構
造であると電気的構造であるとを問わない。変位検出装
置15が機械的構造である場合には、たとえば、X軸シ
ール4にランクが刻説されるとともに、このラックに噛
合するピニオンが第2の移動体13側に設けられCいる
等している。また、変位検出装置15が電気的構造であ
る場合にはたとえば、X軸シール4側にメインスケール
が設けられ、第2の移動体13側にはインデックススケ
ールおよびこのインデックススケールと前記メインスケ
ールとを挟持する・対の発光素f−および受光素子が備
えられる光電式エンコーグ等であってもよいし、あるい
はまた、磁気式エンコーダ等であってもよい。
また、第2の移動体13には変位検出装置15により検
出された変位量を表示するX@11方向変位j、1表小
装置16が備えられている。この表示装置16は、]1
盛扱および指針からなるアナログ表示式のものであって
もよいしデジタル表示式のものであってもよいし、ある
いはこれら画表示式が併、没されるものであってもよい
前記Y軸シール14には、第2のスライダ21かY軸方
向に治って移動可能に支持されている。
このrl’y 2のスライダ21には、Y軸方向変位検
出装置22が備えられ、この変位検出装置22によりY
軸シール14に対する第2のスライダ21の移動変位量
が検出され、この検出された価は、第2のスライダ21
に備えられたY軸方向変位量表示装置23により表示さ
れるようになっている。
Y軸方向変位検出装置22は、X軸方向変位検出装置1
5と同様に、機械的構造および電気的構造のいずれでも
よく、Y軸方向変位量表示装置23はアナログ表示式で
もデジタル表示式でも両方式の併設型でもよい。
また、第2のスライダ21にはスピンドル31がZ軸方
向に沿って移動可能に支持され、このスピンドル31の
第2のスライダ21に対するZ軸方向の移動変位量は第
2のスライダ21に備えられたX軸方向変位検出装置3
2により検出され、検出された価は、Z軸方向変位量表
示装置33により表示ネれるようになっている。また、
スピンドル31の図中下端部には測定子34が設けられ
ており、この測定子34が前記第1、第2のスライダ1
1.2■およびスピンドル31を介して前記枠体2に対
して3次元的に移動されて定盤l上に載置された被fl
lll定物(図示せず)の各測定箇所に当接されflす
るJ:う構成されている。なお、前記Z軸方向変位検出
装置32は機械的構造でもよいし゛電気的構造でもよく
、Z軸方向変位に表示装置33はアナログ表示式、デジ
タル表示式のいずれでもよいし両方式の併設型でもよい
このような本実施例によれば、定盤1」二に枠体2を載
置し、しかも、枠体2内に被測定物の被測定個所が位置
する状態で載置し、測定子34を36・元帥に移動させ
て被測定個所に当接させ、その際の測定r−34の3次
元的移動量を各検出装置15.22、および32により
検出して被alll定個所の・J−法、輪郭を測定する
こととなり、次のような効果を有している。なお、定盤
l上に被11+11定物を4に、 E’lした後に枠体
2を定盤l上に載置してもよいし、枠体2を載置した後
に被測定物を載置してもよい。
本多次元測定機は、通常どこの作業所にでもある定盤1
1−に位置して用いるものであり自らは定盤を備えてい
ないため、構造が簡易で小型化も容易であり、経済的負
担が少ない。また、軽酸であるため持ち運びにも便利で
ある。
さらに、従来は、比較的小型の被測定物を測定する場合
には被測定物に対して測定機がやや大袈裟となることが
多かったが、木実施例ではそのような事はなく、この点
からも経済的負担が少ない。
また、定盤を備えた従来構造では被測定物の定盤−1−
への搬入、搬出が困難であったが、木実施例を用いる場
合には定盤l上への被測定物の搬入、搬出の障害となる
ものが存在しないために搬入、搬出を迅速に行うことが
でき作業性に優れ、また、自動化も容易である。さらに
、測定姿勢の制約を受けにくいために、この点からも作
業性に優れている。
また、構造が簡易化されているので、測定精度保証のた
めの技術的負担が軽減されることとなり、高精度測定が
現実されやすいという効果がある。
また、各々が比較的十分な面積を有し且つ互いに平行に
配置された3個所の載置部8.9.10により枠体2が
載置されるため、載置状態が安定しており、この点から
も測定精度および作業性の向1−がはかられている。さ
らにまた、X軸シール4やY軸シール14が各々2本柱
構造である事も測足精1rjを安定化させ珪つ向−1−
させている。
次に、前記第1実施例以外の実施例につき説明するが、
前記第1実施例と同様若しくは近似する7j1分は同一
のネコ号−を用いて説明を省略若しくは簡略にする。
第2図には第2実施例が示されている。図中、被l1l
ll定物40上の枠体41は、その四隅に各々支111
1142を右しており、これら支脚42により第1、第
2のX軸シール3.4は連結体7を介して所定間隔を隔
て−CILいに平行に配置されている。
j、た、Y軸シール14は回転体43.44を介して第
1、第2の移動体12.13に連結されており、スピン
ドル31はXZ平面内において回動され得るよう構成さ
れている。即ち、測定子34の向きがxZY面内におい
て広範囲に亘り変更可能どなっている。このような第2
実施例によれば、前記第1実施例と同様の作用、効果を
奏する他、34の向きかえられるため、被測定物40の
形状等に応じて測定子34を対応させることが極めて容
易であるという効果がある。
また、前記支脚42には永久磁石を利用した被測定物4
0への固定装置が設けられており、着脱レバー43を操
作して支脚42内に内蔵された永久磁石の位置(向き)
を移動することにより、枠体2が被測定物40に着脱可
能に固定されるようになっている。したがって、装置全
体を極めて軽量化させた場合等にも、枠体2が不用意に
位置ずれ等を起こすことがないという効果がある。
第3図には第3実施例が示されている。図中、枠体51
の四隅には角部連結部材52が備えられ、これら4つの
連結部材52により第1、第2のX軸シール3.4が連
結体7を介して全体として方形枠体状となるよう連結さ
れている。各連結部材52には、各々支脚53がX軸方
向(高さ方向)に沿って移動調整可能に設けられている
。また、スピンドル31の先端側にはタッチ信号プロー
ブ54が取+jけ角度調整可能に取付けられており、こ
のタッチ信号プローブ54のプローブの、5を端がI!
I11定−r55とされている。
このような第3実施例によれば、前記ff1l実施例と
同様の作用、効果を奏する他、枠体51の定ff+1(
あるいは定a40)からの高さを所定範囲内において自
由に調整することができるため、被1111定物40′
¥の形状等に対応して11111定子55を配置さ(↓
ることが一層容易なものとなり、Hつ、測′)I:範囲
も拡大するという効果がある。また、測定r−55はタ
ンチ信、6Bプローブ54の先端部に設けられたプロー
ブ軸よりなるため、測定子55が被I!lll :il
 #Q所に当接した際にはタッチ信号が直ちに得られ、
従って、このタンチ信号に基づいて前記6変(:i 1
7i表示装置16.23.33等の表示値を停止1さぜ
る雰しで、一層高精度で速読性を備えた測>;:’作業
を行なうことが容易であるという効果がある。
また、このfiS3実施例では、例えば連結体7にはY
軸方向に沿って水準器56が、角部連結部材52にはX
軸力向に沿って水準器57が各々備えられる等しており
、枠体51を正確に水平向きに向けさせることが容易に
なされるようになっている。
また、第1.第2のスライダ11.21を特に移行操作
し易くするために、これらスライダ11.21に移行操
作用枠(操作ハンドル、把手)を設けるようにすれば便
宜である。さらにまた、スライダ11.2゛1をラック
およびピュオツ構造により移行させてもよい。
また、枠体2,41.51の形状は直角四辺形状に限ら
ず、平行四辺形状等であってもよい。
」二連のように本発明によれば、構造が簡易で小型化も
容易であり、経済的負担が少なく、しかも、作業性にも
優れた多次元測定機を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1.2、および3図は各々本発明に係る多次元測定機
の第1.2、および3実施例の全体構成を示す斜視図で
ある。 l・・・定盤、2,41.51・・・枠体、3,4・・
・X軸シール、5,6,42.53・・・支脚、7・・
・連結体、8,9.10・・・載置部、11・・・fm
lのスライダ、14・・・Y軸シール、15,22.3
2・・・X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Z軸方向変位
嫉表示装置、31・・・スピンドル、34.55・・・
測定子、40・・・被Jilt定物、54・・・タッチ
信号プローブ、56.57・・・水準器。 代理人 弁理士 木下実正 (ほか1名)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)定a1−あるいは被a11定物上等に適宜載置可
    能な枠体と、この()も体に互いに直交するX、Y、X
    軸方向の各々に移動可能に支持された測定子と、この測
    定子のX、Y、X軸方向の各々の移動変位量を検出する
    X軸方向、Y軸方向、X軸方向変位検出装置と、が備え
    られていることを特徴とする多次元測定機。 (2、特許請求の範囲第1項において、前記枠体は、X
    軸方向に配された第1.第2のX軸シールと、これらX
    軸シールを所定間隔を隔てて平行に固定する連結体と、
    これらX軸シールおよび連結体を定盤上あるいは被測定
    物」二等に載置させる複数の支脚と、をqllえている
    とともに、前記X軸シール間には、Y軸方向に沿ったY
    軸シールおよび前記X軸方向変位検出装置を有する第1
    のスライダかX軸方向に沿って移動可能に渡架され、さ
    らに、前記Y軸シールには先端側に測定子を有し11つ
    X軸方向に移動可能なスピンドルと前記X軸方向、X軸
    方向変位検出装置とを有する第2のステイタかX軸方向
    に沿って移動可能に支持されていることを特徴とする多
    次元測定機。 (3)特111請求の範囲第2項において、前記支脚は
    X軸方向に沿って移動調整可能に構成されていることを
    特徴とする多次元測定機。
JP9445683A 1983-05-27 1983-05-27 多次元測定機 Pending JPS59218902A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9445683A JPS59218902A (ja) 1983-05-27 1983-05-27 多次元測定機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9445683A JPS59218902A (ja) 1983-05-27 1983-05-27 多次元測定機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59218902A true JPS59218902A (ja) 1984-12-10

Family

ID=14110765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9445683A Pending JPS59218902A (ja) 1983-05-27 1983-05-27 多次元測定機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59218902A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4910446A (en) * 1986-06-14 1990-03-20 Renishaw Plc Coordinate positioning apparatus
US5291662A (en) * 1991-09-30 1994-03-08 Mitutoyo Corporation Simple three-dimensional measuring machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4910446A (en) * 1986-06-14 1990-03-20 Renishaw Plc Coordinate positioning apparatus
US5291662A (en) * 1991-09-30 1994-03-08 Mitutoyo Corporation Simple three-dimensional measuring machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61105414A (ja) 三次元測定機
US6418774B1 (en) Device and a method for calibration of an industrial robot
CA1286382C (en) Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor
US20090271996A1 (en) Systems and methods for calibrating a portable coordinate measurement machine
JP2004286751A (ja) 多座標測定機におけるプローブ要素の位置を検出するための装置
JPH05256602A (ja) 較正兼測定装置
WO1996036847A1 (en) Coordinate measuring machine having articulated arm
KR20040032894A (ko) 3차원 좌표 측정기용 게이지
TWI248850B (en) Determination of a movable gantry position
JP3993784B2 (ja) 多次元座標測定機の性能評価方法、多次元座標測定機の校正用ゲージ及び校正用ゲージの治具
JP2004286750A (ja) 座標軸上を移動可能なスライドの三次元位置検出装置
JPS6232302A (ja) 3次元測定方法及び装置
US4122607A (en) Instrument for measuring preformed tubes
JPS59218902A (ja) 多次元測定機
WO1996036849A1 (en) Precision angle measuring device
TW519504B (en) 3D errors measurement device and method
JP2933187B2 (ja) 三次元測定器
JPS60144601A (ja) 多次元測定機
JPH0522814Y2 (ja)
JP2586633Y2 (ja) 平面度測定機
JP2500107Y2 (ja) 計測用ジグ
JPH0413609Y2 (ja)
JPH02130408A (ja) 座標測定機
CN212482395U (zh) 一种影像测量仪
KR20100045816A (ko) 구멍 크기 및 간격 측정장치