JPS59215109A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS59215109A JPS59215109A JP8955583A JP8955583A JPS59215109A JP S59215109 A JPS59215109 A JP S59215109A JP 8955583 A JP8955583 A JP 8955583A JP 8955583 A JP8955583 A JP 8955583A JP S59215109 A JPS59215109 A JP S59215109A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- shield
- electrodes
- transducers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、中央電極における弾性表面波の反射を防止す
るためなされた弾性表面波装置に関するものである。
るためなされた弾性表面波装置に関するものである。
圧電単結晶、圧電薄膜、圧電セラミックス等の圧電体の
非線形性を利用したものや圧電膜と半導体とを組み合せ
て半導体の空乏層容量の非線形性を利用した弾性表面波
増幅器、コンポルパ、コリレータ等の弾性表面波装置が
知られている。第１図および第２図はこれらの弾性表面
波装置の従来構造を示す断面図で、１は圧電単結晶、圧
電セラミックス等から成る圧電性基板、２、３は各々く
し型形状から成る一対のトランスジューサ、４は一対の
トランスジューサ２、３間に配置され裏面電極５を含む
中央電極、６は半導体等から成る非圧電性基板、７は圧
電薄膜である。
非線形性を利用したものや圧電膜と半導体とを組み合せ
て半導体の空乏層容量の非線形性を利用した弾性表面波
増幅器、コンポルパ、コリレータ等の弾性表面波装置が
知られている。第１図および第２図はこれらの弾性表面
波装置の従来構造を示す断面図で、１は圧電単結晶、圧
電セラミックス等から成る圧電性基板、２、３は各々く
し型形状から成る一対のトランスジューサ、４は一対の
トランスジューサ２、３間に配置され裏面電極５を含む
中央電極、６は半導体等から成る非圧電性基板、７は圧
電薄膜である。
以上の構造における弾性表面波の伝播においてトランス
ジューサ２又は３から中央電極４に弾性表面波が入射し
た時、第３図のように中央電極４において反射波８が発
生するようになる。なお９は入射波である。このために
出力波形に歪が生じるので伝播特性が劣化する欠点があ
る。
ジューサ２又は３から中央電極４に弾性表面波が入射し
た時、第３図のように中央電極４において反射波８が発
生するようになる。なお９は入射波である。このために
出力波形に歪が生じるので伝播特性が劣化する欠点があ
る。
またトランスジューサ２、３と中央電極４間で、入力電
気信号が弾性表面波信号に変換されないで電磁波的な直
接波として伝播されてしまうようなフィードスルー現象
が生ずるので、この影響によっても上記のような欠点が
生じる。
気信号が弾性表面波信号に変換されないで電磁波的な直
接波として伝播されてしまうようなフィードスルー現象
が生ずるので、この影響によっても上記のような欠点が
生じる。
本発明は以上の問題に対処してなされたもので、一対の
トランスジューサと中央電極間に各々第１および第２の
シールド電極を設け、第１および第２のシールド電極の
弾性表面波伝播方向に沿った巾をｌ１、第１および第２
のシールド電極と中央電極間の距離をｌ２とした時、ｌ
１＝λ０（１／１２十ｎ１／２）、ｌ２＝λ０（１／１
２＋ｎ２／２）、（但し、ｎ１、ｎ２：整数、λ０：弾
性表面波の中心周波数の波長）、の関係をほぼ満足する
ように上記第１および第２のシールド電極を配置するこ
とにより従来欠点を除去するように構成した弾性表面波
装置を提供することを目的とするものである。以下図面
を参照して本発明実施例を説明する。
トランスジューサと中央電極間に各々第１および第２の
シールド電極を設け、第１および第２のシールド電極の
弾性表面波伝播方向に沿った巾をｌ１、第１および第２
のシールド電極と中央電極間の距離をｌ２とした時、ｌ
１＝λ０（１／１２十ｎ１／２）、ｌ２＝λ０（１／１
２＋ｎ２／２）、（但し、ｎ１、ｎ２：整数、λ０：弾
性表面波の中心周波数の波長）、の関係をほぼ満足する
ように上記第１および第２のシールド電極を配置するこ
とにより従来欠点を除去するように構成した弾性表面波
装置を提供することを目的とするものである。以下図面
を参照して本発明実施例を説明する。
第４図は本発明実施例による弾性表面波装置を示す上面
図で、第１図および第２図と同一部分は同一番号で示し
、くし型形状から成る一対のトランスジューサ２、３と
中央電極４間には各々第１のシールド電極１０および第
２のシールド電極１１が設けられる。この場合第１およ
び第２のシールド電極１０、１１の弾性表面波の伝播方
向（矢印１２Ａ、１２Ｂ）に沿った巾をｌ１、第１およ
び第２のシールド電極１０、１１と中央電極４間の距離
をｌ２とした時、 ｌ１＝λ０（１／１２＋ｎ１／２）・・・・・・（１）
ｌ２＝λ０（１／１２＋ｎ２／２）・・・・・・（２）
（但し、ｎ１、ｎ２：整数、λ０：弾性表面波の中心周
波数の波長） の関係をほぼ満足するように上記第１および第２のシー
ルド極１０、１１を配置する。
図で、第１図および第２図と同一部分は同一番号で示し
、くし型形状から成る一対のトランスジューサ２、３と
中央電極４間には各々第１のシールド電極１０および第
２のシールド電極１１が設けられる。この場合第１およ
び第２のシールド電極１０、１１の弾性表面波の伝播方
向（矢印１２Ａ、１２Ｂ）に沿った巾をｌ１、第１およ
び第２のシールド電極１０、１１と中央電極４間の距離
をｌ２とした時、 ｌ１＝λ０（１／１２＋ｎ１／２）・・・・・・（１）
ｌ２＝λ０（１／１２＋ｎ２／２）・・・・・・（２）
（但し、ｎ１、ｎ２：整数、λ０：弾性表面波の中心周
波数の波長） の関係をほぼ満足するように上記第１および第２のシー
ルド極１０、１１を配置する。
このように第１および第２のシールド電極１０、１１を
配置することにより、トランスジューサ２、３から中央
電極４に向かって入射された弾性表面波が第５図のよう
に第１あるいは第２のシールド電極１０（１１）および
中央電極４の端部Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３において反射されて
各反射波１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃが発生した時、反射波
１３Ａを基準にした時の反射波１３Ｂ、１３Ｃの各位相
ＰＢ、ＰＣは各々次式（３）、（４）のように表わすこ
とができる。
配置することにより、トランスジューサ２、３から中央
電極４に向かって入射された弾性表面波が第５図のよう
に第１あるいは第２のシールド電極１０（１１）および
中央電極４の端部Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３において反射されて
各反射波１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃが発生した時、反射波
１３Ａを基準にした時の反射波１３Ｂ、１３Ｃの各位相
ＰＢ、ＰＣは各々次式（３）、（４）のように表わすこ
とができる。
ＰＢ＝２ｌ１・２π／λ０＋π＝π／３＋２ｎ１π＋π
・・・（３）ＰＣ＝２（ｌ１＋ｌ２）・２π／λ０＝２
π／３＋２π（ｎ１＋ｎ２）＝２π／３＋２ｎπ・・・
（４） （但し、ｎ＝ｎ１＋ｎ２：整数） このため、上記各反射波１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃを合成
することによりこれら反射波の振幅はゼロになる。した
がって弾性表面波の反射波は存在しなくなる。
・・・（３）ＰＣ＝２（ｌ１＋ｌ２）・２π／λ０＝２
π／３＋２π（ｎ１＋ｎ２）＝２π／３＋２ｎπ・・・
（４） （但し、ｎ＝ｎ１＋ｎ２：整数） このため、上記各反射波１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃを合成
することによりこれら反射波の振幅はゼロになる。した
がって弾性表面波の反射波は存在しなくなる。
またトランスジューサ２、３と中央電極４間に第１およ
び第２のシールド電極１０、１１が存在することによっ
て、フィードスルー現象も軽減される。
び第２のシールド電極１０、１１が存在することによっ
て、フィードスルー現象も軽減される。
以上の説明は弾性表面波が左右のトランスジューサ２、
３によって発生し、中央電極４に入力されて、中央電極
４から電気信号が出力されるような弾性表面波コンポル
パについてであるが、弾性表面波パラメトリック増幅器
のようにポンピング信号を中央電極４に印加することに
より中央電極４に入力された弾性表面波を増幅する場合
にも同様な効果を得ることができる。
３によって発生し、中央電極４に入力されて、中央電極
４から電気信号が出力されるような弾性表面波コンポル
パについてであるが、弾性表面波パラメトリック増幅器
のようにポンピング信号を中央電極４に印加することに
より中央電極４に入力された弾性表面波を増幅する場合
にも同様な効果を得ることができる。
第６図は本発明の他の実施例を示すもので、中央電極４
がストリップ形状から成る構造を示し、上記実施例と同
様な効果を得ることができる。
がストリップ形状から成る構造を示し、上記実施例と同
様な効果を得ることができる。
第７図および第８図は本発明実施例による圧電体の構造
を示し、第７図は圧電体が圧電単結晶、圧電セラミック
等の単一材料基板１から成る場合、第８図は半導体等の
非圧電性基板６およびこの表面を覆う酸化亜鉛、窒化ア
ルミニウム等の圧電薄膜７から成る場合冫示丁ものでル
》る。
を示し、第７図は圧電体が圧電単結晶、圧電セラミック
等の単一材料基板１から成る場合、第８図は半導体等の
非圧電性基板６およびこの表面を覆う酸化亜鉛、窒化ア
ルミニウム等の圧電薄膜７から成る場合冫示丁ものでル
》る。
以上述べて明らかなように本発明によれば、一対のトラ
ンスジューサと中央電極間に各々第１および第２のシー
ルド電極を設け、第１および第２のシールド電極の弾性
表面波伝播方向に沿った巾をｌ１、第１および第２のシ
ールド電極と中央電極間の距離をｌ２とした時、ｌ１＝
λ０（１／１２＋ｎ１／２）、ｌ２＝λ０（１／１２＋
ｎ２／２）、（但し、ｎ１、ｎ２： 整数、λ０：弾性
表面波の中心周波数の波長）、の関係をほぼ満足するよ
うに上記第１および第２のシールド電極を配置するよう
に構成したものであるから、中央電極における反射波の
発生を防止することができる。これと共にフィードスル
ー現象を軽減することもできる。
ンスジューサと中央電極間に各々第１および第２のシー
ルド電極を設け、第１および第２のシールド電極の弾性
表面波伝播方向に沿った巾をｌ１、第１および第２のシ
ールド電極と中央電極間の距離をｌ２とした時、ｌ１＝
λ０（１／１２＋ｎ１／２）、ｌ２＝λ０（１／１２＋
ｎ２／２）、（但し、ｎ１、ｎ２： 整数、λ０：弾性
表面波の中心周波数の波長）、の関係をほぼ満足するよ
うに上記第１および第２のシールド電極を配置するよう
に構成したものであるから、中央電極における反射波の
発生を防止することができる。これと共にフィードスル
ー現象を軽減することもできる。
よって出力波形の歪を防止することができるので、伝播
特性の劣化を改善することができる。
特性の劣化を改善することができる。
第１図乃至第３図は従来例を示す断面図、第４図乃至第
６図はいずれも本発明実施例を示す上面図、第７図およ
び第８図は共に本発明実施例を示す断面図である。 ２、３・・・トランスジューサ、４・・・中央電極、１
０、１１・・・シールド電極、１３Ａ〜１３Ｃ・・・反
射波。 特許出願人 クラリオン株式会社 代理人 弁理士 永田 武三郎
６図はいずれも本発明実施例を示す上面図、第７図およ
び第８図は共に本発明実施例を示す断面図である。 ２、３・・・トランスジューサ、４・・・中央電極、１
０、１１・・・シールド電極、１３Ａ〜１３Ｃ・・・反
射波。 特許出願人 クラリオン株式会社 代理人 弁理士 永田 武三郎
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電体上に一対のトランスジューサおよびその両ト
ランスジューサ間に中央電極を有する弾性表面波装置に
おいて、上記一対のトランスジューサと中央電極間に各
々第１および第２のシールド電極が設けられ、第１およ
び第２のシールド電極の弾性表面波伝播方向に沿った巾
をｌ１、第１オヨヒ第２のシールド電極と中央電極間の
距離冫ｌ２とした時、 ｌ１＝λ０（１／１２＋ｎ１／２） ｌ２＝λ０（１／１２＋ｎ２／２） 但し、ｎ１、ｎ２：整数 λ０：弾性表面波の中心周波数の 波長 の関係をほぼ満足するように上記第１および第２のシー
ルド電極が配置されてなることを特徴とする弾性表面波
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8955583A JPS59215109A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8955583A JPS59215109A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59215109A true JPS59215109A (ja) | 1984-12-05 |
| JPH0223090B2 JPH0223090B2 (ja) | 1990-05-22 |
Family
ID=13974064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8955583A Granted JPS59215109A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59215109A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61296811A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP8955583A patent/JPS59215109A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61296811A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPH0473804B2 (ja) * | 1985-06-25 | 1992-11-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0223090B2 (ja) | 1990-05-22 |
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