JPS5921408A - ベリリウム薄板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばリボン形スビーデの振動板などＩｃ最
適に使用できるベリリウム薄板の製造方法に関する。

べＩＪ　ＩＪウムは、軽くて強く、また比熱が大きく熱
伝導度が良く、しかも核的性りｑが良く、さらには音の
伝播速度が速い等の利点を有した金属である。

一方、スピーカの振動板として望まれることは、再生周
波数帯域を高音域まで広げるためにヤング率Ｅが大きく
、分割振動が少しないこと、軽力１で、Ｐ１Ｈ’Ｊがあ
ることが要求されるが、ベリリウムｔｅｌ、これ等の点
を満足するものである。

しかし、べＩＪ　ＩＪウムは脆は易く、加重）イ↓の点
で著しく劣るという欠点があった。特に延性が乏しく、
常温での出処加工はほとんどできなかった。

そこで従来、ベリリウム薄板を得る手段として第１Ｎに
示すような熱１ｕｌ圧延加工や第２図に示すような蒸着
法があった。

この９ち第１図に示す熱間圧延法ロ、先ず第１工程とし
てベリリウムのインゴット１をベリリウム粉末５′とし
、第２工程として真空ホンドグレスによってベリリウム
のホットプレス中ブロック６′を形成し、第３］二程と
してこのホットプレス・ブロック６′を熱間出処加工す
ることによってベリリウムの剥板８″を形成する。

しかしながら上記第２図に示すような熱間圧延法によっ
て製愈されたベリリウムのれｔ板８″は跪は易く、ベリ
リウム粉末５′の粒径が７０μｍ前後と結晶粒が非常に
大きく、しかも結晶の方向でランダノ、で吸着ガスバ・
ｉが大きいことから、そσ）（１之爬メベ１５．ｚｚｍ
以下の薄板８″を製債することが困帥である。

１だ数十μｍの４今板８″を製造する場合には多くの圧
延回数を必要としていた。しかも第５工程におけるステ
ンレス鋼などの板の溶接部分を切り落し７、べＩＪ　リ
ウムの薄板８″ｆ、取り出す際１１Ｃ−ｆ：の落板にマ
イクロ・クラックが入ってし１う欠点があった。

またＯ１２図例示す真空蒸着法は、先ず夕１１□１１ア
ルミニウムなどの材料を用いて形成した基板２０ｆ７（
空槽２１内に設置ｉ゛シ、そ（７てこの基板２ｏにベリ
リウム或いｄベリリウム合金を所望の厚さに蒸着してこ
れ等の蒸着層２２を形成し、しかる後にエツチング等の
手段で基板２ｏを除去するととによってべＩＪ　ＩＪウ
ム或いはべＩＪ　ＩＪウム合金のみからなるン瞳板２３
を製造していた。

しかしながら第２図に示すような真空蒸着法による場合
は、その製造工程の途中に含イラされる酸化ベリリウム
などの不純物が生ぜずに高純度のべ゛　リリウノ、の洪
板２３が得らｉする。し２かしイ］ｌ′１の歩留まりが
、怖いという欠点があり、４幾械的強川が住処ベリリウ
ムと比！眩しで著しく劣るという欠点があった。

本発明は上述の如き点に鑑みてなされ／ξものでありそ
の目的とすると仁ろトま、熱間ＩＥ　＃ｊｌ；により（
０００２面）の板面に平行な配向度を少なくとも３０Ｘ
もたせで冷間Ｌ′ｆ：、処加」二を７ｉ１ｉこしたこと
によって常温で充分な延性があり、１０μｍ以Ｆの高純
度なｉｖＩ板がｔ＋＋られるベリリウム薄板の製造方法
を提供するのＩＣある。

以下本発明の一実ｈイルすの詳細を第３図に従って説明
する。

先ず第１工程としてベリリウム・インボンｌ−１をデツ
ピング２し、第２’ＪＩＶＡとしてとのベリリウムのチ
・ノヒ゛ングし／こものを１分砕３し、第３二に（“１
゛として部分４して２００メツシコ以下の粉末５とし、
第４工程としａ（空ホットプレスによってベリリウムの
ポットフ゛レス・ブロック６を造る。ｔｒ＜　ｓ　＝Ｅ
程としてこのホントプレス・ブロック５　ｆ　スｆ　７
レス鋼等の板でサンドイッチし、第６エ程としてその周
辺部分を溶接した後に熱間交叉圧延７を行ない、板面に
平行に（０００２）面の配向度を少□なくとも３０％も
たせた板厚数百μｍのベリリウＪ・の薄板８を製造する
。

次＋Ｃ第７エ程として前記工程Ｖこよって形成された薄
板８を冷間出帆ローラ９，９間に挿入して冷間圧延加工
ニし、所望の版厚、抄ＩＪえげ１０μｍ以下の高純ｍ−
のベリリウムの薄板８′が製造できる。この冷間圧延法
は、一方向一般圧延を示したが得ようとする薄板８′の
形状によって交又圧処法や多段ＩＥ処延機を用いてもよ
い。

本発明の一実Ｍｕ例は上述のとおりで、従来の熱間圧延
法ではベリリウムインゴット１からのベリリウム粉末の
粒径がＴＯμｍ前後とその結晶粒が非常に大きく、また
結晶の方向がランダムで吸着がス月が大きいので比べて
、ベリリウムのホットプレスψブロック６を熱間圧延加
工することによって、その板面に平行に（０００２）而
の配向度を少なくとも３０チ以上有するとともに結晶化
された半製品としての薄板Ｂが得られた。このように、
板ｉＴｎ　？こ平行ＶＣ（０００２）面の配向用二を少
なくとも３０％以」二、有し、しかも結晶粒が規則正し
くされているので千の後、冷間出帆ロー２９゜９間に薄
板８を挿入して冷間圧延加工して形成される薄板８′は
十分な帆性′ｆ、発揮して機械的強ＩＯ：は十分で７ｙ
Ｉ望の板厚、例えば１０μｍ以下のベリリウムの薄（反
８′が得られる。

また冷間圧延加工を繰返し行うこと（（よって助板８′
の板厚のｆ［ｉｌＪ　ｉ卸が餐易どなる。

また製造工程の途中において、従来の真空蒸着法のよう
に酸化ベリリウム等の不純物が生ずることなく高純度の
べＩＪ　ＩＪウムの薄板が得られる。

上述のように本発明は、従来よりも細かなメツシュによ
って形成されたベリリウムのホｙ）プレス・ブロックを
熱間圧延することによって（０００２）面の板面に対す
る配向度を少なくとも３０矛以」−１設けたため、常温
で充分な延性を発揮して、１０μｍ以下の筒純度な薄板
が得られる。

【図面の簡単な説明】

１”　Ｉ　Ｎは従来の熱間圧延加工法を示１７た工程図
、第２図は同じ〈従来の真空蒸着法金示した工程図、第
３図Ｖｊ本発明のベリリウム薄板の製造方法の一実施例
を示した工程図である。 １・・・ベリリウム・インゴット、２・・・ベリリウム
のチッピングしたもの、４・・・部分、６・・・ベリリ
ウムのホットプレス・ブロック、ｌ・・・熱１１ＪＩ交
叉圧延、８．８′・・・薄板、９・・・冷間圧延ローラ
。 特許出顯人　　パイオニア株式会社 −、、、−５１＝ ］−′−沼に　　ネ市　　ｊＴニ　　１（（自発）ＩＷ
甘口５８年　２月２１日 特許庁長官　名“　　イ；杉　　：？０　　夫　ｉｌｌ
、　事件の表示 昭Ｊ＋１５７年特許願　第　１２９６３６　　号２、　
発明の名称 ３、　補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 住　所　東京都目黒区目黒１丁目４番１号ｆ＋　　称（
５０１）ノ々イオニアＨ６曵会？Ｌ４、代理人 ８、　補ＩＦの内容　　　　　別紙の通り補正の内容（
特願昭５７−１２９６３６　）１、明細書、第２頁４行
に［脆４Ｊ易く、１と記載があるのを［脆く、Ｊに補正
する。 ２、明細書、第２頁ＩＯ行乃至第３頁９行に１このうち
第１図に示す熱間圧延法は、・・・・・・・・・欠点が
あった。」と記載があるのを下記のように補正する。 記 このうち第１図に示す熱間圧延法は　先ず、第一工程と
して、ベリリウムインゴット１をチッピング２し、第２
工程としてこのチッピングしたものを粉砕３シ２、第３
王程として、篩分４して２００メソシユ以下の粉末５′
とし、第４工程として真空ホントプレスによってベリリ
ウムのボノトプレスブロノク６′を造る。 第５工程としてこのホットプレスブロック６′をステン
レス鋼等の板で、サンドインチし、第６１Ｌ程としてそ
の周辺部分を溶接し、第７エ程とし゛ζ熱間圧延加工を
することによって、ベリリウムの薄板８″を形成する。 しかしながら、上記第１図に示すような熱間圧延性は、
ステンレス鋼等の板で、サンドイソ千したまま圧延を行
うため厚みの管理が非富に困難であるとともに、最終工
程でステンレス鋼等の板をベリリウム薄板から剥離する
場合、ベリリウム薄板が破損したりすることがあり、１
０μｍ以下のベリリウム薄板の製造は、不可能に近かっ
た。 ３、明細書、第３頁１８行に「しかしながら第２図に示
すような」と記載があるのを「このような」に補正する
。 ４、　明ｌ１ｌ（書、第４頁６行に「その目的とすると
ころは、」と記載がある後に［４００メソシユ以下のベ
リリウム粉末のホットプレスブロックを］の字句を挿入
する。 ５、　明細書、第４頁８行に「３０％もたせて」と記載
があるのを［−３０％以上もたせた後で、」に補正する
。 ６、　明細書、第４頁１７行に「篩分４して２００メソ
シユ」と記載があるのを「篩分４して４００メソシユ」
に補正する。 ７、　明細書、第５頁４行に「３０％もたせた」と記載
があるのを「３０％以上もたせた」に補正する。 ８、明細書、第５頁１３行乃至第６頁８行に１本発明の
一実施例は上述のとおりで、・・・・・・薄板８′が得
られる。」と記載があるのを下記のように補正する。 記 本発明の一実施例は、上述のとおりで、従来の熱間圧延
法では、ヘリリウムインゴット１から２００メソシユ以
下の粒径のベリリウム粉末をｉηで最終工程まで熱間圧
延を行いベリリウムの薄板を製造していたが、４００メ
ソシユ以下のベリリウム粉末のホンｌ−プレスブロック
６を、熱間加工することによってその板面に平行に（０
００２）面の配向度を少くとも３０％以上有した半製品
のベリリウム薄板８が得られた。ここで（０００２）面
の配向度が３０％以下であると、次の工程で破損してし
まうが、このように板面に平行に（０００２）面が、少
くとも３０％以−に有すると冷間圧延ローラ９，９間に
薄板８を挿入して、冷間圧延加工して形成される薄板８
′は、十分な延性を示して、機械的強度は十分で所望の
板厚、例えば、１０μｍ以下のへリリウム薄板８′が得
られる。 ９、　明細書、第６頁９行に「また冷間圧延加工を繰返
し行うことによって」と記載があるのを「またベリリウ
ム薄板に直接冷間圧延加工を繰返し行うために」に補正
する。 １０、明細書、第６頁１１行乃至１２行に「真空熱着法
」と記載があるのを１熱間圧延法」に補正する。 ＋１．明細書、第７頁６行に［４・・・・・・篩分」と
記載があるのを「４・・・・・・篩分」に補正する。 １２、第１図乃至第３図を別紙のように補正する。 特許出願人　　　　　　　パイオニア株式会社−Ｍ− 一へへヘハー− ↓

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ベリリウムのブロックを熱間出処加工して（０００２）
   面の板面に対する配向度が少なくとも３０％以上有する
   半製品としてのべＩＪ　ＩＪウム薄板を形成し、その１
   ０４仮に冷間圧娠加工をしてＪｇｉ望の厚さに形成する
   ことを特徴としたベリリウム薄板の製造方法。