JPS59204482A - 表面波モ−タ− - Google Patents
表面波モ−タ−Info
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- JPS59204482A JPS59204482A JP58079413A JP7941383A JPS59204482A JP S59204482 A JPS59204482 A JP S59204482A JP 58079413 A JP58079413 A JP 58079413A JP 7941383 A JP7941383 A JP 7941383A JP S59204482 A JPS59204482 A JP S59204482A
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- piezoelectric
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、効率の良い表面波モーターに関するものであ
る。
る。
（発明の背景）
従来、表面波モーターは、弾性体の・鉄伝的升伝周波数
と、亀弥・インダクタンスを會しパ屯気ロ略及び圧′Ｉ
！糸子で決まる電気的共振周波数とを圧電素子の共振ｋ
Ｕ波数に一致させる如く構成してい次。しかしこの様に
構成された表面波型モーターは効率が良くない為、高ト
ルク、高回転が得られず又、電諒容景も大きくする必要
がある等の欠点があった。
と、亀弥・インダクタンスを會しパ屯気ロ略及び圧′Ｉ
！糸子で決まる電気的共振周波数とを圧電素子の共振ｋ
Ｕ波数に一致させる如く構成してい次。しかしこの様に
構成された表面波型モーターは効率が良くない為、高ト
ルク、高回転が得られず又、電諒容景も大きくする必要
がある等の欠点があった。
（発明の目的）
本発明はこれらの欠点を解決し、高効率の表面波モータ
ーを得る事を目的とする。
ーを得る事を目的とする。
（発明の概要）
本発明は圧電素子の共振周波数でなくエネルギー吸収量
に看目し、圧１１累子のエネルギー吸収針が最大となる
周波数に、弾性体の機械的共振周波数と、電源、インダ
クタンスを含む電気回路と圧１Ｍ、素子の祇気的共振周
波数とさらに屈曲振動波の周波数とを一致若しくは略一
致させることを技術的要点としている。
に看目し、圧１１累子のエネルギー吸収針が最大となる
周波数に、弾性体の機械的共振周波数と、電源、インダ
クタンスを含む電気回路と圧１Ｍ、素子の祇気的共振周
波数とさらに屈曲振動波の周波数とを一致若しくは略一
致させることを技術的要点としている。
（実施例）
こ＼で、衣面波型モーターはリング状の形状で、第１図
及び＠２図に示す工うな構造をもっており、ローター１
と、′ＶＲＬ碓４．６が上下面にｇ 着等によって取り
つけられている圧′電体５が、接着材３で弾性体２に接
層されている弾性リング８から構成されている。電極４
はリング状に形成されており、又、電極６は第１図に示
すように分割され、さらに詳述すると屈曲揚動波長：λ
の１／２の長さに相当する部分６ ａ〜６ ｇ、 ６１
〜６ Ｇ、 １／４λの長さに相当する部分６Ｔｈ、３
／４λの長さに相当する部分６ｐに分割されており、６
ａ〜６ｇ５６１〜６ｏの小電極群に相対する圧電体は隣
りの電極に相対する圧電体とは分極方向が互いに異なる
ように分極され、（紙面の下から上に分徐されているも
のを■、紙面の上から下に分極されているものを■で表
わす）導伝性ペースト７により６８〜６ｇが一つのｗ極
にまとめられ、Ｌ端子がつけられ、又、６１〜６ｏに関
しても同様にまとめられＲ端子がつけられ、６Ｐの電極
を接地電極にするために電極４と６ｐが導伝性ペースト
７′により外周面で従続され、Ｇ端子がつけられている
。端子Ｒ−Ｇと端子１．−０間に９０° 位（３） 相の異なるｙ浦を加えると弾性体２に曲げ振励即ち屈曲
振動波が生じてローター１を回転駆動する様構成さｊ、
るものである。
及び＠２図に示す工うな構造をもっており、ローター１
と、′ＶＲＬ碓４．６が上下面にｇ 着等によって取り
つけられている圧′電体５が、接着材３で弾性体２に接
層されている弾性リング８から構成されている。電極４
はリング状に形成されており、又、電極６は第１図に示
すように分割され、さらに詳述すると屈曲揚動波長：λ
の１／２の長さに相当する部分６ ａ〜６ ｇ、 ６１
〜６ Ｇ、 １／４λの長さに相当する部分６Ｔｈ、３
／４λの長さに相当する部分６ｐに分割されており、６
ａ〜６ｇ５６１〜６ｏの小電極群に相対する圧電体は隣
りの電極に相対する圧電体とは分極方向が互いに異なる
ように分極され、（紙面の下から上に分徐されているも
のを■、紙面の上から下に分極されているものを■で表
わす）導伝性ペースト７により６８〜６ｇが一つのｗ極
にまとめられ、Ｌ端子がつけられ、又、６１〜６ｏに関
しても同様にまとめられＲ端子がつけられ、６Ｐの電極
を接地電極にするために電極４と６ｐが導伝性ペースト
７′により外周面で従続され、Ｇ端子がつけられている
。端子Ｒ−Ｇと端子１．−０間に９０° 位（３） 相の異なるｙ浦を加えると弾性体２に曲げ振励即ち屈曲
振動波が生じてローター１を回転駆動する様構成さｊ、
るものである。
第３図ｄ圧′屯体５の周数数ｆに対する比誘電率８８と
エネルギー吸収量Ｅの関係を示す図でｆｒは共振周波数
、ｆａげ反共娠周波数、ｆｏは圧電体が１χ気エネルギ
ーを効率良く吸収しかつ効率良〈振動に変換する最大エ
ネルギー吸収周数数である。上記３周波数の関係はｆ
ｒ＜ｆ ｏ＜ｆ 、となっている。
エネルギー吸収量Ｅの関係を示す図でｆｒは共振周波数
、ｆａげ反共娠周波数、ｆｏは圧電体が１χ気エネルギ
ーを効率良く吸収しかつ効率良〈振動に変換する最大エ
ネルギー吸収周数数である。上記３周波数の関係はｆ
ｒ＜ｆ ｏ＜ｆ 、となっている。
第４図は表面波モーターの駆動回路である。
９け、端子Ｒ−Ｇ間と端子Ｌ−Ｇ間で同じ電圧で、互い
に９０° 位相の異なる交流を出力する′電源であり、
１２は表面波モーターでインダクター１０ａｘｌＯｂの
インダクタンスＬ１％Ｌｌと圧電体１１ａｓ１１ｂのキ
ャパシタンスＣＩ、ＣＩで決する周波ａｔ。
に９０° 位相の異なる交流を出力する′電源であり、
１２は表面波モーターでインダクター１０ａｘｌＯｂの
インダクタンスＬ１％Ｌｌと圧電体１１ａｓ１１ｂのキ
ャパシタンスＣＩ、ＣＩで決する周波ａｔ。
（ｆ ＠＝１／ ２ ｘ ｎ 、 １／ ２ Ｋ ｍ
）で共振する。
）で共振する。
本究明に弾性体２の機械的共振周波数と、（４）
第４図に示す駆動回路の電気的共振周波数ｆ。
と、屈曲条動波の周波数とを前記キー大エネルギー吸収
周波数ｆ０に一致する様に構成する。
周波数ｆ０に一致する様に構成する。
弾性体２の機械的共振周波数はその材質の選択や形状を
種々変えることによって＝ ｙｔｈ可能であり、電気回
路の共振周波数はインダクタンスＬ１％Ｌ！を変えるこ
とによって調節可能である。また屈曲振動波の周波数は で決定される。
種々変えることによって＝ ｙｔｈ可能であり、電気回
路の共振周波数はインダクタンスＬ１％Ｌ！を変えるこ
とによって調節可能である。また屈曲振動波の周波数は で決定される。
但しＥは弾性体の弾性係数、Ｉは弾性体の弾性２次モー
メント、ρは弾性体の密度、Ａは弾性体の断面積、ａは
弾性体の外径、ｎは電極の分割数である。
メント、ρは弾性体の密度、Ａは弾性体の断面積、ａは
弾性体の外径、ｎは電極の分割数である。
従って屈曲振動波の周波数も弾性体の材質や形状や電極
の分割数を種々変えることによって′０４節可能である
。
の分割数を種々変えることによって′０４節可能である
。
尚諸条件によって上記３周波数を最大工ネルキー吸収周
波数ｆ０に完全に一致できない場合であっても略−蚊す
る様に構成することによって効率は高められる。
波数ｆ０に完全に一致できない場合であっても略−蚊す
る様に構成することによって効率は高められる。
（発明の効果）
本発明によれば効率が高い為高トルク、高回転ｔ″ｉが
可能であり電力を給供する電源容量も小さくできる利息
がある。
可能であり電力を給供する電源容量も小さくできる利息
がある。
第１図は、次面波型モーターの平面図、第２因は、表面
波型モーターの正面図、第３図は圧電体の周波数に対す
る比誘電率及びエネルギー吸収軸゛の関係を示す図、第
４図１．１表面波型モーターの駆動回路を示す図である
。 （主安部分の符号の鮫、明） １・・・ローター ２・・・弾性体３・・・接層
材 ４・・・電極５・・・圧延体 ６
・・・電極７ 、７’ −・・導伝性ペースト ８・・・弾性リング １．・・・比誘１１ＩＬ率Ｅ
・・・エネルギー吸収量 ｆｒ・・・共奈周波数 ｆｏ・・・最大エネルギー吸収周波数 ｆ、・・・反共振周波数 出 顧 人 ： 日本元学工業株式会社７１ 図 ご ２−２図 （７） 才５図 ′″７４０ 手 続 補 正 書 事件の表示昭和５８ 年 特許願第７９４１３ 号補
ＩＦをする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区丸の内３丁目２番６号４代理人 補正の対象 「明細書」 別紙の通り、全文訂正明細書１通を提出致します。 訂 正 明 細 書 １発明の名称 表面波モーター ２、特許請求の範囲 電気エネルギーを撮動のエネルギーに最も効率よく変換
しうる最大エネルギー吸収周波数に、振動部の屈曲振動
波の周波数と、振動部の機械的共振周波数と、圧電素子
を含む電気回路の共線周波数とを実質的に一致させた事
を特徴とする表面波モーター。 ３、発明の詳細な説明 （発明の技術分野） 本発明は、効率の良い表面波モーターに関するものであ
る。 （発明の背景） 従来、圧電モーターは、既に特開昭５２−２９１２９２
号公報、特開昭５５−１．２５０５２号公報などによっ
て知られているように、圧電振動子と移動体とを摩擦接
触させて、圧電振動子に高周波電気エネルギーを加える
ことにより機械的振動エネルギーを発生させ、移動体を
一方向に摩擦駆動させるものである。しかしながら、従
来の圧電モーターでは、圧電振動子を最も効率良く振動
させる高周波電気エネルギーの研究がなされていなかっ
た。そのため、圧電モーターは効率が良くない為、高ト
ルク、高回転が得られず又、電源容量を大きくする必要
がある等の欠点があった。 （発明の目的） 本発明はこれらの欠点を解決し、高効率の表面波モータ
ーを得る事を目的とする。 （発明の概要） 本発明は圧電素子のエネルギー吸収量に着目し、圧電素
子のエネルギー吸収量が最大となる周波数に、振動部の
機械的共振周波数と、電源、インダクタンスを含む電気
回路と圧電素子の電気的共振周波数とさらに屈曲振動波
の周波数とを一致若しくは略一致させることを技術的要
点としている。 （実施例） 表面波型モーターは、大別すると第１図及び第２図で示
すように、ローター１として示される移動部と、弾性リ
ング８として示される撮動部とから構成されている。こ
の弾性リング８は、電極４，６が」−下面に蒸着等によ
って取りつけられている圧電体５が、接着剤３で弾性体
２に接着されて構成されている。 電極４はリング状に形成されており、又、電極６は第１
図に示すように分割され、さらに詳述すると屈曲振動波
長：λの１／２ の長さに相当する部分６ａ〜６ｇ、６
４〜１３ｏ。 １／４λ の長さに相当する部分、６ｈ、３／４λの長
さに相当する部分６ｐに分割されており、６ａ〜６ｇ５
６ｉ〜６ｏの小電極群に相対する圧電体は隣りの電極に
相対する圧電体とは分極方向が互いに異なるように分極
され、（紙面の下から上に分極されているものを■、紙
面の上から下に分極されているものを■で表わす）導伝
性ペースト７によ、！１ｌ１６ａ〜６ｇが一つの電極に
まとめられ、Ｌ端子がつけられ、又、６１〜６ｏに関し
ても同様にまとめられＲ端子がつけられ、６ｐの電極を
接地電極にするために電極４と６ｐが導伝性ペースト７
′ により外周面で接続され、Ｇ端子がつけられてい
る。端子Ｒ−Ｇと端子Ｔ、 −Ｇ間に９０°位相の異な
る交流を加えると弾性リング８に曲げ振動即ち屈曲振動
波が生じてローター１を回転、駆動する様構成されるも
のである。 このよう々構成の表面波モーターについて、その駆動効
率を向上させる為の条件を以下に述べる。 第３図は誘電体の比誘電率ε８と周波数ｆ１及びエネル
ギー吸収量Ｅと周波数ｆとの関係を示したものである。 この図から分るように、誘電体のエネルギー吸収量Ｅの
最大値を示す周波数ｆ。は、比誘電率ε８の上方ピーク
と（４） 下方ピークを与える周波数である共振周波数ｆｒと反共
振周波数ｆａとの中間に存在している。即ち、 Ｉｏ埃り肛り）・ となる。 第４図は表面波モーターの駆動回路である。 ９は、端子Ｒ−Ｇ間と端子Ｌ−Ｇ間で同じ電圧で、互い
に９０°位相の異なる交流を出力する電源であり、１２
は表向波モーターでその駆動回路はインダクター１０ａ
、１０ｂのインダクタンスＬｌ、Ｌ２ と圧電体１１ａ
１１１ｂのキャパシタンスＣＩ、Ｃ２で決まる周波数ｆ
８ （ｆ ｅ−１／ ２ πｒ闇？、 、 １／２７ｒ４丁
Ｃ２）で共振する。 本発明は、圧電体５が誘電体の一種である点からして、
圧電体５のエネルギー吸収量の最大値も圧電体５の共振
周波数ｆｊ１ と反共振周波数ｆＪ８ との中間の周波
数ｆ′ｏ に存在するはずであるとの推定に基づき、
弾性リング８の機械的共振周波数と、第４図に示す（５
） 駆動回路の電気的共振周波数ｆｅと、屈曲振動波の周波
数とを前記最大エネルギー吸収周波数ｆ′ｏ に一致
する様に構成する。 次に、具体的に上記４つの周波数を一致させる手法につ
いて述べる。 まず、使用する圧電体５の最大エネルギー吸収周波数（
Ｉｏ は、一般にカタログ等には明記されていないが、
”ｒ七”ａ とは明記されているので１ 、、 、、ｆ’ｒ−Ｈ’、 の関係式から求める。 弾性リング８の機械的共振周波数はその材質の選択や形
状を種々変えることによって調節可能であり、電気回路
の共振周波数はインダクタンスＬＩＸ Ｌ２を変えると
とによって調節可能である。まだ弾性リング８の屈曲振
動波の周波数は で決定される。 但しＥは弾性体の弾性係数、■は弾性体の弾性２次モー
メント、ρは弾性体の密度、Ａは弾性体の断面積、ａは
弾性体の外径、ｎは電極の分割数である。 従って屈曲振動波の周波数も弾性体の材質や形状や電極
の分割数を種々変えることによって調節可能である。 尚諸条件によって上記３周波数を最大エネルギー吸収周
波数ｆ。に完全に一致できない場合であっても略一致す
る様に構成することによって効率は高められる。 （発明の効果） 本発明によれば効率が高い為高トルク、高回転数が可能
であり電力を供給する電源容量も小さくできる利点があ
る。 ４、図面の簡単な説明 第１図は、表面波型モーターの平面図、第２図は、表面
波型モーターの正面図、第３図は誘電体の周波数に対す
る比誘電率及びエネルギー吸収量の関係を示す図、第４
図は表面波型モーターの駆動回路を示す図である。 （主要部分の符号の説明） １・・・ローター ２・・・弾性体３・・・接着
材 ４・・・電極５・・・圧電体 ６
・・・電極７．７′・・・導電性ペースト ８・・・弾性リング ε８・・・比誘電率Ｅ・・・
エネルギー吸収量 ｆｒ、、、共線周波数 ｆｏ・・・最大エネルギー吸収周波数 ｆａ・・・反共檄周波数
波型モーターの正面図、第３図は圧電体の周波数に対す
る比誘電率及びエネルギー吸収軸゛の関係を示す図、第
４図１．１表面波型モーターの駆動回路を示す図である
。 （主安部分の符号の鮫、明） １・・・ローター ２・・・弾性体３・・・接層
材 ４・・・電極５・・・圧延体 ６
・・・電極７ 、７’ −・・導伝性ペースト ８・・・弾性リング １．・・・比誘１１ＩＬ率Ｅ
・・・エネルギー吸収量 ｆｒ・・・共奈周波数 ｆｏ・・・最大エネルギー吸収周波数 ｆ、・・・反共振周波数 出 顧 人 ： 日本元学工業株式会社７１ 図 ご ２−２図 （７） 才５図 ′″７４０ 手 続 補 正 書 事件の表示昭和５８ 年 特許願第７９４１３ 号補
ＩＦをする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区丸の内３丁目２番６号４代理人 補正の対象 「明細書」 別紙の通り、全文訂正明細書１通を提出致します。 訂 正 明 細 書 １発明の名称 表面波モーター ２、特許請求の範囲 電気エネルギーを撮動のエネルギーに最も効率よく変換
しうる最大エネルギー吸収周波数に、振動部の屈曲振動
波の周波数と、振動部の機械的共振周波数と、圧電素子
を含む電気回路の共線周波数とを実質的に一致させた事
を特徴とする表面波モーター。 ３、発明の詳細な説明 （発明の技術分野） 本発明は、効率の良い表面波モーターに関するものであ
る。 （発明の背景） 従来、圧電モーターは、既に特開昭５２−２９１２９２
号公報、特開昭５５−１．２５０５２号公報などによっ
て知られているように、圧電振動子と移動体とを摩擦接
触させて、圧電振動子に高周波電気エネルギーを加える
ことにより機械的振動エネルギーを発生させ、移動体を
一方向に摩擦駆動させるものである。しかしながら、従
来の圧電モーターでは、圧電振動子を最も効率良く振動
させる高周波電気エネルギーの研究がなされていなかっ
た。そのため、圧電モーターは効率が良くない為、高ト
ルク、高回転が得られず又、電源容量を大きくする必要
がある等の欠点があった。 （発明の目的） 本発明はこれらの欠点を解決し、高効率の表面波モータ
ーを得る事を目的とする。 （発明の概要） 本発明は圧電素子のエネルギー吸収量に着目し、圧電素
子のエネルギー吸収量が最大となる周波数に、振動部の
機械的共振周波数と、電源、インダクタンスを含む電気
回路と圧電素子の電気的共振周波数とさらに屈曲振動波
の周波数とを一致若しくは略一致させることを技術的要
点としている。 （実施例） 表面波型モーターは、大別すると第１図及び第２図で示
すように、ローター１として示される移動部と、弾性リ
ング８として示される撮動部とから構成されている。こ
の弾性リング８は、電極４，６が」−下面に蒸着等によ
って取りつけられている圧電体５が、接着剤３で弾性体
２に接着されて構成されている。 電極４はリング状に形成されており、又、電極６は第１
図に示すように分割され、さらに詳述すると屈曲振動波
長：λの１／２ の長さに相当する部分６ａ〜６ｇ、６
４〜１３ｏ。 １／４λ の長さに相当する部分、６ｈ、３／４λの長
さに相当する部分６ｐに分割されており、６ａ〜６ｇ５
６ｉ〜６ｏの小電極群に相対する圧電体は隣りの電極に
相対する圧電体とは分極方向が互いに異なるように分極
され、（紙面の下から上に分極されているものを■、紙
面の上から下に分極されているものを■で表わす）導伝
性ペースト７によ、！１ｌ１６ａ〜６ｇが一つの電極に
まとめられ、Ｌ端子がつけられ、又、６１〜６ｏに関し
ても同様にまとめられＲ端子がつけられ、６ｐの電極を
接地電極にするために電極４と６ｐが導伝性ペースト７
′ により外周面で接続され、Ｇ端子がつけられてい
る。端子Ｒ−Ｇと端子Ｔ、 −Ｇ間に９０°位相の異な
る交流を加えると弾性リング８に曲げ振動即ち屈曲振動
波が生じてローター１を回転、駆動する様構成されるも
のである。 このよう々構成の表面波モーターについて、その駆動効
率を向上させる為の条件を以下に述べる。 第３図は誘電体の比誘電率ε８と周波数ｆ１及びエネル
ギー吸収量Ｅと周波数ｆとの関係を示したものである。 この図から分るように、誘電体のエネルギー吸収量Ｅの
最大値を示す周波数ｆ。は、比誘電率ε８の上方ピーク
と（４） 下方ピークを与える周波数である共振周波数ｆｒと反共
振周波数ｆａとの中間に存在している。即ち、 Ｉｏ埃り肛り）・ となる。 第４図は表面波モーターの駆動回路である。 ９は、端子Ｒ−Ｇ間と端子Ｌ−Ｇ間で同じ電圧で、互い
に９０°位相の異なる交流を出力する電源であり、１２
は表向波モーターでその駆動回路はインダクター１０ａ
、１０ｂのインダクタンスＬｌ、Ｌ２ と圧電体１１ａ
１１１ｂのキャパシタンスＣＩ、Ｃ２で決まる周波数ｆ
８ （ｆ ｅ−１／ ２ πｒ闇？、 、 １／２７ｒ４丁
Ｃ２）で共振する。 本発明は、圧電体５が誘電体の一種である点からして、
圧電体５のエネルギー吸収量の最大値も圧電体５の共振
周波数ｆｊ１ と反共振周波数ｆＪ８ との中間の周波
数ｆ′ｏ に存在するはずであるとの推定に基づき、
弾性リング８の機械的共振周波数と、第４図に示す（５
） 駆動回路の電気的共振周波数ｆｅと、屈曲振動波の周波
数とを前記最大エネルギー吸収周波数ｆ′ｏ に一致
する様に構成する。 次に、具体的に上記４つの周波数を一致させる手法につ
いて述べる。 まず、使用する圧電体５の最大エネルギー吸収周波数（
Ｉｏ は、一般にカタログ等には明記されていないが、
”ｒ七”ａ とは明記されているので１ 、、 、、ｆ’ｒ−Ｈ’、 の関係式から求める。 弾性リング８の機械的共振周波数はその材質の選択や形
状を種々変えることによって調節可能であり、電気回路
の共振周波数はインダクタンスＬＩＸ Ｌ２を変えると
とによって調節可能である。まだ弾性リング８の屈曲振
動波の周波数は で決定される。 但しＥは弾性体の弾性係数、■は弾性体の弾性２次モー
メント、ρは弾性体の密度、Ａは弾性体の断面積、ａは
弾性体の外径、ｎは電極の分割数である。 従って屈曲振動波の周波数も弾性体の材質や形状や電極
の分割数を種々変えることによって調節可能である。 尚諸条件によって上記３周波数を最大エネルギー吸収周
波数ｆ。に完全に一致できない場合であっても略一致す
る様に構成することによって効率は高められる。 （発明の効果） 本発明によれば効率が高い為高トルク、高回転数が可能
であり電力を供給する電源容量も小さくできる利点があ
る。 ４、図面の簡単な説明 第１図は、表面波型モーターの平面図、第２図は、表面
波型モーターの正面図、第３図は誘電体の周波数に対す
る比誘電率及びエネルギー吸収量の関係を示す図、第４
図は表面波型モーターの駆動回路を示す図である。 （主要部分の符号の説明） １・・・ローター ２・・・弾性体３・・・接着
材 ４・・・電極５・・・圧電体 ６
・・・電極７．７′・・・導電性ペースト ８・・・弾性リング ε８・・・比誘電率Ｅ・・・
エネルギー吸収量 ｆｒ、、、共線周波数 ｆｏ・・・最大エネルギー吸収周波数 ｆａ・・・反共檄周波数
Claims (1)
- 表面波モーターの＄Ｗｔ要素の一つである圧電素子の電
気エネルギーな撮動のエネルギーに最も効率よく変俟し
うる最大エネルギー吸収周波数に、屈曲振動波の周波数
と、弾性体の機械的共振周波数と、圧電素子を含む電気
回路の共振周波数とを実質的に一致させた手を特徴とす
る表面波モーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079413A JPS59204482A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 表面波モ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079413A JPS59204482A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 表面波モ−タ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59204482A true JPS59204482A (ja) | 1984-11-19 |
Family
ID=13689176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58079413A Pending JPS59204482A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 表面波モ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59204482A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152086A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電駆動装置の使用方法 |
-
1983
- 1983-05-09 JP JP58079413A patent/JPS59204482A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152086A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電駆動装置の使用方法 |
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