JPS59194864A - インクジエツトプリントヘツド - Google Patents
インクジエツトプリントヘツドInfo
- Publication number
- JPS59194864A JPS59194864A JP6939483A JP6939483A JPS59194864A JP S59194864 A JPS59194864 A JP S59194864A JP 6939483 A JP6939483 A JP 6939483A JP 6939483 A JP6939483 A JP 6939483A JP S59194864 A JPS59194864 A JP S59194864A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- base material
- dimensional
- organosiloxane
- jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Preventing or detecting of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明はインクジェットプリンタのプリントヘッド、特
にインク粒子の安定な噴射が長期間維持されるインクジ
ェットプリントヘッドに関１する。
にインク粒子の安定な噴射が長期間維持されるインクジ
ェットプリントヘッドに関１する。
（ｂ） 技術の背景
インクジェットプリンタは非衝撃、非接触方式のプリン
タであるため低騒音であることの他晋通紙にたいする印
刷、高速走行物体や曲面への印刷あるいはカラー印刷が
可能であるこきなどのために広範囲な応用が期待されて
いる。
タであるため低騒音であることの他晋通紙にたいする印
刷、高速走行物体や曲面への印刷あるいはカラー印刷が
可能であるこきなどのために広範囲な応用が期待されて
いる。
インクジェットプリンタにおいては、制御電気信号に対
応して、定められた大きさのインク粒子が、所定の方向
に向けてプリントヘッドの噴射口から噴射されるが、こ
の噴射口周囲の表面がインれた状態を呈し、このように
して旧情しているインク層１に所定の制御信号に対応し
て噴射されたインク粒子２が接触すると両者の間で作用
する表面張力によって該噴射インク粒子の進行方向が、
たとえば第１図（ａ）に示した矢印のごとく噴射口中心
軸３から外れた方向に偏向される０このような現像によ
ってインク粒子は被印刷面の所定位置に到達せずまたそ
の大きさも一定しないため記録されるドツトの配列の乱
れや寸法の不同が生じその結果として記録されたパター
ンや文字の印刷品質が低下する。
応して、定められた大きさのインク粒子が、所定の方向
に向けてプリントヘッドの噴射口から噴射されるが、こ
の噴射口周囲の表面がインれた状態を呈し、このように
して旧情しているインク層１に所定の制御信号に対応し
て噴射されたインク粒子２が接触すると両者の間で作用
する表面張力によって該噴射インク粒子の進行方向が、
たとえば第１図（ａ）に示した矢印のごとく噴射口中心
軸３から外れた方向に偏向される０このような現像によ
ってインク粒子は被印刷面の所定位置に到達せずまたそ
の大きさも一定しないため記録されるドツトの配列の乱
れや寸法の不同が生じその結果として記録されたパター
ンや文字の印刷品質が低下する。
なお、噴射口周囲の表面に上記のような付渚インク層が
なければ、第１図（ｂ）に示すようにインク粒子かはゾ
正常な方向へ噴射される。そこで、噴射口周囲の表面を
撥水性とじ伺着インク層が生じないようにすることによ
って上記のような現像を防止することが望まれている。
なければ、第１図（ｂ）に示すようにインク粒子かはゾ
正常な方向へ噴射される。そこで、噴射口周囲の表面を
撥水性とじ伺着インク層が生じないようにすることによ
って上記のような現像を防止することが望まれている。
（ｃ） 従来技術と問題点
従来前述のような撥水性を伺与する目的で、噴射口の周
囲の表面に被膜を設けることが試みられているが、撥水
性被膜には次の特性が要求される。
囲の表面に被膜を設けることが試みられているが、撥水
性被膜には次の特性が要求される。
（１）撥水性が良いこと（臨界表面張力が低いこと）０
（１１）被膜が固く、摩れに耐えること。
（１１）被膜が固く、摩れに耐えること。
（ｉｉｌ） 被膜と基材との密着性が良いこと。
従来試みられている撥水性被膜の形成法に、シリコーン
グリース或いは弗素系低重合ポリマーを揮発性溶剤に溶
解して塗布する例、または弗素系樹脂或いはゴムの粉末
を接着剤に分散させて塗布する例などがある。
グリース或いは弗素系低重合ポリマーを揮発性溶剤に溶
解して塗布する例、または弗素系樹脂或いはゴムの粉末
を接着剤に分散させて塗布する例などがある。
しかしながら、これらの方法によって形成される被膜は
前記の特性を兼ね備えず、例えば弗素系材料においては
弗素の組成比が少なければ撥水性が不足し、弗素の組成
比を増加すれば密着性が不足して速かに減耗して撥水性
を安定して保持できないなど、目的とする効果が上記例
の如き方法によっては未だ得られていない。
前記の特性を兼ね備えず、例えば弗素系材料においては
弗素の組成比が少なければ撥水性が不足し、弗素の組成
比を増加すれば密着性が不足して速かに減耗して撥水性
を安定して保持できないなど、目的とする効果が上記例
の如き方法によっては未だ得られていない。
本願発明者等はこの問題点に対処するために、先に特願
昭５７−５９２３８号によって、プラズマ処理によって
弗素系撥水性膜を設けたインクジェットプリントヘッド
を提供し、これによって撥水性すなわちインク粒子の噴
射方向のずれ及び配減耗性を向上して、良好な災用上の
効果を得ている◇しかるにインクジェットプリンタの応
用範囲がオフィス機器等に大きく拡大されるに伴って、
撥水性被膜の機械的安定性を更に向上させることが要望
されることとなった。
昭５７−５９２３８号によって、プラズマ処理によって
弗素系撥水性膜を設けたインクジェットプリントヘッド
を提供し、これによって撥水性すなわちインク粒子の噴
射方向のずれ及び配減耗性を向上して、良好な災用上の
効果を得ている◇しかるにインクジェットプリンタの応
用範囲がオフィス機器等に大きく拡大されるに伴って、
撥水性被膜の機械的安定性を更に向上させることが要望
されることとなった。
（ｄ） 発明の目的
本発明は上記の要望に対応して、噴射口周囲の表面にイ
ンクに対する優れた撥水性が付与され、更に長期にわた
ってインク粒子の安定した噴射が保持されて高品質の印
刷が可能であるインクジェットプリントヘッドを提供す
ることを目的とする。
ンクに対する優れた撥水性が付与され、更に長期にわた
ってインク粒子の安定した噴射が保持されて高品質の印
刷が可能であるインクジェットプリントヘッドを提供す
ることを目的とする。
（ｅ） 発明の構成
本発明の前記目的は、少なくともインク粒子の噴射口周
囲の表面に、オルガノシロキサン３次元重合膜を備えて
なるインクジェットプリントヘッドにより達成される。
囲の表面に、オルガノシロキサン３次元重合膜を備えて
なるインクジェットプリントヘッドにより達成される。
なお前記噴射口が例えば金属もしくはガラ７、の如くオ
ルガノシロキサン３次元重合膜の￥Ｉｊｖｉ性を十分に
は得難い材料によって形成されている場合には、アクリ
ル系樹脂膜又はエポキシ糸樹脂膜をプライマーとして介
在させることにより十分な密着性を得ることができる。
ルガノシロキサン３次元重合膜の￥Ｉｊｖｉ性を十分に
は得難い材料によって形成されている場合には、アクリ
ル系樹脂膜又はエポキシ糸樹脂膜をプライマーとして介
在させることにより十分な密着性を得ることができる。
斐に前記オルガノシロキサン３次元重合膜は、低次のア
ルキルａｈにメチル基（ｃｎｓ−）を多く含むことによ
って撥水性が増大し、シリコン原子数の０．５倍以上の
数のメチル基を含むことが望ましい。また該オルガノシ
ロキサン３次元重合膜は有機基の増加とともに硬度が低
下するために、有機基例えば前記メチル基の数はシリコ
ン原子数の１．５倍以下であることが望ましい。
ルキルａｈにメチル基（ｃｎｓ−）を多く含むことによ
って撥水性が増大し、シリコン原子数の０．５倍以上の
数のメチル基を含むことが望ましい。また該オルガノシ
ロキサン３次元重合膜は有機基の増加とともに硬度が低
下するために、有機基例えば前記メチル基の数はシリコ
ン原子数の１．５倍以下であることが望ましい。
（ｆ） 発明の実施例
以下本発明を実施例により具体的に説明する。
本実施例においてはオルガノシロキサン３次元重合膜を
ポリジメチルシロキサン； の溶液をコーティングし、これを加熱して重縮合させる
ことによって形成している。コーティング剤としては、
例えば信越化学’ｊ！Ｘ−１２−２１００（以下コーテ
ィング剤ＡもしくはＡと略称する）或いは旭化成製デル
ペコート（以下コーティング剤ＢもしくはＢと略称する
）を用いることができるＯ またコーティングする基材が金属もしくはガラス等であ
る場合には、例えはポリメチルメタアクリレートの酢酸
メチル溶液を塗布するなどの手段によってポリメチルメ
タアクリレートなどによるプライマ一層を予め設けて、
このプライマ一層上にコーティングを行なうことが鎮咳
しい◇前記コーチインク剤を用いて、厚さ５〔μｍ〕に
形成した３次元重合膜の炭素原子（メチル基）数のシリ
コン原子数に対する比Ｃ／ Ｓ ｉは、コーティング剤
Ａについて約ｏ、ｓ、Ｂについて約１．２程度である。
ポリジメチルシロキサン； の溶液をコーティングし、これを加熱して重縮合させる
ことによって形成している。コーティング剤としては、
例えば信越化学’ｊ！Ｘ−１２−２１００（以下コーテ
ィング剤ＡもしくはＡと略称する）或いは旭化成製デル
ペコート（以下コーティング剤ＢもしくはＢと略称する
）を用いることができるＯ またコーティングする基材が金属もしくはガラス等であ
る場合には、例えはポリメチルメタアクリレートの酢酸
メチル溶液を塗布するなどの手段によってポリメチルメ
タアクリレートなどによるプライマ一層を予め設けて、
このプライマ一層上にコーティングを行なうことが鎮咳
しい◇前記コーチインク剤を用いて、厚さ５〔μｍ〕に
形成した３次元重合膜の炭素原子（メチル基）数のシリ
コン原子数に対する比Ｃ／ Ｓ ｉは、コーティング剤
Ａについて約ｏ、ｓ、Ｂについて約１．２程度である。
前記３次元重合１摸の鉛筆ｌｌｌ１！度は、コーティン
グ剤Ａについて８Ｈ，Ｈについて７Ｈ程度であって、実
用上考えられる記録紙やノズルワイパーとの摩擦に対し
て十分な硬度を有する。
グ剤Ａについて８Ｈ，Ｈについて７Ｈ程度であって、実
用上考えられる記録紙やノズルワイパーとの摩擦に対し
て十分な硬度を有する。
３次元１合膜面を５ｏ（ｔｔ／１％〕エチレングリコー
ル水浴故に浸漬してゆっくり引上げた場合に、試料とし
た１ ０ （＋＋＋＋Ｊｘ １０ ［關］の膜面への液
の付着はコーティング剤Ａ及びＢの何れを用いた場合に
も認められなかった。
ル水浴故に浸漬してゆっくり引上げた場合に、試料とし
た１ ０ （＋＋＋＋Ｊｘ １０ ［關］の膜面への液
の付着はコーティング剤Ａ及びＢの何れを用いた場合に
も認められなかった。
コーティングする基材がエポキシ樹脂である場合には直
接に、またガラスもし１はステンｌ／スである場合には
研摩紙等によって表面を荒らし、厚さ例えば１〔μｍ〕
程度の前記プライマ一層を介して、前記コーティング剤
を用いて形成した３次元重合膜について、粘着テープを
用いて引きはがし試験を行なっても剥離を認めなかった
。
接に、またガラスもし１はステンｌ／スである場合には
研摩紙等によって表面を荒らし、厚さ例えば１〔μｍ〕
程度の前記プライマ一層を介して、前記コーティング剤
を用いて形成した３次元重合膜について、粘着テープを
用いて引きはがし試験を行なっても剥離を認めなかった
。
以上説明した３次元重合膜を第２図（ａ）及び第３図（
ａ）に示すインクジェットプリントヘッドに適用実施例 第２図（ａ）において、１１はプラスチック製のプリン
トヘッド本体、１２はノズル板、１３はノズル孔すなわ
ち噴射口、１４はピエゾ振動子、１５はインク流通路で
ある。ノズル板１２はアルミナを分散含有するエポキシ
樹脂からなり、中央部に直径約６０〔μｍ〕の４０個の
ノズル孔（一部図示省略）が設けられている。
ａ）に示すインクジェットプリントヘッドに適用実施例 第２図（ａ）において、１１はプラスチック製のプリン
トヘッド本体、１２はノズル板、１３はノズル孔すなわ
ち噴射口、１４はピエゾ振動子、１５はインク流通路で
ある。ノズル板１２はアルミナを分散含有するエポキシ
樹脂からなり、中央部に直径約６０〔μｍ〕の４０個の
ノズル孔（一部図示省略）が設けられている。
また第３図（ａ）において、２１は第１のガラス板であ
り、１〔罷〕程度の厚さを有してエツチングによって２
０個のインク流通路２２（一部図示省略）が設けられて
いる０２３は第２のガラス機であり約０．２ （ｍｍ）
程願の厚さを有して第１のガラス板２１と貼り合わされ
ている。２４は第２のガラス板２３の外面に取付けられ
たピエゾ振動子（一部図示省略）である。
り、１〔罷〕程度の厚さを有してエツチングによって２
０個のインク流通路２２（一部図示省略）が設けられて
いる０２３は第２のガラス機であり約０．２ （ｍｍ）
程願の厚さを有して第１のガラス板２１と貼り合わされ
ている。２４は第２のガラス板２３の外面に取付けられ
たピエゾ振動子（一部図示省略）である。
第２図（ａｌに示す第１のプリントヘッドはノズル板１
２がエポキシ樹月旨からなるので、第２図（ｂ）の模式
断面図に示す如く、ノズル板１２面上に直接コーティン
グ剤Ｂによって３次元重合膜１６を厚さ約５〔μｍ〕に
形成する。
２がエポキシ樹月旨からなるので、第２図（ｂ）の模式
断面図に示す如く、ノズル板１２面上に直接コーティン
グ剤Ｂによって３次元重合膜１６を厚さ約５〔μｍ〕に
形成する。
また第３図（ａ）に示す第２のプリントヘッドはノズル
孔面がカラス板２１及び２３によって構成されているの
で、第３図（ｂ）の模式断面図に示す如く、厚さ約１〔
μｍ〕の前記プライマ一層２５を介してコーティング剤
Ａによって３次元重合膜２６を厚さ約５〔μｍ〕に形成
する。
孔面がカラス板２１及び２３によって構成されているの
で、第３図（ｂ）の模式断面図に示す如く、厚さ約１〔
μｍ〕の前記プライマ一層２５を介してコーティング剤
Ａによって３次元重合膜２６を厚さ約５〔μｍ〕に形成
する。
前記各’３４２／ｎ Ｎと、３次元重合膜を形成しない
それぞれのプリントヘッドについて噴射試験を実施した
結果、噴射方向が１度以上ずれる確系が各実施例はいず
れも比較試料の１／１０以下の良好な結果を得た＠ 更に前記各実施例と、前記先願発明を実施したそれぞれ
の比較試料とについて、ノズル根表面に無サイズ上質紙
面を接触させ荷重３０（ｇ／ｄ）を加えて１０（Ｃｍ）
の距離を往復摺動する耐久試験を実施した結果、比較試
料では約５００回で撥水性被膜が摩耗又は剥離し、著し
い撥水性の低下が認められたが、本発明の実施例では１
０００回摺動後も撥水性の低下は認められなかった。
それぞれのプリントヘッドについて噴射試験を実施した
結果、噴射方向が１度以上ずれる確系が各実施例はいず
れも比較試料の１／１０以下の良好な結果を得た＠ 更に前記各実施例と、前記先願発明を実施したそれぞれ
の比較試料とについて、ノズル根表面に無サイズ上質紙
面を接触させ荷重３０（ｇ／ｄ）を加えて１０（Ｃｍ）
の距離を往復摺動する耐久試験を実施した結果、比較試
料では約５００回で撥水性被膜が摩耗又は剥離し、著し
い撥水性の低下が認められたが、本発明の実施例では１
０００回摺動後も撥水性の低下は認められなかった。
（ｇ） 発明の詳細
な説明した如く本発明によれば、インクジェットプリン
トヘッドのインク粒子の噴出口周囲の表面にインクに対
する優れた撥水性を十分な耐久性をもって与えることが
でき、多様な使用、保全条件に対して長期間にわたりイ
ンク粒子の安定な噴射が維持されて高品質の印刷を保牝
できる効果がある０
トヘッドのインク粒子の噴出口周囲の表面にインクに対
する優れた撥水性を十分な耐久性をもって与えることが
でき、多様な使用、保全条件に対して長期間にわたりイ
ンク粒子の安定な噴射が維持されて高品質の印刷を保牝
できる効果がある０
第１図（ａ）及び（ｂ）はインク粒子の進行方向に対す
る噴射口周囲の表面に付着したインク層の影響を示す模
式図、第２図（ａ）は本発明の実話例のインクジェット
プリントヘッドを示す平面図、第２図（ｂ）はその９１
″細を示す模式断面図、第３図（ａ）は他の実施し１１
のインクジェットプリントヘッドを示す斜視図、第３図
（ｂ）はその詳細を示す模式断面図である。 ν１において、１１はプリントヘッド本体、１２はノズ
ル板、１３はノズル孔、１４はピエゾ振動子、１５はイ
ンク流通路、１６は３次元重合膜、２１はが１のガラス
板、２２はインク流通路、２３は第２のカラス機、２４
はピエゾ振」カ子、２５はプライマー、２６は３次元東
合瞑を示す。 第 １ 図 （（１）
（ｂン部 ２ 図 （ａ）（Ｉ）） ＩＩ ７２ ＩＩ 第 ３ 図 （幻 ４
る噴射口周囲の表面に付着したインク層の影響を示す模
式図、第２図（ａ）は本発明の実話例のインクジェット
プリントヘッドを示す平面図、第２図（ｂ）はその９１
″細を示す模式断面図、第３図（ａ）は他の実施し１１
のインクジェットプリントヘッドを示す斜視図、第３図
（ｂ）はその詳細を示す模式断面図である。 ν１において、１１はプリントヘッド本体、１２はノズ
ル板、１３はノズル孔、１４はピエゾ振動子、１５はイ
ンク流通路、１６は３次元重合膜、２１はが１のガラス
板、２２はインク流通路、２３は第２のカラス機、２４
はピエゾ振」カ子、２５はプライマー、２６は３次元東
合瞑を示す。 第 １ 図 （（１）
（ｂン部 ２ 図 （ａ）（Ｉ）） ＩＩ ７２ ＩＩ 第 ３ 図 （幻 ４
Claims (3)
- （１）少なくともインク粒子の噴射口周囲の表面に、オ
ルガノシロキサン３次元重合膜を備えてなることを特徴
とするインクジェットプリントヘッド。 - （２）前記噴射口周囲の表面と前記オルガノシロキサン
３次元重合膜との間にアクリル系樹脂膜又はエポキシ系
樹脂膜を備えてなることを特徴とする特許ｉ請求の範囲
第１項記載のインクジェットプリントヘッド。 - （３）前記オルガノシロキサン３次元重合膜が、シリコ
ン原子数の０．５倍以上でかつ１．５倍以下の数のメチ
ル基を含んでなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項又は第２項記載のインクジェットプリントヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6939483A JPS59194864A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | インクジエツトプリントヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6939483A JPS59194864A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | インクジエツトプリントヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59194864A true JPS59194864A (ja) | 1984-11-05 |
Family
ID=13401338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6939483A Pending JPS59194864A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | インクジエツトプリントヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59194864A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6292852A (ja) * | 1985-10-19 | 1987-04-28 | Sanyo Electric Co Ltd | インクノズル板の表面処理方法 |
| US5136310A (en) * | 1990-09-28 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle treatment |
| US6302523B1 (en) * | 1999-07-19 | 2001-10-16 | Xerox Corporation | Ink jet printheads |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP6939483A patent/JPS59194864A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6292852A (ja) * | 1985-10-19 | 1987-04-28 | Sanyo Electric Co Ltd | インクノズル板の表面処理方法 |
| JPH0312550B2 (ja) * | 1985-10-19 | 1991-02-20 | Sanyo Electric Co | |
| US5136310A (en) * | 1990-09-28 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle treatment |
| US6302523B1 (en) * | 1999-07-19 | 2001-10-16 | Xerox Corporation | Ink jet printheads |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2886715B2 (ja) | 塗被されたインクジェット印字ヘッド | |
| US5387440A (en) | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing a said nozzle plate | |
| US5378504A (en) | Method for modifying phase change ink jet printing heads to prevent degradation of ink contact angles | |
| JP2006051808A (ja) | インクジェットヘッドのノズル部材、撥インク膜形成方法、インクジェットヘッド、カートリッジ、およびインクジェット記録装置 | |
| EP0825025A1 (en) | Hot-melt ink-jet printhead | |
| CN100526080C (zh) | 液体喷头及其制造方法、图像形成装置 | |
| US6345881B1 (en) | Coating of printhead nozzle plate | |
| JPS59194864A (ja) | インクジエツトプリントヘツド | |
| JP3161106B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH01280566A (ja) | インクジェット記録ヘッドのノズル板 | |
| JPS62202743A (ja) | インクジエツト記録装置用インク噴射ノズルの撥水処理方法 | |
| JPH07125219A (ja) | インクジェット記録ヘッドの撥水処理方法 | |
| JPH04294145A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
| JPH06210857A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPS58175666A (ja) | インクジエツトプリントヘツド | |
| JPH06344560A (ja) | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 | |
| JPH05338180A (ja) | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 | |
| JPH07138763A (ja) | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 | |
| JPH08244234A (ja) | インクジェット記録ヘッド、及び同表面処理方法 | |
| JPH06328688A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP7231039B2 (ja) | ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッド | |
| JPH04368854A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0435344B2 (ja) | ||
| JP2887816B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH106494A (ja) | インクジェットヘッド |