JPS5918646A - Wire bonding apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はたとえば半導体装置の組立工程において、ベ
レットとリードフレームとをワイヤによって接続するワ
イヤボンディング装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a wire bonding device that connects a pellet and a lead frame with a wire in, for example, a semiconductor device assembly process.
半導体ペレットとリードフレームとを電気的に接続する
手段としてワイヤボンディングが採用されている。この
ワイヤボンディングは、キャピラリに挿通されたワイヤ
の下端にトーチ棒を接近させ、スノクークを飛ばしてボ
ールを形成し、このボールを上記半導体ペレット上に圧
着するようになっている。したがって、ワイヤの下端に
形成するボールは、その大きさが常に一定でしかも高速
ボンディングに対応できるように瞬時に形成する必要が
ある。Wire bonding is employed as a means for electrically connecting semiconductor pellets and lead frames. In this wire bonding, a torch rod is brought close to the lower end of a wire that has been inserted into a capillary, and a ball is formed by blowing the wire, and this ball is pressed onto the semiconductor pellet. Therefore, the ball formed at the lower end of the wire must always have a constant size and must be formed instantaneously so as to be compatible with high-speed bonding.
そこで、従来においては、第1図および第2図で示すよ
うなボール形成機構を採用している。Therefore, in the past, a ball forming mechanism as shown in FIGS. 1 and 2 has been adopted.
すなわち、1は支持部拐で、この支持部材1には板ばね
2fc介して支持管3が揺動自在に数句けられ、この支
持管3にトーチ棒4が挿入固定されている。このトーチ
棒4はその下端部がほぼL字状に折曲され、その先端に
キャピラリ5に挿通されたワイヤ6の下端と対向する電
極7が設けられ、スパークを飛ばしてワイヤ6の下端に
ボール8を形成するようになっている。また、上記支持
管3の下端部にはトーチ棒4を支持管3に固定するだめ
の固定部材9が嵌着され、この固定部材9の受圧面IQ
には取付板11に取付けられたソレノイド12のシラン
ジャ13が当接している。さらに、取付板1ノと固定部
材9との間にはコイルスプリング14が張設され、上記
板ばね2とともに復帰機構を形成している。なお、15
.16はストッノヤで、トーチ棒4の揺動範囲を規制し
ている。That is, 1 is a support member 1. A support tube 3 is swingably mounted on the support member 1 via a plate spring 2fc, and a torch rod 4 is inserted and fixed into the support tube 3. The lower end of the torch rod 4 is bent into a substantially L-shape, and an electrode 7 is provided at the tip of the torch bar 4, which faces the lower end of the wire 6 inserted into the capillary 5. 8. Further, a fixing member 9 for fixing the torch rod 4 to the support tube 3 is fitted to the lower end of the support tube 3, and the pressure receiving surface IQ of this fixing member 9 is
A syringe 13 of a solenoid 12 attached to the mounting plate 11 is in contact with the syringe 13 of the solenoid 12 . Further, a coil spring 14 is stretched between the mounting plate 1 and the fixing member 9, and together with the leaf spring 2, forms a return mechanism. In addition, 15
.. Reference numeral 16 denotes a stopper which regulates the swing range of the torch rod 4.
しかして、ソレノイド12をQNすると、グランジャ1
3は突出して固定部材9の受圧面10を押圧する。した
がって、トーチ棒4は板はね2およびコイルスプリング
14の復元力に抗して矢印a方向に揺動し、電極7はキ
ャピラリ5に挿通されたワイヤ6の下端に近接する。Therefore, when solenoid 12 is QN, Granger 1
3 protrudes and presses the pressure receiving surface 10 of the fixing member 9. Therefore, the torch rod 4 swings in the direction of arrow a against the restoring force of the plate spring 2 and the coil spring 14, and the electrode 7 approaches the lower end of the wire 6 inserted into the capillary 5.
ここで、トーチ棒4に高電圧を印加してスパークを飛ば
すとワイヤ6の下端にゾール8が形成される。スパーク
を飛ばしたのちソレノイドJ2をOFFするとプランジ
ャ13は没入し、トーチ棒4は板はね2とコイルスプリ
ング14の復元力によって矢印す方向に揺動し、電極7
がボール8から離間する。このとき、トーチ棒4の揺動
範囲はス) y i476+ 16によって規制される
が、トーチ棒4をソレノイド12のプランジャ13によ
って直接押圧しているために揺動範囲を大きくするため
にはソレノイド12自体のストローク(4を大きくする
必要がある。しかし、ソレノイド12のストローク(4
を大きくすると、ソレノイド12の駆動力が低下し、高
速度に作動させることが不可能となる。また、トーチ棒
4にストッパ15.16を当接して揺動範囲を規制して
いるために、当接時にトーチ棒4の先端の電極7が振動
し、ワイヤ6との間隔を一定に保てないためボール8の
大きさにバラツキができ、また、揺動範囲の調節も面倒
であるO
〔発明の目的〕
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、高速にで、しかも安定したゾールが
形成できるとともに、トーチ棒の回動範囲の調節も容易
に行なうことができるワイヤデンディング装置を提供し
ようとするものである。Here, when a high voltage is applied to the torch rod 4 and a spark is blown, a sol 8 is formed at the lower end of the wire 6. When the solenoid J2 is turned off after the spark is blown, the plunger 13 is retracted, and the torch rod 4 is swung in the direction indicated by the arrow by the restoring force of the plate spring 2 and the coil spring 14, and the electrode 7
is separated from ball 8. At this time, the swinging range of the torch bar 4 is regulated by S) y i476+ 16, but since the torch bar 4 is directly pressed by the plunger 13 of the solenoid 12, in order to increase the swinging range, the solenoid 12 It is necessary to increase the stroke of solenoid 12 (4). However, the stroke of solenoid 12 (4
If it becomes large, the driving force of the solenoid 12 decreases, making it impossible to operate it at high speed. In addition, since the stoppers 15 and 16 are brought into contact with the torch rod 4 to restrict the swing range, the electrode 7 at the tip of the torch rod 4 vibrates when the torch rod 4 comes into contact with the stopper 15, 16, so that the distance between the torch rod 4 and the wire 6 can be kept constant. This causes variations in the size of the ball 8, and it is also troublesome to adjust the swing range. [Object of the Invention] This invention was made in view of the above circumstances, and its purpose is to: It is an object of the present invention to provide a wire bending device which can form a stable sol at high speed and which can also easily adjust the rotation range of a torch rod.
直線往復運動するソレノイドのグランジャをボールジヨ
イントを介して回動板に伝動し、との回動板の回動運動
によってトーチ棒を回動させてキャピラリから導出され
たワイヤの下端に電極を接離するとともに、上記回動板
に偏心スト、パ機構を設け、トーチ棒の回動範囲を容易
に調節できるようにしたことにある。The solenoid's Granger, which moves linearly reciprocating, is transmitted to the rotary plate via the ball joint, and the rotation of the rotary plate rotates the torch rod to connect the electrode to the lower end of the wire led out from the capillary. In addition, the rotary plate is provided with an eccentric stopper mechanism so that the range of rotation of the torch rod can be easily adjusted.
以下、この発明を図面に示す一実施例にもとづいて説明
する。第3図ないし第5図中21はフレームで、このフ
レーム21には上下に離間して一対■支持体22.22
が設けられている。The present invention will be described below based on an embodiment shown in the drawings. Reference numeral 21 in FIGS. 3 to 5 is a frame, and this frame 21 has a pair of supports 22 and 22 spaced apart vertically.
is provided.
これら支持体22.22には軸受23.23が設けられ
、これら軸受23.23には支持管24の両端部が回転
自在に軸支されている。そして、この支持管24には絶
縁筒25を介してトーチ棒26の上端部が挿入固定され
、このトーチ棒26の下端部はくの字状に折曲されてい
るとともに、先端にキャピラリ27を挿通する金線など
のワイヤ28の下端に対向する電極 ”29を有
している。さらに、上記支持筒22と22との間には支
持管24に固着された回動板30が設けられている。し
たがって、この回動板30は支持管24を中心として回
動自在になっておシ、この回動板3oの回動に伴って上
記トーチ棒26が回動するようになっている。さらに、
この回動板3oの一端部には切@31が設けられ、この
切溝3ノ内の下面には凹ル[32が形成されているとと
もにこれと対向する上面にはねじ孔33が穿設されてい
る。そして、切溝3)内における凹所32には鋼球34
が係合され、この鋼球34はねじ孔33に螺挿された締
付ねじ35によって保持されている。さらに、上記切溝
31内には上記鋼球34と嵌合する嵌合孔36を有した
連結板37が挿入され、回動板30と連結板37とを回
動自在に連結するが−ルジ、インド38を形成している
。また、連結板37の上記切溝31から突出する部分に
はねじ孔39が穿設され、このねじ孔39にはソレノイ
ド40のプランジャ41が螺挿されているとともにす、
ト42によって締付固定されている。上記ソレノイド4
0にはグランジャ41と直交するシャフト43が設けら
れ、このシャフト43の両端部はベアリング44.44
を介して上記フレーム21に固定されたホルダ45に回
動自在に取付けられている。そして、このホルダ45と
プランジャ41の末端との間には復帰はね46が張設さ
れている。したがって、ソレノイド40はシャフト43
を中心として回動自在で、上記ゴールジヨイント38を
中心として回動する連結板37に追従するようになって
いる。一方、上記支持体22には回動板30の回動範囲
を規制する一対の偏心ストッ/IP機構47.47が設
けられている。この偏心ストッパ機構47は調節ねじ4
8とこれと一体に回転する偏心リング49からなシ、調
節ねじ48の回動量によって回動板3oの回動許容量を
調節するようになっている。Bearings 23.23 are provided on these supports 22.22, and both ends of the support tube 24 are rotatably supported on these bearings 23.23. The upper end of a torch rod 26 is inserted and fixed into this support tube 24 via an insulating tube 25, and the lower end of this torch rod 26 is bent into a dogleg shape, and a capillary 27 is attached to the tip. It has an electrode "29" facing the lower end of a wire 28 such as a gold wire to be inserted therein. Furthermore, a rotating plate 30 fixed to the support tube 24 is provided between the support tubes 22. Therefore, the rotary plate 30 is rotatable about the support tube 24, and the torch rod 26 rotates as the rotary plate 3o rotates. moreover,
A cut @31 is provided at one end of the rotary plate 3o, and a concave hole [32] is formed on the lower surface of the cut groove 3, and a screw hole 33 is bored on the upper surface opposite to this. has been done. A steel ball 34 is placed in the recess 32 in the kerf 3).
The steel ball 34 is held by a tightening screw 35 screwed into the screw hole 33. Furthermore, a connecting plate 37 having a fitting hole 36 for fitting the steel ball 34 is inserted into the cut groove 31, and rotatably connects the rotating plate 30 and the connecting plate 37. , forming India 38. Further, a screw hole 39 is formed in a portion of the connecting plate 37 that protrudes from the cut groove 31, and a plunger 41 of a solenoid 40 is screwed into the screw hole 39.
It is tightened and fixed by a bolt 42. Above solenoid 4
0 is provided with a shaft 43 that is perpendicular to the granger 41, and both ends of this shaft 43 are fitted with bearings 44, 44.
It is rotatably attached to a holder 45 fixed to the frame 21 via. A return spring 46 is stretched between the holder 45 and the end of the plunger 41. Therefore, the solenoid 40 is connected to the shaft 43
It is rotatable around the gorge joint 38, and follows the connecting plate 37, which rotates around the gorge joint 38. On the other hand, the support body 22 is provided with a pair of eccentric stop/IP mechanisms 47, 47 for regulating the rotation range of the rotation plate 30. This eccentric stopper mechanism 47 is connected to the adjusting screw 4
8 and an eccentric ring 49 that rotates together with the eccentric ring 49, the allowable amount of rotation of the rotating plate 3o is adjusted by the amount of rotation of the adjusting screw 48.
しかして、ソレノイド40f:ONすると、グランジャ
41は復帰はね46の復元力に抗して前進するため、連
結板37も同方向へ移動するが・連結板37はボールジ
ヨイント38を介して回動板30に連結されているため
、連結板37の直線運動は回動運動に変換される。した
がって、回動板3oは支持管24を中心として回動し、
トーチ棒26も矢印a方向へ回動して電極29がキャピ
ラリ27を挿通するワイヤ28の下端に対向する。ここ
で、トーチ棒26に高電圧を印加してスパークを飛ばす
とワイヤ28の下端にボール28aが形成される。スパ
ークを飛ばしたのちソレノイド12を0FFfるとシラ
ンジャ41は復帰ばね46の復元力にょって後退し、連
結板37を介して回動板3oが引かれる。したがって、
回動板3oとともにトーチ棒26も矢印す方向に回動し
、電極29は?−ル288から離間する。このときのト
ーチ棒26の回動範囲は回動板3oに当接する偏心スト
ッパ機構47.47によって規制されるため、その調節
ねじ48によって偏心リング49を回動することによシ
任意の回動範囲に設定できる。また、トーチ棒26の回
動範囲は連結板37とシランジャ41との連結部におい
ても調節できる。すなわち、ナツト42を弛め、ねじ孔
39に螺挿されたシランジャ41を進退させればよい。When the solenoid 40f is turned ON, the granger 41 moves forward against the restoring force of the return spring 46, and the connecting plate 37 also moves in the same direction. Since it is connected to the moving plate 30, the linear movement of the connecting plate 37 is converted into a rotational movement. Therefore, the rotating plate 3o rotates around the support tube 24,
The torch bar 26 also rotates in the direction of arrow a so that the electrode 29 faces the lower end of the wire 28 passing through the capillary 27. Here, when a high voltage is applied to the torch rod 26 and a spark is blown, a ball 28a is formed at the lower end of the wire 28. When the solenoid 12 is turned to 0FFf after the spark is blown, the sylanger 41 moves backward by the restoring force of the return spring 46, and the rotating plate 3o is pulled via the connecting plate 37. therefore,
The torch bar 26 also rotates in the direction indicated by the arrow along with the rotating plate 3o, and the electrode 29 moves upward. - move away from the wheel 288; At this time, the range of rotation of the torch bar 26 is regulated by the eccentric stopper mechanism 47, 47 that comes into contact with the rotation plate 3o. Can be set to a range. Further, the rotation range of the torch rod 26 can also be adjusted at the connection portion between the connection plate 37 and the silanger 41. That is, the nut 42 may be loosened and the sylanger 41 screwed into the screw hole 39 may be moved forward or backward.
この発明は以上説明したように、直線往復運動するソレ
ノイドをゴールジヨイントを介して回動板に伝動し、と
の回動板の回動運動によってトーチ棒を回動させてキャ
ピラリから導出されたワイヤの下端に電極を接離するよ
うにしたから、ソレノイドのストロークをわずかに可変
するだけでトーチ棒の回動範囲を大きく可変できるとい
う効果がある。さらに、偏心ストツノ々機構を用いると
とによってトーチ棒の調節も容易に行なうことができる
という効果を奏する。As explained above, this invention transmits a linearly reciprocating solenoid to a rotary plate via a gold joint, and the rotary plate rotates the torch rod to lead out the torch from the capillary. Since the electrode is connected to and separated from the lower end of the wire, it has the effect that the rotation range of the torch bar can be greatly varied by only slightly varying the stroke of the solenoid. Furthermore, by using the eccentric strut mechanism, the torch rod can be easily adjusted.
第1図および第2図は従来のボール形成機構を示すもの
で、第1図は正面図、第2図は縦断側面図、第3図ない
し第5図はこの発明の一実施例を示すもので、第3図は
正面図、第4図は平面図、第5図は縦断側面図である。
26・・・トーチ棒、27・・・キャピラリ、28・・
・ワイヤ、29・・・電極、3o・・・電極、38・・
・ボールジヨイント、40・・・ソレノイド、47・・
・偏心ストッパ機構。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第1頁の続き
0発 明 者 渥美幸一部
横浜市磯子区新杉田町8番地東
京芝浦電気株式会社生産技術研
究所内
0発 明 者 加島規安
横浜市磯子区新杉田町8番地東
京芝浦電気株式会社生産技術研
究所内
239−1 and 2 show a conventional ball forming mechanism, FIG. 1 is a front view, FIG. 2 is a vertical side view, and FIGS. 3 to 5 show an embodiment of the present invention. 3 is a front view, FIG. 4 is a plan view, and FIG. 5 is a longitudinal side view. 26...torch rod, 27...capillary, 28...
・Wire, 29...electrode, 3o...electrode, 38...
・Ball joint, 40... Solenoid, 47...
・Eccentric stopper mechanism. Applicant's representative Patent attorney Takehiko Suzue Continued from page 10 Author: Yuki Atsumi, Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Production Technology Laboratory, 8 Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama, Japan Author: Kiyan Kashima, Isogo-ku, Yokohama Shinsugita-cho 8 Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Production Technology Laboratory 239-
Claims (1)
向させ、スパークによって上記ワイヤの先端にゴールを
形成するボール形成機構を備えたワイヤデンディング装
置において、上記が一ル形成機構は、直線往復運動する
ソレノイドと1このソレノイドとボールジヨイントを介
して連動する回動自在な回動板と、との回動板の回動中
心部に固定され回動に伴って上記キャピラリから導出さ
れたワイヤの下端に接離する電極を有したトーチ棒と、
このトーチ棒の回動範囲を規制する偏心ストッ・や機構
とから構成したことを特徴とするワイヤボンディング装
置。In a wire-dending device, the ball-forming mechanism is equipped with a torch rod facing the tip of a wire led out from a capillary, and a spark forms a goal at the tip of the wire, wherein the ball-forming mechanism reciprocates in a straight line. A solenoid, a rotatable rotary plate interlocked with the solenoid through a ball joint, and a lower end of a wire fixed at the center of rotation of the rotary plate and led out from the capillary as the solenoid rotates. a torch rod having an electrode that connects and separates from the
A wire bonding device characterized by comprising an eccentric stop and a mechanism for regulating the rotation range of the torch rod.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57127102A JPS5918646A (en) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | Wire bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57127102A JPS5918646A (en) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | Wire bonding apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5918646A true JPS5918646A (en) | 1984-01-31 |
Family
ID=14951640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57127102A Pending JPS5918646A (en) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | Wire bonding apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5918646A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62147642U (en) * | 1986-03-10 | 1987-09-18 | ||
CN102913946A (en) * | 2012-10-23 | 2013-02-06 | 上海莱克气割机有限公司 | Numerical control infinitely rotating three-cutting torch ignition device |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP57127102A patent/JPS5918646A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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