JPS59186338A - Boat elevator - Google Patents
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- JPS59186338A JPS59186338A JP6246383A JP6246383A JPS59186338A JP S59186338 A JPS59186338 A JP S59186338A JP 6246383 A JP6246383 A JP 6246383A JP 6246383 A JP6246383 A JP 6246383A JP S59186338 A JPS59186338 A JP S59186338A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体ウェハの拡散工程中において、この
半導体ウェハを収納して熱処理治具として用いられるボ
ートエレベータに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a boat elevator that accommodates semiconductor wafers and is used as a heat treatment jig during a semiconductor wafer diffusion process.
第１図は従来のこの種ボートエレベータを示す斜視図で
、（１）は半導体ウエノ・に、シリコン酸化膜まだは窒
化膜などの皮膜形成処理、あるいはＰＮ接合を作るだめ
の不純物拡散処理などを行なう拡散炉、（２）はこの拡
散炉の前面に設けられた複数の石英管、（３）は多数の
半導体ウェハ、（４）はこの多数の半導体ウェハ（３）
を直立状態に並列して載置しまたボート、ｆ５）は上記
拡散炉ｆｉｌの石英管（２）内にボート（４）を移送案
内するボート受台、（６）は上記ボート（４）を石英管
（２）を経て拡散炉（１）内に出し入れする引出棒、（
７）は上記ボート受台（５）を載置し、所定間隔をあけ
て複数の切欠き（ｇａ）（８ｂ）を形成したボート受棚
、（９）はボート（４）を載置したままの状態で、ボー
ト受台（５）をボート受棚（７）と、ボート送り装置０
７）との間に置き換えるエレベータ本体、 （１０ａ）
（１０ｂ）は上記ボート受台（５）を載置するボート受
アームで、回転するクランク（１カに連結きれたリンク
（１１）によって矢印（８）の方向に往復移動するよう
に構成されている。（１３）（１３＋は上記エレベータ
本体（９）を矢印（Ｂ）の方向に昇降てせるための一対
のガイド軸で、上記エレベータ本体（９）は、昇降駆動
装置（１６）のスプロケット・ホイール（１５）の正逆
回転により、チェーン（１（１）を介して所定ストロー
クを昇降し得るように構成されている。Figure 1 is a perspective view showing a conventional boat elevator of this type. (1) shows a semiconductor wafer that has been subjected to a film forming process such as a silicon oxide film or a nitride film, or an impurity diffusion process to create a PN junction. (2) is a plurality of quartz tubes provided in the front of this diffusion furnace, (3) is a large number of semiconductor wafers, and (4) is this large number of semiconductor wafers (3).
are placed in parallel in an upright state, and f5) is a boat cradle for guiding the transfer of the boat (4) into the quartz tube (2) of the diffusion furnace fil, and (6) is a boat for guiding the boat (4) into the quartz tube (2) of the diffusion furnace fil. A pull-out rod (
7) is a boat cradle on which the boat pedestal (5) is placed, and a plurality of notches (ga) (8b) are formed at predetermined intervals, and (9) is a boat cradle on which the boat (4) is placed. In this state, connect the boat cradle (5) to the boat cradle (7) and the boat feeder 0.
7) Elevator body to be replaced between (10a)
(10b) is a boat support arm on which the boat support (5) is placed, and is configured to reciprocate in the direction of arrow (8) by means of a rotating crank (link (11) connected to one arm). (13) (13+ is a pair of guide shafts for raising and lowering the elevator main body (9) in the direction of the arrow (B), and the elevator main body (9) is connected to the sprocket of the lifting drive device (16). It is configured to be able to move up and down a predetermined stroke via a chain (1 (1)) by rotating the wheel (15) in forward and reverse directions.
従来のボートエレベータは上記のように構成されている
ので、ボート（４）を載置したボート受台（５）をボー
ト受棚（７）あ・らボート送シ装置ａカに降ろす場合に
は、ます、昇降駆動装置（１６）を起動してスプロケッ
トホイール（１６）およびチェーン（１４１ｋ 介して
エレベータ本体（９）を所定位置才で上昇させ、エレベ
ータ本体（９）のボート受アーム（１０ａ）（１０ｂ）
がボート受棚（７）の切欠き（８ａ）（８ｂ）の下側に
対応した位置で停止させる。次に、クランク（１２）を
所定方向に回転させてリンク（ＩＩ）を移動させ、上記
ボート受アーム（１０ａ）（１０ｂ）をボート受台（５
）の下部に前進づせたあと、再び、エレベータ本体（９
）を上昇させると、このエレベータ本体（９）のボート
受アーム（１０ａ）（１０ｂ）は切欠き（８ａ）（８ｂ
）を通り抜けてボート（４）と共にボート受台（５）を
持ち上げ、ボート（４）の外方端折曲部（４ａ）が引出
棒（６）から外れる位置で停止するようになされている
。次に、再びクランク（１２）を所定方向に回転させ、
リンク（Ｉ＋＋によってボート受アーム（１０ａ）（１
０ｂ）をボート受台（５）と共に後退させ、エレベータ
本体（９）が元の位置に戻った状態から昇降駆動装置州
を起動してこのエレベータ本体（９）を下降させると、
ボート受台（５）はボート（４）と共にボート送り装置
（１７）に移されるものである。なお、ボート受台（５
）をボー１− ＋４＋と共にボート送９装置０７）から
ボート受棚（７）に移動きせる動作は上述した動作と逆
動作で行なわれることはいうまでもない。Conventional boat elevators are constructed as described above, so when lowering the boat pedestal (5) on which the boat (4) is placed onto the boat pedestal (7), , first, start the lift drive device (16) to raise the elevator body (9) to a predetermined position via the sprocket wheel (16) and chain (141k), and lift the boat receiving arm (10a) of the elevator body (9). 10b)
is stopped at a position corresponding to the lower side of the notches (8a) and (8b) of the boat receiving shelf (7). Next, the crank (12) is rotated in a predetermined direction to move the link (II), and the boat support arms (10a) (10b) are moved to the boat support (5).
), then move the elevator body (9) forward again.
), the boat receiving arms (10a) (10b) of the elevator main body (9) will open with the notches (8a) (8b).
), the boat (4) and the boat pedestal (5) are lifted up together with the boat (4), and the boat (4) is stopped at a position where the outer end bent portion (4a) is removed from the pull-out rod (6). Next, rotate the crank (12) in a predetermined direction again,
Boat receiving arm (10a) (1
0b) is retreated together with the boat pedestal (5), and when the elevator main body (9) returns to its original position, the elevator main body (9) is lowered by starting the lifting drive device state.
The boat pedestal (5) is transferred together with the boat (4) to the boat transport device (17). In addition, the boat cradle (5
It goes without saying that the operation of moving the boat 1-+4+ from the boat transport 9 device 07) to the boat receiving shelf (7) is performed in the opposite manner to the above-mentioned operation.
しかしながら、上述した従来のボートエレベータにおい
ては、ボート受アーム（１０ａ）（１０ｂ）の前進また
け後退運動をクランク（１２）のクランク運動によって
行なうようにしているため、その機能上クランク（１２
）の上・下死点におけるボート受アームの移動停止精度
は良いが、上・下死点を外れると、移動停止精度が悪く
なるため、ボート受台（５）は１ボート受アーム（１０
ａ）（１０ｂ）のストロークエンド、す乃、わちクラン
ク（１２）の下死点においてボート受棚（７）上に位置
決めすることになり、ボート（４）の出し入れに対する
拡散炉（１）の各石英管（２）への芯出し作業も、クラ
ンク（１２）の下死点で位置決め烙れたボート受台（５
）を基準にして行なわなければならす、その作業がきわ
めて面倒であるばかりでなく１０スの多い作業規制が伴
なう欠点がある。However, in the above-mentioned conventional boat elevator, the forward and backward movements of the boat receiving arms (10a) and (10b) are performed by the crank motion of the crank (12).
The movement stopping accuracy of the boat receiving arm at the top and bottom dead centers of
a) At the stroke end of (10b), the bottom dead center of the crank (12) is positioned on the boat rack (7), and the diffusion furnace (1) is Centering work for each quartz tube (2) is also done by positioning the boat cradle (5) at the bottom dead center of the crank (12).
), which is not only extremely troublesome, but also has the drawback of requiring many work restrictions.
この発明は、かかる点に着目して々され／ヒもので、ボ
ート受アームの停止位置を可動範囲で拡散炉の各石英管
に対応して設定１〜、かつ同一停止精度とすることによ
って、各石英管に対するボート受台のＡ整を対として簡
単に行なうことができるボートエレベータを提供しよう
とするものである。This invention has been developed by focusing on this point, and by setting the stop position of the boat receiving arm in a movable range corresponding to each quartz tube of the diffusion furnace, and by setting the same stop position, It is an object of the present invention to provide a boat elevator in which the A-alignment of boat pedestals for each quartz tube can be easily performed as a pair.
すなわち、第２図および第８図は何れもこの発明の一実
施例を示すもので、（２謁はエレベータ本体で、一対の
ガイド軸（＋３ｉ （＋３）に挿入された一対のガイド
軸受嬶）シ１）を介し昇降駆動装置（１６）によって昇
降されるようになされている。（４０ｊ ＋４０＋は一
対のボート受アームで、このボート受アームは一対のス
ライダ（２［ｉｌ ｆ２６！にそれぞれ固定された互い
に平行な一対のアーム軸（ｚ３）（ハ）と一体をなす連
結板（３９）の両端部に取付けられている。ｃ′７）は
駆動モータで、この駆動モータは常時噛合する複数の歯
車（財））（３（へ）（２）を介して駆動軸（２９）の
両端部に固着された一対の駆動プーリ□□□（ハ）に回
転力を伝達し、一対の継手０η０■および駆動ベル）
ｊ２４ｊ （２４）を経て上記一対のスライダ（２６）
（２Ｇ＋を同時に前進または後退させるために設けら
れたものである。（へ）は上記各歯車のうち、その中間
の歯車（３ａによって回転駆動される中間軸で、この中
間軸（３３ｊには、前進捷たは後退する上記ボート受ア
ーム（４０ｉ （４０）の後退位置（実線で示す位置）
と、前進位置（１点鎖線で示す位置）とに設定するだめ
の複数の遮光板（８１ａ）〜（ｌｉｅ）が一体に取付け
られている。That is, both FIG. 2 and FIG. 8 show an embodiment of the present invention, in which the two audience members are the elevator main body, and a pair of guide shafts (a pair of guide bearings inserted into +3i (+3)). It is adapted to be raised and lowered by a lifting drive device (16) via a shaft 1). (40j +40+ is a pair of boat receiving arms, and this boat receiving arm is a connecting plate ( 39) is attached to both ends of the drive shaft (29). The rotational force is transmitted to a pair of drive pulleys □□□ (c) fixed to both ends of the
j24j (24) to the above pair of sliders (26)
(It is provided to move the 2G+ forward or backward at the same time. (F) is an intermediate shaft rotationally driven by the intermediate gear (3a) among the above gears, and this intermediate shaft (33j has a Retracted position of the boat receiving arm (40i (40)) that moves forward or retreats (position shown by solid line)
A plurality of light shielding plates (81a) to (lie) that are set at the forward position and the forward position (the position shown by the one-dot chain line) are integrally attached.
（８０ａ） 〜（ａｏｅ）は上記各遮光板（８１ａ）
〜（ａｌｅ）に対応して配設され、上記拡散炉ｆｌｌの
石英管（２）の数量と同数の位置検出センサで、この各
位置検出センサは、それぞれに備えているランプの光が
、それぞれの遮光板（３１ａ）〜（３１ｅ）によって透
過、捷たけ遮光することによってポート受アームｆ４０
＋ ＋４０）の位置検出信号を出力するように構成され
ている。(80a) to (aoe) are each of the above light shielding plates (81a)
~(ale), and the number of position detection sensors is the same as the number of quartz tubes (2) of the above-mentioned diffusion furnace flll, and each position detection sensor Port receiving arm f40 is transmitted by the light shielding plates (31a) to (31e) of
+ +40) is configured to output a position detection signal.
罰は第３図にも示すように、上記両スライダ弼し６）の
前進または後退時に、所定方向にガイドする一対のガイ
ド軸、ＱＩｌｉｌ（２５）は一方を上記両駆動プーリ（
２→（２□□□に＠掛けたベル） ＋２４１ ＋２４１
の他方が巻掛けられ、−Ｍ＝ｊの支＋ｔｌ＋ （ｑａ）
（３ｓ）によって回転自在に支承婆れた一対の従動プ
ーリである。As shown in Fig. 3, a pair of guide shafts, QIlil (25), which guide the two sliders 6) in a predetermined direction when they move forward or backward move one side to the drive pulleys (25).
2 → (bell @ hung on 2□□□) +241 +241
The other side of is wrapped around, -M=j support+tl+ (qa)
(3s) are a pair of driven pulleys rotatably supported.
この発明のボートエレベータは上記のように構成されて
おり、エレベータ本体（２４がガイド軸（＋３ｉ （１
３１に沿って昇降する動作は、上述した従来のエレベー
タ本体（９）とｌｌ）Ｊ様のためその説明を省略する。The boat elevator of the present invention is constructed as described above, and the elevator main body (24 is the guide shaft (+3i (1
The operation of going up and down along the line 31 is similar to the conventional elevator main body (9) and ll)J mentioned above, so a description thereof will be omitted.
い捷、第１図に示すボート受台（５）をホード受棚（７
）がらボート送シ装置０７）に降ろす場合には、ボー）
・受棚（７）の下側でエレベータ本体（２功を停止させ
たあと、１駆動モータ（３カを起動すると、その回転力
は各歯車（３６＋ ｔ、ｉａ ＋３４＋および駆動軸−
の駆動グー’Ｊ （２〜怒を介して駆動ベルト（２４）
（２燭を矢印（５）の方向に移送婆せるため、継手（６
）０］）、スライダレ６）（ハ）、アーム軸（ム）瞥お
よび連結板（３９）を介して一対のボート受アーム（４
０）ケ０）を１点知線で示す位置まで前進させる。この
場合、１点鎖線で示す所定の前進位置にボート受子−・
ムｔ４［） ［４０）が停止されるのは、中間軸（ハ）
の各遮光板（８１ａ）〜（８１ｅ）のうち、所定の遮光
板に対応する所定の位置検出センサ（８０ａ）〜（８０
ｅ）の何れかの出力信号がその遮光板を透過して入力源
れたときに、これを検出して駆動モータ（３７１を停止
させるように構成されているからである。At the same time, attach the boat cradle (5) shown in Figure 1 to the boat cradle (7).
) When lowering the boat to the boat transport device 07), the boat)
・After stopping the elevator body (2 motors) below the receiving shelf (7), when 1 drive motor (3 motors) is started, its rotational force is transferred to each gear (36+T, IA +34+ and drive shaft -
Drive of Goo'J (2~ Drive belt through Anger (24)
(In order to move the two candles in the direction of arrow (5),
)0]), a pair of boat receiving arms (4
0) Move the 0) forward to the position indicated by the one-point knowledge line. In this case, the boat receiver -
Mut4[) [40] is stopped by the intermediate shaft (c).
Among the light shielding plates (81a) to (81e), predetermined position detection sensors (80a) to (80
This is because, when any of the output signals in e) passes through the light shielding plate and reaches the input source, this is detected and the drive motor (371) is stopped.
次に、エレベータ本体（２功を昇降、駆動装７４１６）
によってわずかに上昇させると、ボート受はアーム１１
０）（４０）にはボート受台（５）が載置される。この
あと、上記駆動モーフの７）を逆回転させると、ベルｔ
−１２４ｉ １２４）は矢印（５）と反対方向に移送さ
れるため、スライダ（２６）測２よびアーム軸（蛍臨）
と一体をなすボート受はアームｈｃｏ ｈｉは実線で示
す位置まで後退する。この場合、実線で示す所定の後退
位置にボート受アームｎｏ＋ ＋＜ｏ＋が停止畑れるの
は、中間軸（３３）の各遮光板（８１ａ）〜（８１ｅ）
のうち、所定の遮光板に対応する所定の位置検出センサ
（Ｂｏａ）〜（８０ｅ）の何れかの出力信号がその遮光
板を透過して入力されたときに、これを検出して駆動モ
ータ助を停止させるように構成されているからである。Next, the elevator body (elevating and lowering the 2nd gear, drive equipment 7416)
When the boat holder is raised slightly by the arm 11
0) A boat cradle (5) is placed on (40). After this, when the drive morph 7) is reversely rotated, the belt t
-124i Since the 124) is transferred in the opposite direction to the arrow (5), the slider (26) measurement 2 and arm axis (Kirin)
The arm hcohi, which is integral with the boat support, is moved back to the position shown by the solid line. In this case, the boat receiving arm no++<o+ is stopped at the predetermined retreat position shown by the solid line due to each light shielding plate (81a) to (81e) of the intermediate shaft (33).
When an output signal from one of the predetermined position detection sensors (Boa) to (80e) corresponding to a predetermined light shielding plate is transmitted through the light shielding plate and inputted, this is detected and the drive motor assists. This is because it is configured to stop.
このようにして、エレベータ本体（２りが元の位置に戻
った状態から昇降駆動装置（１６）を起動してこのエレ
ベータ本体固を所定位置まで下降させると、ボート受台
（６）はボート（４）と共にボート送り装置（１７）に
移される。In this way, when the elevator main body (2) has returned to its original position, the elevator drive device (16) is started to lower the elevator main body (2) to a predetermined position, and the boat pedestal (6) is moved to the boat (2). 4) and transferred to the boat feeding device (17).
以上述べたように、この発明によれば、ボート受アーム
＋４０＋ ＋４０＋をアーム軸ｆ’２３） （２３＋の
直線運動によって進退をせるようにしたので、ボート受
アーム（４０） （４０）の移動停止精度が著しく向上
するばがりでなく。As described above, according to the present invention, since the boat receiving arm +40+ +40+ is moved forward and backward by the linear movement of the arm axis f'23) (23+), the movement of the boat receiving arm (40) (40) is stopped. Not only will the accuracy be significantly improved;
上記ボート受アームｆ４０） （４ｏ）を駆動する駆動
モータ（３７Ｉと連動して回転される中間軸（３３１に
複数の位置検出センサ（８０ａ）〜（８０ｅ）を設ける
ようにしたので、ホード受アーム（４０） （４０）を
前進または後退位置において高精度に停止させることが
できるばがｐでなく、拡散炉［１＋の各石英管（２）へ
の芯出し作業も個々にきわめて簡単に行なうことができ
る優れた効果を有するものである。Since a plurality of position detection sensors (80a) to (80e) are provided on the intermediate shaft (331) that rotates in conjunction with the drive motor (37I) that drives the boat receiving arm f40) (4o), the boat receiving arm (40) It is not only possible to stop the (40) with high accuracy in the forward or backward position, but also the centering work for each quartz tube (2) of the diffusion furnace [1+ can be performed individually and extremely easily. It has excellent effects.
なお、上述した一実施例においては、ボート（４）を載
置したボート受台（５）の移動操作について述べたが、
ボート（４）のみの移動にも使用し得ることはもちろん
、ボート受アームＩ［） ＋４０）の所足泣Ａの停止操
作ヲ、 ｆｆｉ動モータ（３′７）として、パルスモー
タ、あるいはＤＣサーボモータを使用してそのパルス数
をハード的に設定することによシ同様の効果が得られる
ことはいうまでもない。In addition, in the above-mentioned embodiment, the movement operation of the boat pedestal (5) on which the boat (4) is placed was described.
Not only can it be used to move only the boat (4), but also a pulse motor or DC servo can be used as the ffi motor (3'7) to stop the operation of the boat receiving arm I [+40]. It goes without saying that the same effect can be obtained by using a motor and setting the number of pulses using hardware.
第１図は従来のボートエレベータを示す斜視図、第２図
および第３図はこの発明の一実施例を示すもので、第２
図は平面図、第３図は第２図の（ＩＩＤ −ＧＩＤ線に
おける断面図である。
図面中１（３）は半導体ウェハ、（４）はボート、（６
）はボート受台、（＋ａ） Ｑ３）はガイド軸、いはエ
レベータ本体、（ハ）（′２３はアーム軸、＋２４）
［２４）は駆動ベルト、■（資）２６）はスライダ、（
ロ））は駆動軸、 （Ｂｏａ）〜（８０ｅ）は位置検
出センサ、（８１ａ）〜（８１ｅ）は遮光板、（３９）
は連結板、（４ｎ） １１０＋はボート受アームである
。なお１図中同一符号は同一または相当部分を示す。
代理人 大岩増雄
第２図
第３１’２１
手続袖止書（自発）
特許庁長官殿
１、事件の表示 特願昭５８−６２４Ｇ８号２、発
明の名称 ボートエレベータ
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住 所 東京都千代１旧区丸の内二丁１１２番３
号名 称 （６０１，）三菱電機株式会社代表者片由
仁八部
４代理人
５補正の対象
明細書の発明の詳細な説明の欄
６、補正の内容
（１）明糾ＩＭ第２頁第７行に「用いらね、るボートエ
レベータに」とあるのを［用いられるボートノ搬送を行
うボートエレベータに］に訂正する。
（２）同第２頁第１５行に「並列して載貿した」とある
のを「並列して載置する」に訂正′ｆ′る。
以 上FIG. 1 is a perspective view showing a conventional boat elevator, and FIGS. 2 and 3 show an embodiment of the present invention.
The figure is a plan view, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the (IID-GID line) in FIG.
) is the boat pedestal, (+a) Q3) is the guide shaft, or the elevator body, (c) ('23 is the arm shaft, +24)
[24) is the drive belt, ■ (capital) 26) is the slider, (
b)) is the drive shaft, (Boa) to (80e) are position detection sensors, (81a) to (81e) are light shielding plates, (39)
is a connecting plate, and (4n) 110+ is a boat receiving arm. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Agent: Masuo Oiwa Figure 2, Figure 31'21 Letter of suspension of proceedings (voluntary) Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of the case: Japanese Patent Application No. 1986-624G8 2, Title of the invention: Boat elevator 3, Comparison with the case of the person making the amendment Related Patent Applicant Address: 112-3 Marunouchi 2-chome, Old Ward, Chiyo 1, Tokyo
Name Title (601,) Mitsubishi Electric Corporation Representative Katayuni 8th Section 4 Agent 5 Detailed explanation of the invention in the specification subject to amendment 6, Contents of the amendment (1) Meiko IM page 2, 7 In the line, the line ``Not used for the boat elevator'' should be corrected to ``The boat elevator that will be used to transport the boat.'' (2) On page 2, line 15, the words ``traded in parallel'' have been corrected to ``loaded in parallel.''that's all
Claims (1)
台を移動させるポート受アームをアーム軸の直線運動に
よって進退させるとともに、上記ボート受アームを駆動
する駆動モータを制御する複数の位置検出センサを配設
したことを特徴とするボートエレベータ。 （２）ボート受アームを前進または後退させるアーム軸
を、駆動ベルトによって駆動するようにしたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のボー ｌ−エレベー
タ。 （３）ボート受アームを駆動する駆動モータと連動し、
て回転される中間軸に複数の遮光板を設け、この各遮光
板にそれぞれ位置検出センサを対応させたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のホ゛−トエレベータ。 （４）ボート受アームと共に直線運動するアーム軸と一
体を彦すスライダをガイド軸によってガイドするように
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のボー
トエレベータ。[Scope of Claims] A boat on which FI1 semiconductor wafers are mounted, a plurality of port receiving arms that move a port receiving arm for moving a boat receiving stand, which is moved forward and backward by linear movement of an arm axis, and which controls a drive motor that drives the boat receiving arm. A boat elevator characterized by being equipped with a position detection sensor. (2) The boat elevator according to claim 1, wherein the arm shaft for advancing or retracting the boat receiving arm is driven by a drive belt. (3) Interlocks with the drive motor that drives the boat receiving arm,
2. The elevator according to claim 1, wherein a plurality of light shielding plates are provided on the intermediate shaft rotated by the elevator, and a position detection sensor is associated with each of the light shielding plates. (4) The boat elevator according to claim 1, characterized in that a slider that is integrated with an arm shaft that moves linearly together with the boat receiving arm is guided by a guide shaft.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6246383A JPS59186338A (en) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | Boat elevator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6246383A JPS59186338A (en) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | Boat elevator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59186338A true JPS59186338A (en) | 1984-10-23 |
| JPH0220136B2 JPH0220136B2 (en) | 1990-05-08 |
Family
ID=13200922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6246383A Granted JPS59186338A (en) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | Boat elevator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59186338A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60111045U (en) * | 1983-12-29 | 1985-07-27 | 株式会社東芝 | Semiconductor wafer boat transport device |
| JPH01315132A (en) * | 1988-03-24 | 1989-12-20 | Tel Sagami Ltd | Treatment apparatus of semiconductor wafer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54155673A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-07 | Matsushita Electronics Corp | High pressure sodium lamp |
-
1983
- 1983-04-07 JP JP6246383A patent/JPS59186338A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54155673A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-07 | Matsushita Electronics Corp | High pressure sodium lamp |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60111045U (en) * | 1983-12-29 | 1985-07-27 | 株式会社東芝 | Semiconductor wafer boat transport device |
| JPH0132356Y2 (en) * | 1983-12-29 | 1989-10-03 | ||
| JPH01315132A (en) * | 1988-03-24 | 1989-12-20 | Tel Sagami Ltd | Treatment apparatus of semiconductor wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0220136B2 (en) | 1990-05-08 |
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