JPS59181580A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPS59181580A
JPS59181580A JP58055535A JP5553583A JPS59181580A JP S59181580 A JPS59181580 A JP S59181580A JP 58055535 A JP58055535 A JP 58055535A JP 5553583 A JP5553583 A JP 5553583A JP S59181580 A JPS59181580 A JP S59181580A
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JP
Japan
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light
sealing plate
substrate
solid
box bodies
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Pending
Application number
JP58055535A
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English (en)
Inventor
Masayoshi Konishi
正芳 小西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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    • H01L31/02Details
    • H01L31/0203Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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    • H01L2224/4805Shape
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    • H01L2224/732Location after the connecting process
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体素子としで、例えば固体撮像素子を外囲
器内に装着した半導体装置に係り、特に外囲器の改良に
関する。
〔発明の技術的背景〕
近年、固体撮像装置fを用いたテレビジョンカメラの研
究が盛んに行なわれている。
この固体撮像装置としては電荷転送素子を用いたOCD
 (Charge Coupled、 Device)
やkl BD(Bucket Brigade Dev
ice)等がある。これらの電荷転送素子は絶H)崎を
介して半導体基板に多数の電極が配役されており、この
電極にt4L川を印加すると半導体基板の内部にポデン
/ヤル井Pが形成される構造を有している。したかつ−
〔、死重効果によって発生した電荷をこのボテ//ヤル
井戸に蓄積し、所定の規則に従った市川を上i上電極に
印加すると、ポテンシャル井戸に蓄積された電荷は半導
体基板表面若しくはその近傍に沿って一定方向に転送さ
れ、これを読取ることによって映像信号が得られる。
かかる電荷転送素子は、凹状部が形成されたパッケーゾ
とも呼ばれるセラミック製の基板と、凹状部が形成され
た基板面に被着される透光性の封止板とでなる外囲器に
装着されることが多い。
本明細、書では電荷転送素子等を固体撮像素子と呼び、
外囲器を含めてこれらを固体撮像装置と呼ぶことにする
第1図(・ま従来の固体撮像装置の構成を示す断面図で
、セラミツ、り製の基板1は中央部分において深く、そ
の内側周囲が浅くなるように2段階に堀り下げられた凹
状部1aを有し、その中央部分のF底面には固体撮像素
子3が接着剤2によって接着妊れ、また、凹状部1aを
形成した基板面には、この凹状部1ae封止するだめの
透光性の封止板7が接着剤8によって接着されている。
この場合、固体撮像素子3の受光部としての光電変換面
には多数の電極や絶縁層が配設されており、この電極お
よび絶縁層の配置に応じて適切に位置合わせした状態で
ここに色フィルタ5が透光性の接着剤4によって接着さ
れている。
また、固体撮像索子3の光′妊変換面仰jの端縁部およ
び凹状部1aの底の浅い部分の底10j部にはそれぞれ
図示しない多数の接f*、屯隋力粕装置され、−1−れ
ぞれ対応する接続電極がアルミニュームや金などのボン
デングワイヤ6によって接続されている。
なお、凹状部、すなわち、基板1側に配役された接続電
極は図示しない端子に接続されるものであるが、ここで
は本発明にIM接的な関係がないので省略している。
ところで、この固体撮像装置の組立は、先ず、基板1に
対して電気的に接触させる必幾のある同体撮像素子3を
、導電性の接着剤2fc用いて凹状部1aの下底面に接
着し、続いて、逍九件の接着剤を用いて固体撮像素子3
上に接着し、次に、固体撮像素子3の接続電極と基板1
の接続′r乳極とをボンデングワイヤ6によって接続し
、さらに、封止板7に例えば工?キン樹脂を用いた接着
剤8を転写した後、これを基板面に載置して両者の接着
を図っている。
〔背景技術の問題点〕
斯かる従来の固体撮像装置にあっては、基板1に封止板
7を接着する場合、封止板7の上面から加圧して略完全
な密封を図っているが、この時、接着剤8としてのエポ
キ/樹脂が封止板7の裏面部に食み出たり、あるいは、
封止板7の光の通過領域や色フィルタ5の上面に飛び散
って付着する場合がある。このようにして食み出しや飛
び散りによるエボキ/樹脂は、光の透過効率を低゛ドさ
せたり、固体撮像索子3上に光の当たらない部分すなわ
ち杉をつくったりするので、これらの固体撮[象装置イ
゛は不良品として処分されて了う。
−また、従来の同体撮像装置にあっては、封IE板7の
透光領域が色フィルタ5の幅よりも広いため。
?i過尤の一部が凹状部1aの内壁面およびピンガング
ワイヤ6等に当って反射し、その反射光が固体撮像素子
3に到達することがある。このため、映像信号のS/N
比が低ドするとともに、映像画%を劣下させる要因とも
なっていた。
このことは、固体撮像装置に限らず、受光部若しくは発
光部を有する半導体素子を類似した形状の外囲器に収納
する構成の半導体装置にあ′)でも上述したと同様な欠
点が、iり”)iこ。
〔発明の目的〕
本発明は上記の欠点を除去−rるため)(、ケされたも
ので、封着用の接着剤が半導体素子全装着する空間に食
み出したり、飛び故っfc 9することを防止し得ると
ともに、所定の領域以外fC光が当たることを阻止し得
る半導体装置の提供全Vj的とする。
〔発明の概侠〕
この目的を達成するために、本発明の半導体装置は、受
光部若しくは発光部を有する甲3.・6体素了−と、こ
の半導体素子を装着する凹状部、および、この凹状部の
外側周囲を欠落しでなる段差部を廟する基板と、遮光性
部材でなり、riiJ f記段差部に係合する鍔状縁を
有し、且2底部壁に開In+を有する箱体と、透光性部
材でなり、[]IJ記箱体の開1」を塞ぐ封止板とを具
え、この封止板を前記箱体の内底面に接着し、この箱体
を前記基板の凹状部に被せて前記鍔状轡を前記段差部に
接着したこと金%徴とするものである。
〔発明の実施例〕
以下、添句図面を参照して本発明の一実施例について説
明する。
第2図は上述したと同様に固体撮像装置の構成例で、第
1図と同一の符号を付したものはそれぞれ同一の要素を
示している。そして基板1の凹状部1aの外側周囲を欠
落せしめて段差部1b’を形成した点、および、封止板
7を内底面に接着する箱体9を新たに設けた点が第1図
と異っている。
この場合、箱体9は例えば金属でなる遮光性部材音用い
て形成したもので、基板1の外周部を欠落せしめた部分
に嵌合する側壁9aと、この側壁9aの外方に突出する
鍔状縁9bとを具えており、さらに、鍔状縁9bを基板
1の段差部1bに係合させて凹状部1aを覆うように被
せたとき、色フィルタ5に対応する位置に開口9Cが形
成され′Cいる。また、開口9Cの内径寸法は、色フィ
ルタ5の外径寸法A−Iよりも僅かに小さく、箱体9を
基板1に被せた状態で、色フィルタ5の外縁部が全周に
亘って開ロアの内縁部と重ね合わさオするように適切な
位置に設けられている。
一方、封止板7は側壁9aの内面部に嵌合する大きさを
有し、箱体9の内底面に接着することによって強固に気
密を保持している。
この固体撮像装置の組立は、第1図を用いて説明したと
同様に、先ず固体撮像素子3’(5凹状部1aの下底面
に接着し、続いて、固体撮像素子3上に色フィルタ5を
接着し、次に、固体撮像素子3の接続電極と基板1の接
続電極とをボンデングワイヤ6によって接続し、次に、
封止板7を着設した箱体9の鍔状縁に工月?キ7樹脂を
用いた接着剤(以下単にエポキン樹脂とも直う)8を転
写し終った箱体9′fc段差部1bに合わせてセントす
るとともに、箱体9の底部外方より(図で示す上方より
)加圧して、鍔状鍔9bを段差部1bに接着して、いわ
ゆるシーリングを行う。
かかる構成により、加圧された工、45キ/樹脂8が段
差部によって凹状部側への食み出しが阻止され、同時に
飛び散りをも防止することができる。
゛また、色フィルタ5の外縁部の全周が開ロアの内縁部
と重なるため、封止板7が介在したとしても色フィルタ
5の周辺に光が当たらないので、反射光の発生も抑えら
れる。
なお、上記実施例では固体撮像装置について説明したが
、凹状部を設けた基板に半導体素子を装置(7、この凹
状部を透光性の封止板で覆う構成の半導体装置の殆んど
に対して本発明を適用することができる。
〔発明の効果〕
以上の説明によって明らかな如く、本発明の半導体装置
によれば、封着用の接着剤が半導体素子を装着する空間
に食み出したり、飛び散ったりすることを防ILL得る
とともに、所定の領域以外に光が当たることを防止し得
、これによって製品歩留りを著しく向上させることがで
き、特に、固体撮像素子にあっては、反射光による悪影
響を未然に防止し得るため、これを用いたテレビノヨン
装置の画jXを良好に保持することができる等の優れた
効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の半導体装置としての固体撮像装置の構成
を示す断面図、第2図は本発明に係る半導体装置の一実
施例として固体撮像装置の構成を示す断面図である。 1・・・基板、1a・・・凹状部、1b・段差部、2+
4+8・・・接着剤、3・・固体撮像素子、5・・・色
フィルタ、6・・ボンデング1ノ・イヤ、7・・:Dl
h板、9・・箱体、9a・・11111壁、9b・・鍔
状縁、9C・・・開口。 出願人代理人  猪  股   清

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)受光部若しくは発光部を有する半導体素子と、こ
    の半導体素子を装着する凹状部、および、この凹状部の
    外側周囲を欠落してなる段差部を有する基板と、遮光性
    部材でなり、前記段差部に係合する鍔状縁を有し、且つ
    、底部壁に開口を有する箱体と、透光性部材でなり、前
    記箱体の開口を塞ぐ封止板とを具え、この封止板を前記
    箱体の内底面に接着し、この箱体を前記基板の凹状部に
    被せて前記鍔状縁を前記段差部に接着したことを特徴と
    する半導体装置。   ゛(2)前記半導体素子は受光
    部に色フィルタが貼着された固体撮像素子でなり、前記
    箱体に形成された開口の内縁部が前記色フィルタの外縁
    部を覆うように構成したことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の半導体装置。
JP58055535A 1983-03-31 1983-03-31 半導体装置 Pending JPS59181580A (ja)

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JP58055535A JPS59181580A (ja) 1983-03-31 1983-03-31 半導体装置

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JP58055535A JPS59181580A (ja) 1983-03-31 1983-03-31 半導体装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6237948A (ja) * 1985-08-12 1987-02-18 Matsushita Electronics Corp 電子部品搭載用パッケージ
JPH01150343A (ja) * 1987-12-07 1989-06-13 Nec Corp チップキャリア用キャップ
JP2010129744A (ja) * 2008-11-27 2010-06-10 Murata Mfg Co Ltd 光センサモジュール

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6237948A (ja) * 1985-08-12 1987-02-18 Matsushita Electronics Corp 電子部品搭載用パッケージ
JPH01150343A (ja) * 1987-12-07 1989-06-13 Nec Corp チップキャリア用キャップ
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