JPS59168648A - 超音波接着装置 - Google Patents
超音波接着装置Info
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- JPS59168648A JPS59168648A JP58044840A JP4484083A JPS59168648A JP S59168648 A JPS59168648 A JP S59168648A JP 58044840 A JP58044840 A JP 58044840A JP 4484083 A JP4484083 A JP 4484083A JP S59168648 A JPS59168648 A JP S59168648A
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はボンディングワイヤを半導体基板の電極、外
部リードなどの被接着物に超音波接着する超音波接着装
置に関するものである。
部リードなどの被接着物に超音波接着する超音波接着装
置に関するものである。
第１図は従来の超音波接着装置の一例の主要構成要素を
模式的に示す構成図である。
模式的に示す構成図である。
図において、（１）は超音波振動を発生する超音波発振
子、（２）は超音波発振子（１）に接続され超音波発振
子（１）にこれを超音波振動させる高周波電ノコを所要
時間供給する高周波発生装置、（３）は一方の端部すが
超音波発振子（１）に固着され超音波発振子（］）カス
発生する超音波振動を伝送するホーン、（４）は一方の
端部がポーン（３）の他方の端部に固着され他方の端部
でボンディングワイヤ（７）を被接着物（６０）に押し
付けて、超音波発振子（１）からホーン（３）を通して
伝送される超音波振動によって、超音波接着を行う接着
子である。
子、（２）は超音波発振子（１）に接続され超音波発振
子（１）にこれを超音波振動させる高周波電ノコを所要
時間供給する高周波発生装置、（３）は一方の端部すが
超音波発振子（１）に固着され超音波発振子（］）カス
発生する超音波振動を伝送するホーン、（４）は一方の
端部がポーン（３）の他方の端部に固着され他方の端部
でボンディングワイヤ（７）を被接着物（６０）に押し
付けて、超音波発振子（１）からホーン（３）を通して
伝送される超音波振動によって、超音波接着を行う接着
子である。
この従来例の装置では、接着子（４）がボンディングワ
イヤ（５０）を被接着物（６０）に押し付けた時点で、
高周波発生装置（２）から超音波発振子（１）へ高周波
電力が供給され、超音波発振子（１）が振動を開始する
。
イヤ（５０）を被接着物（６０）に押し付けた時点で、
高周波発生装置（２）から超音波発振子（１）へ高周波
電力が供給され、超音波発振子（１）が振動を開始する
。
そして、この超音波発振子（１）が発生する超音波振動
がホーン（３）を通して接着子（４）に伝送され、ボン
ディングワイヤ（・力）と被接着物（６０）との超音波
接着が行われる。
がホーン（３）を通して接着子（４）に伝送され、ボン
ディングワイヤ（・力）と被接着物（６０）との超音波
接着が行われる。
ところで、ボンディングワイヤ（５０）と被接着物（６
０）との超音波接着は、高周波発生装置（２）から１沼
音波伯（辰子（１）への高周波電力の供給量の変ｉ１ｆ
す、超音波発振子（１）のひび割れなどによる１強度の
低下、超音波振動子（１）とホーン（３）との間やポー
／（３）と接着子（４）との間の固着状態、接着子（４
）のボンディングワイヤ（５０）を被接着物（６０）に
押し伺ける状態などの要因によって大きな影響を受ける
。しかし、従来例の装置では、それ自身で超音波接着作
業が正常に行われたかどうかを確認する機能がないので
、超音波接着作業はできても、その接着の良否は単に接
着部分の形状の外観的な検査のみによって判定されてい
た。従って、超音波接着強度については、外観的な検査
とは別に引張り試験などによる抜取り検査によって一部
の製品についてのみ＃関するので、超音波接着強度の信
頼性は悪かった。
０）との超音波接着は、高周波発生装置（２）から１沼
音波伯（辰子（１）への高周波電力の供給量の変ｉ１ｆ
す、超音波発振子（１）のひび割れなどによる１強度の
低下、超音波振動子（１）とホーン（３）との間やポー
／（３）と接着子（４）との間の固着状態、接着子（４
）のボンディングワイヤ（５０）を被接着物（６０）に
押し伺ける状態などの要因によって大きな影響を受ける
。しかし、従来例の装置では、それ自身で超音波接着作
業が正常に行われたかどうかを確認する機能がないので
、超音波接着作業はできても、その接着の良否は単に接
着部分の形状の外観的な検査のみによって判定されてい
た。従って、超音波接着強度については、外観的な検査
とは別に引張り試験などによる抜取り検査によって一部
の製品についてのみ＃関するので、超音波接着強度の信
頼性は悪かった。
この発明は、上述の欠点を改善する目的でなされたもの
で、超音波接着作業を行う度毎に、７ビンデイング１ク
イヤの被接着物への超音波接着に影響を与える要因に対
応する電気信号と正常な超音波作業時の上記要因に対応
する電気信号とを比較して超音波接着作業の良否を判定
し、異常な超音波接着作業が行われないようにすること
によって、超音波接着強度の信頼性のよい超音波接着装
置を提供するものである。
で、超音波接着作業を行う度毎に、７ビンデイング１ク
イヤの被接着物への超音波接着に影響を与える要因に対
応する電気信号と正常な超音波作業時の上記要因に対応
する電気信号とを比較して超音波接着作業の良否を判定
し、異常な超音波接着作業が行われないようにすること
によって、超音波接着強度の信頼性のよい超音波接着装
置を提供するものである。
第２図はこの発明の一実施例の超音波接着装置の主要構
成要素を模式的に示す構成図である。
成要素を模式的に示す構成図である。
図において、第１図に示した従来例の符号と同一符号は
同等部分を示す。（５）は高周波発生装ｆＮ （２）に
接続され高周波発生装置（２）が超音波発振子（１）へ
供給する高周波電力に対応する電圧値を有（−周波数が
６０Ｋ１４ｚで発振時間が２０〜３０ミリ秒である電気
信号を高周波発生装置（２）から間欠的に捷たは連続的
に敗り込んで遅延整流して出力する遅延整流器、（６）
は遅延整流器（５）に接続され正常な超音波接着作業が
行われたときに遅延整流器（５〕から出力された電気信
号を蓄えたメモリを有し超音波接着作業が行われる度毎
に遅延整流器（５）から出力される電気信号とこれに対
応する上記メモリに蓄えられた電気信号とを比較してこ
れらの電気信号の差が許容範囲外である異常な超音波接
着作業のときには警報信号を出力する超音波接着作業良
否判定器、（７）は超音波接着作業良否判定器（６）に
接続され超音波接着作業良否判定器（６）が警報信号を
出力（−だときには警報を発すると同時に異常な超音波
接着作業の続行を停止させる警報器である。
同等部分を示す。（５）は高周波発生装ｆＮ （２）に
接続され高周波発生装置（２）が超音波発振子（１）へ
供給する高周波電力に対応する電圧値を有（−周波数が
６０Ｋ１４ｚで発振時間が２０〜３０ミリ秒である電気
信号を高周波発生装置（２）から間欠的に捷たは連続的
に敗り込んで遅延整流して出力する遅延整流器、（６）
は遅延整流器（５）に接続され正常な超音波接着作業が
行われたときに遅延整流器（５〕から出力された電気信
号を蓄えたメモリを有し超音波接着作業が行われる度毎
に遅延整流器（５）から出力される電気信号とこれに対
応する上記メモリに蓄えられた電気信号とを比較してこ
れらの電気信号の差が許容範囲外である異常な超音波接
着作業のときには警報信号を出力する超音波接着作業良
否判定器、（７）は超音波接着作業良否判定器（６）に
接続され超音波接着作業良否判定器（６）が警報信号を
出力（−だときには警報を発すると同時に異常な超音波
接着作業の続行を停止させる警報器である。
この実施例の構成は、遅延整流器（５）、超音波接着作
業良否判定器（６）および警報器（７）以外は第１図に
示しだ従来例の構成と同様である。
業良否判定器（６）および警報器（７）以外は第１図に
示しだ従来例の構成と同様である。
この実施例では、超音波接着作業を行う度毎に、超音波
接着作業良否判定器（６）が遅延整流器（５）から出力
たれ高周波発生装置（２）の超音波発振子（１）への供
給高周波電力に対応する電気信号とこれに対応するメモ
リに蓄えられた正常な超音波接着作業時の電気イハ号と
を比較して、これらの電気信号の差が許容範囲外である
異常な超音波接着作業のときには、警報器（７）へ警報
信号を出力して異常な超音波接着作業の続行を停止する
ので、超音波接着強度の小さい不良品をなくすことがで
き、超音波接着強度の信頼性をよくすることができる。
接着作業良否判定器（６）が遅延整流器（５）から出力
たれ高周波発生装置（２）の超音波発振子（１）への供
給高周波電力に対応する電気信号とこれに対応するメモ
リに蓄えられた正常な超音波接着作業時の電気イハ号と
を比較して、これらの電気信号の差が許容範囲外である
異常な超音波接着作業のときには、警報器（７）へ警報
信号を出力して異常な超音波接着作業の続行を停止する
ので、超音波接着強度の小さい不良品をなくすことがで
き、超音波接着強度の信頼性をよくすることができる。
なお、この実施例では、遅延整流器（５）、超音波接着
作業良否判定器（６）および貴報器（７）を用いた場合
について述べたが、この発明はこれに限らず、超音波接
着作業良否判定器に遅延整流器および警報器の機能をも
たせた夕）合にも適用することができる。また、この実
施例では、超音波接着作業良否判定器（６）が超音波接
着作業の良否の判定に高周波発生装置（２）の超音波振
動子（１）へ供給する高周波電力に対応する電気信号の
みを用いた場合について述べたが、この発明はこれに限
らず、上記高周波電力に対応する電気信号と、その他の
ボンディングワイヤの被接着物への超音波接着に影響を
与える要因である高周波発生装置（２）の超音波発振子
（１）へ高周波電力を供給する時間、超音波発振子（１
）からホーン（３）を通して接着子（４）へ伝送される
超音波振動および接着子（４）のボンディングワイヤを
被接着物へ押し付ける荷重にそれぞれ対応する電気信号
のうちの一つ以上の電気信号とを合わせ用いた場合にも
適用することができる。この肌合には超音波接着作業良
否判定器の判定精度をよくすることができる。
作業良否判定器（６）および貴報器（７）を用いた場合
について述べたが、この発明はこれに限らず、超音波接
着作業良否判定器に遅延整流器および警報器の機能をも
たせた夕）合にも適用することができる。また、この実
施例では、超音波接着作業良否判定器（６）が超音波接
着作業の良否の判定に高周波発生装置（２）の超音波振
動子（１）へ供給する高周波電力に対応する電気信号の
みを用いた場合について述べたが、この発明はこれに限
らず、上記高周波電力に対応する電気信号と、その他の
ボンディングワイヤの被接着物への超音波接着に影響を
与える要因である高周波発生装置（２）の超音波発振子
（１）へ高周波電力を供給する時間、超音波発振子（１
）からホーン（３）を通して接着子（４）へ伝送される
超音波振動および接着子（４）のボンディングワイヤを
被接着物へ押し付ける荷重にそれぞれ対応する電気信号
のうちの一つ以上の電気信号とを合わせ用いた場合にも
適用することができる。この肌合には超音波接着作業良
否判定器の判定精度をよくすることができる。
以上、説明したように、この発明の超音波接着強度では
、超音波接着作業を行う度毎に、ボンディングワイヤの
被接着物への超音波接着に影響を与える要因に対応する
電気信号と正常な超音波接着作業時の上記要因に対応す
る電気信号とを比較してこれらの電気信号の差が許容範
囲外である異常な超音波接着作業のときにはこの異常な
超音波接着作業の続行を停止Ｆさせる軒報信号を出力す
る超音波接着作業良否判定器を備えているので、超音波
接着強度の小さい不良品をなくすことができ、超音波接
着強度の信頼性をよくすることができる。
、超音波接着作業を行う度毎に、ボンディングワイヤの
被接着物への超音波接着に影響を与える要因に対応する
電気信号と正常な超音波接着作業時の上記要因に対応す
る電気信号とを比較してこれらの電気信号の差が許容範
囲外である異常な超音波接着作業のときにはこの異常な
超音波接着作業の続行を停止Ｆさせる軒報信号を出力す
る超音波接着作業良否判定器を備えているので、超音波
接着強度の小さい不良品をなくすことができ、超音波接
着強度の信頼性をよくすることができる。
第１図は従来の超音波接着装置の一例の主要構成要素を
模式的釦示す構成図、第２図はこの発明の一実施例の超
音波接着装置の主要構成要素を模式的に示す構成図であ
る。 図において、（１）は超音波発振子、（２）は高周波発
生装置、（３）はホーン、（４）は接着子、（６）は超
音波接着作業良否判定器である。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 第１１に 第２図
模式的釦示す構成図、第２図はこの発明の一実施例の超
音波接着装置の主要構成要素を模式的に示す構成図であ
る。 図において、（１）は超音波発振子、（２）は高周波発
生装置、（３）はホーン、（４）は接着子、（６）は超
音波接着作業良否判定器である。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 第１１に 第２図
Claims (5)
- （１）超音波振動を発生する超音波発振子と、この超音
波発振子に接続され上記超音波発振子にこれを超音波振
動させる高周波電力を所要時間供給する高周波発生装置
と、一方の端部が上記超音波発振子に固着され上記超音
波発振子が発生する超音波振動を伝送するホーンと、一
方の端部が上記ホルンの他方の端部に固着され他方の端
部でボンディングワイヤを被接着物に押し付けて上記超
音波発振子から上記ホーンを通して伝送される超音波振
動によって超音波接着を行う接着子とを有し超音波接着
作業を行うものにおいて、超音波接着作業を行う度毎に
、上記ボンディングワイヤの上記被接着物への超音波接
着に影響を与える徽因に対応する電気信号と、正常な超
音波接着作業時の」二記男：因に対応する電気信号とを
比較してこれらの電気信号の差が許容範囲外である異常
な超音波接着作業のときにはこの異常な超音波接着作業
の続行を停止させる警報信号を出力する超音波接着作業
良否判定器を備えたことを特徴とする超音波接着装置。 - （２） ボンディングワイヤの被接着物への超音波接
着に影響を与える要因として、高周波発生装置の超音波
発振子へ供給する高周波電力を用いたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の超音波接着装置。 - （３） ボンディングワイヤの被接着物への超音波接
着に影響を与える要因として、高周波発生装置の超音波
発振子へ高周波電力を供給する時間をも用いたことを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の超音波接着装置。 - （４） ボンディングワイヤの被接着物への超音波接
着に影響を与える要因として、超音波発振子からホーン
を通して接着子へ伝送される超音波振動をも用いたこと
を特徴とする特許請求の範囲第２項または第３項記載の
超音波接着装置。 - （５） ボンディングワイヤの被接着物への超音波接
着に影響を与える要因として、接着子のボンディングワ
イヤを被接着物へ押し付ける荷重をも用いたことを特徴
とする特許請求の範囲第２項ないし第４項のいずれかに
記載の超音波接着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58044840A JPS59168648A (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | 超音波接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58044840A JPS59168648A (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | 超音波接着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59168648A true JPS59168648A (ja) | 1984-09-22 |
Family
ID=12702669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58044840A Pending JPS59168648A (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | 超音波接着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59168648A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0431117U (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-12 |
-
1983
- 1983-03-15 JP JP58044840A patent/JPS59168648A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0431117U (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-12 |
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