JPS59166884A - レ−ザレ−ダ装置 - Google Patents
レ−ザレ−ダ装置Info
- Publication number
- JPS59166884A JPS59166884A JP58041809A JP4180983A JPS59166884A JP S59166884 A JPS59166884 A JP S59166884A JP 58041809 A JP58041809 A JP 58041809A JP 4180983 A JP4180983 A JP 4180983A JP S59166884 A JPS59166884 A JP S59166884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- laser
- light
- laser oscillator
- reflected light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/484—Transmitters
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はパルス状のレーザ送信光の物体による反射波
を光ヘテロゲイン検波受信器で受信するレーザレーダ装
置に関するものである。
を光ヘテロゲイン検波受信器で受信するレーザレーダ装
置に関するものである。
従来のこの種装置を第１図によって説明する。第１図に
おいて、 ＋１）、 （２）はレーザ発振器、（３）は
レーザ増幅器、 ＋４１． （５）は光学系、（６）
はビームスプリッタ、（７）は検出器、Ｃ８）は送信光
、（９）は反射光、Ｏｌ）は反射鏡である・第１図にお
いてレーザ発振器（１）は単一の縦モード及び横モード
で連続発振し、その出力光は直線偏波である。この出力
光をレーザ増幅（３）でパルス状に増幅し、光学系（４
）を通して送信する。レーザ発振器（１）の出力光の周
波数をｆｏとすると送信光（８）の周波数もｆｏとなる
。送信光（８）の物体による反射光（９）は光学系（５
）を通過し１反射鏡０Ｉで反射しビームスプリッタ（６
）を通過して検出器（７）に入射する。反射光（９）の
周波数ｆｒは次式で表わされる。
おいて、 ＋１）、 （２）はレーザ発振器、（３）は
レーザ増幅器、 ＋４１． （５）は光学系、（６）
はビームスプリッタ、（７）は検出器、Ｃ８）は送信光
、（９）は反射光、Ｏｌ）は反射鏡である・第１図にお
いてレーザ発振器（１）は単一の縦モード及び横モード
で連続発振し、その出力光は直線偏波である。この出力
光をレーザ増幅（３）でパルス状に増幅し、光学系（４
）を通して送信する。レーザ発振器（１）の出力光の周
波数をｆｏとすると送信光（８）の周波数もｆｏとなる
。送信光（８）の物体による反射光（９）は光学系（５
）を通過し１反射鏡０Ｉで反射しビームスプリッタ（６
）を通過して検出器（７）に入射する。反射光（９）の
周波数ｆｒは次式で表わされる。
ｆｒ ” １０ ＋ ／ｄ ・・・・・・
・・・・・・・・・ ｆｔｌ第（１）式において／ｄは
送信光（８）の物体によるドラグラシフト周波数であシ
、物体が接近する場合は正の値を２部体が離隔する場合
は負の値をそれぞれとシ、物体が静止する場合はゼロと
なる。
・・・・・・・・・ ｆｔｌ第（１）式において／ｄは
送信光（８）の物体によるドラグラシフト周波数であシ
、物体が接近する場合は正の値を２部体が離隔する場合
は負の値をそれぞれとシ、物体が静止する場合はゼロと
なる。
一方、レーザ発振器（２）も単−縦、横モードで連続発
振し、その出力光は直線偏波であるとする０レ一ザ発振
器（２）の出力光をビームスプリッタ（６）で反射光（
９）に重ね、検出器（７）に入射させる。
振し、その出力光は直線偏波であるとする０レ一ザ発振
器（２）の出力光をビームスプリッタ（６）で反射光（
９）に重ね、検出器（７）に入射させる。
レーザ発振器（２）の出力光を局部発振光として反射光
（９）を光ヘテロダイン検波するため両者の偏波を揃え
ておく。また局部発振光の周波数／Ｉとｆｒが等しくな
らないようにレーザ発振器（１）、（２）の周波数をず
らしておく。以上のように構成するとパルス状の送信光
（８）の物体による反射光（９）を光へテロダイン検波
器で高感度に受信できることがわかる。しかし第１図の
装置では局部発振光と反射光（９）の周波数をオフセッ
トするだめに２台のレーザ発振器が必要であり、装置が
複雑化、大形化する欠点があった。
（９）を光ヘテロダイン検波するため両者の偏波を揃え
ておく。また局部発振光の周波数／Ｉとｆｒが等しくな
らないようにレーザ発振器（１）、（２）の周波数をず
らしておく。以上のように構成するとパルス状の送信光
（８）の物体による反射光（９）を光へテロダイン検波
器で高感度に受信できることがわかる。しかし第１図の
装置では局部発振光と反射光（９）の周波数をオフセッ
トするだめに２台のレーザ発振器が必要であり、装置が
複雑化、大形化する欠点があった。
従来のこの種装置の他の例を第２図によって説明する。
第２図においてαυは音響光学変調器である。第２図に
おいて、レーザ発振器（１）は単−縦、横モードで連続
発振しておシ、その出力光はビームスプリッタ（６）、
パルス状に動作するレーザ増幅器（３）、及び光学系（
４）を通して送信される。反射光（９）は光学系（５）
を通過し、ビームスプリッタｕりで反射され検出器（７
）に入射する。一方、ビームスプリッタ（６）によって
反射されたレーザ発振器（１）の出力光を音響光学変調
器（１１）を通し、ビームスプリッタ叫で反射光（９）
に重ねて局部発振光として検出器（７）に入射させる。
おいて、レーザ発振器（１）は単−縦、横モードで連続
発振しておシ、その出力光はビームスプリッタ（６）、
パルス状に動作するレーザ増幅器（３）、及び光学系（
４）を通して送信される。反射光（９）は光学系（５）
を通過し、ビームスプリッタｕりで反射され検出器（７
）に入射する。一方、ビームスプリッタ（６）によって
反射されたレーザ発振器（１）の出力光を音響光学変調
器（１１）を通し、ビームスプリッタ叫で反射光（９）
に重ねて局部発振光として検出器（７）に入射させる。
音響光学変調器＜１１）によって／ｌとｆｒが等しくな
らないように１１を設定すれば、第１図の装置と同様に
反射光（９）を光ヘテロダイン検波できる。しかし音響
光学変調器Ｉは一般に大電力を消費するだめ冷却水や高
電力駆動回路を必要とし、したがって装置全体が大形化
する欠点がめった。
らないように１１を設定すれば、第１図の装置と同様に
反射光（９）を光ヘテロダイン検波できる。しかし音響
光学変調器Ｉは一般に大電力を消費するだめ冷却水や高
電力駆動回路を必要とし、したがって装置全体が大形化
する欠点がめった。
この発明はこれらの欠点を除去するだめｋｌ −縦、横
モードで連続発振しかつその周波数が同調可能なレーザ
発振器を用いるようにしたもので、以下図面について詳
細に説明する・第３図はこの発明の実施例を示す図であ
る。
モードで連続発振しかつその周波数が同調可能なレーザ
発振器を用いるようにしたもので、以下図面について詳
細に説明する・第３図はこの発明の実施例を示す図であ
る。
第３図においてａ３は周波数制御器、θくはタイミング
制御器である。第３図においてレーザ発振器（１）は単
−縦、横モードで連続発振し、その周波数は周波数制御
器（１騰によって制御できるものとする。ビームスプリ
ッタ（６）を通過したレーザ発振器（１）の出力光をパ
ルス状に動作するレーザ増幅器（３）で増幅し、光学系
（４）を通して送信する。物体による反射光（９）は光
学系ｆ５）を通過し、ビームスプリスタα擾で反射し検
出器（７）に入射する。一方、ビームスプリッタ（６）
で反射されたレーザ発振器（１）の出力光をビームスプ
リスタθ２で反射光（９）に重ね合せ局部発振光として
検出器（ηに入射させる。第１図の説明と同様にレーザ
発振器（１）の周波数をｆｏ、反射光（９）の周波数を
ｆｒとすると９以上の構成では物体が静止してｂる場合
ｆｏとｆｒが等しくなり１反射光（９）をヘテロダイン
検波できなり０そこでレーザ増幅器（３）をパルス動作
させ送信光（８）を射出した直後に、タイミング制御器
α４によって周波数制御器（１３１に指令を与えレーザ
発振器（１）の周波数をｆ’ｏに変化させる。
制御器である。第３図においてレーザ発振器（１）は単
−縦、横モードで連続発振し、その周波数は周波数制御
器（１騰によって制御できるものとする。ビームスプリ
ッタ（６）を通過したレーザ発振器（１）の出力光をパ
ルス状に動作するレーザ増幅器（３）で増幅し、光学系
（４）を通して送信する。物体による反射光（９）は光
学系ｆ５）を通過し、ビームスプリスタα擾で反射し検
出器（７）に入射する。一方、ビームスプリッタ（６）
で反射されたレーザ発振器（１）の出力光をビームスプ
リスタθ２で反射光（９）に重ね合せ局部発振光として
検出器（ηに入射させる。第１図の説明と同様にレーザ
発振器（１）の周波数をｆｏ、反射光（９）の周波数を
ｆｒとすると９以上の構成では物体が静止してｂる場合
ｆｏとｆｒが等しくなり１反射光（９）をヘテロダイン
検波できなり０そこでレーザ増幅器（３）をパルス動作
させ送信光（８）を射出した直後に、タイミング制御器
α４によって周波数制御器（１３１に指令を与えレーザ
発振器（１）の周波数をｆ’ｏに変化させる。
周波数の変化は反射光（９）が検出器（７）に入射する
までに完了させる。この結果、送信光（８）の周波数が
ｆｏであるのに対して局部発振光の周波数はｆｄとなり
両者が異なるので物体が静止してｂる場合も反射光（９
）を光へテロダイン検波できる。
までに完了させる。この結果、送信光（８）の周波数が
ｆｏであるのに対して局部発振光の周波数はｆｄとなり
両者が異なるので物体が静止してｂる場合も反射光（９
）を光へテロダイン検波できる。
ｆｄは物体が移動する場合のｆｄも考慮しｆｏ＋ｆ（と
等しくならないよう−にする必要がある。２月に送信光
（８）を射出するときはレーザ発振器（の周波数をｆ’
ｏとしたままレーザ増幅器（３）をパノス動作させ、前
述と同様その直後にレーザ発振器（１）の周波数をｆｏ
に変化させる。この結果、送信光（８）と局部発振光の
周波数が１回目のときの入れ違−となり１回目同様反射
光を光ヘテロダイン検波できる。以上のようにレーザ増
幅器（３）を動作させる度に、レーザ発振器の周波数を
／。
等しくならないよう−にする必要がある。２月に送信光
（８）を射出するときはレーザ発振器（の周波数をｆ’
ｏとしたままレーザ増幅器（３）をパノス動作させ、前
述と同様その直後にレーザ発振器（１）の周波数をｆｏ
に変化させる。この結果、送信光（８）と局部発振光の
周波数が１回目のときの入れ違−となり１回目同様反射
光を光ヘテロダイン検波できる。以上のようにレーザ増
幅器（３）を動作させる度に、レーザ発振器の周波数を
／。
とｆ’ｏとに交互に変化させれば毎回反射光（９）を光
ヘテロダイン検波できる。
ヘテロダイン検波できる。
以上のように、この発明に係るレーザレーダ装置では、
１台のレーザ発振器の出力を信号光としてパルス増幅し
た後、直ちにその周波数を変えて局部発振光として用い
るので従来この種装置のように２台のレーザ発振器を必
要とじたリ、大電力を消費し冷却水を必要とする音響光
学変調器を必要としないので装置を小形化できるという
利点がある。
１台のレーザ発振器の出力を信号光としてパルス増幅し
た後、直ちにその周波数を変えて局部発振光として用い
るので従来この種装置のように２台のレーザ発振器を必
要とじたリ、大電力を消費し冷却水を必要とする音響光
学変調器を必要としないので装置を小形化できるという
利点がある。
第１図、第２図は従来のレーザレーダ装置の概略構成図
、第３図はこの発明の実施例を示す図である。図中＋’
（１）、 （２）はレーザ発振器、（３）はレーザ増
幅器、 （４１，ｆ５）は光学系、（６）はビームスプ
リンタ、（７）は検出器、（８）は送信光、（９）は反
射光、 ｉｌｌは反射鏡、αυは音響光学変調器、
０３はビームスプリッタ、α沸は周波数制御器、ａ荀は
タイミング制御器である。 なお９図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示しである。 代理人 葛 野 信 − 藷 １ 図 ｆＪＲ囚 第 ３ 図
、第３図はこの発明の実施例を示す図である。図中＋’
（１）、 （２）はレーザ発振器、（３）はレーザ増
幅器、 （４１，ｆ５）は光学系、（６）はビームスプ
リンタ、（７）は検出器、（８）は送信光、（９）は反
射光、 ｉｌｌは反射鏡、αυは音響光学変調器、
０３はビームスプリッタ、α沸は周波数制御器、ａ荀は
タイミング制御器である。 なお９図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示しである。 代理人 葛 野 信 − 藷 １ 図 ｆＪＲ囚 第 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光へテロゲイン検波受信器を有するレーザレーダ装置に
おいて、単一の縦モード及び横モードで連続発振しかつ
その周波数が同調可能なレーザ発振器と、前記レーザ発
振器の出力光をパルス状に増幅するレーザ増幅器と、前
記レーザ増幅器がパルス動作したのち所定の時間内に前
記レーザ発振器の出力光の周波数を所定の周波数だけ変
化させる手段とを有し、前記レーザ発振器の出力光をビ
ームスプリッタで２分割し１方を送信光として前記レー
ザ増幅器で増幅し。 他方を光ヘテロダイン検波受信器の局部発掘光として用
いるように構成することを特徴とするレーザレーダ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58041809A JPS59166884A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | レ−ザレ−ダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58041809A JPS59166884A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | レ−ザレ−ダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166884A true JPS59166884A (ja) | 1984-09-20 |
Family
ID=12618639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58041809A Pending JPS59166884A (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | レ−ザレ−ダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59166884A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6274368B1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-02-07 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| WO2018083749A1 (ja) * | 2016-11-02 | 2018-05-11 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
-
1983
- 1983-03-14 JP JP58041809A patent/JPS59166884A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018083749A1 (ja) * | 2016-11-02 | 2018-05-11 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| JP6505331B2 (ja) * | 2016-11-02 | 2019-04-24 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| JPWO2018083749A1 (ja) * | 2016-11-02 | 2019-04-25 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| JP6274368B1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-02-07 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| WO2018189863A1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| US11550042B2 (en) | 2017-04-13 | 2023-01-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser radar system |
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