JPS59166441U - スピン・コ−タ - Google Patents

スピン・コ−タ

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Publication number
JPS59166441U
JPS59166441U JP6274683U JP6274683U JPS59166441U JP S59166441 U JPS59166441 U JP S59166441U JP 6274683 U JP6274683 U JP 6274683U JP 6274683 U JP6274683 U JP 6274683U JP S59166441 U JPS59166441 U JP S59166441U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spin coater
cup
spin
valve
exhaust pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6274683U
Other languages
English (en)
Inventor
正幸 橋本
Original Assignee
クラリオン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by クラリオン株式会社 filed Critical クラリオン株式会社
Priority to JP6274683U priority Critical patent/JPS59166441U/ja
Publication of JPS59166441U publication Critical patent/JPS59166441U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスピン・コータの断面図、第２図は本考
案によるスピン・コータの一実施例の断面図である。 １・・・カップ、２・・・排気管、３・・・排液管、４
・・・回転シャフト、５・・・ウェファ・チャック、６
・・・ウェファ、７・・・ディスペンサ、８・・・カッ
プの蓋、９・・・０１Ｊング、１０・・・バルブで１１
・・・大気の流れを示す矢印ζ　１２・・・蒸発物を示
す矢印。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. カップが蓋を有し、かつ排気管に溶液の滴下から回転塗
    布まで閉じられるバルブを具備することを特徴とするス
    ピン・コータ。
JP6274683U 1983-04-25 1983-04-25 スピン・コ−タ Pending JPS59166441U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6274683U JPS59166441U (ja) 1983-04-25 1983-04-25 スピン・コ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6274683U JPS59166441U (ja) 1983-04-25 1983-04-25 スピン・コ−タ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59166441U true JPS59166441U (ja) 1984-11-08

Family

ID=30192935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6274683U Pending JPS59166441U (ja) 1983-04-25 1983-04-25 スピン・コ−タ

Country Status (1)

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JP (1) JPS59166441U (ja)

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