JPS59166282A - 超音波による洗浄方法 - Google Patents
超音波による洗浄方法Info
- Publication number
- JPS59166282A JPS59166282A JP3828183A JP3828183A JPS59166282A JP S59166282 A JPS59166282 A JP S59166282A JP 3828183 A JP3828183 A JP 3828183A JP 3828183 A JP3828183 A JP 3828183A JP S59166282 A JPS59166282 A JP S59166282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaned
- ultrasonic
- ultrasonic wave
- cleaning liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は超音波による仇浄方法、詳しくは洗浄槽内に
おいて被洗浄物に特定の運動をさぜることにより゛効率
良く洗ｇ）を行うことかできる超音波による洗浄力法に
関するものである。
おいて被洗浄物に特定の運動をさぜることにより゛効率
良く洗ｇ）を行うことかできる超音波による洗浄力法に
関するものである。
、沼音疲洗浄装置は／リコンウエハー、レンズ、ガラス
等精密な部品の洗浄の為多用されているか、これら板状
をした被洗浄物の超音波洗浄は第１図に示す通り、洗浄
液１０を満した洗浄漕／内に被洗浄物を縦に多数イヘ、
この破洗浄物ノ、−一一を上下方向に振動させつつ、洗
浄槽／の底面に取付けられた超音波振動子３から超音波
振動を印加することによって行っていた。
等精密な部品の洗浄の為多用されているか、これら板状
をした被洗浄物の超音波洗浄は第１図に示す通り、洗浄
液１０を満した洗浄漕／内に被洗浄物を縦に多数イヘ、
この破洗浄物ノ、−一一を上下方向に振動させつつ、洗
浄槽／の底面に取付けられた超音波振動子３から超音波
振動を印加することによって行っていた。
この様に上下方向に振動させる理由は被洗浄物２の周囲
の洗浄液を攪拌きせる為、及び洗浄槽／の底面から超音
波を印ヵ目する場合発生する超音波の定常波の節によっ
て被洗浄物ノに洗浄むらが発生することを防ぐ為である
。
の洗浄液を攪拌きせる為、及び洗浄槽／の底面から超音
波を印ヵ目する場合発生する超音波の定常波の節によっ
て被洗浄物ノに洗浄むらが発生することを防ぐ為である
。
しかしながら、シリコンウェハー、カラスレンズ等の板
状をした被洗浄物の場合、この探方上下方向の振動だけ
では洗浄液を切る断面積が小ざい為、被洗浄物の周囲の
洗浄液の移動。
状をした被洗浄物の場合、この探方上下方向の振動だけ
では洗浄液を切る断面積が小ざい為、被洗浄物の周囲の
洗浄液の移動。
、ｄ拌か小さく、被ぬ浄物の表面から遊離した汚れか被
洗（≠物の１わりに頭い、完全な洗浄き行えない欠点か
あった。
洗（≠物の１わりに頭い、完全な洗浄き行えない欠点か
あった。
この発明は上記従来の超音波による洗浄方法の欠点を除
去するもので８す、洗浄槽内て被洗浄物に特定の運動を
させることにより、シリコンウェハー、ガラス、レンズ
等板状をした被洗浄ζ吻を効率よく洗浄することができ
る。４音波による洗浄方法を提供することを目的とする
。
去するもので８す、洗浄槽内て被洗浄物に特定の運動を
させることにより、シリコンウェハー、ガラス、レンズ
等板状をした被洗浄ζ吻を効率よく洗浄することができ
る。４音波による洗浄方法を提供することを目的とする
。
以下、第２図以下に示すこの発明の実施例に基づいてそ
の杉！成を説明する。
の杉！成を説明する。
第１図はこの発明°を実施する為の超音波洗浄槽の断面
図であり、洗浄槽／の底面には超音波振動子３が取付け
られており、この洗浄槽／内には洗浄液１０が満たされ
ている。
図であり、洗浄槽／の底面には超音波振動子３が取付け
られており、この洗浄槽／内には洗浄液１０が満たされ
ている。
又、図中ｊは被洗浄物を載置する洗浄カゴであり、支持
腕乙によって洗浄液１０中に浸漬されており、該支持腕
乙の上端は液ｍｌに対し７て水平に設けられた往復海運
力発生装置への往復運動ロッドどに連結されており、洗
浄カゴが洗浄液１０〒て矢印方向に往復動する・；】ｐ
になっている。
腕乙によって洗浄液１０中に浸漬されており、該支持腕
乙の上端は液ｍｌに対し７て水平に設けられた往復海運
力発生装置への往復運動ロッドどに連結されており、洗
浄カゴが洗浄液１０〒て矢印方向に往復動する・；】ｐ
になっている。
そして、被洗ｉｆ ’ｊ／／Ｊ２＋ −−一はこの洗浄
カゴｊに縦に並べて載置びれるのであり、この洗浄カゴ
ｊを往復動びせることにより、被洗浄物ノ。
カゴｊに縦に並べて載置びれるのであり、この洗浄カゴ
ｊを往復動びせることにより、被洗浄物ノ。
−−−はその表裏方向に洗浄液の水流を受けることにな
る。
る。
そして、この浦に洗浄カゴｊ中に縦に並べられた板状の
被洗浄物ノ、−一一は表裏方向に往復動σれつつ、洗浄
液１０を介して超音波振動がガロえられるのであり、被
洗浄物２．−ｍ−の表裏面には洗浄液が衝突し、この被
洗浄物２゜−ｍ−の表面付近の洗浄液は大きく攪拌され
、この被洗浄・吻ｌ、−一一の表面に付着した汚れは効
率よく落される。又、この横方向の往復動によって洗浄
ｆＳｌ／の底面から出る超音波のキャビテーションは被
洗浄物！、−一一によって切られ、洗浄効率は従来のも
のに比して大きく向上する。な３′、この発明の方法に
おいては被洗Ｏ物−１！＋−一一の洗浄面とキャビチー
／コンの接触する成金は従来の縦運動のものに比して数
７０倍から数７００倍になる。又、被洗呼物の表裏面方
向にこれを往復動させることにより効率よく汚れを落せ
るのは第３図に示す様に被洗浄物を往復動ζせることに
より、その表面／２１β１ｊの洗浄板１０の流速が速く
なり、裏面／３側では負圧力となる為であり、これによ
り、表面から汚れが容易に剥離す・る様になる。
被洗浄物ノ、−一一は表裏方向に往復動σれつつ、洗浄
液１０を介して超音波振動がガロえられるのであり、被
洗浄物２．−ｍ−の表裏面には洗浄液が衝突し、この被
洗浄物２゜−ｍ−の表面付近の洗浄液は大きく攪拌され
、この被洗浄・吻ｌ、−一一の表面に付着した汚れは効
率よく落される。又、この横方向の往復動によって洗浄
ｆＳｌ／の底面から出る超音波のキャビテーションは被
洗浄物！、−一一によって切られ、洗浄効率は従来のも
のに比して大きく向上する。な３′、この発明の方法に
おいては被洗Ｏ物−１！＋−一一の洗浄面とキャビチー
／コンの接触する成金は従来の縦運動のものに比して数
７０倍から数７００倍になる。又、被洗呼物の表裏面方
向にこれを往復動させることにより効率よく汚れを落せ
るのは第３図に示す様に被洗浄物を往復動ζせることに
より、その表面／２１β１ｊの洗浄板１０の流速が速く
なり、裏面／３側では負圧力となる為であり、これによ
り、表面から汚れが容易に剥離す・る様になる。
なお、上記実施例においては被洗浄物λ、−一一を洗＃
液中を横方向に直線的に往復動妊せているが第り図に示
す実施例の様に支持腕乙の上部をピボットタに蜘１支し
、洸紗カゴタをこのピボノ）Ｐを支点として揺動させる
碌にしても良く、又、第、夕図に示す・尿に洗浄カゴ３
を回転！ｐＨ］／３に取付げ、被洗浄物ノ、−一一を洗
浄液中において回転させる葎にしても良い。
液中を横方向に直線的に往復動妊せているが第り図に示
す実施例の様に支持腕乙の上部をピボットタに蜘１支し
、洸紗カゴタをこのピボノ）Ｐを支点として揺動させる
碌にしても良く、又、第、夕図に示す・尿に洗浄カゴ３
を回転！ｐＨ］／３に取付げ、被洗浄物ノ、−一一を洗
浄液中において回転させる葎にしても良い。
更に、これら運動に上下方向の運ＪＪ＋を合せて被洗浄
物にカロえる・課にしても良いことはもちろんである。
物にカロえる・課にしても良いことはもちろんである。
この発明は上述の通り、板状をした被洗浄物の表裏１ｌ
ＩＩ］に洗浄液の水流を衝突させつつこれに超軽−波振
劾をカロえて洗浄を行うものであり、従来のものに比し
て著しく〃ノ率よく超音波洗浄を行うことができるすぐ
れた効果を有するものでアリ、７′リコンウエハー、レ
ンズ、刀うス等ノ板状をした精密部品の洗浄に好適なも
のである。
ＩＩ］に洗浄液の水流を衝突させつつこれに超軽−波振
劾をカロえて洗浄を行うものであり、従来のものに比し
て著しく〃ノ率よく超音波洗浄を行うことができるすぐ
れた効果を有するものでアリ、７′リコンウエハー、レ
ンズ、刀うス等ノ板状をした精密部品の洗浄に好適なも
のである。
第１図は従来の超音波による洗浄方法を説明する洗浄装
置の断面図、第２図はこの発明の−冥施例を説明する為
の洗浄装置の断面図、第３図はその要部の説明図、第７
図、第夕図は他の実施例を説明する為の洗浄装置の断面
図である。 判−作出・狽人 島田理化工菓株式会社第５図 第４図
置の断面図、第２図はこの発明の−冥施例を説明する為
の洗浄装置の断面図、第３図はその要部の説明図、第７
図、第夕図は他の実施例を説明する為の洗浄装置の断面
図である。 判−作出・狽人 島田理化工菓株式会社第５図 第４図
Claims (1)
- 洗浄液か満σれ、底面には超音波振動子か取付けられた
洗浄槽中に板状をした被洗浄物を位置させ、該被洗浄物
の表、裏面に洗浄液の水流が衝突する１子にこの被洗浄
物を往復捷だは回転させうつこれに超音波を印カロし、
洗浄全行うことを特徴とする超音波による洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3828183A JPS59166282A (ja) | 1983-03-10 | 1983-03-10 | 超音波による洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3828183A JPS59166282A (ja) | 1983-03-10 | 1983-03-10 | 超音波による洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166282A true JPS59166282A (ja) | 1984-09-19 |
Family
ID=12520928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3828183A Pending JPS59166282A (ja) | 1983-03-10 | 1983-03-10 | 超音波による洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59166282A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124280U (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS583684A (ja) * | 1981-07-01 | 1983-01-10 | 島田理化工業株式会社 | 流体の流れを利用した回転洗浄方法 |
-
1983
- 1983-03-10 JP JP3828183A patent/JPS59166282A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS583684A (ja) * | 1981-07-01 | 1983-01-10 | 島田理化工業株式会社 | 流体の流れを利用した回転洗浄方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124280U (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 |
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