CN207971157U - 一种用于硅片的多重超声清洗装置 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims abstract description 19
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 9
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 244000089486 Phragmites australis subsp australis Species 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010358 mechanical oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于硅片的多重超声清洗装置，包括清洗池，所述清洗池外壁设有超声波发生器，所述清洗池内腔底部设有固定台，所述固定台内部设有限位槽，所述限位槽内部设有振动片，所述振动片与限位槽之间设有复位弹簧，所述清洗池顶部设有工作台。本实用新型通过设置固定台、振动片和放置槽，使用者将待清洗的硅片放置到放料仓内部，经传动电机工作由传动螺杆带动放料仓没入清洗池内部，由固定台与放置槽接触进行固定，超声波发生器工作带动清洗池内清洗液产生振动，对硅片进行清洁，振动的水波带动振动片来回运动带动复位弹簧收缩，在复位弹簧回弹力的作用下可加速清洗池内清洗液的振动幅度，达到较高的清洗效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗装置领域，特别涉及一种用于硅片的多重超声清洗装置。
背景技术
超声波清洗机主要是通过将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗槽壁将超声波辐射到槽子中的清洗液，由于受到超声波的辐射，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下保持振动，利用超声波空化所产生的巨大压力，破坏污物与清洗件表面的吸附，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，现有的超声波清洗机使用过程常常存在清洗效果不明显，无法达到预期的清洗效果。
因此，发明一种用于硅片的多重超声清洗装置来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于硅片的多重超声清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片的多重超声清洗装置，包括清洗池，所述清洗池外壁设有超声波发生器，所述清洗池内腔底部设有固定台，所述固定台内部设有限位槽，所述限位槽内部设有振动片，所述振动片与限位槽之间设有复位弹簧，所述清洗池顶部设有工作台，所述工作台与清洗池之间设有固定架，所述工作台顶部设有传动电机，所述工作台底部设有连接板，所述连接板与传动电机之间设有传动螺杆，所述传动螺杆两侧均设有收缩杆，所述连接板底部设有放料仓，所述放料仓与连接板之间设有连接杆，所述放料仓内腔底部设有限位块，所述限位块内部设有放置槽，所述限位块一侧设有清洗球，所述清洗球外壁设有清洗板，所述清洗板外壁设有凸出点，所述清洗球与放料仓之间设有转动轴承。
优选的，所述连接板上设有通孔，所述通孔与传动螺杆相适配，所述传动螺杆顶部与传动电机输出轴固定连接，所述传动螺杆底端设有限位凸块。
优选的，所述固定台与放置槽相适配，所述限位槽与振动片相适配。
优选的，所述放料仓和清洗球均与转动轴承固定连接，所述清洗球和清洗板均由橡胶材料制成。
优选的，所述清洗板与清洗球外壁固定连接，所述清洗板沿清洗球中心点呈十字交叉形设置。
优选的，所述收缩杆一端与工作台固定连接，所述收缩杆另一端与连接板固定连接。
本实用新型的技术效果和优点：本实用新型通过设置固定台、振动片和放置槽，使用者将待清洗的硅片放置到放料仓内部，经传动电机工作由传动螺杆带动放料仓没入清洗池内部，由固定台与放置槽接触进行固定，超声波发生器工作带动清洗池内清洗液产生振动，对硅片进行清洁，振动的水波带动振动片来回运动带动复位弹簧收缩，在复位弹簧回弹力的作用下可加速清洗池内清洗液的振动幅度，达到较高的清洗效果，通过设置清洗球，清洗板受到清洗池内振荡的清洗液作用下，沿转动轴承方向带动清洗球转动，凸出点对放料仓内硅片接触产生摩擦，更佳有效的去除硅片表面的污物。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的固定台结构示意图；
图3为本实用新型的放料仓结构示意图；
图4为本实用新型的图1中A部放大图；
图中：1清洗池、2超声波发生器、3固定台、4限位槽、5振动片、6复位弹簧、7工作台、8固定架、9传动电机、10连接板、11传动螺杆、12收缩杆、13放料仓、14连接杆、15限位块、16放置槽、17清洗球、18清洗板、19凸出点、20转动轴承。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-4所示的一种用于硅片的多重超声清洗装置，包括清洗池1，所述清洗池1外壁设有超声波发生器2，所述清洗池1内腔底部设有固定台3，所述固定台3内部设有限位槽4，所述限位槽4内部设有振动片5，所述振动片5与限位槽4之间设有复位弹簧6，所述清洗池1顶部设有工作台7，所述工作台7与清洗池1之间设有固定架8，所述工作台7顶部设有传动电机9，所述工作台7底部设有连接板10，所述连接板10与传动电机9之间设有传动螺杆11，所述传动螺杆11两侧均设有收缩杆12，所述连接板10底部设有放料仓13，所述放料仓13与连接板10之间设有连接杆14，所述放料仓13内腔底部设有限位块15，所述限位块15内部设有放置槽16，通过设置固定台3、振动片5和放置槽16，使用者将待清洗的硅片放置到放料仓13内部，经传动电机9工作由传动螺杆11带动放料仓13没入清洗池1内部，由固定台3与放置槽16接触进行固定，超声波发生器2工作带动清洗池1内清洗液产生振动，对硅片进行清洁，振动的水波带动振动片5来回运动带动复位弹簧6收缩，在复位弹簧6回弹力的作用下可加速清洗池1内清洗液的振动幅度，达到较高的清洗效果，所述限位块15一侧设有清洗球17，所述清洗球17外壁设有清洗板18，所述清洗板18外壁设有凸出点19，所述清洗球17与放料仓13之间设有转动轴承20。
所述连接板10上设有通孔，所述通孔与传动螺杆11相适配，所述传动螺杆11顶部与传动电机9输出轴固定连接，所述传动螺杆11底端设有限位凸块，所述固定台3与放置槽16相适配，所述限位槽4与振动片5相适配，所述放料仓13和清洗球17均与转动轴承20固定连接，通过设置清洗球17，清洗板18受到清洗池1内振荡的清洗液作用下，沿转动轴承20方向带动清洗球17转动，凸出点19对放料仓13内硅片接触产生摩擦，更佳有效的去除硅片表面的污物，所述清洗球17和清洗板18均由橡胶材料制成，所述清洗板18与清洗球17外壁固定连接，所述清洗板18沿清洗球17中心点呈十字交叉形设置，所述收缩杆12一端与工作台7固定连接，所述收缩杆12另一端与连接板10固定连接。
本实用工作原理：该用于硅片的多重超声清洗装置使用时，使用者将待清洗的硅片放置到放料仓13内部，经传动电机9工作由传动螺杆11带动放料仓13没入清洗池1内部，由固定台3与放置槽16接触进行固定，超声波发生器2工作带动清洗池1内清洗液产生振动，对硅片进行清洁，振动的水波带动振动片5来回运动带动复位弹簧6收缩，在复位弹簧6回弹力的作用下可加速清洗池1内清洗液的振动幅度，清洗板18受到清洗池1内振荡的清洗液作用下，沿转动轴承20方向带动清洗球17转动，凸出点19对放料仓13内硅片接触产生摩擦，更佳有效的去除硅片表面的污物。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于硅片的多重超声清洗装置，包括清洗池（1），其特征在于：所述清洗池（1）外壁设有超声波发生器（2），所述清洗池（1）内腔底部设有固定台（3），所述固定台（3）内部设有限位槽（4），所述限位槽（4）内部设有振动片（5），所述振动片（5）与限位槽（4）之间设有复位弹簧（6），所述清洗池（1）顶部设有工作台（7），所述工作台（7）与清洗池（1）之间设有固定架（8），所述工作台（7）顶部设有传动电机（9），所述工作台（7）底部设有连接板（10），所述连接板（10）与传动电机（9）之间设有传动螺杆（11），所述传动螺杆（11）两侧均设有收缩杆（12），所述连接板（10）底部设有放料仓（13），所述放料仓（13）与连接板（10）之间设有连接杆（14），所述放料仓（13）内腔底部设有限位块（15），所述限位块（15）内部设有放置槽（16），所述限位块（15）一侧设有清洗球（17），所述清洗球（17）外壁设有清洗板（18），所述清洗板（18）外壁设有凸出点（19），所述清洗球（17）与放料仓（13）之间设有转动轴承（20）。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的多重超声清洗装置，其特征在于：所述连接板（10）上设有通孔，所述通孔与传动螺杆（11）相适配，所述传动螺杆（11）顶部与传动电机（9）输出轴固定连接，所述传动螺杆（11）底端设有限位凸块。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片的多重超声清洗装置，其特征在于：所述固定台（3）与放置槽（16）相适配，所述限位槽（4）与振动片（5）相适配。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片的多重超声清洗装置，其特征在于：所述放料仓（13）和清洗球（17）均与转动轴承（20）固定连接，所述清洗球（17）和清洗板（18）均由橡胶材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片的多重超声清洗装置，其特征在于：所述清洗板（18）与清洗球（17）外壁固定连接，所述清洗板（18）沿清洗球（17）中心点呈十字交叉形设置。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片的多重超声清洗装置，其特征在于：所述收缩杆（12）一端与工作台（7）固定连接，所述收缩杆（12）另一端与连接板（10）固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820056518.0U CN207971157U (zh) | 2018-01-15 | 2018-01-15 | 一种用于硅片的多重超声清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820056518.0U CN207971157U (zh) | 2018-01-15 | 2018-01-15 | 一种用于硅片的多重超声清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207971157U true CN207971157U (zh) | 2018-10-16 |
Family
ID=63768942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820056518.0U Expired - Fee Related CN207971157U (zh) | 2018-01-15 | 2018-01-15 | 一种用于硅片的多重超声清洗装置 |
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| CN (1) | CN207971157U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109431430A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-08 | 胡振强 | 洗鞋机 |
-
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- 2018-01-15 CN CN201820056518.0U patent/CN207971157U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109431430A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-08 | 胡振强 | 洗鞋机 |
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