JPS59165354A - 電子ビ−ム装置 - Google Patents
電子ビ−ム装置Info
- Publication number
- JPS59165354A JPS59165354A JP3854883A JP3854883A JPS59165354A JP S59165354 A JPS59165354 A JP S59165354A JP 3854883 A JP3854883 A JP 3854883A JP 3854883 A JP3854883 A JP 3854883A JP S59165354 A JPS59165354 A JP S59165354A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam current
- value
- detected
- term
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/243—Beam current control or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、高速の電子ビームをワークに照射し、穴あ
け、浴接、溶解、熱処理などの加工を行う成子ビーム装
置に関するものでるる。
け、浴接、溶解、熱処理などの加工を行う成子ビーム装
置に関するものでるる。
このａＩ！子ビーム装置では、一般にビーム電流を制御
して、７ｆｉ望の加工を行わせるが、多数のワークを次
々と均一に加工するためにはビーム電流の精度や再現性
を良好に保つ必要がある。そのため、ビーム電流の値を
検出し設定値と比較してその偏差がなくなるようにフィ
ードバック制御するビーム電流自動制御回路を用いるこ
とが多い。しかしながらビーム電流の供給源である電子
ビーム加速用電源が数十キロボルト以上の高電圧を発生
することなどから、通常、′ビーム電流検出回路にはか
なシのノイズが混入する。そのノイズの影響を軽減する
ためローパスフィルター回路などを用いるが、それがビ
ーム電流自動制御回路の応答性に限界を与える。従って
ビーム電流を急峻に立上らせたシ低下させたシしたい場
合に間粗を生ずることがある。上記の応答性を改嵜する
一法として、ビーム加速電源の高電圧回路入力電源周波
数を（商用周波数より）上げ、ビーム電流検出回路へ混
入するノイズの基本周波数を高くするやシ方もあるが、
その場合は電源周波数変換装置が必要になるなど装置の
価格や信頼性の点で不利になる。
して、７ｆｉ望の加工を行わせるが、多数のワークを次
々と均一に加工するためにはビーム電流の精度や再現性
を良好に保つ必要がある。そのため、ビーム電流の値を
検出し設定値と比較してその偏差がなくなるようにフィ
ードバック制御するビーム電流自動制御回路を用いるこ
とが多い。しかしながらビーム電流の供給源である電子
ビーム加速用電源が数十キロボルト以上の高電圧を発生
することなどから、通常、′ビーム電流検出回路にはか
なシのノイズが混入する。そのノイズの影響を軽減する
ためローパスフィルター回路などを用いるが、それがビ
ーム電流自動制御回路の応答性に限界を与える。従って
ビーム電流を急峻に立上らせたシ低下させたシしたい場
合に間粗を生ずることがある。上記の応答性を改嵜する
一法として、ビーム加速電源の高電圧回路入力電源周波
数を（商用周波数より）上げ、ビーム電流検出回路へ混
入するノイズの基本周波数を高くするやシ方もあるが、
その場合は電源周波数変換装置が必要になるなど装置の
価格や信頼性の点で不利になる。
この発明は、ビーム電流を急速に立上らせたシ低下させ
たシすることが可能で比較的安価かつ高信頼度の電子ビ
ーム装置を提供するものである。
たシすることが可能で比較的安価かつ高信頼度の電子ビ
ーム装置を提供するものである。
この発明は、また、ビーム電流の精度や再現性が良好で
同種のワークをくシ返し多数加工するのに適した電子ビ
ーム装置を与えることも目的としている。
同種のワークをくシ返し多数加工するのに適した電子ビ
ーム装置を与えることも目的としている。
そのため本発明の電子ビーム装置では、ビーム電流が立
ち上った後、定常状態を保つ期間内の一部期間にビーム
電流の値を検出し、その検出値とビーム電流設定値とを
比較して補正信号を作シ、ビーム電流を制御するグリッ
ドバイアス電圧発生部の入力側の可変トランス出力を調
聚するようにしたビーム電流制御装置を有している。
ち上った後、定常状態を保つ期間内の一部期間にビーム
電流の値を検出し、その検出値とビーム電流設定値とを
比較して補正信号を作シ、ビーム電流を制御するグリッ
ドバイアス電圧発生部の入力側の可変トランス出力を調
聚するようにしたビーム電流制御装置を有している。
以下に図面を用いてこの発明の自答を述べる。
第１図は本発明による電子ビーム装置の一実施例のビー
ム電流制御装置の要部説明図である。電子ビーム装置で
ビーム電流を制御するには電子ビーム源、すなわちカン
ード２１、グリッド２２、アノード２３からなる慰子銃
のクリッドーカンード間電圧（り゛リッドバイアス電圧
）によるのが一つの方法である。本図はこのグリッドバ
イアス電圧によルミ子ビーム２４の強さくビーム電流の
大きさ）をコントロールする方式の一例で１、グリッド
バイアス電圧発生回路２５の人力を与える可変トランス
１におけると同様な電圧波形をフィードバック用絶縁ト
ランス２に加えて整流平滑回路３によｐグリッドバイア
ス電圧に？！ｔｌＹ比例する直流電圧をとシ出し、指令
信号発生部からの信号波形４と比較してそれに倣うよう
フィードバック制御する。偏差増幅器５とサイリスタ回
路６はこのフィードバックルーズ内にるり、サイリスタ
回路６は商用周波数交流電源７から給電されている。
ム電流制御装置の要部説明図である。電子ビーム装置で
ビーム電流を制御するには電子ビーム源、すなわちカン
ード２１、グリッド２２、アノード２３からなる慰子銃
のクリッドーカンード間電圧（り゛リッドバイアス電圧
）によるのが一つの方法である。本図はこのグリッドバ
イアス電圧によルミ子ビーム２４の強さくビーム電流の
大きさ）をコントロールする方式の一例で１、グリッド
バイアス電圧発生回路２５の人力を与える可変トランス
１におけると同様な電圧波形をフィードバック用絶縁ト
ランス２に加えて整流平滑回路３によｐグリッドバイア
ス電圧に？！ｔｌＹ比例する直流電圧をとシ出し、指令
信号発生部からの信号波形４と比較してそれに倣うよう
フィードバック制御する。偏差増幅器５とサイリスタ回
路６はこのフィードバックルーズ内にるり、サイリスタ
回路６は商用周波数交流電源７から給電されている。
こうして電子ビーム装置のグリッドバイアス電圧を＃１
は信号波形４に類似させるように制御できる。
は信号波形４に類似させるように制御できる。
本例の信号波形４でレベル８はビーム電流をＯに（カッ
トオ、７）するレベルであシ、レベル９は予備加工（溶
接における仮付けなどに相当）、レベル１０は本加工（
本俗接などに相当）のレベルを与える。そうすると、第
２図に示すように時間と共に変化するビーム電流波形が
得られる。ビーム電流が定常値になる期間の一部１１．
ｘｔ’、 ｉｔ″。
トオ、７）するレベルであシ、レベル９は予備加工（溶
接における仮付けなどに相当）、レベル１０は本加工（
本俗接などに相当）のレベルを与える。そうすると、第
２図に示すように時間と共に変化するビーム電流波形が
得られる。ビーム電流が定常値になる期間の一部１１．
ｘｔ’、 ｉｔ″。
１１”’においてそれぞれビーム電流の値検出し、その
検出値（例えば期間１１での平均的ｆＫ、るるいは期間
１１．１１’・・・・・・ でのビーム電流検出値を集
め異常値を除いて平均した値等）をビーム電流設定値と
比較して差かめる場合は適当な補正信号を発生させ、第
１図の可変トランス１の出力を出力刷子２６の位置をモ
ーター（図示せず）で動かしたシして調節する。なお、
予備加工用ビーム゛電流レベル１２．１３．１４．１５
．・・・・・・・・・は加工結果に太ｔｋな影響を与え
ないことが多ぐ補止をしなくてもよいと考えられる。か
くすることによシ、次に射出される゛ビーム電流の定常
状態での値は設定値に１ｎｊＩ度よく近似され、同様な
電子ビーム加工を〈シ返し行わせ得る。そして第１図の
フィードバックルーズは高電圧部の影響を受けないので
充分早い応答性會発抹し、扁゛亀圧回路入力咀源周波数
を上げなくても急速なビーム電流の立ち上り等を可能に
する。
検出値（例えば期間１１での平均的ｆＫ、るるいは期間
１１．１１’・・・・・・ でのビーム電流検出値を集
め異常値を除いて平均した値等）をビーム電流設定値と
比較して差かめる場合は適当な補正信号を発生させ、第
１図の可変トランス１の出力を出力刷子２６の位置をモ
ーター（図示せず）で動かしたシして調節する。なお、
予備加工用ビーム゛電流レベル１２．１３．１４．１５
．・・・・・・・・・は加工結果に太ｔｋな影響を与え
ないことが多ぐ補止をしなくてもよいと考えられる。か
くすることによシ、次に射出される゛ビーム電流の定常
状態での値は設定値に１ｎｊＩ度よく近似され、同様な
電子ビーム加工を〈シ返し行わせ得る。そして第１図の
フィードバックルーズは高電圧部の影響を受けないので
充分早い応答性會発抹し、扁゛亀圧回路入力咀源周波数
を上げなくても急速なビーム電流の立ち上り等を可能に
する。
このように本発明の電子ビーム装置は、ビーム加速用高
篭圧回路の入力電源に開用周波数のものを用いても充分
速くビーム電流を立ち上らせたり低下させたシすること
がでし装置が簡単になｐ信頼性も良好で、比較的低価格
でしかもワークを多数くシ返し拘現性よく加工できるな
ど実用上人きな利点を備えている。
篭圧回路の入力電源に開用周波数のものを用いても充分
速くビーム電流を立ち上らせたり低下させたシすること
がでし装置が簡単になｐ信頼性も良好で、比較的低価格
でしかもワークを多数くシ返し拘現性よく加工できるな
ど実用上人きな利点を備えている。
第１図は本発明の鬼子と一部・装置用ビーム電流制御回
路の一実施例を示す要部説明図、第２図はビーム゛１流
の時間的変化の一定を示す仮形図である。 １・・・・・・可変トランス、２・・・・・・絶縁トラ
ンス、３・・・・・・整流平滑回路、４・・・・・・信
号波形、５・・・・・・偏差増幅器、６・・・・・・サ
イリスタ回路、１１・・・・・・ビームｔａが定常値に
なる期間の一部。
路の一実施例を示す要部説明図、第２図はビーム゛１流
の時間的変化の一定を示す仮形図である。 １・・・・・・可変トランス、２・・・・・・絶縁トラ
ンス、３・・・・・・整流平滑回路、４・・・・・・信
号波形、５・・・・・・偏差増幅器、６・・・・・・サ
イリスタ回路、１１・・・・・・ビームｔａが定常値に
なる期間の一部。
Claims (1)
- ビーム電流が立ち上った後、定常状態を保つ期間内の一
部期間にビーム電流の値を検出し、その検出値とビーム
電流設定値とを比較して補正信号を作シ、ビーム電流を
制御するグリッドバイアス電圧発生部の入力側の可変ト
ランス出方を調整するようにしたビーム電流制御装置を
備えたことを特徴とする成子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3854883A JPS59165354A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3854883A JPS59165354A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 電子ビ−ム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59165354A true JPS59165354A (ja) | 1984-09-18 |
Family
ID=12528340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3854883A Pending JPS59165354A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59165354A (ja) |
-
1983
- 1983-03-09 JP JP3854883A patent/JPS59165354A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10035209B2 (en) | Adaptive GMAW short circuit frequency control | |
| US5739643A (en) | Device for supplying electric power to flashlamp and method thereof | |
| JPS59165354A (ja) | 電子ビ−ム装置 | |
| KR102615048B1 (ko) | 레이저가공기 및 그 전원장치 | |
| Koseeyaporn et al. | Adaptive voltage control in fusion arc welding | |
| Lee et al. | Adaptive fuzzy sliding mode control for an automatic arc welding system | |
| JPS59177845A (ja) | 電子ビ−ム装置用ビ−ム電流制御装置 | |
| US4684782A (en) | Control system for a charged particle beam apparatus | |
| JPH03472A (ja) | 交流ティグ溶接方法および装置 | |
| JPS607051A (ja) | ビ−ム電流の制御方法 | |
| SU1563925A1 (ru) | Способ автоматического регулировани процесса высокочастотной сврки | |
| JPS61253877A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| Chu et al. | Development of an automatic arc welding system using SMAW process | |
| JP2019089081A (ja) | 交流非消耗電極アーク溶接制御方法 | |
| JPH02187270A (ja) | 消耗電極式アーク溶接出力制御装置 | |
| JP2000349376A (ja) | レーザ発振器用電源装置 | |
| SU1762423A1 (ru) | Устройство дл автоматического регулировани электронно-лучевой термической установки | |
| JPS61168279A (ja) | 出力安定化回路 | |
| JPS59147786A (ja) | ビ−ム電流制御装置 | |
| JPH01197071A (ja) | パルスアーク溶接装置 | |
| JPS63160776A (ja) | 高速パルスレ−ザ加工装置 | |
| JPS58123647A (ja) | 電子ビ−ム電流の制御方法 | |
| JPS59192425A (ja) | 放電加工機の制御装置 | |
| JPH035078A (ja) | 交流ティグ溶接方法および装置 | |
| JPS6326504B2 (ja) |