JPS59164937A - 屈折度測定装置 - Google Patents

屈折度測定装置

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JPS59164937A
JPS59164937A JP3980483A JP3980483A JPS59164937A JP S59164937 A JPS59164937 A JP S59164937A JP 3980483 A JP3980483 A JP 3980483A JP 3980483 A JP3980483 A JP 3980483A JP S59164937 A JPS59164937 A JP S59164937A
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JP
Japan
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lens
inspected
light
refractive index
measured
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JP3980483A
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English (en)
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Yoshi Kobayakawa
小早川 嘉
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Priority to US06/503,234 priority patent/US4609287A/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0242Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0257Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
    • G01M11/0264Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested by using targets or reference patterns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
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    • GPHYSICS
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    • G01M11/02Testing optical properties
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は屈折度測定装置に関し、特に可動部を持たず自
動的に屈折度測定が可能な装置に関する。
従来、レンズメータはその殆んどが屈折反測定を手動で
行な、うもので、測定に時間がかがシ又煩雑性がある。
一方、測定を自動的に行なう自動レンズメータが特開昭
54−14757、同54−14758に知られている
が、これには可動部があって装置の複雑化、耐久性とい
った問題点がある。
本件出願人は上記問題点を解決すべく、特μ(昭57−
175847にて改良された発明を既に提案しているが
、本発明は更に被検光学要素をスポット状に照明して測
定精度を高め、また位置検出素子として複数分割素子を
用い、測定を自動的に且つ可動部なく行なう新規な屈折
度測定装置を提供することを目的とする。複数分割素子
は光束の重心位置を検出するため、デフォーカスされて
も精度良く光束中心を検出できる。
以下、本発明の実施例を示すが、それに先立ち第1図に
よって本発明の詳細な説明を行なう。
第1図において、IA、IB、ICC50箇(7) L
BD’pi(1)光源であシ、これらを順次点灯する。
絞シ板2には光源IA、IB、ICに対応した光軸上の
点を中心とした円周上の3箇の穴2A 、 2B 、 
2Cがあり、この穴を通る光は3本の光ビームとなル、
被検レンズ3のIA、 3B 、 3C点にあたシ、被
検レンズ3で屈折した後、2次元光位置検出素子4に入
る。
光源IA、LB、ICは光軸8がら等距離にあ多光源か
ら光軸に下した足は互いに120’を為す。絞シ板2の
穴2A、2B、2Cも同様の関係にあシ、従って3本の
・光ビームは互いに平行かつ光軸8に平行、となる。こ
こで被検レンズ3が無い時は、ビームは検出素子4上の
点4A、4B、4Cに至る。被検レンズ3が入るとビー
ムは屈折され、点4A’、 4B’。
40′ にくる。ことで各点4A、4B、4Cから屈折
後の点4A’、4B’、4C’に至る偏位ベクトルA、
B、Cが被検レンズ5の屈折度、即ち球面度数、乱視度
数、乱視角及び光軸8からの被検レンズ中心のずれに関
する位置情報を与える。ここで光ビームの被検レンズ3
によシ屈折される角度は近軸的に考えると被検レンズの
屈折力とあたるビームとレンズ中心0との距離に比例す
る。ベクトルA、B。
Cの大きさは、この角度の他、更に被検レンズ5と検出
素子4の距離にも比例する。なおレンズ面を回転放物面
と近似すれば、レンズ上の2点に入射したビームの2点
を結ぶ方向の収れん、発散の度合は2点の間隔が一定な
ら入射位置には無関係である。これによって、アライメ
ントは三つの偏位ベクトルA、B、Cのベクトル和がゼ
ロとなることによって求まる。
すなわち次のよ5に3つのベク)yのX方向成分、Y方
向成分が共にゼロとなるようにする。
AX+BX+CX= 0        (1)Ay+
By十Cy = 0         (2)ココテA
X、BX、CXはヘク) k A、B、CノX成分、A
Y、BY、CYはベクトルA、B、CのY成分である。
このようにアライメントを行なうことによって次の屈折
度測定が精確になされる。なお被検レンズ3がプリズム
作用を含む場合又はレンズを偏心させて用い故意にプリ
ズム効果を出す場合は(1)(2)式の左辺の値がその
位置でのプリズム度数を与える。
さて、被検レンズ社一般に乱視を含んでいるが、各径線
方向の屈折力を求めるには少なくとも二径線方向の屈折
力を求めれば良い。
すなわち、θを基準径線方向からの円周方向の角度とす
ると、対応する屈折力りけ0の関数として D(θ) =(l 5in2(θ+β)十r    (
!i)と表わされる。
ここでα、β、γは定数であシ、各々乱視度、乱視角、
球面度数を表わす。第1図で被検レンズ3のレンズ面が
回転放物面に近似しているとし、且つ屈折に関するスネ
ルの法則に関し近似式を拍 用いると、レンズの2点に一定間隔で無たったビームの
屈折後の偏位度合は、その2点間を結ぶ方向に平行な如
何なる2点間における場合につき同様となる。
従って、被検レンズ3の5A 3B方向と平行な径線方
向の屈折力をDABとし、5B 5C方向、3C3A方
向と平行な径線方向の屈折力を各々九。。
D(3Aとすると各々の屈折力は対応するベクトルA、
B、Cの対応する径線方向成分の和で表わされる。すな
わち、 DAII ” AAB ” BBA         
(’)DBe = BB6 +COB        
 (5)DOA = COA +AAO(S) ここでAABはベクトルAの5A 3B方向成分の大き
さを表わし、3Aから3Bに向かうときグラス、3Bか
ら3Aに向かうときマイナスとする。他の符号について
もこれに準する。
上述の3式によ)求まった二径線方向の各屈折力DAB
IDBOIDCAを(3)式に代入すれば連立方程式よ
り乱視度α、乱ネに角β、球面度数γが求まる。
因みに、5A、3B、3Cを円周上、120°毎の点と
し、3A 3B方向に平行な径線方向を基準径線方向と
すると、次のようになる。
DAB=AAB十BBA=αs1nβ十γDn a =
BE O+ COB =d s i n 2(120’
+β)+γDoA=CoA+AAo=α5in2(24
0’+β)+γなお(4)乃至(6)式を(3)式に代
入し、連立方程式を解いて未知数α、β、γを求めるの
には公知の自動演算手段が用いられる。
以下、本発明の実施例。を示す。第2図において11A
、11B、不図示の11Cは3箇の光源でちゃ、11B
、11Cは紙面上に重なって見えるが、第1図と同様に
紙面に対し対称に位置する。
光源11Aからの光束はレンズ12、絞り1″5を通シ
更にレンズ14を通過して主光線が光軸と平行になる。
ことで絞り13は光軸上、レンズ14の焦点位置に設け
られ、所定の開口を有する。開口は丸形、四角形等任意
形状で良いが、四角形とすると後述する複数分割素子と
の関係で、面積検出が容易となり、結果として位置検出
が容易となる。15は被検レンズで例えば円柱レンズ等
が考えられる。レンズ14を通過した光束で、被検レン
ズ15を光路内に入れる前の光束を実線で、また光路内
に入れた後の光束を鎖線で示す。レンズ14を通過した
光束は受光レンズ16に入射し、受光レンズ16の焦点
位置又はその共役位置に設けられる複数分割素子17で
受光される。
ここで被検レンズ15が無い場合、複数分割素子17に
は絞シ15の開口像が投影され、被検レンズ15が光路
中に入ると、絞す15のデフォーカスされた開口像が投
影され、その重心位置が検出される。
ところで、被検レンズ150光軸上の位置を光源11A
〜11Bと共役な位置とすると、被検レンーズに依らず
、複数分割素子17への光束幅が略一定とな)、また被
検レンズへの入射ビーム面積を最小にして精密測定がで
きる。
複数分割素子17は第3図の如く、例えば4分割素子1
7A、17B、17C,17D力為ら成シ、各素子への
光量分配から受光光束中心位置を定めることができる。
複数分割素子17は、絞シ13と共役な位置に8シ、被
検レンズ15が光路内に無いとき、絞シ13を通過した
光束が絞)像13′の範囲の光束として複数分割素子1
7に入射し、被検レンズ15が光路内に有るとき、絞シ
像131の範囲の光束として入射する。
被検レンズ15が光路内に無いとき、各分割・素子17
A〜17Dへの光量分配は均等であるが、被検レンズ1
5が光路内に有るとき、各分割素子への光量分配は均等
でなくなシ、そのずれ方向、ずれ量よシ、受光光束の中
心位置の被検レンズ15の存在による変位が検出される
。この変位は、被検レンズ15の屈折度が大きくなれば
大きくなる。第4図は、被検レンズ15を測定ビームと
ともに光軸方向から眺めた図である。
こζで前述したように光源11A、11B、111:’
はレンズ14.12に関し、被検レンズ15と共役な位
置に設けられる。
すなわ)レンズ12を設けることによシ、光源11A、
11B、11Cの6像が被検レンズ15の位置ニ形成さ
れ、被検レンズ15の測定領域がスポット状となル%精
度の良い測定が行なわれる。
なお以上の説明で、複数分割素子に入射する光束径は大
きい程、精度が良いため絞夛13の開口面積を大きくす
れば良い。また絞シ13の開口形状は円に限られること
なく、他の任意の形状例えば、正、方・形等であっても
良い。
また複数分割素子は4箇に分割されたものに限られず、
他の任意の複数個で良い。更に複数分割素子の中心位置
は必ずしも光軸上に無くても良く、光軸と直角面内で光
軸から偏位していても、そのオフセット量を考慮して、
屈折度測定を行なうことが可能である。
以上、本発明によれば全く可動部が無く、複数分割素子
からの電気出力を用い自動的な屈折度測定が可能となる
。なお本発明で測定方向は3方向に限定されず、それ以
上の方向で測定することに上シ、よシ多くの情報による
一111定18度の向上が期待される。
なお測定ビームは、可視光に限らず、紫外光、赤外光、
電子ビーム等、任意のエネルギービームが用いられ、こ
れらは対応する検出素子と対にして任意に選択される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の詳細な説明図、 第2図は本発明の実施例の図、 第6図は複数分割素子の説明図、 第4図は被検レンズを測定ビームとともに光軸方向から
眺めた図。 図中 IA、IB、IC,11A、11B、11 G・・・光
源3.15・・・被検レンズ 4 ・・・ 2次元光位置検出素子 17・・・複数分割素子 (−4C

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 平行な少なくとも3本のエネルギービームを被測
    定要素に照射する手段と、 被測定要素を経たエネルギービームを受けるレンズと、 該レンズの後側焦点位置又はその共役位置に設けられる
    複数分割素子と、 被測定要素に係わる偏位ベクトルの所定径線方向のベク
    トル成分よシ各径線方向の屈折度を算出する手段を有す
    ることを特徴とする屈折度測定装置。 2、平行な少なくとも3本のエネルギービームを被測定
    要素に照射する手段と、 該エネルギービームを、被測定要素位置に結像するレン
    ズと、 被測定要素を経たエネルギービームを受けるレンズと、 該エネルギービームを受けるレンズの後側焦点位置又は
    その共役位置に設けられる位置検出素子と、 被測定要素に係わる偏位ベクトルの所定径線方向のベク
    トル成分よシ各径線方向の屈折度を算出する手段を有す
    ることを特徴とする屈折度測定装置。
JP3980483A 1982-10-05 1983-03-09 屈折度測定装置 Pending JPS59164937A (ja)

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JP3980483A JPS59164937A (ja) 1983-03-09 1983-03-09 屈折度測定装置
US06/503,234 US4609287A (en) 1982-10-05 1983-06-10 Method of and apparatus for measuring refractive characteristics

Applications Claiming Priority (1)

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JP3980483A JPS59164937A (ja) 1983-03-09 1983-03-09 屈折度測定装置

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JPS59164937A true JPS59164937A (ja) 1984-09-18

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JP3980483A Pending JPS59164937A (ja) 1982-10-05 1983-03-09 屈折度測定装置

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