JPS59163921U - 流速・流量検出装置 - Google Patents

流速・流量検出装置

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JPS59163921U
JPS59163921U JP5856683U JP5856683U JPS59163921U JP S59163921 U JPS59163921 U JP S59163921U JP 5856683 U JP5856683 U JP 5856683U JP 5856683 U JP5856683 U JP 5856683U JP S59163921 U JPS59163921 U JP S59163921U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode layer
flow rate
detection device
fixed electrode
vortex generator
Prior art date
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Pending
Application number
JP5856683U
Other languages
English (en)
Inventor
潤一 長沢
妹尾　良夫
照史 岩田
Original Assignee
トキコ株式会社
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Publication date
Application filed by トキコ株式会社 filed Critical トキコ株式会社
Priority to JP5856683U priority Critical patent/JPS59163921U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による好ましい一具体例における第３図
に示すＩ−Ｉ線断面図、第２図は第１図に示す具体例の
部分拡大図、第３図は本考案による好ましい一具体例の
全体説明図である。 １・・・・・・流路、３・・・・・・渦発生体、４．５
・・面側面、７・・・・・・電気的絶縁層、８・・・・
・・固定電極層、１０・・・・・・可動電極板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流路を横断して配置された渦発生体と、被測流体の流れ
    方向に沿う渦発生体の平坦な側面に形成された電気的絶
    縁層と、この電気的絶縁層上に積層された固定電極層と
    、この固定電極層と協働して可変容量コンデンサを形成
    すべく、固定電極層に対向して渦発生体の平坦な側面に
    固着されており、固定電極層との間に間隙を形成すべく
    、固定電極層に対向する側に凹所を有した可動電極板と
    からな、や流速、流量検出装置。
JP5856683U 1983-04-19 1983-04-19 流速・流量検出装置 Pending JPS59163921U (ja)

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JP5856683U JPS59163921U (ja) 1983-04-19 1983-04-19 流速・流量検出装置

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JPS59163921U true JPS59163921U (ja) 1984-11-02

Family

ID=30188847

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JP5856683U Pending JPS59163921U (ja) 1983-04-19 1983-04-19 流速・流量検出装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6216652U (ja) * 1985-07-12 1987-01-31

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6216652U (ja) * 1985-07-12 1987-01-31

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