JPS59113714U - 流速・流量検出装置 - Google Patents
流速・流量検出装置Info
- Publication number
- JPS59113714U JPS59113714U JP636183U JP636183U JPS59113714U JP S59113714 U JPS59113714 U JP S59113714U JP 636183 U JP636183 U JP 636183U JP 636183 U JP636183 U JP 636183U JP S59113714 U JPS59113714 U JP S59113714U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- ceramic plate
- detection device
- recess
- vortex generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
、 第1・、図乃至第3図は先願に係る流速・流量
検出装置を示し、第1図は一部を破断にした全体図、第
2図は第1図中の■−■線に沿う断面図、第3図は同じ
く第1図中の■−■線に沿う断面図、第4図は本願考案
に係る流速・流量検出装置を示す第3図と同様の断面図
である。 1・・・渦発生体、14.15・・・凹部、16・・・
連通穴、17.18・・・ダイアフラム式電極、23゜
: 24・・・対向電極、31.32・・・セラミッ
ク板、35.36・・・スペーサ、39.40・・・ね
じ。
検出装置を示し、第1図は一部を破断にした全体図、第
2図は第1図中の■−■線に沿う断面図、第3図は同じ
く第1図中の■−■線に沿う断面図、第4図は本願考案
に係る流速・流量検出装置を示す第3図と同様の断面図
である。 1・・・渦発生体、14.15・・・凹部、16・・・
連通穴、17.18・・・ダイアフラム式電極、23゜
: 24・・・対向電極、31.32・・・セラミッ
ク板、35.36・・・スペーサ、39.40・・・ね
じ。
Claims (1)
- 側面に凹部が形成された渦発生体と、前記凹部を覆うよ
うに該渦発生体に取付けられたダイアフラム式電極と、
前記凹部内に設けられ該ダイアプラム式電極と対向する
表面に対向電極を有するセラミック板と、該セラミック
板と前記凹部底面との間に介在されたスペーサと、前記
セラ(ツク板を固定するための該スペーサを貫通して前
記渦発生体に螺着されたねじとを有し、かつ前記スペー
サは前記ねじの線膨張係数よりも大なる線膨張係数を有
する材料を用いたことを特徴とする流速・流量検出装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP636183U JPS59113714U (ja) | 1983-01-20 | 1983-01-20 | 流速・流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP636183U JPS59113714U (ja) | 1983-01-20 | 1983-01-20 | 流速・流量検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59113714U true JPS59113714U (ja) | 1984-08-01 |
Family
ID=30137918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP636183U Pending JPS59113714U (ja) | 1983-01-20 | 1983-01-20 | 流速・流量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59113714U (ja) |
-
1983
- 1983-01-20 JP JP636183U patent/JPS59113714U/ja active Pending
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