JPS59113714U - 流速・流量検出装置 - Google Patents

流速・流量検出装置

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JPS59113714U
JPS59113714U JP636183U JP636183U JPS59113714U JP S59113714 U JPS59113714 U JP S59113714U JP 636183 U JP636183 U JP 636183U JP 636183 U JP636183 U JP 636183U JP S59113714 U JPS59113714 U JP S59113714U
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JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
ceramic plate
detection device
recess
vortex generator
Prior art date
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Pending
Application number
JP636183U
Other languages
English (en)
Inventor
照史 岩田
妹尾 良夫
Original Assignee
トキコ株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP636183U priority Critical patent/JPS59113714U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、   第1・、図乃至第3図は先願に係る流速・流量
検出装置を示し、第1図は一部を破断にした全体図、第
2図は第1図中の■−■線に沿う断面図、第3図は同じ
く第1図中の■−■線に沿う断面図、第4図は本願考案
に係る流速・流量検出装置を示す第3図と同様の断面図
である。 1・・・渦発生体、14.15・・・凹部、16・・・
連通穴、17.18・・・ダイアフラム式電極、23゜
:  24・・・対向電極、31.32・・・セラミッ
ク板、35.36・・・スペーサ、39.40・・・ね
じ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 側面に凹部が形成された渦発生体と、前記凹部を覆うよ
    うに該渦発生体に取付けられたダイアフラム式電極と、
    前記凹部内に設けられ該ダイアプラム式電極と対向する
    表面に対向電極を有するセラミック板と、該セラミック
    板と前記凹部底面との間に介在されたスペーサと、前記
    セラ(ツク板を固定するための該スペーサを貫通して前
    記渦発生体に螺着されたねじとを有し、かつ前記スペー
    サは前記ねじの線膨張係数よりも大なる線膨張係数を有
    する材料を用いたことを特徴とする流速・流量検出装置
JP636183U 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置 Pending JPS59113714U (ja)

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JP636183U JPS59113714U (ja) 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置

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JP636183U JPS59113714U (ja) 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置

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JPS59113714U true JPS59113714U (ja) 1984-08-01

Family

ID=30137918

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JP636183U Pending JPS59113714U (ja) 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置

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