JPS5915875A - Compensation of strain of interface circuit in automatic test device - Google Patents

Compensation of strain of interface circuit in automatic test device

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Publication number
JPS5915875A
JPS5915875A JP58090111A JP9011183A JPS5915875A JP S5915875 A JPS5915875 A JP S5915875A JP 58090111 A JP58090111 A JP 58090111A JP 9011183 A JP9011183 A JP 9011183A JP S5915875 A JPS5915875 A JP S5915875A
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JP
Japan
Prior art keywords
driver
comparator
interface circuit
distortion
delay
Prior art date
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Pending
Application number
JP58090111A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
デニス・メイヤ−
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fairchild Semiconductor Corp
Original Assignee
Fairchild Camera and Instrument Corp
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Publication date
Application filed by Fairchild Camera and Instrument Corp filed Critical Fairchild Camera and Instrument Corp
Publication of JPS5915875A publication Critical patent/JPS5915875A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子回路に関するものであって、更に詳細には
、自動テストシステム内の一群のインターフェース回路
を互いに歪補正する方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to electronic circuits and, more particularly, to a method for mutually correcting distortion of a group of interface circuits in an automatic test system.

集積回路をテストする為の自動テスト装置に於いては、
複数個のビンエレクトロニクスインターフェース回路が
テスト中の電子デバイスのビン又はノードへ接続される
。これらのビンを介して、テスト中のデバイスに対し励
起信号を供給し、そのテスト中のデバイスからの出力信
号を検知すると共に測定を行なう。通常、この様な励起
信号はテスト中のデバイスのビンに並列パターンとして
印加すべき論理状態、アナログ電圧又は電流を表わして
おり、テストの結果骨られる出力信号を並列的に検査す
る。
In automatic test equipment for testing integrated circuits,
A plurality of bin electronics interface circuits are connected to the bins or nodes of the electronic device under test. Through these bins, excitation signals are provided to the device under test, and output signals from the device under test are sensed and measurements are made. Typically, such excitation signals represent logic states, analog voltages or currents to be applied in a parallel pattern to the bins of the device under test, and the output signals resulting from the test are examined in parallel.

これらのインターフェース回路は、テストシステムを制
御するコンピュータとテスト中のデバイスの個々のビン
との間に於けるインターフェースとして機能する。これ
らのインターフェース回路は、テストシステム内のその
他の回路から基準電圧及びデジタルデータを受取り、ド
ライバを介してこれらの電圧又はデータをテストシステ
ムコンピュータ内にストアされているプログラムの制御
下にあるテスト中のデバイスの所望のビンヘスイッチさ
せる。それに対応して、インターフェース回路はテスト
中のデバイスから基準電圧又はデータを受取り、それを
テストシステムコンピュータのプログラム内にストアさ
れている適切な応答と受取られた信号とを比較する為に
比較回路へ供給する。この様にして、半導体メモリやマ
イクロプロセサ等の様な個々の電子コンポーネントが個
別的にテストされ、その様なデバイスの端末ユーザによ
って要求される所望のスタンダ・−ドや明細を満足する
ものであることを確保する。
These interface circuits serve as an interface between the computer controlling the test system and the individual bins of devices under test. These interface circuits receive reference voltages and digital data from other circuits in the test system and, via drivers, transfer these voltages or data to the output under test under the control of a program stored in the test system computer. Switch the device to the desired bin. Correspondingly, the interface circuit receives a reference voltage or data from the device under test and sends it to a comparison circuit for comparing the received signal with the appropriate response stored within the program of the test system computer. supply In this way, individual electronic components, such as semiconductor memories, microprocessors, etc., are individually tested to meet the desired standards and specifications required by terminal users of such devices. ensure that

この様な自動テスト装置を操作する上で発生する問題点
の1つは、この様なインターフェース回路及び接続回路
を介してテスト中のデバイスへの及びテスト中のデバイ
スからの信号の伝播に於ける時間遅れの差異が励起信号
及びモニタされる応答の両方に於いて時間歪を発生する
ことである。
One of the problems that arises in operating such automated test equipment is the propagation of signals to and from the device under test through such interface and connection circuits. Differences in time delays create time distortions in both the excitation signal and the monitored response.

この様な時間歪は、所望の励起信号をテスト中のデバイ
スの入力ビンへ同時的な並列パターンとして印加させる
ことを一層困難とし、且つテスト中のデバイスが正確な
出力信号を供給しているものか否かという事を決定する
ことを困難たらしめる。
Such time distortions make it more difficult to apply the desired excitation signal in a simultaneous parallel pattern to the input bins of the device under test, and even if the device under test is providing accurate output signals. This makes it difficult to decide whether or not.

励起信号及びモニタされる条件の両方の時間歪3− を決定する従来の1技術は、各々のピンエレクトロニク
スインターフェース回路をスタンダードな即ち基準イン
ターフェース回路へ接続させ、これらの回路間の相対的
な歪を測定することである。
One conventional technique for determining the time distortion of both the excitation signal and the monitored condition is to connect each pin electronics interface circuit to a standard or reference interface circuit and calculate the relative distortion between these circuits. It's about measuring.

この様な構成は、同軸リレーマルチプレクサを使用する
タケダ理研自動テストシステムに於いてとられている。
Such a configuration is used in the Takeda RIKEN automatic test system that uses a coaxial relay multiplexer.

このシステムに於いては、原理的には、1:4リレーマ
ルチプレクサを使用しており、且つ4個のインターフェ
ース回路を各マルチプレクサに接続させている。4個の
この様なマルチプレクサからの出力信号を別の1=4マ
ルチプレクサへ入力として供給させている。結局は、1
個の1=4マルチプレクサのみが必要であり、それは基
準インターフェース回路へ接続されている。この様にし
て、マルチプレクサのバンクを適宜制御することによっ
て、任意のインターフェース回路を基準回路へ接続させ
ることが可能であり、且つその回路の歪を決定すること
が可能である。しかしながら、この技術は幾つかの欠点
を有している。
In principle, this system uses 1:4 relay multiplexers, and four interface circuits are connected to each multiplexer. The output signals from four such multiplexers are fed as inputs to another 1=4 multiplexer. In the end, 1
Only 1=4 multiplexers are needed, which are connected to the reference interface circuit. In this way, by controlling the banks of multiplexers accordingly, it is possible to connect any interface circuit to the reference circuit and to determine the distortion of that circuit. However, this technique has several drawbacks.

第1にこの技術に於いては比較的高価な同軸マル4− チブレクサを多数必要としている。この様な多数のマル
チプレクサを使用することにより信頼性が低下し、且つ
テスト装置の物理的寸法が増大する。
First, this technique requires a large number of relatively expensive coaxial multiplexers. The use of such a large number of multiplexers reduces reliability and increases the physical size of the test equipment.

一層高法の多重レベルとすることにより、例えば1:8
とすることによりマルチプレクサの数を減少させること
が可能ではあるが、そうすることによりシステムの容量
負荷が増大され動作速度が遅くなる。
By using higher multilevels, e.g. 1:8
Although it is possible to reduce the number of multiplexers by doing so, this increases the capacitive load of the system and slows down its operating speed.

本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、上述
した如き従来技術の欠点を解消することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to eliminate the drawbacks of the prior art as described above.

本発明は、各インターフェース回路の他のインターフェ
ース回路に対する歪特性を測定し、次いで検知した歪を
補正する方法を提供する。本発明は、テストシステム内
に従来設けられているものに対し何等付加的な装置を必
要とするものではなく、且つ1個の大型の同軸マルチプ
レクサ及び幾つかの基準インターフェース回路を設ける
必要性を取除いている。本発明は、各々がドライバとコ
ンパレータと対応する調節可能な遅延手段とを有する2
mのインターフェース回路を互いに歪補正する方法であ
って、(1)第1ドライバと第1コンパレータとの間の
径路、(2)前記第1ドライバと第2コンパレータとの
間の径路。
The present invention provides a method for measuring the distortion characteristics of each interface circuit relative to other interface circuits and then correcting the sensed distortion. The present invention does not require any additional equipment over what is conventionally provided in a test system, and eliminates the need to provide one large coaxial multiplexer and several reference interface circuits. Excluding. The present invention provides two
A method for mutually correcting distortion of m interface circuits, the method comprising: (1) a path between a first driver and a first comparator; and (2) a path between the first driver and a second comparator.

(3)第2ドライバと前記第1コンパレータとの間の径
路、(4)前記第2ドライバと第2コンパレータとの間
の径路の各径路に於ける伝播遅れを測定し、次式に基づ
いて相対的ドライバ歪及び相対的コンパレータ歪を算出
し、・ (3−2)   十  、(4−1) 相対的ドライバ歪 − (4−1)  −(3−2> 相対的コンパレータ歪 =−−一 次いで、前記算出された歪を補正する為に前記ドライバ
及びコンパレータの各々に対する前記遅延手段をii!
!節することを特徴とするものである。
(3) The propagation delay in each path between the second driver and the first comparator and (4) the path between the second driver and the second comparator is measured, and based on the following equation: Calculate the relative driver distortion and relative comparator distortion, (3-2) 10, (4-1) relative driver distortion − (4-1) −(3-2> relative comparator distortion =−−1) Then, ii! the delay means for each of the driver and comparator to correct the calculated distortion!
! It is characterized by the fact that it is divided into sections.

以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
について詳細に説明する。第1図は、マーカー発生器1
5及びそれと関連付けられている一対のインターフェー
ス回路を示した簡略化したブロック線図である。各イン
ターフェース回路は、ドライバ18とコンパレータ20
とその他のコンポーネントとを有している。マーカー発
生器15は配線17を介してタイミング信号を供給し、
配線17は2個のドライバ18a及び18bへファンア
ウトしている。ファンアウト装置22の出力は何らかの
歪を有しており、即ち配線23aを介してドライバ1へ
供給される出力信号は配線23bを介してドライバ2へ
供給される出力信号のタイミングと必ずしも整合してい
ない。ドライバの出力側に於いては遅れdl及びdlが
存在している。多くの自動テストシステムに於いては、
これらの遅れは公知の装置を使用してプログラム可能即
ち調節可能である。ドライバの前後に於いて遅れ差が存
在する場合もあるが、本発明に於ける目的の為にはどの
様な原因によって遅れが発生するかという事は重要では
ないので、第1図に於いてはこの様な遅れをドライバ1
8の出力側にのみ示しである。遅れ要素d、及びdlは
調節可能であ7− リ、マーカー発生器15−fJlら伝播されてくる信号
の時間遅れを調節してこれらの信号がノードn1及びn
2へ同時的に到達する様に調節することが可能である。
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Figure 1 shows the marker generator 1
FIG. 5 is a simplified block diagram illustrating 5 and a pair of interface circuits associated therewith. Each interface circuit includes a driver 18 and a comparator 20
and other components. Marker generator 15 provides a timing signal via wiring 17;
Wiring 17 fans out to two drivers 18a and 18b. The output of the fan-out device 22 has some distortion, that is, the output signal supplied to the driver 1 via the wiring 23a does not necessarily match the timing of the output signal supplied to the driver 2 via the wiring 23b. do not have. At the output side of the driver there are delays dl and dl. In many automated test systems,
These delays are programmable or adjustable using known equipment. Although there may be a difference in delay before and after the driver, for the purpose of the present invention it is not important what causes the delay, so in Figure 1 has this kind of delay in driver 1
Only the output side of 8 is shown. The delay elements d and dl are adjustable to adjust the time delay of the signals propagated from the marker generator 15-fJl so that these signals reach the nodes n1 and n.
It is possible to adjust to reach 2 at the same time.

ノードn1及びn2の間に存在する遅れdCは、一方の
ノードから他方のノードへ信号が伝達される場合に本質
的に存在する遅れを表わしている。ノードn+及びn2
と夫々のコンパレータ20との間には付加的な遅れCI
及びC2が存在している。
The delay dC existing between nodes n1 and n2 represents the delay that inherently exists when a signal is transmitted from one node to the other. Nodes n+ and n2
and each comparator 20 has an additional delay CI
and C2 are present.

第1図に図示したシステムを較正する場合には、所望の
信号、例えばパルスの立上がり端又は立下がり端をマー
カー発生器15によって供給する。
When calibrating the system illustrated in FIG. 1, the desired signal, for example the rising edge or the falling edge of a pulse, is provided by the marker generator 15.

次いで、4個のタイミング測定を行なう。これらの4個
のタイミング測定とは、(1)ドライバ1からコンパレ
ータ1への伝達に於いて固有に存在 ・する時間遅れと
、(2)ドライバ1から遅れ要素dCを介してコンパレ
ータ2へ伝達する場合に固有的に存在する時間遅れと、
(3)遅れ要素dCを介してドライバ2とコンパレータ
1との間の時間遅れと、(4)ドライバ2とコンパレー
タ2と8− の間の時間遅れを測定することを意味する。
Four timing measurements are then taken. These four timing measurements are: (1) the time delay inherent in the transmission from driver 1 to comparator 1; and (2) the transmission from driver 1 to comparator 2 via delay element dC. the time delay inherent in the case,
This means measuring the time delay between (3) the driver 2 and the comparator 1 via the delay element dC, and (4) the time delay between the driver 2 and the comparators 2 and 8-.

これらの測定した時間遅れを使用して以下の如き計算を
行なう。尚、tl及びtzは各ドライバと遅れ要素d1
又はdlとの間の伝播時間である。
The following calculations are performed using these measured time delays. Note that tl and tz are each driver and delay element d1
or dl.

ηu = i+ + d+ 十〇+ η12 = dc + tl + d+ +02ηη−
t2+62 + 02 η21= dc + tz +d2+(1+η21−η
+2=(t2+d2)−(tl +d+ )+cI−0
2ηη−η++ = (jz + dl) −(j+ 
+ d+ ) + 02− C+即ち、 (η21−η12 ) +(η22−ηn )ドライバ
歪 −□□− =  (tz+d2)−(t++d+)(ηη−ηu 
) −(η21−η12)コンパレータ歪 =□□ =  (02−C+ ) 従って、上式の内で最後の2つの式は相対的ドライバ歪
及び相対的コンパレータ歪を定義する式である。テスト
ヘッド自身の上において遅れ要素を調節することが可能
なものであるから、各ドライバ及びコンパレータに関連
している、即ち接続されている遅れ要素を調節すること
によってドライバ及びコンパレータのタイミングを互い
に正確に較正することが可能である。
ηu = i+ + d+ 10+ η12 = dc + tl + d+ +02ηη−
t2+62 + 02 η21= dc + tz +d2+(1+η21−η
+2=(t2+d2)-(tl+d+)+cI-0
2ηη−η++ = (jz + dl) −(j+
+ d+ ) + 02- C+, that is, (η21-η12) + (η22-ηn) Driver distortion -□□- = (tz+d2)-(t++d+)(ηη-ηu
) −(η21−η12) Comparator distortion = □□ = (02−C+) Therefore, the last two equations in the above equations are equations that define the relative driver distortion and the relative comparator distortion. Since it is possible to adjust the delay elements on the test head itself, the timing of the drivers and comparators can be made accurate relative to each other by adjusting the delay elements associated with, or connected to, each driver and comparator. It is possible to calibrate to

第2図は、第1図に関し説明した技術を拡張して3個以
上の回路からなる場合にも歪補正を行なうことが可能で
あるということを例示したブロック線図である。第2図
に示した如く、4個のインターフェース回路の各々へ個
別的にマーカー人力を供給し、その結果得られる時間遅
れを決定する。
FIG. 2 is a block diagram illustrating that it is possible to perform distortion correction even in the case of three or more circuits by expanding the technique described in connection with FIG. 1. As shown in FIG. 2, marker power is applied individually to each of the four interface circuits and the resulting time delay is determined.

第2図に示した構成は双方向性同軸リングバスを使用し
ているが、この場合にリング構成が特定的なものである
ということは重要ではな(、その他の構成のものも同様
に使用可能であり、例えばスター配列やスタークラスタ
ー等を使用することも可能である。第1図に関し説明し
た場合と同一の方法で、各インターフェース回路はそれ
自身のコンパレータに関する信号のタイミングを測定す
る能力を有している。しかしながら、このシステム全体
に於ける機能は、4個以上のインターフェース回路の組
合せ回路に於ける歪を測定し歪補正を行なうことである
Although the configuration shown in Figure 2 uses a bidirectional coaxial ring bus, the particular ring configuration is not important in this case (other configurations may be used as well). For example, it is possible to use star arrays, star clusters, etc. In the same way as described with respect to FIG. However, the function of this system as a whole is to measure distortion in a combination circuit of four or more interface circuits and perform distortion correction.

第3図は、第2図に示したリングバス構造を構成する為
に4個のインターフェース回路を相互接続した場合を詳
細に示している。第3図に示した構成は、インターフェ
ース回路30,31.32゜33を有している。図示し
た如く、各基準ドライバが論理ゲート35を介してマー
カー発生器37へ接続されている。システムドライバも
マーカー発生器へ接続されているが、これらは必ずしも
同一のものとすることは必要ではない。各インターフェ
ース回路は一群の要素を有している。例えば、インター
フェース回路31はシステムドライバ41bと、基準ド
ライバ42bと、マルチプレクサ43bとを有している
。テスト中の装置(DLJT)のコンパレータ側にはマ
ルチプレクサ44bと共11− にシステムコンパレータ45bと、基準コンパレータ4
6bと、マルチプレクサ47bとが設けられている。動
作につき説明すると、図示した如く、テスト中のデバイ
スがマルチプレクサ43bと44bとの間に接続されて
いる。インターフェース回路の各々に対するマルチプレ
クサ43と44との間に図示したスイッチは、基準ドラ
イバ、システムドライバ、基準コンパレータ又はシステ
ムコンパレータを適宜テスト中のデバイスへ接続させる
ことを可能としている。
FIG. 3 shows in detail the case in which four interface circuits are interconnected to form the ring bus structure shown in FIG. 2. The configuration shown in FIG. 3 includes interface circuits 30, 31, 32.33. As shown, each reference driver is connected to a marker generator 37 via a logic gate 35. The system driver is also connected to the marker generator, although these do not necessarily have to be the same. Each interface circuit has a group of elements. For example, the interface circuit 31 includes a system driver 41b, a reference driver 42b, and a multiplexer 43b. The comparator side of the device under test (DLJT) includes a multiplexer 44b, a system comparator 45b at 11-, and a reference comparator 4.
6b and a multiplexer 47b. In operation, as shown, the device under test is connected between multiplexers 43b and 44b. The switches shown between multiplexers 43 and 44 for each of the interface circuits allow the reference driver, system driver, reference comparator or system comparator to be connected to the device under test as appropriate.

第1図及び第2図に関し説明したのと同一の方法によっ
て、第3図に示したインターフェース回路のドライバ及
びコンパレータを相互接続させてそれらの相対的歪を決
定する。次いで、第1図に関し説明したのと同一の技術
を使用して相対的ドライバタイミング歪及び相対的コン
パレータタイミング歪とを測定し、種々の遅延要素を適
宜K1節することによってこれらの測定した歪を補正す
る。
The drivers and comparators of the interface circuit shown in FIG. 3 are interconnected to determine their relative distortions in the same manner as described with respect to FIGS. 1 and 2. The relative driver timing distortion and the relative comparator timing distortion are then measured using the same techniques described with respect to FIG. to correct.

ドライバの歪はコンパレータの歪と独立的に決定すると
共に補正することが可能であり、又その逆12− も真である。
Driver distortion can be determined and corrected independently of comparator distortion, and vice versa.

以上、本発明の具体的実施の態様について詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
ではなく、本発明の技術的範囲を逸脱することなしに種
々の変形が可能であることは勿論である。
Although specific embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention should not be limited to these specific examples, and various modifications can be made without departing from the technical scope of the present invention. Of course it is.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は成るインターフェース回路の歪を他のインター
フェース回路の歪に関して測定する状態を例示した模式
的ブロック線図、第2図は4個のインターフェース回路
の歪を夫々互いに測定する状態を示した模式的ブロック
線図、第3図は第2図に示した装置の詳細なブロック線
図、である。 (符号の説明) 15: マーカー発生器 18: ドライバ 20: コンパレータ 22: ファンアウト装置 c、d :  遅延要素 n: ノード 特許出願人   フェアチアイルド カメラアンド イ
ンストルメント コーホし/−ション 手続補正書 昭和58年 7月19日 特許庁長官  若 杉 和 夫  殿 1、事件の表示   昭和58年 特 許 願 第 9
0111  号3、補正をする者 事件との関係   特許出願人 コーポレーション 4、代理人 ゛5.補正命令の日付   自  発 8、補正の内容     別紙の通り
Figure 1 is a schematic block diagram illustrating a state in which the distortion of an interface circuit is measured with respect to the distortion of other interface circuits, and Figure 2 is a schematic diagram illustrating a state in which distortions of four interface circuits are measured with respect to each other. FIG. 3 is a detailed block diagram of the apparatus shown in FIG. 2. (Explanation of symbols) 15: Marker generator 18: Driver 20: Comparator 22: Fan-out devices c, d: Delay element n: Node patent applicant Fairchilde Camera and Instrument Cohoction Procedure Amendment 1982 July 19, 2006 Kazuo Wakasugi, Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of the case 1981 Patent Application No. 9
0111 No. 3, Relationship with the amended party case Patent applicant Corporation 4, agent 5. Date of amendment order Voluntary 8, Contents of amendment As attached.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、各々がドライバとコンパレータと調節可能な遅延手
段とを有するインターフェース回路であって第1のイン
ターフェース回路を第2のインターフェース回路に関し
て歪補正する方法に於いて、(1)第1ドライバから第
1コンパレータへの径路と(2)前記第1ドライバから
第2コンパレータへの径路と(3)第2ドライバから前
記第1コンパレータへの径路と(4)前記第2ドライバ
から前記第2コンパレータへの径路の各々の径路に於け
る伝播遅れを測定し、相対的ドライバ伝播遅れと相対的
コンパレータ伝播遅れとを算出し、前記算出した伝播遅
れを補正する為に前記調節可能な遅延手段を調節するこ
とを特徴とする方法。 2、上記第1項に於いて、前記調節を行なう工程に於い
て、前記調節可能な遅延手段の伝播遅れを変化させるこ
とをJ8徴とする方法。 3、上記第2項に於いて、前記測定を行なう工程に於い
て、前記第1ドライバと第2ドライバの各々へマーカー
信号を供給することを特徴とする方法。 4、上記第3項に於いて、前記測定を行なう工程に於い
て、更に、前記マーカー信号が前記第1ドライバ及び第
2ドライバの各々へ到達するのに必要な伝播遅れを決定
する事を特徴とする方法。 5、上記第4項に於いて、前記第1インターフェース回
路及び第2インターフェース回路の各々が基準コンパレ
ータと基準ドライバの両方を有することを特徴とする方
法。
Claims: 1. A method for distortion correcting a first interface circuit with respect to a second interface circuit, each interface circuit having a driver, a comparator, and an adjustable delay means, comprising: (1) (2) a path from the first driver to the second comparator; (3) a path from the second driver to the first comparator; and (4) a path from the second driver to the first comparator. measuring a propagation delay in each of the paths to a second comparator, calculating a relative driver propagation delay and a relative comparator propagation delay, and determining the adjustable delay to compensate for the calculated propagation delay; A method characterized by adjusting the means. 2. The method according to item 1 above, wherein in the step of making the adjustment, the propagation delay of the adjustable delay means is changed. 3. The method according to item 2 above, characterized in that, in the step of performing the measurement, a marker signal is supplied to each of the first driver and the second driver. 4. In the above item 3, in the step of performing the measurement, a propagation delay necessary for the marker signal to reach each of the first driver and the second driver is further determined. How to do it. 5. The method of item 4 above, wherein each of the first interface circuit and the second interface circuit includes both a reference comparator and a reference driver.
JP58090111A 1982-05-25 1983-05-24 Compensation of strain of interface circuit in automatic test device Pending JPS5915875A (en)

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US38198482A 1982-05-25 1982-05-25
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0187271U (en) * 1987-11-30 1989-06-08

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0187271U (en) * 1987-11-30 1989-06-08

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