JPH11101852A - Variable delay element inspection circuit - Google Patents

Variable delay element inspection circuit

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JPH11101852A
JPH11101852A JP9264098A JP26409897A JPH11101852A JP H11101852 A JPH11101852 A JP H11101852A JP 9264098 A JP9264098 A JP 9264098A JP 26409897 A JP26409897 A JP 26409897A JP H11101852 A JPH11101852 A JP H11101852A
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JP
Japan
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delay element
circuit
logic
variable delay
signal
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JP9264098A
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Japanese (ja)
Inventor
Norifumi Kobayashi
林 憲 史 小
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a variable delay element inspection circuit which can simply and easily detect a failure when a wiring route in a variable delay element generates 0 degenerate failure or 1 degenerate failure. SOLUTION: This variable delay element inspection circuit is provided with a first delay element 3 connected with the output end of a first multiplexer 1, a second delay element 4 connected with the output end of a second multiplexer 2, an OR circuit 5 connected with the output ends of the first and the second delay elements 3, 4, and a control circuit 6 controlling the first and the second multiplexers 1, 2. A test mode signal TEST, a first and a second logic forced set signals D0, D1, and a selection signal S are inputted in the control circuit 6. By variously changing the logic of the signals, the 0 degenerate failure and the 1 degenerate failure in the wiring routes in the variable delay elements are detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、パルスジェネレー
タやLSIテスタのタイミング発生部などの各種測定器
や、LSI内部のタイミング調整回路に用いられる可変
遅延素子の良否判定を行う技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for judging pass / fail of various measuring instruments such as a pulse generator and a timing generator of an LSI tester and a variable delay element used in a timing adjustment circuit in an LSI.

【0002】[0002]

【従来の技術】パルスジェネレータ等は、外部からの制
御信号に応じて遅延量を可変できる可変遅延素子を備え
ている。この種の可変遅延素子は、一般には制御信号の
ビット数の2乗種類の遅延時間を選択できるように構成
され、制御信号のビット数が増えるに従って、遅延時間
の選択経路も増えるため、可変遅延素子の性能試験にも
時間がかかる。
2. Description of the Related Art A pulse generator or the like is provided with a variable delay element capable of varying a delay amount according to an external control signal. This type of variable delay element is generally configured to select a delay time of the square of the number of bits of the control signal, and as the number of bits of the control signal increases, the selection path of the delay time also increases. The performance test of the device also takes time.

【0003】可変遅延素子の性能試験の手法として、い
くつかの手法が提案されている。第1の手法は、測定対
象となる可変遅延素子から出力された遅延データのエッ
ジを、LSIテスタや各種測定器で検出するものであ
る。また、第2の手法は、測定対象となる可変遅延素子
を用いてリングオシレータを構成し、可変遅延素子の遅
延設定を変えたときの発振周波数の変化により遅延量を
検出するものである。この手法は、LSIのAC特性評
価に広く一般に利用されている技術である。
Several techniques have been proposed as techniques for testing the performance of variable delay elements. The first method is to detect an edge of delay data output from a variable delay element to be measured by an LSI tester or various measuring instruments. In the second method, a ring oscillator is configured using a variable delay element to be measured, and a delay amount is detected based on a change in oscillation frequency when a delay setting of the variable delay element is changed. This technique is a technique that is widely and generally used for evaluating AC characteristics of LSIs.

【0004】また、第3の手法は、位相差−電圧変換に
関する技術を利用したものであり、被測定信号と基準信
号の位相差に応じたパルス信号を積分して電圧に変換
し、その電圧をA/D変換して遅延量を検出するもので
ある。
A third technique utilizes a technique relating to phase difference-voltage conversion, and integrates a pulse signal corresponding to a phase difference between a signal under measurement and a reference signal, converts the signal into a voltage, and converts the voltage into a voltage. Is A / D converted to detect the delay amount.

【0005】ところが、上述した第1〜第3の手法に
は、以下の問題点がある。例えば、第1の手法は、微少
な遅延量を発生可能な高性能のLSIテスタや個別測定
器を必要とし、また、遅延素子を1つずつ順に検査する
ため検査に時間がかかり、検査コストが高くなる。さら
に、エッジ位置の検索には、制御系のCPUによる制御
が必須であり、処理が複雑化して、処理に時間がかか
る。
However, the above-described first to third techniques have the following problems. For example, the first method requires a high-performance LSI tester or an individual measuring device capable of generating a small delay amount, and it takes time to inspect the delay elements one by one in order, and the inspection cost is low. Get higher. Furthermore, control by the CPU of the control system is indispensable for searching for an edge position, which complicates processing and takes time.

【0006】第2の手法は、リングオシレータの回路的
制約により、立ち上がりと立ち下がりのいずれかに着目
した検査ではデューティ比も計測しなければならず、特
殊な回路や測定器を必要とする。また、測定系と制御系
でデータのやり取りが発生し、検査に膨大な時間を必要
とする。
In the second method, due to circuit limitations of the ring oscillator, the duty ratio must be measured in an inspection focusing on either rising or falling, and a special circuit or measuring device is required. Further, data exchange occurs between the measurement system and the control system, and an enormous amount of time is required for inspection.

【0007】第3の手法は、積分した電圧をA/D変換
する際にセットリングタイムが必要となり、第1および
第2の手法と同様に、処理に時間がかかる。また、積分
した電圧はA/D変換器のレンジ内になければならず、
遅延素子の遅延量に応じて基準信号のタイミングを調整
する必要がある。
The third method requires a settling time for A / D conversion of the integrated voltage, and takes a long time to process as in the first and second methods. Also, the integrated voltage must be within the range of the A / D converter,
It is necessary to adjust the timing of the reference signal according to the delay amount of the delay element.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、可変遅延素
子は、複数の配線経路の中から、制御信号に応じた配線
経路を選択するような構成になっているため、一部の配
線経路が、「0」固定になるような故障(0縮退故障)
や、「1」固定になるような故障(1縮退故障)を起こ
すと、制御信号の論理にかかわらず、常に同一経路が選
択されてしまう。
The variable delay element is configured to select a wiring path according to a control signal from a plurality of wiring paths. A fault that is fixed at "0" (0 stuck-at fault)
Also, when a failure (fixed stuck-at 1) occurs that is fixed at "1", the same path is always selected regardless of the logic of the control signal.

【0009】しかしながら、上述した第1〜第3の手法
は、可変遅延素子の出力に基づいて性能試験を行うた
め、可変遅延素子内の一部の配線経路が0縮退故障や1
縮退故障を起こしても、その故障を検出できないおそれ
がある。
However, in the above-described first to third methods, since a performance test is performed based on the output of the variable delay element, some of the wiring paths in the variable delay element have 0 stuck-at faults or 1
Even if a stuck-at fault occurs, the fault may not be detected.

【0010】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、可変遅延素子内部の配線経路
それぞれが0縮退故障や1縮退故障を起こした場合に、
その故障を簡易かつ確実に検出できる可変遅延素子試験
回路を提供することにある。
[0010] The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a method in which each of the wiring paths inside the variable delay element causes a 0 stuck-at fault or a 1 stuck-at fault.
An object of the present invention is to provide a variable delay element test circuit that can easily and reliably detect the failure.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項1の発明は、選択信号に基づいて、互い
に異なる遅延量を有する複数の遅延素子の中からいずれ
か一つを選択する選択回路を備え、この選択回路で選択
された遅延素子により、入力データ信号を遅延させて出
力する可変遅延素子試験回路において、前記選択回路の
選択動作を制御する制御回路を備え、前記制御回路に
は、テストモードの設定を行うテストモード信号と、前
記テストモード時に前記複数の遅延素子それぞれの入力
端子の論理を強制的に設定する複数の論理強制設定信号
と、前記選択信号とが入力され、前記制御回路に入力さ
れる前記各信号の論理と前記入力データ信号の論理とを
種々変化させることにより、前記選択回路、前記制御回
路および前記複数の遅延素子の配線経路それぞれについ
て、論理が「0」固定になる0縮退故障と、論理が
「1」固定になる1縮退故障とが検出されるように、前
記選択回路および前記制御回路を構成する。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 selects one of a plurality of delay elements having different delay amounts based on a selection signal. A variable delay element test circuit that delays an input data signal by a delay element selected by the selection circuit and outputs the delayed data signal, and further includes a control circuit that controls a selection operation of the selection circuit. A test mode signal for setting a test mode, a plurality of logic forced setting signals for forcibly setting the logic of the input terminals of the plurality of delay elements in the test mode, and the selection signal. By changing the logic of each signal input to the control circuit and the logic of the input data signal in various ways, the selection circuit, the control circuit and the plurality of The selection circuit and the control circuit are configured so that a stuck-at-0 fault whose logic is fixed at "0" and a stuck-at-1 fault whose logic is fixed at "1" are detected for each of the wiring paths of the extension elements. .

【0012】例えば、前記選択回路および前記制御回路
は、それぞれ複数のゲートにより構成される。
For example, each of the selection circuit and the control circuit includes a plurality of gates.

【0013】請求項2の発明は、請求項1に記載の可変
遅延素子試験回路において、前記選択回路は、出力端に
第1の遅延素子が接続された第1のマルチプレクサと、
出力端に第2の遅延素子が接続された第2のマルチプレ
クサとを有し、前記テストモード時は、前記入力データ
信号の論理とは無関係に、前記第1および第2の論理強
制設定信号の論理に応じた信号を、前記第1および第2
のマルチプレクサから出力し、前記テストモード時以外
は、前記入力データ信号の論理と、前記第1および第2
の論理強制設定信号の論理とに応じた信号を、前記第1
および第2のマルチプレクサから出力する。
According to a second aspect of the present invention, in the variable delay element test circuit according to the first aspect, the selection circuit includes a first multiplexer having an output terminal connected to a first delay element;
A second multiplexer having a second delay element connected to an output end thereof, wherein in the test mode, the first and second logic forcible setting signals of the first and second logic forced setting signals are independent of the logic of the input data signal. The signal corresponding to the logic is transmitted to the first and second signals.
And the logic of the input data signal and the first and second signals except when in the test mode.
A signal corresponding to the logic of the logic compulsory setting signal of
And output from the second multiplexer.

【0014】請求項3の発明は、請求項1または2に記
載の可変遅延素子試験回路において、前記選択回路、前
記制御回路および前記複数の遅延素子で構成される可変
遅延素子が複数縦続接続され、これら可変遅延素子の内
部に設けられる前記各選択回路は、それぞれ個別に前記
遅延素子を選択する。
According to a third aspect of the present invention, in the variable delay element test circuit according to the first or second aspect, a plurality of variable delay elements comprising the selection circuit, the control circuit, and the plurality of delay elements are connected in cascade. Each of the selection circuits provided inside these variable delay elements individually selects the delay element.

【0015】請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれ
かに記載の可変遅延素子試験回路において、前記制御回
路は、前記第1の論理強制設定信号を出力する第1のレ
ジスタと、前記第2の論理強制設定信号を出力する第2
のレジスタとを有する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the variable delay element test circuit according to any one of the first to third aspects, the control circuit comprises: a first register for outputting the first logical forced setting signal; A second logic for outputting the second logic forced setting signal;
And a register.

【0016】請求項5の発明は、請求項1〜3のいずれ
かに記載の可変遅延素子試験回路において、前記制御回
路に入力される前記第1および第2の論理強制設定信号
は、パルス信号であり、前記制御回路は、入力された前
記第1および第2の論理強制設定信号を回路内部でラッ
チすることなく前記選択回路に供給する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the variable delay element test circuit according to any one of the first to third aspects, the first and second forced logic setting signals input to the control circuit are pulse signals. And the control circuit supplies the input first and second logic forced setting signals to the selection circuit without latching the signals inside the circuit.

【0017】例えば、請求項1〜5に記載の可変遅延素
子試験回路を構成する各回路素子は、半導体基板上に一
体に形成される。
For example, each circuit element constituting the variable delay element test circuit according to the first to fifth aspects is integrally formed on a semiconductor substrate.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した可変遅延
素子試験回路について、図面を参照しながら具体的に説
明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a variable delay element test circuit to which the present invention is applied will be specifically described with reference to the drawings.

【0019】〔第1の実施形態〕図1は本発明に係る可
変遅延素子試験回路の内部構成を示す第1の実施形態の
回路図である。図1の可変遅延素子試験回路は、可変遅
延素子内部のすべての配線経路について、「0」固定に
なる0縮退故障と、「1」固定になる1縮退故障とを検
出できるようにしたことを特徴とする。図1の可変遅延
素子試験回路は、半導体基板上に可変遅延素子と一体に
形成され、通常の可変遅延素子としても利用することが
できる。
[First Embodiment] FIG. 1 is a circuit diagram of a first embodiment showing the internal configuration of a variable delay element test circuit according to the present invention. The variable delay element test circuit shown in FIG. 1 can detect a stuck-at-0 fault fixed to “0” and a stuck-at-1 fault fixed to “1” for all wiring paths inside the variable delay element. Features. The variable delay element test circuit of FIG. 1 is formed integrally with a variable delay element on a semiconductor substrate, and can be used as a normal variable delay element.

【0020】図1の可変遅延素子試験回路は、第1およ
び第2のマルチプレクサ1,2と、第1のマルチプレク
サ1の出力端に接続された第1の遅延素子3と、第2の
マルチプレクサ2の出力端に接続された第2の遅延素子
4と、第1および第2の遅延素子3,4の出力端に接続
されたオア回路5と、第1および第2のマルチプレクサ
1,2を制御する制御回路6とを備える。
The variable delay element test circuit shown in FIG. 1 includes first and second multiplexers 1 and 2, a first delay element 3 connected to an output terminal of the first multiplexer 1, and a second multiplexer 2. Control the second delay element 4 connected to the output terminal of the first and second delay elements 3 and 4, the OR circuit 5 connected to the output terminals of the first and second delay elements 3 and 4, and the first and second multiplexers 1 and 2. And a control circuit 6 for performing the operation.

【0021】第1の遅延素子3の遅延量と第2の遅延素
子4の遅延量とは、互いに異なっており、第1および第
2のマルチプレクサ1,2から出力された信号は、各遅
延素子3,4の遅延量だけ遅延されてオア回路5に入力
される。
The delay amount of the first delay element 3 and the delay amount of the second delay element 4 are different from each other, and the signals output from the first and second multiplexers 1 and 2 The signals are delayed by the delay amounts of 3, 4 and input to the OR circuit 5.

【0022】制御回路6には、テストモードの設定を行
うテストモード信号TESTと、テストモード時に第1およ
び第2の遅延素子3,4の入力端子の論理を強制的に設
定する第1および第2の論理強制設定信号D0,D1と、テ
ストモード時以外のときに第1および第2のマルチプレ
クサ1,2のいずれか一方を選択する選択信号Sとが入
力される。制御回路6はオア回路7,8を有し、これら
オア回路7,8からは、テストモード信号TESTと選択信
号Sとの論理に応じた信号が出力される。
The control circuit 6 has a test mode signal TEST for setting a test mode and first and second signals for forcibly setting the logic of the input terminals of the first and second delay elements 3 and 4 in the test mode. 2 and a selection signal S for selecting one of the first and second multiplexers 1 and 2 except during the test mode. The control circuit 6 has OR circuits 7 and 8, and these OR circuits 7 and 8 output signals corresponding to the logic of the test mode signal TEST and the selection signal S.

【0023】図1に示した可変遅延素子試験回路を可変
遅延素子として使用する場合は、テストモード信号TEST
と、第1および第2の論理強制設定信号D0,D1を、とも
に「0」に設定する。このとき、選択信号Sが「1」で
あれば第1の遅延素子3が選択され、選択信号Sが
「0」であれば第2の遅延素子4が選択される。第1お
よび第2のマルチプレクサ1,2に入力された入力デー
タ信号は、選択信号Sにより選択された遅延素子3,4
で遅延された後、オア回路5に入力される。
When the variable delay element test circuit shown in FIG. 1 is used as a variable delay element, the test mode signal TEST
, The first and second logical compulsory setting signals D0 and D1 are both set to “0”. At this time, if the selection signal S is “1”, the first delay element 3 is selected, and if the selection signal S is “0”, the second delay element 4 is selected. The input data signals input to the first and second multiplexers 1 and 2 are the delay elements 3 and 4 selected by the selection signal S.
, And is input to the OR circuit 5.

【0024】一方、可変遅延素子の性能試験を行う場合
は、テストモード信号TESTと、選択信号Sと、第1およ
び第2の論理強制設定信号D0,D1と、入力データ信号と
を、図2の〜に示す9通りの論理に設定して、それ
ぞれ可変遅延素子の出力を検出し、各出力が図2に示し
た出力論理と一致するか否かを判断する。
On the other hand, when the performance test of the variable delay element is performed, the test mode signal TEST, the selection signal S, the first and second logic forced setting signals D0 and D1, and the input data signal are transmitted as shown in FIG. The logics are set to the following 9 types, and outputs of the variable delay elements are detected, and it is determined whether or not each output matches the output logic shown in FIG.

【0025】例えば、可変遅延素子試験回路の各入力信
号を、図1のに示す論理に設定すると、本来であれ
ば、可変遅延素子試験回路の出力は「0」になるはずで
あり、仮に出力が「1」であれば、図1の経路B〜Nの
いずれかで1縮退故障が起こったと判断できる。また、
図1の経路K,L,Pのいずれかで0縮退故障が起こる
と、可変遅延素子の出力が入力データ信号の論理によっ
て変化するため、これにより、経路K,L,Pの0縮退
故障も検出することができる。
For example, if each input signal of the variable delay element test circuit is set to the logic shown in FIG. 1, the output of the variable delay element test circuit should normally be "0". Is "1", it can be determined that a stuck-at-1 fault has occurred in any of the routes B to N in FIG. Also,
When a stuck-at-0 fault occurs in any of the paths K, L, and P in FIG. 1, the output of the variable delay element changes according to the logic of the input data signal. Can be detected.

【0026】このように、図1の可変遅延素子試験回路
では、入力信号の論理を図2に示す9通りに変化させる
だけで、可変遅延素子内部のすべての配線経路の0縮退
故障と1縮退故障を検出でき、可変遅延素子の性能試験
を簡易かつ迅速かつ確実に行うことができる。
As described above, in the variable delay element test circuit shown in FIG. 1, only the logic of the input signal is changed as shown in FIG. A failure can be detected, and a performance test of the variable delay element can be performed simply, quickly, and reliably.

【0027】なお、図1の可変遅延素子試験回路を通常
の可変遅延素子として使用する場合は、単独で使用して
もよいが、図3のように、複数の可変遅延素子試験回路
を縦続接続してもよい。図3は図1と同じ構成の可変遅
延素子試験回路を3段縦続接続した例を示している。各
段の可変遅延素子試験回路はそれぞれ個別に遅延量が設
定されるため、合計で8通りの遅延設定を行うことがで
きる。一般に、縦続接続される図1の可変遅延素子試験
回路の段数をnとすると、遅延量の設定数は2nにな
る。
When the variable delay element test circuit of FIG. 1 is used as a normal variable delay element, it may be used alone. However, as shown in FIG. 3, a plurality of variable delay element test circuits are connected in cascade. May be. FIG. 3 shows an example in which variable delay element test circuits having the same configuration as in FIG. 1 are cascaded in three stages. Since the variable delay element test circuits at each stage have their respective delay amounts set individually, a total of eight delay settings can be made. Generally, if the number of stages of the cascade-connected variable delay element test circuit of FIG. 1 is n, the set number of delay amounts is 2n.

【0028】図3の回路は、入力データ信号のタイミン
グ波形を図4(a)、各段の可変遅延素子試験回路のそ
れぞれが最小遅延量を選択した場合のタイミング波形を
図3(a)、各段の可変遅延素子試験回路内のそれぞれ
が最大遅延量を選択した場合のタイミング波形を図3
(b)とすると、最大遅延量と最小遅延量の差であるTp
dmaxの8分の1の分解能の遅延データを出力できる。
FIG. 4A shows the timing waveform of the input data signal, and FIG. 3A shows the timing waveform when each of the variable delay element test circuits at each stage selects the minimum delay amount. FIG. 3 shows a timing waveform when each of the variable delay element test circuits at each stage selects the maximum delay amount.
Assuming (b), Tp which is the difference between the maximum delay amount and the minimum delay amount
Delay data with a resolution of 1/8 of dmax can be output.

【0029】〔第2の実施形態〕第2の実施形態は、第
1および第2の論理強制設定信号D0,D1を任意の固定レ
ベルに設定できるようにしたものである。
[Second Embodiment] In the second embodiment, the first and second logical forcing setting signals D0 and D1 can be set to any fixed levels.

【0030】図5は本発明に係る可変遅延素子試験回路
の内部構成を示す第2の実施形態の回路図である。図5
の可変遅延素子は、制御回路6の構成のみが図1と異な
る。図5の制御回路6は、第1の論理強制設定信号を出
力するレジスタ11と、第2の論理強制設定信号を出力
するレジスタ12とを有する。
FIG. 5 is a circuit diagram of a second embodiment showing the internal configuration of the variable delay element test circuit according to the present invention. FIG.
Is different from FIG. 1 only in the configuration of the control circuit 6. The control circuit 6 of FIG. 5 includes a register 11 that outputs a first logical compulsory setting signal, and a register 12 that outputs a second logical compulsory setting signal.

【0031】レジスタ11,12は、不図示の内部クロ
ックに同期した第1および第2の論理強制設定信号D0,
D1を出力し、これら信号D0,D1は選択回路1,2に供給
される。第1および第2の論理強制設定信号D0,D1は、
レジスタ11,12が他のデータを出力するまでは一定
のレベルに維持されるため、試験パターンを入力するた
びに、外部から第1および第2の論理強制設定信号D0,
D1を入力しなくてもよくなる。
Registers 11 and 12 store first and second logical forcible setting signals D0 and D0 synchronized with an internal clock (not shown).
D1 is output, and these signals D0 and D1 are supplied to the selection circuits 1 and 2. The first and second logic forced setting signals D0 and D1 are:
Since the level is maintained at a constant level until the registers 11 and 12 output other data, each time a test pattern is input, the first and second logical forcing setting signals D0 and D0,
You do not need to enter D1.

【0032】一方、可変遅延素子のAC特性を検査した
い場合には、制御回路6を図1のように構成して、パル
ス信号からなる第1および第2の論理強制設定信号D0,
D1を入力すればよい。
On the other hand, when it is desired to inspect the AC characteristics of the variable delay element, the control circuit 6 is constructed as shown in FIG. 1 and the first and second logical compulsory setting signals D0, D0,
Just enter D1.

【0033】なお、可変遅延素子試験回路の入力信号の
論理は、図2に示したものに限定されない。また、図
1,5の選択回路6,6′は、2つの遅延素子3,4の
いずれかを選択しているが、3つ以上の選択回路6の中
からいずれかを選択するようにしてもよい。
The logic of the input signal of the variable delay element test circuit is not limited to that shown in FIG. The selection circuits 6 and 6 'in FIGS. 1 and 5 select one of the two delay elements 3 and 4, but select one of the three or more selection circuits 6. Is also good.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、選択信号、テストモード信号、論理強制設定信
号、および入力データ信号の各論理を種々変化させるこ
とにより、可変遅延素子内部の配線経路それぞれについ
て、0縮退故障と1縮退故障を検出することができる。
特に、本発明によれば、各入力信号の論理パターンの数
が少なくても、0縮退故障と1縮退故障を検出でき、可
変遅延素子の性能試験を簡易かつ迅速かつ確実に行うこ
とができる。また、論理強制設定信号をパルス信号にす
ることにより、可変遅延素子のAC的な動作も検査する
ことができる。
As described above in detail, according to the present invention, the logics of the selection signal, the test mode signal, the logic forced setting signal, and the input data signal are variously changed, so that the inside of the variable delay element is changed. A stuck-at-0 fault and a stuck-at-1 fault can be detected for each of the wiring paths.
In particular, according to the present invention, even if the number of logic patterns of each input signal is small, a stuck-at-0 fault and a stuck-at-1 fault can be detected, and a performance test of a variable delay element can be performed simply, quickly, and reliably. Further, by using a pulse signal as the logic compulsory setting signal, the AC operation of the variable delay element can be inspected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】可変遅延素子試験回路の内部構成を示す第1の
実施形態の回路図。
FIG. 1 is a circuit diagram of a first embodiment showing an internal configuration of a variable delay element test circuit.

【図2】可変遅延素子試験回路の各入出力信号の論理を
示す図。
FIG. 2 is a diagram showing the logic of each input / output signal of the variable delay element test circuit.

【図3】図1の可変遅延素子試験回路を3段縦続接続し
た例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an example in which the variable delay element test circuits of FIG. 1 are cascaded in three stages.

【図4】(a)は入力データ信号のタイミング波形図、
(b),(c)は可変遅延素子の出力を示すタイミング
波形図。
FIG. 4A is a timing waveform diagram of an input data signal,
(B), (c) is a timing waveform diagram showing the output of the variable delay element.

【図5】可変遅延素子試験回路の内部構成を示す第2の
実施形態の回路図。
FIG. 5 is a circuit diagram of a second embodiment showing an internal configuration of a variable delay element test circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1のマルチプレクサ 2 第2のマルチプレクサ 3 第1の遅延素子 4 第2の遅延素子 5,7,8 オア回路 6 遅延回路 11,12 レジスタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st multiplexer 2 2nd multiplexer 3 1st delay element 4 2nd delay element 5,7,8 OR circuit 6 delay circuit 11,12 register

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】選択信号に基づいて、互いに異なる遅延量
を有する複数の遅延素子の中からいずれか一つを選択す
る選択回路を備え、 この選択回路で選択された遅延素子により、入力データ
信号を遅延させて出力する可変遅延素子試験回路におい
て、 前記選択回路の選択動作を制御する制御回路を備え、 前記制御回路には、テストモードの設定を行うテストモ
ード信号と、前記テストモード時に前記複数の遅延素子
それぞれの入力端子の論理を強制的に設定する複数の論
理強制設定信号と、前記選択信号とが入力され、 前記制御回路に入力される前記各信号の論理と前記入力
データ信号の論理とを種々変化させることにより、前記
選択回路、前記制御回路および前記複数の遅延素子の配
線経路それぞれについて、論理が「0」固定になる0縮
退故障と、論理が「1」固定になる1縮退故障とが検出
されるように、前記選択回路および前記制御回路を構成
することを特徴とする可変遅延素子試験回路。
A selecting circuit for selecting any one of a plurality of delay elements having different delay amounts based on a selection signal, wherein an input data signal is selected by the delay element selected by the selecting circuit. A variable delay element test circuit for delaying and outputting the control circuit, comprising: a control circuit for controlling a selection operation of the selection circuit, wherein the control circuit includes a test mode signal for setting a test mode, and the plurality of test modes during the test mode. A plurality of logic forced setting signals for forcibly setting the logic of the input terminal of each of the delay elements, and the selection signal, and the logic of each of the signals input to the control circuit and the logic of the input data signal Are variously changed so that the logic of each of the selection circuit, the control circuit, and the wiring path of the plurality of delay elements is fixed to “0”. A variable delay element test circuit comprising: the selection circuit and the control circuit configured to detect a stuck-at fault and a stuck-at-one fault whose logic is fixed to “1”.
【請求項2】前記選択回路は、出力端に第1の遅延素子
が接続された第1のマルチプレクサと、出力端に第2の
遅延素子が接続された第2のマルチプレクサとを有し、 前記テストモード時は、前記入力データ信号の論理とは
無関係に、前記第1および第2の論理強制設定信号の論
理に応じた信号を、前記第1および第2のマルチプレク
サから出力し、 前記テストモード時以外は、前記入力データ信号の論理
と、前記第1および第2の論理強制設定信号の論理とに
応じた信号を、前記第1および第2のマルチプレクサか
ら出力することを特徴とする請求項1に記載の可変遅延
素子試験回路。
2. The selection circuit has a first multiplexer having an output terminal connected to a first delay element, and a second multiplexer having an output terminal connected to a second delay element. In the test mode, a signal corresponding to the logic of the first and second logic compulsory setting signals is output from the first and second multiplexers independently of the logic of the input data signal; And outputting a signal corresponding to the logic of the input data signal and the logic of the first and second logic compulsory setting signals from the first and second multiplexers. 2. The variable delay element test circuit according to 1.
【請求項3】前記選択回路、前記制御回路および前記複
数の遅延素子で構成される可変遅延素子が複数縦続接続
され、これら可変遅延素子の内部に設けられる前記各選
択回路は、それぞれ個別に前記遅延素子を選択すること
を特徴とする請求項1または2に記載の可変遅延素子試
験回路。
3. A variable delay element comprising said selection circuit, said control circuit and said plurality of delay elements are connected in cascade, and said selection circuits provided inside said variable delay elements are individually connected to said selection circuits. 3. The variable delay element test circuit according to claim 1, wherein a delay element is selected.
【請求項4】前記制御回路は、前記第1の論理強制設定
信号を出力する第1のレジスタと、前記第2の論理強制
設定信号を出力する第2のレジスタとを有することを特
徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の可変遅延素子
試験回路。
4. The control circuit according to claim 1, further comprising a first register for outputting the first logical forcing setting signal, and a second register for outputting the second logical forcing setting signal. The variable delay element test circuit according to claim 1.
【請求項5】前記制御回路に入力される前記第1および
第2の論理強制設定信号は、パルス信号であり、 前記制御回路は、入力された前記第1および第2の論理
強制設定信号を回路内部でラッチすることなく前記選択
回路に供給することを特徴とする請求項1〜3のいずれ
かに記載の可変遅延素子試験回路。
5. The first and second logical forcing setting signals input to the control circuit are pulse signals, and the control circuit outputs the first and second logical forcing setting signals input thereto. 4. The variable delay element test circuit according to claim 1, wherein the variable delay element test circuit is supplied to the selection circuit without latching inside the circuit.
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