JPS5915805A - 変位検知器 - Google Patents
変位検知器Info
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- JPS5915805A JPS5915805A JP12550582A JP12550582A JPS5915805A JP S5915805 A JPS5915805 A JP S5915805A JP 12550582 A JP12550582 A JP 12550582A JP 12550582 A JP12550582 A JP 12550582A JP S5915805 A JPS5915805 A JP S5915805A
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- JP
- Japan
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- displacement
- contact
- stem
- fiber
- optical fiber
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、変位検知器に関するものである。
変位検知器の一つとして、対象物への当接によるプロー
ブ軸の変位を電気的に検出するタッチ信号ゾロープが知
られている。
ブ軸の変位を電気的に検出するタッチ信号ゾロープが知
られている。
従来のタッチ信号ゾローゾは、ばねで付勢された電気接
点を、プローブ軸が対象物に当接した際に変位される力
で開閉させる構造であった。
点を、プローブ軸が対象物に当接した際に変位される力
で開閉させる構造であった。
ところが、このような構造のものは、両電気接点をばね
で付勢しているものであるから、そのばねの付勢力に打
勝つ以上の力がプローブ軸に作用しなければプローブ軸
が変位されない上、両電気接点を開閉させなければなら
ないので応答性に問題がある。しかも、両電気接点間に
塵芥が侵入したり、または接点の摩耗や接点表面の劣化
等が生じやすいことがら導通不良が起りやすく、またプ
「フープ内に微小容置の電路を形成しなければならない
ので、ノイズ等の影響を受けやすいという電気的な問題
もある。史に、電気接点を開閉はぜる機構を精度よ＜’
ｊｌｌ工７組立てなければならない上、−特に電気接点
の場合、ドライザーキット現象等に基づく絶縁粉未発生
による導通不良を回避すべく、両′亀気接点間に滑り現
象を起させる必要があるため、機構的にも複雑化する難
点がある。
で付勢しているものであるから、そのばねの付勢力に打
勝つ以上の力がプローブ軸に作用しなければプローブ軸
が変位されない上、両電気接点を開閉させなければなら
ないので応答性に問題がある。しかも、両電気接点間に
塵芥が侵入したり、または接点の摩耗や接点表面の劣化
等が生じやすいことがら導通不良が起りやすく、またプ
「フープ内に微小容置の電路を形成しなければならない
ので、ノイズ等の影響を受けやすいという電気的な問題
もある。史に、電気接点を開閉はぜる機構を精度よ＜’
ｊｌｌ工７組立てなければならない上、−特に電気接点
の場合、ドライザーキット現象等に基づく絶縁粉未発生
による導通不良を回避すべく、両′亀気接点間に滑り現
象を起させる必要があるため、機構的にも複雑化する難
点がある。
ここにおいて、本発明の目的は、光ファイバーの光強度
変化特性、偏向面変化特性および位相変化特性等のうち
、光強度変化特性に着目し、変位部材の変位を光ファイ
バーの光強度変化に変換し、その光強度変化から変位部
材の変位を検知することによシ、従来の電気接点に伴う
問題を全て解消し、微少な力による変位部材の変位を迅
速に検知するとともに、動作が確実でかつ機構的にも簡
易な変位検知器を提供することにある。また、本発明の
他の目的は、光ファイバーの変形後の復帰性を考慮し、
繰返し変位の動作をも確実に検出できる変位検知器を提
供することにある。
変化特性、偏向面変化特性および位相変化特性等のうち
、光強度変化特性に着目し、変位部材の変位を光ファイ
バーの光強度変化に変換し、その光強度変化から変位部
材の変位を検知することによシ、従来の電気接点に伴う
問題を全て解消し、微少な力による変位部材の変位を迅
速に検知するとともに、動作が確実でかつ機構的にも簡
易な変位検知器を提供することにある。また、本発明の
他の目的は、光ファイバーの変形後の復帰性を考慮し、
繰返し変位の動作をも確実に検出できる変位検知器を提
供することにある。
そのため、本発明では、本体ケースの軸線と直交する面
内に複数の光ファイバーを並列的に配設して感知部を形
成し、この感知部の一方面側に複数の突部を有する変位
部材を前記軸線方向へ移動可能にかつ軸線に対して傾斜
可能に設けるとともに、感知部の他方面側にその感知部
を前記変位部材の突部へ向って付勢する付勢手段を設け
、これにより変位部材が本体ケースの軸線または軸線に
対して傾斜する方向、つまり三次元方向へ変位したとき
、その変位部材の変位により感知部を構成する光ファイ
バーのいずれかを変形させ、その変形による光ファイバ
ーの光透過率変化から変位部材の変位全検知する一方、
元ファイバーの変形を付勢手段により復元させることに
より、上記目的を達成しようとするものである。
内に複数の光ファイバーを並列的に配設して感知部を形
成し、この感知部の一方面側に複数の突部を有する変位
部材を前記軸線方向へ移動可能にかつ軸線に対して傾斜
可能に設けるとともに、感知部の他方面側にその感知部
を前記変位部材の突部へ向って付勢する付勢手段を設け
、これにより変位部材が本体ケースの軸線または軸線に
対して傾斜する方向、つまり三次元方向へ変位したとき
、その変位部材の変位により感知部を構成する光ファイ
バーのいずれかを変形させ、その変形による光ファイバ
ーの光透過率変化から変位部材の変位全検知する一方、
元ファイバーの変形を付勢手段により復元させることに
より、上記目的を達成しようとするものである。
そこで、本発明を詳述する。今まで、光ファイバーが圧
力の影響によって変形されると、光フアイバー中を伝播
する元の損失値が変動することが知られている。それに
よると、元ファイバーの光強度特性は、次式で表わすこ
とができる。
力の影響によって変形されると、光フアイバー中を伝播
する元の損失値が変動することが知られている。それに
よると、元ファイバーの光強度特性は、次式で表わすこ
とができる。
ΔＴ＝ （ｄＴ／ｄｐ ）・Ａ −ｐ、 ・・
・・・・・・・・・・・・・（１）ここで、ΔＴ：光透
光透過化 変化光ファイバーの光透過率 Ｆ：加圧力 Ａ：加圧面積 Ｐ８：加圧面積当りの加圧力 一方、ステップインデックス多重モードファイバーによ
れば、およそ１．３ Ｘ １０−６１１ ／、、１１の
加圧力が与えられたとき、１ｍ％ｒの入射光量に対し、
△Ｔ ＝’２Ｘ １０７８という光透過率変化を生じる
。これは、Ｊ。
・・・・・・・・・・・・・（１）ここで、ΔＴ：光透
光透過化 変化光ファイバーの光透過率 Ｆ：加圧力 Ａ：加圧面積 Ｐ８：加圧面積当りの加圧力 一方、ステップインデックス多重モードファイバーによ
れば、およそ１．３ Ｘ １０−６１１ ／、、１１の
加圧力が与えられたとき、１ｍ％ｒの入射光量に対し、
△Ｔ ＝’２Ｘ １０７８という光透過率変化を生じる
。これは、Ｊ。
Ａｃｏｕｓｔ、 Ｓｏｃ、 Ａｍ、 ＶＯＬ、 ６７、
ＮＯ３，Ｍａｒｃｈ １９８０によれば、検出可能と
しているが、実際上このレベルでは実用に価しない。
ＮＯ３，Ｍａｒｃｈ １９８０によれば、検出可能と
しているが、実際上このレベルでは実用に価しない。
ここに、変位検知器として光透過率変化を感知可能な条
件として、次のように考える。即ち、入射光磁１−ＬＷ
に対し、光透過率変化ΔＴが１０％となれば実用上感知
するのに充分と考えられるから、△Ｔ＝１ｏｃｓを生じ
るためのＡ−ＰｓＯ値は、（ｄＴ／ｄＦ）を０．２Ｎ−
１とすると、前記（１）式から、Ａ−Ｐｓ＝ΔＴ／ （
ｄＴ／ａ Ｆ ） ・・・・・・・・・・・・
・（２）＝ ０．１１０．２ Ｎ−’ ＝０．０５Ｎキ５ ｆｆｆ ・・・・・・
・・・・・・・・（２）となる。従って、これを例えば
従来のばね付勢された電気接点型のプ′ロープと比較す
ると、電気接点型は水平に１５〜２５？ｆ、垂直に６０
？ｆの力がプローブ軸の変位に必要とされる最低の力
であることから、はるかに低い力による変位を検出でき
るとともに、電気接点の開閉全件なわないため迅速な応
答性が期待できることが判る。同時に、従来の電気接点
を用いていないことから、導通不良等の電気的問題を生
じることなく確実な動作が期待でき、かつ機構的にも簡
易となることが容易に理解されよう。
件として、次のように考える。即ち、入射光磁１−ＬＷ
に対し、光透過率変化ΔＴが１０％となれば実用上感知
するのに充分と考えられるから、△Ｔ＝１ｏｃｓを生じ
るためのＡ−ＰｓＯ値は、（ｄＴ／ｄＦ）を０．２Ｎ−
１とすると、前記（１）式から、Ａ−Ｐｓ＝ΔＴ／ （
ｄＴ／ａ Ｆ ） ・・・・・・・・・・・・
・（２）＝ ０．１１０．２ Ｎ−’ ＝０．０５Ｎキ５ ｆｆｆ ・・・・・・
・・・・・・・・（２）となる。従って、これを例えば
従来のばね付勢された電気接点型のプ′ロープと比較す
ると、電気接点型は水平に１５〜２５？ｆ、垂直に６０
？ｆの力がプローブ軸の変位に必要とされる最低の力
であることから、はるかに低い力による変位を検出でき
るとともに、電気接点の開閉全件なわないため迅速な応
答性が期待できることが判る。同時に、従来の電気接点
を用いていないことから、導通不良等の電気的問題を生
じることなく確実な動作が期待でき、かつ機構的にも簡
易となることが容易に理解されよう。
次に、本発明を、タッチ信号プローブに適用した一実施
例について図面を基に説明する。
例について図面を基に説明する。
第１図において、本体ケース１は、短円筒形状に成形さ
れ、その上端面に上方へ向って突出するシャンク２が、
内周壁に環状段部３がそれぞれ形成されている。環状段
部３には、板ばね４を介してプローブ軸５が前記シャン
ク２の軸線方向へ移動可能にかつ軸線に対して傾斜可能
に、つまり三次元方向へ変位可能に設けられている。前
記板げね４は、第２図に示す如く、円形に打抜がれた弾
性薄板６の中心に前記プローブ軸５のやや上端寄りを保
持する保持孔７が、外周縁に板ばね４を止めねじ８を介
して前記環状段部３へ固定するための取付孔９がそれぞ
れ形成されているとともに、保持孔７を中心とする円周
上に３本の弧状溝１゜が口状に形成されている。また、
前記プローブ軸５には、その中間部やや上端寄りに前記
本体ケース１の内底面に設けられた数個の突起１１に当
接する当接板１２が取付けられているとともに、一端に
前記本体ケース１の外部へ突出された接触子１３が、他
端にプローグ軸５の軸線と直角な円盤状の抑圧体１４が
それぞれ設けられている。押圧体１４の」二面には、第
３図にも示す如く、付勢手段１５を介して感知部１６が
付勢されているとともに、感知部１６と接する面に複数
の突起１７が形成されている。
れ、その上端面に上方へ向って突出するシャンク２が、
内周壁に環状段部３がそれぞれ形成されている。環状段
部３には、板ばね４を介してプローブ軸５が前記シャン
ク２の軸線方向へ移動可能にかつ軸線に対して傾斜可能
に、つまり三次元方向へ変位可能に設けられている。前
記板げね４は、第２図に示す如く、円形に打抜がれた弾
性薄板６の中心に前記プローブ軸５のやや上端寄りを保
持する保持孔７が、外周縁に板ばね４を止めねじ８を介
して前記環状段部３へ固定するための取付孔９がそれぞ
れ形成されているとともに、保持孔７を中心とする円周
上に３本の弧状溝１゜が口状に形成されている。また、
前記プローブ軸５には、その中間部やや上端寄りに前記
本体ケース１の内底面に設けられた数個の突起１１に当
接する当接板１２が取付けられているとともに、一端に
前記本体ケース１の外部へ突出された接触子１３が、他
端にプローグ軸５の軸線と直角な円盤状の抑圧体１４が
それぞれ設けられている。押圧体１４の」二面には、第
３図にも示す如く、付勢手段１５を介して感知部１６が
付勢されているとともに、感知部１６と接する面に複数
の突起１７が形成されている。
前記付勢手段１５は、内部に空気または液体等の流体を
封入した密閉袋体１８から構成されている。また、前記
感知部１６は、前記シャフト２の軸線と直交する面内に
前記押圧部１４の形状に沿って並列配置された複数の光
ファイバー１９から構成されている。これらの光ファイ
バー１９は、感知部１６の両端において結束された後、
前記本体ケース１の外部へ引き出されている。そして、
本体ケース１の外部へ引き出された元ファイバー１９の
一端側にはランプ等の光源２０が、他Ｉ４側には光ファ
イバー１９の変形に基づく光透過率の変化を検出する検
出回路２１がそれぞれ設けられている。検出回路２１は
、第４図に示す如く、光ファイバー１９からの出射光が
光電変換回路２２で電気信号に変換された後、増幅器２
３および微分回路２４を介してオペアンプ２５の一方の
入力端に与えられている。前記微分回路２４は、コンデ
ンサ２６と抵抗２７とがら構成されている。また、オペ
アンプ２５には、その他方の入力端に抵抗２８と可変抵
抗２９とから作られた基準電圧Ｖｒｅｆが与えられてい
るとともに、一方の入力端と出力端との間にツェナーダ
イオード３ｏが接続されている。
封入した密閉袋体１８から構成されている。また、前記
感知部１６は、前記シャフト２の軸線と直交する面内に
前記押圧部１４の形状に沿って並列配置された複数の光
ファイバー１９から構成されている。これらの光ファイ
バー１９は、感知部１６の両端において結束された後、
前記本体ケース１の外部へ引き出されている。そして、
本体ケース１の外部へ引き出された元ファイバー１９の
一端側にはランプ等の光源２０が、他Ｉ４側には光ファ
イバー１９の変形に基づく光透過率の変化を検出する検
出回路２１がそれぞれ設けられている。検出回路２１は
、第４図に示す如く、光ファイバー１９からの出射光が
光電変換回路２２で電気信号に変換された後、増幅器２
３および微分回路２４を介してオペアンプ２５の一方の
入力端に与えられている。前記微分回路２４は、コンデ
ンサ２６と抵抗２７とがら構成されている。また、オペ
アンプ２５には、その他方の入力端に抵抗２８と可変抵
抗２９とから作られた基準電圧Ｖｒｅｆが与えられてい
るとともに、一方の入力端と出力端との間にツェナーダ
イオード３ｏが接続されている。
次に、本実施例の作用を説明する。光源２０がら照射さ
れた光は、多数の元ファイバー１９を通って出射された
後、検出回路２１０元電変換器２２で電気信号に変換さ
れる。光電変換器２２がらの出力は、増幅器２３で増幅
され、史に微分回路２４で微分された後、オペアンプ２
６へ与えられる。
れた光は、多数の元ファイバー１９を通って出射された
後、検出回路２１０元電変換器２２で電気信号に変換さ
れる。光電変換器２２がらの出力は、増幅器２３で増幅
され、史に微分回路２４で微分された後、オペアンプ２
６へ与えられる。
こねにより、光電変換器２２からの出方が所定の変換率
を示したとき、オペアンプ２６が６ 検出信号が出され
る。
を示したとき、オペアンプ２６が６ 検出信号が出され
る。
いま、本体ケース１の移動によってプローブ軸５の接触
子１３が対象物に当接すると、プローブ軸５が変位され
る。すると、プローグ軸５の変位によって押圧体１４の
突起１７が感知部１６の光ファイバー１９を押圧する結
果、押圧された部分の光ファイバー１９が変形される。
子１３が対象物に当接すると、プローブ軸５が変位され
る。すると、プローグ軸５の変位によって押圧体１４の
突起１７が感知部１６の光ファイバー１９を押圧する結
果、押圧された部分の光ファイバー１９が変形される。
光ファイバー１９が変形されると、その光ファイバー１
９を通る光の透過光が減少する結果、光電変換器２２が
ラノ出力が急激（こ低下することによってオペアンプ２
６から検出信号が出され、プローグ軸５の接触子１３が
対象物に当接したことが検知される。
９を通る光の透過光が減少する結果、光電変換器２２が
ラノ出力が急激（こ低下することによってオペアンプ２
６から検出信号が出され、プローグ軸５の接触子１３が
対象物に当接したことが検知される。
ここで、プローグ軸５の接触子１３が対象物から離れる
と、プローグ軸５は板ばね４の作用によってシャンク２
の軸線と一致した姿勢に復帰される。このとき、プロー
ブ軸の押圧体１４の突起１７によって抑圧、変形されて
いた光ファイバー１９は、付勢手段１５０作用によって
、プローグ軸５の姿勢復帰とともに元の状態に復元され
る。これにより、再度プローグ軸５の接触子１３が対象
物に当接しても、その当接を確実に検知することができ
る。
と、プローグ軸５は板ばね４の作用によってシャンク２
の軸線と一致した姿勢に復帰される。このとき、プロー
ブ軸の押圧体１４の突起１７によって抑圧、変形されて
いた光ファイバー１９は、付勢手段１５０作用によって
、プローグ軸５の姿勢復帰とともに元の状態に復元され
る。これにより、再度プローグ軸５の接触子１３が対象
物に当接しても、その当接を確実に検知することができ
る。
従って、本実施例によれば、本体ケース１の軸線と直交
する面内に複数の元ファイバー１９を並列的に配置して
感知部１６を形成し、この感知部１６の一方の面に三次
元方向へ変位可能なプローゾ軸５の抑圧体１４を、他方
の面に感知部１６を抑圧体１４へ向って付勢する付勢手
段１５をそれぞれ設けたので、プローグ軸５が対象物へ
の当接によって三次元方向のいずれかの方向へ変位され
ると、感知部１６に配列された元ファイバー１９のいず
れかが抑圧、変形される結果、変形された光ファイバー
１９の透過光が急激に減少され、その透過光の変化率が
検出回路２１により検出される。この場合、プローグ軸
５が三次元方向のいずれかの方向へ変位されたとき、そ
れぞれの変位において前記（２）式を満たすようにする
と、極めて小さい力によるプローグ軸の三次元方向にお
ける全ての変位を検知できる。また、従来のばね付勢さ
れた電気接点型の構造と比較しても、電気接点の開閉を
伴なわないため迅速な応答性が期待でき、また塵芥の侵
入、接点の摩耗や接点表面の劣化等がないことがら導通
不良の虞れがない上、ゾロープ内に電路を形成しないか
らノイズの影響を受けることがなく確実な動作が期待で
き、更に電気接′点の開閉に要求される複雑な機構を必
要としないから機構を簡素化にすることができる。
する面内に複数の元ファイバー１９を並列的に配置して
感知部１６を形成し、この感知部１６の一方の面に三次
元方向へ変位可能なプローゾ軸５の抑圧体１４を、他方
の面に感知部１６を抑圧体１４へ向って付勢する付勢手
段１５をそれぞれ設けたので、プローグ軸５が対象物へ
の当接によって三次元方向のいずれかの方向へ変位され
ると、感知部１６に配列された元ファイバー１９のいず
れかが抑圧、変形される結果、変形された光ファイバー
１９の透過光が急激に減少され、その透過光の変化率が
検出回路２１により検出される。この場合、プローグ軸
５が三次元方向のいずれかの方向へ変位されたとき、そ
れぞれの変位において前記（２）式を満たすようにする
と、極めて小さい力によるプローグ軸の三次元方向にお
ける全ての変位を検知できる。また、従来のばね付勢さ
れた電気接点型の構造と比較しても、電気接点の開閉を
伴なわないため迅速な応答性が期待でき、また塵芥の侵
入、接点の摩耗や接点表面の劣化等がないことがら導通
不良の虞れがない上、ゾロープ内に電路を形成しないか
らノイズの影響を受けることがなく確実な動作が期待で
き、更に電気接′点の開閉に要求される複雑な機構を必
要としないから機構を簡素化にすることができる。
また、感知部１６の抑圧部１４側と反対側の面に、突気
または液体等の流体を封入した密閉袋体１８を設けたの
で、その密閉袋体１８＆こよって感知部１６の全体が常
に押圧部１４へ付勢されているから三次元方向における
全ての応答速度を回持性にでき、一方プローゾ軸５の変
位時に押圧体１４の突起１７によって押圧、変形されて
いた元ファイバーは、プローグ軸５が７ヤンク２の軸線
と一致した姿勢に復帰されるのに伴って、密閉袋体１８
の付勢力によって元の状態に復元されるから、再度グロ
ーブ軸５が対象物への当接によって変位されたとき、そ
のプローブ軸５の変位を確実に検知することができる。
または液体等の流体を封入した密閉袋体１８を設けたの
で、その密閉袋体１８＆こよって感知部１６の全体が常
に押圧部１４へ付勢されているから三次元方向における
全ての応答速度を回持性にでき、一方プローゾ軸５の変
位時に押圧体１４の突起１７によって押圧、変形されて
いた元ファイバーは、プローグ軸５が７ヤンク２の軸線
と一致した姿勢に復帰されるのに伴って、密閉袋体１８
の付勢力によって元の状態に復元されるから、再度グロ
ーブ軸５が対象物への当接によって変位されたとき、そ
のプローブ軸５の変位を確実に検知することができる。
また、感知部１６を構成する光ファイバー１９は、その
感知部１６０両端において結束されているので、入党、
出光を容易にできる。更に、検出回路２１は光電変換器
２２からの出力の所定変化率を検出するようにしたので
、例えば光源２０の寿命等により入射光量が減少してい
ったとしても、それによる誤動作を防止できるとともに
、光電変換器２２からの信号レベルを問題にすることな
く確実にプローブ軸５の接触子１３と対象物との当接を
検知することができる。
感知部１６０両端において結束されているので、入党、
出光を容易にできる。更に、検出回路２１は光電変換器
２２からの出力の所定変化率を検出するようにしたので
、例えば光源２０の寿命等により入射光量が減少してい
ったとしても、それによる誤動作を防止できるとともに
、光電変換器２２からの信号レベルを問題にすることな
く確実にプローブ軸５の接触子１３と対象物との当接を
検知することができる。
なお、実施に当って、前記付勢手段１５は例えばイム、
スポンジ或いは板ばね等の弾性を有する材料で構成して
もよい。この場合、感知部１６を一体的に構成すると、
組立作業を容易に行うことができる。また、感知部１６
を構成するに当っては、その全域に元ファイバーを均一
に配置する必要がなく、むしろ中心より外周縁を密とし
た方が好ましい。
スポンジ或いは板ばね等の弾性を有する材料で構成して
もよい。この場合、感知部１６を一体的に構成すると、
組立作業を容易に行うことができる。また、感知部１６
を構成するに当っては、その全域に元ファイバーを均一
に配置する必要がなく、むしろ中心より外周縁を密とし
た方が好ましい。
なお、本発明は、上記実施例で述べた測定機用のタッチ
信号ゾローゾに限らず、例えば機械的な力、温度、圧力
等によって変位部材が変位を生じるものであれば、広く
一般のセンサーとして応用できる。
信号ゾローゾに限らず、例えば機械的な力、温度、圧力
等によって変位部材が変位を生じるものであれば、広く
一般のセンサーとして応用できる。
以上のとおシ、本発明によれば、従来の電気接点に伴う
問題がなく、微少な外力による変位部材の変位を迅速に
検知でき、また繰返し変位を含む動作が確実でかつ機構
的にも簡易な変位検知器を提供することができる。
問題がなく、微少な外力による変位部材の変位を迅速に
検知でき、また繰返し変位を含む動作が確実でかつ機構
的にも簡易な変位検知器を提供することができる。
図は本発明の一実施例を示すもので、第１図は全体構成
を示す説明図、第２図は板ばねを示す平面図、第３図は
要部を示す分解斜視図、第４図は検出回路を示す回路図
である。 １・・・本体ケース、５°・・変位部材としてのプロー
グ軸、１５・・・付勢手段、１６・・・感知部、１７・
・・突部、１８・・・密閉袋体、１９・・・元ファイバ
ー。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （ほか１名） 第１図 第２図 第３図 第４図 手続補正書（自発） 昭和５７年８ 月１９日 昭和５７年 特許 願第１２５５０５号］正をする者 事件との関係 特許出願人 氏 名（名称） 株式会社三豊製作所 代表者沼田智秀 理 人 （１） 明細書第６頁第３行のｌ’−０，２Ｎ ｌを、
［’２Ｎ−Ｊと改める。 （２） 明細書第６頁第５行ノｌ’−＝０．ｉ１０．２
Ｎ Ｊを、１−−０．１７２Ｎ Ｊ と改める。 以上 ２−
を示す説明図、第２図は板ばねを示す平面図、第３図は
要部を示す分解斜視図、第４図は検出回路を示す回路図
である。 １・・・本体ケース、５°・・変位部材としてのプロー
グ軸、１５・・・付勢手段、１６・・・感知部、１７・
・・突部、１８・・・密閉袋体、１９・・・元ファイバ
ー。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （ほか１名） 第１図 第２図 第３図 第４図 手続補正書（自発） 昭和５７年８ 月１９日 昭和５７年 特許 願第１２５５０５号］正をする者 事件との関係 特許出願人 氏 名（名称） 株式会社三豊製作所 代表者沼田智秀 理 人 （１） 明細書第６頁第３行のｌ’−０，２Ｎ ｌを、
［’２Ｎ−Ｊと改める。 （２） 明細書第６頁第５行ノｌ’−＝０．ｉ１０．２
Ｎ Ｊを、１−−０．１７２Ｎ Ｊ と改める。 以上 ２−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 本体ケースの軸線と直交する面内に複数の元
ファイバーを並列的に配設して感知部を形成し、この感
知部の一方面側に複数の突部を有する変位部材を前記軸
線方向へ移動可能にかつ軸線に対して傾斜可能に設ける
とともに、感知部の他方面側にその感知部を前記変位部
材の突部へ向って付勢する付勢手段を設け、前記元ファ
イバーの変形に基づく光透過率の変化から前記変位部材
の変位を検知するようにしたことを特徴とする変位検知
器。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記光ファイバ
ーは、感知部両端において結束されていることを特徴と
する変位検知器。 （８）特許請求の範囲第１項または第２項において、前
記感知部は、略円形に、かつその中心部に対して外周縁
部の方が光ファイバーが密に配設されていることを特徴
とする変位検知器。 （４）特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに
おいて、前記付勢手段は、内部に空気または液体等の流
体を封入した密閉袋体にて構成されていることを特徴と
する変位検知器。 （５）特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに
おいて、前記付勢手段は、弾性を有する材料にて構成さ
れ、かつ前記感知部が一体的に形成されていることを特
徴とする変位検知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12550582A JPS5915805A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 変位検知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12550582A JPS5915805A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 変位検知器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915805A true JPS5915805A (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=14911779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12550582A Pending JPS5915805A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 変位検知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915805A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210428A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Tlv Co Ltd | 液位検出器 |
| JPH0570931U (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-24 | サカエ理研工業株式会社 | 押出成形機 |
-
1982
- 1982-07-19 JP JP12550582A patent/JPS5915805A/ja active Pending
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| J ACOUST SOC AM * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210428A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Tlv Co Ltd | 液位検出器 |
| JPH0570931U (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-24 | サカエ理研工業株式会社 | 押出成形機 |
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