JPS59152405U - 測定機の補正用基準器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

図は本考案の一実施例を示すもので、第１図は三次元測
定機を示すブロック図、第２図は補正用基準器を示す平
面図、第３図はその一部を切欠いた正面図、第４図はそ
の側面図、第５図および第６図は補正用基準器によって
補正測定子径を求め　・る際の説明図である。 １・・・・・・三次元測定機本体、３．　４．　５・・
・・・・移動量検出部、６・・・・・・タッチ信号検出
器、７・・・・・・測定子、１１・・・・・・エンコー
ダ、４１・・・・・・基台、４２゜４３・・・・・・接
触部材、４２Ａ、４３Ａ・・・・・・内側面、４２Ｂ、
４３Ｂ・・・・・・外側面。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 測定機本体に移動可能に設けられた球形の測定子と、こ
   の測定子の移動変位量を検出するための変位検出器およ
   びタッチ信号検出器とを備え、前記測定子が被測定物に
   当接しタッチ信号検出器から検出信号が出力されたとき
   、前記変位検出器の移動変位量を予め設定された補正測
   定子径で補正し、被測定物の寸法等を測定する測定機に
   用いられる前記補正測定子径を求めるための補正用基準
   器であって、 底面が水平な基台の両端に、互いに平行な内側面と外側
   面とを有する一定幅の接触部材を各側面が相互に平行と
   なるように一体的に設け、前記測定子の半径をｒとし、
   かつ測定機の最小分解能がＸｐ、ｍである場合、 前記面接触部材の内側面間の寸法を３ｒ以上、前記各側
   面の基台上面からの高さ寸法を１ｒ以上とし、かつ前記
   各接触部材の内側面および外側面間の厚み寸法を、Ｘ−
   １０−′μｍの精度に加工するとともに、その加工精度
   を含み通常使用状態下の温度変化に伴う伸縮量がＸ−１
   ０−“μｍ以下に維持されるように構成したことを特徴
   とする測定機の補正用基準器。