JPS5914730Y2 - 放電型流量計 - Google Patents
放電型流量計Info
- Publication number
- JPS5914730Y2 JPS5914730Y2 JP18114778U JP18114778U JPS5914730Y2 JP S5914730 Y2 JPS5914730 Y2 JP S5914730Y2 JP 18114778 U JP18114778 U JP 18114778U JP 18114778 U JP18114778 U JP 18114778U JP S5914730 Y2 JPS5914730 Y2 JP S5914730Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- cylindrical body
- thick film
- discharge type
- ceramic pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、放電型流量計に係わり、特に放電によって発
生したイオンの偏向量によって流体の流速を検出し、こ
れによって流量を求める放電型流量計に関する。
生したイオンの偏向量によって流体の流速を検出し、こ
れによって流量を求める放電型流量計に関する。
従来の放電型流量計では、流体が通過する円筒体内にお
いて放電させ、この放電によって発生するイオンの偏向
量を円筒体内面に設けられた連続抵抗体によって検知し
、円筒体を通過する流体の流速を求めていた。
いて放電させ、この放電によって発生するイオンの偏向
量を円筒体内面に設けられた連続抵抗体によって検知し
、円筒体を通過する流体の流速を求めていた。
しかしながら、放電によって発生するイオンの流体流速
に比例する偏向量は、円筒体の上流、下流に流れる電流
の和および差から求めるのであるが、連続抵抗体のリニ
アリティが悪いと流量計としての精度が悪くなる欠点が
あった。
に比例する偏向量は、円筒体の上流、下流に流れる電流
の和および差から求めるのであるが、連続抵抗体のリニ
アリティが悪いと流量計としての精度が悪くなる欠点が
あった。
本考案は、前記従来の放電型流量計の欠点を排除するた
めになされたもので、精度の良好な放電型流量計を提供
することを目的とする。
めになされたもので、精度の良好な放電型流量計を提供
することを目的とする。
本考案は流体が通過する円筒体と、円筒体の中央位置に
配置されたイオン発生用電極と、円筒体の内周面に一定
間隔で設けられたリング状電極と、各リング状電極を結
ぶ厚膜抵抗とから戊ることを特徴とする。
配置されたイオン発生用電極と、円筒体の内周面に一定
間隔で設けられたリング状電極と、各リング状電極を結
ぶ厚膜抵抗とから戊ることを特徴とする。
本考案では、リング状電極を円筒体内周面に設けるのに
印刷技術を利用し、またリング状電極間に配置された厚
膜抵抗のばらつきは、レーザトＪミング等により容易に
調整可能であるので、極めてリニアリティのよい抵抗体
を得ることができる。
印刷技術を利用し、またリング状電極間に配置された厚
膜抵抗のばらつきは、レーザトＪミング等により容易に
調整可能であるので、極めてリニアリティのよい抵抗体
を得ることができる。
以下添付図面に従って本考案に係わる放電型流量計の好
ましい実施例について詳説する。
ましい実施例について詳説する。
第１図において金属製のパイプ１０内のほは沖央位置に
はイオン発生用電極１２が配置されている。
はイオン発生用電極１２が配置されている。
イオン発生用電極１２は第１図で図示しない高電圧源に
接続されていて、ディスク１４から放電してパイプブ１
０の内周面に向ってイオンを発生するようになっている
。
接続されていて、ディスク１４から放電してパイプブ１
０の内周面に向ってイオンを発生するようになっている
。
金属製パイプ１０の内部には、第１図に示すように絶縁
体１６を介してセラミックパイプ１８が設けられている
。
体１６を介してセラミックパイプ１８が設けられている
。
セラミックパイプ１８の内周面には、第２図に示すよう
にリング状電極２０が一定間隔で複数個設けられている
。
にリング状電極２０が一定間隔で複数個設けられている
。
リング状電極２０の材料は、抵抗の小さい金、金−パラ
ジウム、白金−銀、パラジウム−銀等のペーストが用い
られ、セラミックパイプ１８の内面に取り付けるには印
刷技術を利用してプリントする。
ジウム、白金−銀、パラジウム−銀等のペーストが用い
られ、セラミックパイプ１８の内面に取り付けるには印
刷技術を利用してプリントする。
このように印刷技術を利用すれば、リング状電極２０の
ピッチは０．２ｍｍまたリング状電極２０の巾は０．１
ｍｍまで製作可能である。
ピッチは０．２ｍｍまたリング状電極２０の巾は０．１
ｍｍまで製作可能である。
従ってリング状電極２０間のピッチを小さくできるので
、流量計としての分解能を上げることができる。
、流量計としての分解能を上げることができる。
セラミックパイプ１８の内周面に設けられたリング状電
極２０間は、第２図に示すようにセラミックパイプ１８
の外周面において、厚膜抵抗２２により結ばれている。
極２０間は、第２図に示すようにセラミックパイプ１８
の外周面において、厚膜抵抗２２により結ばれている。
すなわち厚膜抵抗２２は、セラミックパイプ１８の外周
においてリング状電極２０の間に位置し導体２４ならび
にスルーホール２６とによって各リング状電極２０を接
続している。
においてリング状電極２０の間に位置し導体２４ならび
にスルーホール２６とによって各リング状電極２０を接
続している。
厚膜抵抗２２は、セラミックパイプ１８の外周面に印刷
され、さらに製造工程でのばらつきはレーザトリミング
により調整することができる。
され、さらに製造工程でのばらつきはレーザトリミング
により調整することができる。
また導体２４は、リング状電極２０と同様に抵抗の少な
い材料、すなわち金、金−パラジウム、白金−銀、パラ
ジウム−銀等のペーストが用いられる。
い材料、すなわち金、金−パラジウム、白金−銀、パラ
ジウム−銀等のペーストが用いられる。
尚、厚膜抵抗２２には酸化リテニウム系のペーストが適
する。
する。
第２図では、厚膜抵抗２２の配置を上下にずらして設け
たのであるが、第３図に示すように厚膜抵抗２２を並列
配置させて、その間を導体２４で接続してもよい。
たのであるが、第３図に示すように厚膜抵抗２２を並列
配置させて、その間を導体２４で接続してもよい。
尚、セラミックパイプ１８の両端部の端子２８．３０は
、それぞれ検出器に接続されている。
、それぞれ検出器に接続されている。
以上の如く構成された本考案に係わる放電型流量計の実
施例の作動を説明する。
施例の作動を説明する。
第４図は、第１図に示した本考案に係わる実施例の等価
回路である。
回路である。
計測すべき流体は、第１図ならびに第４図において矢印
Ａで示す方向から円筒体１０内に入ってくる。
Ａで示す方向から円筒体１０内に入ってくる。
イオン発生用電極１２のディスク１４からイオンが発生
するのであるが、パイプ１０内を流体が流れない場合に
は発生するイオンはセラミックパイプ１８の内壁に向っ
て直進する。
するのであるが、パイプ１０内を流体が流れない場合に
は発生するイオンはセラミックパイプ１８の内壁に向っ
て直進する。
従ってセラミックパイプ１８の両端の端子すなわち下流
側端子２８から得られる電流値１１と上流側端子３０か
ら得られる電流値１２とは等しい。
側端子２８から得られる電流値１１と上流側端子３０か
ら得られる電流値１２とは等しい。
一方第１図ならびに第４図において矢印２８で示すよう
に流体がパイプ１０内に入ると、それに伴なってディス
ク１４から発生するイオンを第４図に示すように偏向さ
せる。
に流体がパイプ１０内に入ると、それに伴なってディス
ク１４から発生するイオンを第４図に示すように偏向さ
せる。
すなわちテ゛イスク１４から発生したイオンの偏向量Ｐ
は通過する流体の流速に比例するのである。
は通過する流体の流速に比例するのである。
Ｄは次の式によって求められる。上式においてＬはリン
グ状電極２０と厚膜抵抗２２によって構成される抵抗体
の全長である。
グ状電極２０と厚膜抵抗２２によって構成される抵抗体
の全長である。
このようにセラミックパイプ１８の上流側と下流側から
得られる電流値の和と差によりイオン偏向量を求め、こ
れによって流体の流速を知ることができるのである。
得られる電流値の和と差によりイオン偏向量を求め、こ
れによって流体の流速を知ることができるのである。
尚、ディスク１４から発生するイオンブームはセラミッ
クパイイブ１８の直径４０ ｍｍ、ディスク１４の直径
１２ ｍｍで４乃至８ｍｍの巾となり、リング状電極２
０のピッチはこの巾より小さいピッチに設定する必要が
ある。
クパイイブ１８の直径４０ ｍｍ、ディスク１４の直径
１２ ｍｍで４乃至８ｍｍの巾となり、リング状電極２
０のピッチはこの巾より小さいピッチに設定する必要が
ある。
前記実施例では、厚膜抵抗２２は、セラミックパイプ１
８の外周面に設けたものであるが、これはレザートリミ
ングの容易さを考えたもので、セラミックパイプ１８の
内部でもレーザトリミングが可能であれば、厚膜抵抗２
２はセラミックパイプ１８の内部で各リング状電極２０
を接続してもよい。
８の外周面に設けたものであるが、これはレザートリミ
ングの容易さを考えたもので、セラミックパイプ１８の
内部でもレーザトリミングが可能であれば、厚膜抵抗２
２はセラミックパイプ１８の内部で各リング状電極２０
を接続してもよい。
以上説明したように、本考案に係わる放電型流量計によ
れば、イオン偏向量を検知する抵抗体のノニアリテイが
極めて優れているので、流体の流量を精度よく計測する
ことが可能であると共に、厚膜抵抗をトリミングするこ
とにより計測値を修正できる。
れば、イオン偏向量を検知する抵抗体のノニアリテイが
極めて優れているので、流体の流量を精度よく計測する
ことが可能であると共に、厚膜抵抗をトリミングするこ
とにより計測値を修正できる。
第１図は本考案に係わる実施例の構造を示す断面図、第
２図ならびに第３図は本考案に係わる実施例の要部であ
るセラミックパイプの構造を示す一部断面図、第４図は
第１図に示す本考案に係わる実施例の放電型流量計の等
価回路図である。 １０・・・金属製パイプ、１２・・・イオン発生用電極
、１８・・・セラミックパイプ、２０・・・リング状電
極、２２・・・厚膜抵抗。
２図ならびに第３図は本考案に係わる実施例の要部であ
るセラミックパイプの構造を示す一部断面図、第４図は
第１図に示す本考案に係わる実施例の放電型流量計の等
価回路図である。 １０・・・金属製パイプ、１２・・・イオン発生用電極
、１８・・・セラミックパイプ、２０・・・リング状電
極、２２・・・厚膜抵抗。
Claims (1)
- 流体が通過する円筒体と、円筒体の中央位置に配置され
たイオン発生用電極と、円筒体内周面に一定間隔で設け
られたリング状電極と、円筒体外周面に設けられ各リン
グ状電極を結ぶ厚膜抵抗とから威ることを特徴とする放
電型流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18114778U JPS5914730Y2 (ja) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | 放電型流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18114778U JPS5914730Y2 (ja) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | 放電型流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5597618U JPS5597618U (ja) | 1980-07-07 |
| JPS5914730Y2 true JPS5914730Y2 (ja) | 1984-05-01 |
Family
ID=29192821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18114778U Expired JPS5914730Y2 (ja) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | 放電型流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5914730Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017066241A1 (en) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | Sfc Fluidics, Inc | Measurement of electric signals to detect presence or flow of electroactive species in solution |
-
1978
- 1978-12-27 JP JP18114778U patent/JPS5914730Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5597618U (ja) | 1980-07-07 |
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