JPS59144515U - 容量式変換装置 - Google Patents

容量式変換装置

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Publication number
JPS59144515U
JPS59144515U JP3952483U JP3952483U JPS59144515U JP S59144515 U JPS59144515 U JP S59144515U JP 3952483 U JP3952483 U JP 3952483U JP 3952483 U JP3952483 U JP 3952483U JP S59144515 U JPS59144515 U JP S59144515U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
capacitor
variable capacitor
input terminal
inverting input
Prior art date
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Pending
Application number
JP3952483U
Other languages
English (en)
Inventor
田村　久
平田　輝孝
Original Assignee
横河電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP3952483U priority Critical patent/JPS59144515U/ja
Publication of JPS59144515U publication Critical patent/JPS59144515U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の一例を示す接続図、第２図は従来の
検出部の一例を示す構成図、第３図は本考案装置の一実
施例を示す接続図、第４図は本考案装置に用いる検出部
の一実施例を示す構成図、第５図は本考案装置の他の実
施例を示す接続図である。 １０・・・検出部、１１・・・可変コンデンサ、１２・
・・固定コンデンサ、１５・・・共通電極、１５ａ・・
・可動電極、１８・・・ガード電極、２０・・・発振器
、３１゜３２・・・検波回路、ｏｐｌ、　ｏｐ２．　ｏ
ｐ、・・・演算増幅器、４０・・・制御回路。 第３図 、２ム１　ノ２　　　占

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定量に応じて可動電極が変位し電極間の容量が変化
    する可変コンデンサと電極間の容量が一定な固定コンデ
    ンサおよび前記可変コンデンサの電極の外側にリング状
    に設けられ基準点に接続されたガード電極とを有する検
    出部と、前記可変コンデンサの一方の電極と固定コンデ
    ンサの一方の電極に共通に発振出力を印加する廃振器と
    、前記可変コンデンサの他方の電極が反転入力端子に接
    続され非反転入力端子が基準点に接続された演算増幅器
    を有し、可変コンデンサを流れる交流電流を整流した直
    流電圧を出力する第１の検波回路と、前記固定コンデン
    サの他方の電極が反転入力端子に接続され非反転入力端
    子が基準点に接続された演算増幅器を有し、固定コンデ
    ンサを流れる交流電流を整流した直流電圧を出力する第
    ２の検波回路と、前記第１の検波回路の出力電圧が一定
    となるように前記発信器の発振出力を制御する制御回路
    とを具備し、前記第２の検波回路の出力電圧を前記可変
    コンデンサの可動電極の変位量に関連さ　、せたことを
    特徴とする容量式変換装置。
JP3952483U 1983-03-18 1983-03-18 容量式変換装置 Pending JPS59144515U (ja)

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JP3952483U JPS59144515U (ja) 1983-03-18 1983-03-18 容量式変換装置

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JPS59144515U true JPS59144515U (ja) 1984-09-27

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ID=30170167

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011013218A (ja) * 2009-07-01 2011-01-20 Brooks Instrument Llc 検出手段として静電気干渉を使用するモノリシック真空マノメータ

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