JPS59136982A - 気体レ−ザ発生装置 - Google Patents
気体レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS59136982A JPS59136982A JP985483A JP985483A JPS59136982A JP S59136982 A JPS59136982 A JP S59136982A JP 985483 A JP985483 A JP 985483A JP 985483 A JP985483 A JP 985483A JP S59136982 A JPS59136982 A JP S59136982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- gas flow
- vessel
- gas
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明のオリ用分野〕
本発明は、放電部本体の構造を改良した気体レーザ発生
装置に関する。
装置に関する。
横方向励起形ガスレーザ装置は、放亀谷器本体の両肩に
設けたミラー間を往復するレーザ光路と、レーザ光路と
直焚する方向に設けたグロー放電部およびガス流路とか
ら成る放電部を構成している。
設けたミラー間を往復するレーザ光路と、レーザ光路と
直焚する方向に設けたグロー放電部およびガス流路とか
ら成る放電部を構成している。
レーザ光路と直焚する放電容器ｌ１ｌ１面にガス流路と
連通する循環冷却路τ設け、循環冷却路内には熱父侠器
および送風機を設置している。送風機を駆動して、ガス
媒体たとえばＣＯ２、Ｎ２ 、 Ｈｅは循環冷却路とガ
ス流路との１＋コを循環して、放電部を冷却している。
連通する循環冷却路τ設け、循環冷却路内には熱父侠器
および送風機を設置している。送風機を駆動して、ガス
媒体たとえばＣＯ２、Ｎ２ 、 Ｈｅは循環冷却路とガ
ス流路との１＋コを循環して、放電部を冷却している。
循環冷却路は、放電容器本俸底面と対応する中間冷却路
と、１端が放電容器本体側面側に、他端が中間？ｆ却路
側に、そｎぞれ対応する第１冷却部堝および第２冷却部
端とから構成されている。両冷却部端と中間冷却路およ
び放電容器本俸とが対応する端面には、それぞれ第１フ
ランジおよび第２フランジを形成している。第１フラン
ジと第２フランジとの間に循環冷却路およびガス流路と
連通する遅通沢を有する支持＆を配置している。第１７
ランジと第２フランジとは、支持板を介してボルト・ナ
ツト等の締付手段を介して１体に固定している。第１フ
ランジおよび第２フランジと支持板との間に形成した溝
内に収納したゾール部材を介在し、外部にカス媒体が洩
れるのを防止している。
と、１端が放電容器本体側面側に、他端が中間？ｆ却路
側に、そｎぞれ対応する第１冷却部堝および第２冷却部
端とから構成されている。両冷却部端と中間冷却路およ
び放電容器本俸とが対応する端面には、それぞれ第１フ
ランジおよび第２フランジを形成している。第１フラン
ジと第２フランジとの間に循環冷却路およびガス流路と
連通する遅通沢を有する支持＆を配置している。第１７
ランジと第２フランジとは、支持板を介してボルト・ナ
ツト等の締付手段を介して１体に固定している。第１フ
ランジおよび第２フランジと支持板との間に形成した溝
内に収納したゾール部材を介在し、外部にカス媒体が洩
れるのを防止している。
この構成によ７１．ば、放電容器本体と循猿冷却路全併
成する構成部品が多い。このため、送風機を駆動した時
の振動によ°す、放厩谷器本体と循環冷却路との間で振
＠を生じやすく、ンーザ元路が中心軸よりずｎやずいと
共に、構成部品が多く組立時間を要する。
成する構成部品が多い。このため、送風機を駆動した時
の振動によ°す、放厩谷器本体と循環冷却路との間で振
＠を生じやすく、ンーザ元路が中心軸よりずｎやずいと
共に、構成部品が多く組立時間を要する。
本・発明の目的は、構成部品を少なくして、放′亀谷器
および循環冷却路のくるいを少なくした気体レーザ光生
装置全徒供することにある。
および循環冷却路のくるいを少なくした気体レーザ光生
装置全徒供することにある。
本発明の気体レーザ発生装置は、ガス流路と同方向の放
′亀容器底面側に中間ガス乍却管全一体に設け、放電容
器および中間ガス冷却部の両端に第１フランジを形成し
、第１フランジと対応して第１冷却部および第２冷却部
全配置し、両冷却部端に形成した第２７ランジと第１フ
ランジとの間にシール部材を介して締結手段で一体にす
れば、３個の構成部品でよいので、振動が少なく、かつ
組立を容易にできる。
′亀容器底面側に中間ガス乍却管全一体に設け、放電容
器および中間ガス冷却部の両端に第１フランジを形成し
、第１フランジと対応して第１冷却部および第２冷却部
全配置し、両冷却部端に形成した第２７ランジと第１フ
ランジとの間にシール部材を介して締結手段で一体にす
れば、３個の構成部品でよいので、振動が少なく、かつ
組立を容易にできる。
に発明の実施例〕
以下、本発明の実施例を第１図ないし第３図のガスレー
ザ元生装置１００によシ睨明する。
ザ元生装置１００によシ睨明する。
放屯谷器本体１は、この両端面ＩＡと鏡支持板２との間
にベローズ３を取付け、鏡支持板２に反射鏡４および出
力鏡５を取付ける。両端面ＩＡと直角方向の放電容器本
体側面ＩＢは、ガス流路６を形成し、ガス流路６はガス
媒体７を流通する。
にベローズ３を取付け、鏡支持板２に反射鏡４および出
力鏡５を取付ける。両端面ＩＡと直角方向の放電容器本
体側面ＩＢは、ガス流路６を形成し、ガス流路６はガス
媒体７を流通する。
両端面ＩＡと直゛角方同の放電容器本体天井面ＩＣは、
整流ガイド８を介して陰極支持板９を取付け、複数の陰
極１０は陰極支持板９に支持されている。
整流ガイド８を介して陰極支持板９を取付け、複数の陰
極１０は陰極支持板９に支持されている。
平板形状の陽極１１は、陰極１０と対応配置していると
共に、陽極１１は絶縁支持台１２を介して中間隔壁板１
３に支持されている。中間隔壁板１３の材質としては、
たとえばガス媒体７によりｇ食しないテフロンなどを使
用する。中間隔壁板１３１’ｔ ＩＩｆ＋］端面Ｉ人間
に配設された支持棒１４に支持されている。支持棒１４
よｐ突出している突出棒１５は、鏡支持板２を支持して
いる。
共に、陽極１１は絶縁支持台１２を介して中間隔壁板１
３に支持されている。中間隔壁板１３の材質としては、
たとえばガス媒体７によりｇ食しないテフロンなどを使
用する。中間隔壁板１３１’ｔ ＩＩｆ＋］端面Ｉ人間
に配設された支持棒１４に支持されている。支持棒１４
よｐ突出している突出棒１５は、鏡支持板２を支持して
いる。
管状の中空冷却容器１６は、中間隔壁板１３と両端面Ｉ
Ａよジ下側に半円形状に曲げだ曲面板１７により形成さ
れている。中空冷却管１６の内部は、送風機１８を配置
し、送風機１８は、支持金具１８Ａを介して、支持棒１
４に支持されている。放電容器本体側面ＩＢおよび中間
冷却容器側面には、浴接によって制ｊ板１９を取付けて
、放電容器１と中間冷却容器１６とを一体に固定した第
１容器２０を形成している。側板１９の内部は、ガス流
路６、中間冷却容器１６に連通せる穴を形成している。
Ａよジ下側に半円形状に曲げだ曲面板１７により形成さ
れている。中空冷却管１６の内部は、送風機１８を配置
し、送風機１８は、支持金具１８Ａを介して、支持棒１
４に支持されている。放電容器本体側面ＩＢおよび中間
冷却容器側面には、浴接によって制ｊ板１９を取付けて
、放電容器１と中間冷却容器１６とを一体に固定した第
１容器２０を形成している。側板１９の内部は、ガス流
路６、中間冷却容器１６に連通せる穴を形成している。
側板１９の外周縁に形成した第１フランジ２１は、シー
ル部材を収納する溝部２１Ａおよびボルト穴２１Ｂを形
成している。側板１９に設けられた仕切板１９Ａは、ガ
ス流６Ａと中空冷却容器１６とにガス媒体７を流通する
。第１フランジ２１の下端面は、１２１ｃを介して底板
２１Ｄに支河さ肚ている。
ル部材を収納する溝部２１Ａおよびボルト穴２１Ｂを形
成している。側板１９に設けられた仕切板１９Ａは、ガ
ス流６Ａと中空冷却容器１６とにガス媒体７を流通する
。第１フランジ２１の下端面は、１２１ｃを介して底板
２１Ｄに支河さ肚ている。
第１谷器２０と＠接する第２容器２２および第３谷器２
３は、ｌ端金カス流路６に、他端を中間冷却容器１６に
、それぞれ連通するガス流路２２Ａ、２３Ａを内部に形
成している。１方のガス流路２２には熱交換器２２Ｂｉ
、他方のガス流路２３Ａには案内板（図示せず）を、配
設している。
３は、ｌ端金カス流路６に、他端を中間冷却容器１６に
、それぞれ連通するガス流路２２Ａ、２３Ａを内部に形
成している。１方のガス流路２２には熱交換器２２Ｂｉ
、他方のガス流路２３Ａには案内板（図示せず）を、配
設している。
第１フランジ２１と対応する第２谷器２２および第３容
器２３は、第２７ランジ２４を形成している。第２ノラ
ンジ２４の外周縁は、ボルト穴２１Ｂと対応するポル）
２４Ａ穴を形成している。
器２３は、第２７ランジ２４を形成している。第２ノラ
ンジ２４の外周縁は、ボルト穴２１Ｂと対応するポル）
２４Ａ穴を形成している。
第１７ランジ２１と第２フランジ２４とは、シール部杓
（図示せず）を介して、ボルト取付穴２１Ｂ、２４Ａに
ボルト２５を挿入し、かつ締付けて、第１容器２０第２
容器２２および第３答器２３とを１体に固定している。
（図示せず）を介して、ボルト取付穴２１Ｂ、２４Ａに
ボルト２５を挿入し、かつ締付けて、第１容器２０第２
容器２２および第３答器２３とを１体に固定している。
この構成によれば、第１フランジ２工に第２フランジ２
４を当接し、ボルト取付穴２１Ｂ、２４Ａにボルト２５
を挿入して、ボルトに装着したナツト（図示せず）を飾
付けて、第１容器２０に第２容器２２および第３容器２
３を１体に固定して、組立てることができる。したがっ
て、構成部品が少すく、組立作業が容易である。逆に、
組立前の第１容器２０と第２容器２２お、【び第３容器
は、外部よシ露出しているので、各容器内に各部品たと
えば陰極８、陽極１３、熱交換器等を組込みしやすい。
４を当接し、ボルト取付穴２１Ｂ、２４Ａにボルト２５
を挿入して、ボルトに装着したナツト（図示せず）を飾
付けて、第１容器２０に第２容器２２および第３容器２
３を１体に固定して、組立てることができる。したがっ
て、構成部品が少すく、組立作業が容易である。逆に、
組立前の第１容器２０と第２容器２２お、【び第３容器
は、外部よシ露出しているので、各容器内に各部品たと
えば陰極８、陽極１３、熱交換器等を組込みしやすい。
また、送風機１８の駆動時に生ずる振動に対して、放ｔ
ｔ’６器１と中間冷却容器１７とは、支持板１９に容器
等によシ一体に固定しているので、移動することがない
。したがって、反射鏡４と出力鏡５との間に生ずるレー
ザ光３０は、中心軸よりずれにくい。史に、陽極１１と
中間冷却容器１７との間にガス媒体７により腐食しない
テフロン等の中間隔壁板１３を設けたので、電気絶縁距
離を充分確保できる為、装置の小型化が画れる。
ｔ’６器１と中間冷却容器１７とは、支持板１９に容器
等によシ一体に固定しているので、移動することがない
。したがって、反射鏡４と出力鏡５との間に生ずるレー
ザ光３０は、中心軸よりずれにくい。史に、陽極１１と
中間冷却容器１７との間にガス媒体７により腐食しない
テフロン等の中間隔壁板１３を設けたので、電気絶縁距
離を充分確保できる為、装置の小型化が画れる。
以上のように本発明のガスレーザ発生装置によれば、構
成部品が少なく、かつ振動によってくるいを生じにくい
。
成部品が少なく、かつ振動によってくるいを生じにくい
。
第１図は本発明の実施例として示したガスレーザ発生装
置の正面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ線断面図、第３図
は第１容器ないし第３容器の斜視図である。 １・・・放′醒答器、４・・・反射鏡、５・・・出力鏡
、７・・・ガス媒体、１０・・・陰極、１１・・・陽極
、２０・・・第１容冨１図
置の正面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ線断面図、第３図
は第１容器ないし第３容器の斜視図である。 １・・・放′醒答器、４・・・反射鏡、５・・・出力鏡
、７・・・ガス媒体、１０・・・陰極、１１・・・陽極
、２０・・・第１容冨１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光路と直焚するグロー放電路およびガス流路
とを有するｌｆｙ、亀谷器において、放電容器とガス流
路と同方回の放′畦谷器面を介して形成した中間冷却容
器とをＬ Ａ＜にした第１谷器と、第１谷器の両側面に
連結し、かつ１端をガス流路に他端全中間Ｊ冷却容器の
ガス圀り路に連通ずるガス流路を有する第２谷器および
第３容器と、から成ることを特徴とする気体レーザ発生
装置。 ２゜放電容器と中間冷却容器との間ごガス媒体で腐食し
ない絶縁部材から成る隔壁板を設けることを特徴とする
特肝請求の範囲第１項記載の気体レーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP985483A JPS59136982A (ja) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | 気体レ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP985483A JPS59136982A (ja) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | 気体レ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59136982A true JPS59136982A (ja) | 1984-08-06 |
Family
ID=11731717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP985483A Pending JPS59136982A (ja) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | 気体レ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59136982A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62213185A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
-
1983
- 1983-01-26 JP JP985483A patent/JPS59136982A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62213185A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
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