JPS59131154U - マウントキユア装置 - Google Patents

マウントキユア装置

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Publication number
JPS59131154U
JPS59131154U JP2479883U JP2479883U JPS59131154U JP S59131154 U JPS59131154 U JP S59131154U JP 2479883 U JP2479883 U JP 2479883U JP 2479883 U JP2479883 U JP 2479883U JP S59131154 U JPS59131154 U JP S59131154U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
oven
cure device
mount cure
mount
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2479883U
Other languages
English (en)
Inventor
岩尾　孝信
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP2479883U priority Critical patent/JPS59131154U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のマウントキュア装置の概略構成を示す
説明図、第２図Ａは、同マウントキュア装置の保持レー
ルにフレームを載置した状態を示す断面図、同図Ｂは、
同フレームの載置状態を示す斜視図、第３図は、本考案
の一実施例の概略構成を示す説明図、第４図Ａは、同実
施例のマウントキュア装置の保持レールにフレームを載
置した状態を示す断面図、同図Ｂは、同フレームの載置
状態を示す斜視図である。 ２０・・・オーブン、２１・・・フレーム、２２・・・
搬入　一部、２３・・・搬出部、２４・・・保持レール
、２５・・・突出部、２６・・・溝、２７・・・移送レ
ール、２８・・・突出部、２９・・・溝、３０・・・マ
ウントキュア装置、３１・・・半導体ペレット。　　゛

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. フレームの搬入部と搬出部とを有するオーブンと、該オ
    ーブン内を所定温度に加熱するように設けられた熱源と
    、該オーブン内の搬送路に沿って設けられ、前記フレー
    ムの幅に略等しい間隔で突出部を有して少なくとも二本
    並設された保持レールとを具備するマウントキュア装置
    において、保持レールのフレーム載置領域にフレームの
    下面と離間する溝を形成したことを特徴とするマウント
    キュア装置。
JP2479883U 1983-02-22 1983-02-22 マウントキユア装置 Pending JPS59131154U (ja)

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JP2479883U JPS59131154U (ja) 1983-02-22 1983-02-22 マウントキユア装置

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JP2479883U JPS59131154U (ja) 1983-02-22 1983-02-22 マウントキユア装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59131154U true JPS59131154U (ja) 1984-09-03

Family

ID=30155815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2479883U Pending JPS59131154U (ja) 1983-02-22 1983-02-22 マウントキユア装置

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Country Link
JP (1) JPS59131154U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH028033U (ja) * 1988-06-24 1990-01-18
JPH03120037U (ja) * 1990-03-22 1991-12-10

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH028033U (ja) * 1988-06-24 1990-01-18
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