JPS59129823A - ポリゴンスキヤナ - Google Patents
ポリゴンスキヤナInfo
- Publication number
- JPS59129823A JPS59129823A JP414883A JP414883A JPS59129823A JP S59129823 A JPS59129823 A JP S59129823A JP 414883 A JP414883 A JP 414883A JP 414883 A JP414883 A JP 414883A JP S59129823 A JPS59129823 A JP S59129823A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- correction
- hologram lens
- theta
- deflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この出願の発明はコヒーレント光のｆ・θ補正光学系に
関するもので、殊［ｆ・θ補正可能に構成されたポリゴ
ンスキャナに関するものである。
関するもので、殊［ｆ・θ補正可能に構成されたポリゴ
ンスキャナに関するものである。
従来よりレーザビームの偏光、走査を実施する光学機器
においては通常、回転多面鏡が使用されている。従来よ
り使用されている回転多面鏡にレーザ入射光線を反射さ
せつメ多面鏡を回転した場合、反射光線は反射面の回転
に応じて、円弧上に均一速度で走査されるから、投影面
が平面である場合には、中心より離れて両端に近づくに
つれて、走査速度が速くなるという現象が生じる。依っ
て平面上にレーザ反射光線を等速度で投影するために概
路次の二つの方法が採用されていた。算−の方法は、ｆ
・θレンズを採用するもので、その−例をあげれば第１
図に図示のようにレーザ入射光線ａが所定速度で矢印方
向に回転する回転多面鏡２の反射面４に照射して偏向光
線すとして投影面８−に到達する前に、前記多面鏡と投
影面８との間の所定位置Ｖｃｆ・θレンズ１０を配設し
たものである。
においては通常、回転多面鏡が使用されている。従来よ
り使用されている回転多面鏡にレーザ入射光線を反射さ
せつメ多面鏡を回転した場合、反射光線は反射面の回転
に応じて、円弧上に均一速度で走査されるから、投影面
が平面である場合には、中心より離れて両端に近づくに
つれて、走査速度が速くなるという現象が生じる。依っ
て平面上にレーザ反射光線を等速度で投影するために概
路次の二つの方法が採用されていた。算−の方法は、ｆ
・θレンズを採用するもので、その−例をあげれば第１
図に図示のようにレーザ入射光線ａが所定速度で矢印方
向に回転する回転多面鏡２の反射面４に照射して偏向光
線すとして投影面８−に到達する前に、前記多面鏡と投
影面８との間の所定位置Ｖｃｆ・θレンズ１０を配設し
たものである。
この方法により一応反射光線すはｒ・θレンズを介して
補正がなされ補正光線Ｃとして投影面８に矢印方向への
等速走査が可能と々る。
補正がなされ補正光線Ｃとして投影面８に矢印方向への
等速走査が可能と々る。
次に第二の方法は、ｆ・θミラを用いたもので。
筆２図に図示のように、レーザ入射光線ａが所定速度で
矢印方向に回転する回転多面鏡２の反射面４に反射して
偏向光線すとなり、更にこの光線１・まｆ・θミラ１２
の曲面に再反射してｆ・θ補正光ｉｄとなり投影面に矢
印方向へ等速走査が可能となる。
矢印方向に回転する回転多面鏡２の反射面４に反射して
偏向光線すとなり、更にこの光線１・まｆ・θミラ１２
の曲面に再反射してｆ・θ補正光ｉｄとなり投影面に矢
印方向へ等速走査が可能となる。
前記偏向器を操作する際に」−記の方法を用いれば、一
応ビームの平面投影面での等速走査が実施でさるけれど
も、次に列挙するような欠陥が存在する。
応ビームの平面投影面での等速走査が実施でさるけれど
も、次に列挙するような欠陥が存在する。
ｆ・θレンズを使用する場合には、
１ｆ・θレンズにおいては屈折率の算出等が複雑であり
、その設計製作に多大の時間と経費を必要とすると共に
量産性に乏しく価格も割高である。
、その設計製作に多大の時間と経費を必要とすると共に
量産性に乏しく価格も割高である。
２ 通常ｆ・θレンズの構成は複数枚のレンズの組合せ
であるから、重量的に重いという欠点がある。
であるから、重量的に重いという欠点がある。
ｆ・θミラを使用する場合には、
１ 反射面の高い反射率を確保するために、超精密加工
を鏡面に施す必要上煩雑な作業を行わねばならない。
を鏡面に施す必要上煩雑な作業を行わねばならない。
２ 又ミラを配設するために設計上特別の考慮を払わね
ばなら々いと共に製造コストが高くなる等の欠点があっ
た。
ばなら々いと共に製造コストが高くなる等の欠点があっ
た。
本発明は前記列挙の問題点を克服すべく工夫されたもの
である。その目的は、ホログラフィに使用されるホログ
ラムレンズを採用して、回転多面鏡により偏向されたレ
ーザ光線を等速補正することを可能となす構成を具えた
ポリゴンスキャナを提供するものである。
である。その目的は、ホログラフィに使用されるホログ
ラムレンズを採用して、回転多面鏡により偏向されたレ
ーザ光線を等速補正することを可能となす構成を具えた
ポリゴンスキャナを提供するものである。
第３図は本発明の一実施例を図示する。本実施例では偏
向器として回転多面鏡を用いて説明する。
向器として回転多面鏡を用いて説明する。
回転多面鏡２と投影面８との適宜な中間位置にｆ・θ補
正用としてホログラムレンズ】４を採用シたポリゴンス
キャナＳを配設する。このホログラムレンズ１４は通常
ホログラフィに採用されているものでは微細な縞模様を
有し、形成される縞の間隔と向きに対応して光線を回折
するよう構成されてなり、従って前記縞の間隔を適宜に
変化せしめれば、ｆ・θの関係を成立せしめることがで
きるので、補正光学系として使用可能である。回転多面
鏡２の反射面４で偏向された光線ｅは、ｆ・θ補正可能
に構成されたホログラムレンズ１４により回折し、等速
補正がなされ、補正光線ｆとして投影面８に矢印方向に
等速走査が行われる。
正用としてホログラムレンズ】４を採用シたポリゴンス
キャナＳを配設する。このホログラムレンズ１４は通常
ホログラフィに採用されているものでは微細な縞模様を
有し、形成される縞の間隔と向きに対応して光線を回折
するよう構成されてなり、従って前記縞の間隔を適宜に
変化せしめれば、ｆ・θの関係を成立せしめることがで
きるので、補正光学系として使用可能である。回転多面
鏡２の反射面４で偏向された光線ｅは、ｆ・θ補正可能
に構成されたホログラムレンズ１４により回折し、等速
補正がなされ、補正光線ｆとして投影面８に矢印方向に
等速走査が行われる。
尚又本発明のホログラムレンズは、頭初或程度の厚さを
有するように製作しておき、必要に応じて干渉縞の方向
と直角方向に薄片に切断すれば、所望のサイズのホログ
ラムレンズを容易に量産できるのみ々らず、レプリカ方
式によっても量産が可能である。
有するように製作しておき、必要に応じて干渉縞の方向
と直角方向に薄片に切断すれば、所望のサイズのホログ
ラムレンズを容易に量産できるのみ々らず、レプリカ方
式によっても量産が可能である。
この様にして本発明のポリゴンスキャナは小型軽量にし
て量産に適し複雑表製作工程を省略できる等の効果があ
る。
て量産に適し複雑表製作工程を省略できる等の効果があ
る。
第１図は従来例のｆ・θレンズを採用して、回転多面鏡
の偏向光線の補正をなす状態の路線図。 第２図は従来例のｆ・θミラを使用して偏向光線を補正
する状態を示す路線図。 第３ｊ辺は本発明に係る回転多面鏡よりの偏向光線をホ
ログラムレンズを具えたポリゴンスキャナにより等速補
正状態を示す路線図。 ａ・・・入射光線、ｅ・・・偏向光線、ｆ・・・等速補
正光線、Ｓ・・ポリゴンスキャナ、２・・・回転多面鏡
、４・・・反射面、８・・・投影面、１４・・・ホログ
ラムレンズ特許出願人 株式会社デルファイ 代理人弁理士 小 林 栄 第１図 第２図
の偏向光線の補正をなす状態の路線図。 第２図は従来例のｆ・θミラを使用して偏向光線を補正
する状態を示す路線図。 第３ｊ辺は本発明に係る回転多面鏡よりの偏向光線をホ
ログラムレンズを具えたポリゴンスキャナにより等速補
正状態を示す路線図。 ａ・・・入射光線、ｅ・・・偏向光線、ｆ・・・等速補
正光線、Ｓ・・ポリゴンスキャナ、２・・・回転多面鏡
、４・・・反射面、８・・・投影面、１４・・・ホログ
ラムレンズ特許出願人 株式会社デルファイ 代理人弁理士 小 林 栄 第１図 第２図
Claims (1)
- 回転多面鏡と、光線投影面との間の適宜な位置に配設さ
れ、回転多面鏡により偏向されたコヒーレント光をｆ・
θ補正可能なホログラムレンズを具えたポリゴンスキャ
ナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP414883A JPS59129823A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ポリゴンスキヤナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP414883A JPS59129823A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ポリゴンスキヤナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59129823A true JPS59129823A (ja) | 1984-07-26 |
Family
ID=11576685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP414883A Pending JPS59129823A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ポリゴンスキヤナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59129823A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61173212A (ja) * | 1985-01-28 | 1986-08-04 | Tokyo Electric Co Ltd | ビ−ム走査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5331147A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-24 | Canon Inc | Scanning optical system |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP414883A patent/JPS59129823A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5331147A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-24 | Canon Inc | Scanning optical system |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61173212A (ja) * | 1985-01-28 | 1986-08-04 | Tokyo Electric Co Ltd | ビ−ム走査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1215563A (en) | Lens-on-disc type optical scanning apparatus | |
| US5061025A (en) | Hologon scanner with beam shaping stationary diffraction grating | |
| US4923262A (en) | Scanner system having rotating deflector hologram | |
| CA1128789A (en) | Reflective holographic scanning insensitive to spinner wobble effects | |
| US5145756A (en) | Method for making a holographic mirror | |
| US4712852A (en) | Hologram disk for deflecting a light beam | |
| US4984858A (en) | Light beam scanning optical system | |
| JPH05119282A (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| US5046794A (en) | Hologon scanner system | |
| US4863225A (en) | Reflection holograms formed by scanning | |
| JPS59129823A (ja) | ポリゴンスキヤナ | |
| US4632499A (en) | Light beam scanning apparatus | |
| JP2583716B2 (ja) | 光学系レーザビーム走査装置 | |
| JPH0411007B2 (ja) | ||
| JP3078655B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| JPS58184901A (ja) | 回転鏡 | |
| JPH043297Y2 (ja) | ||
| JPH01280719A (ja) | ビーム走査装置 | |
| JPS6413114A (en) | Optical scanner | |
| EP0223508A2 (en) | Scanner system having rotating deflector hologram | |
| JP2740665B2 (ja) | ホログラフィックｆθレンズ作成方法 | |
| JPH01147407A (ja) | 反射鏡 | |
| JPS6411222A (en) | Image recorder | |
| KR960009793Y1 (ko) | 홀로그램을 이용한 직선주사광학계 | |
| JPH0320711A (ja) | ホログラムディスク |