JPS5912667A - 回転多面鏡の走査誤差補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （４）発明の技術分野 本発明は光走査装置に係り、特に回転多面鏡を用いて走
査された光ビームを利用して記録、加工、情報読取り等
を行う装置忙おける回転多面鏡の鏡面の加工精度に起因
する光ビーム走査特性の変動を補正する、回転多面鏡の
走査誤差補正装置に関する。

但）従来技術と問題点 従来、光ビーム偏向手段として回転多面鏡を用い、該多
面鏡でレーザ光を走査して記録媒体上に文字情報の記録
を行なうレーザ・プリンタは、一般に第１図のように構
成される。この図でレーザ１から出たレーザ・ビーム１
ａは光変調器２により変調され、ビーム拡大レンズ（コ
リメータ）３により必要なビーム径に拡大された後、回
転多面鏡４により偏向され、結像レンズ５を通して結像
および等連化処理された後、光導電体６上を走査する０
光ビーム１ａをオン・オフする変調器２は、光変調器制
御回路７により制御される０オン・オフ制御された元ビ
ームが光導電体６上を一定速度で軸方向に移動すると同
時に、光導電体６が光ビーム走査と垂直方向に移動回転
するので、ドツトによる２次元的な印字パターンが光導
電体６上に投射される。このため、光導電体６から亀子
写真プロセスにより普通紙上に、ドツトによるパターン
を印字することができる。

この場合パターンを構成するドツトの位置は、非常に正
確でなければならない。すなわち、回転多面鏡４にエリ
、光ビーム１ａが毎回光導電体６上を同じ時間−距離関
係で走イ１すれば第２し１（ａ）に示すように歪のない
正しいドツト・パターンの印字を行うことができるが（
ビームの変調は正（，２く行なわ１するとして）、この
時間位置関係がくずれるとドツト位置が不揃いとなり、
印字されるパターンは第２図（ｂ）に示すように大きな
歪を生じ印字品位が低下してし寸う０ビームの走査と変
調を同期させるためレーザプリンタでは元ビーム走査開
始位置に光検知器を設置瞳光ビームが検知される毎にこ
れに同期化させた一連の高安定度クロック信号を発生し
、該信号の１周期を１ドツトに対応させる方法がとられ
る０このクロック信号を光ビーム変調制御クロックとい
う。

この光ビーム変調制御クロックは、印字歪を極力抑圧す
るために実用上次の２条件を満足する必要力する。（］
）パターン・ドツトの位置ずれを光ビーム走査開始点付
近で数分の１ドツト以下とするために１光検出器出力と
光ビーム変調制御クロックの同期精度が、該クロック周
期の数分の１以下のずれであること。（２）１回の光ビ
ームの走査で、数十個のドツトが発生されるが、この光
ビーム走査範囲全体でパターン・ドツトの位置ずれを数
分の１ドツト以下にするため、毎回の光ビーム走査に対
する光ビーム変調制御クロックの再現性が光ビーム走査
範囲全体についてクロック周期の数分の１以下のずれで
あること０ クロック精度そのものを上記程度にすることは、水晶発
振器等の高安定度発振器を用いることで充分である。問
題は多面鏡で、これには機械的な工作精厩により各鏡面
の角変分割誤差が存在し、また各鏡面の平面度が不充分
であるＯ即ち、回転多面鏡４の各鏡面は完全な平面では
なく、第３図に示すように１大きな半径の円筒面に近い
曲面１０とみなすことができる０か＼る各鏡面の相互の
ばらつきにより、光ビーム走置状況（時間−位置関係）
に各鏡面毎に異なり、走査開始部では位置合せされるの
でそれ程目立たないものの、走査終了点付近では大きな
ドツト位置ずれを生じてしまう。

なお、第３図において、１０は実際の鏡面、１１は理想
的鏡面、アは多面鏡半径である０機械的な誤差は、回転
多面鏡４を駆動するモータ（図示せず）の長周期（光走
査周期に比し）回転変動に起因するものもあり、高品位
のパターン印字を行なうためには何らかの方法によって
このパターン・ドツトの位置ずれを光ビーム走査範囲全
体にわたって数分の１ドツト程度以下にする必要がある
。

かかる機械的な理由による光ビーム走査特性の変動を機
械的に補正する、例えば加工精度を災に上げる、という
ことは甚だ困難であり、極めてコストの高いものにして
しまう。そこで電気的に補償することが考えられ、その
方法として光検知信号出現と同時に、各鏡面の光ビーム
走査特性に対応するアナログ関数発生器を起動し、この
関数出力値をクロック発生用電圧制御発振器に人力する
方法がある０この方法によれば、理論的には各鏡面の光
ビーム走査特性の変動を補償した光ビーム変調制御クロ
ックが得られるが、（１）アナログ関数発生器の精度を
１０４程度以上にするのは難しく、極めて高価になる欠
点がある。また再現性も良くないｏ（２）を圧制御発振
器の精度および再現性も低い。（３）経時変化があり、
再調整を必要とする、等の欠点がある。

このため、従来の回転多面鏡の走査誤差補正装置では、
本発明者らによって、特開昭５５−１３３００９号明細
書にて提案しているように、各鏡面の平均走査速度を検
知して、各鏡面毎の走査誤差が時間に関して直線的に増
加するものとして、走査誤差の補正を行なっていたｏし
かしながら、この方法は以下に述べる欠点を有する〇 走査誤差の大きさは、加工誤差の形状に応じて、時間と
ともに非直線的に増加するが前述の方法においては、時
間−走査位置誤差を直線近似したため、走査範囲内の位
置、つまり鏡面上の位置により走査誤差の補正精度が変
動するという欠点を有する。

（０発明の目的 本発明の目的は、前述の欠点に鑑み、走査誤差を時間の
関数として求めて、これにしたがって走査誤差を補正す
ることにより、走査範囲内の位置による走査誤差補正装
置の変動を減少させることのできる回転多面鏡の走査誤
差補正装置を提供することＫある。

（６）発明の構成 そして、この目的は、本発明によれば、光ビーム発生手
段、光ビーム変調手段、該光ビーム変調手段を制御する
変調制御クロック発生手段、該光ビーム発生手段からの
光ビームを偏向させる回転多面鏡、該回転多面鏡により
偏向された光ビームの走査面における平均走査速度を検
知する平均走査速度検知手段、該回転多面鏡の各鏡面の
光ビーム走査誤差特性の平均値を記憶する平均走査誤差
記憶手段、前記変調制御クロックの周期を補正する変調
制御クロック周Ｍ補正手段、とを具備し−Ｃなり、前記
変調制御クロック周期補正手段は、前記平均走査速度検
知手段から得られる平均走査速度と前記平均走査誤差記
憶手段に記憶された平均走査誤差唱性とに応じて前記変
調制御クロックの周期を補正することを％徴とする回転
多面鏡の走査誤差補正装置を・提供することにより達成
される〇（６）発明の実施例 以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。

加工誤差と時間−走査誤差特性をある回転多面鏡につい
て精密に測定したところ、それぞれ、第４図、第５図に
示すようになった。第４図は回転多面鏡の加工誤差を説
明するだめの図である。図は、垂直方向に約１０００倍
拡大し念場合を示し、図中Ａで示す矢印は錠面が理Ａ３
値つまし、牲面に加工誤差が無い場合、図中Ｂで示す矢
印は俳画の実測値を示している。第５図は回転多面鏡の
時間−走査誤差特性を峠、明するための図である０図は
、回転多面鏡の各鏡面における走査開始から走査終了ま
での走査誤差を示す図である。

図において、各鏡面によって、走査誤差の振幅は異なる
が、関数の形は、はぼ同一となっている〇これは回転多
面鏡の各鏡面が同じ加工工程で加工されるため、はぼ同
一の加工誤差となるからである。この関数８算出し、こ
れにしたがって走査誤差を補正することにより、補正精
度を高めることができる。

関数の算出法としては、あらかじめ各鏡面について、時
間−走査誤差特性の１ｌｌ１１定を行ない、得られた特
性を各鏡面の走査終了時の走査誤差の値で規格化し、そ
の平均値をとる。

第６図に回転多面鏡の時間−走査誤差特性の規格化平均
値を示す。

この他に、隣接する鏡面間の差について、規格化平均を
とる方法、あるいは、規格化した後に最小自乗法で求め
る方法等がある。

また、光ビームの平均走査速度を検出し、走査終了時の
走査誤差の値を測定し、この測定値と前記走査誤差規格
化平均値をもと如して、第７図のＢに示すように走査誤
差の太きぢを一数近似して補正する。

以下、図面を参照しながら、本実施ｆｌｌを詳細に説明
する。第８図は光ビーム変調制御クロックＣ０ＮＴ　Ｃ
ＬＫに与える修正を、多種の遅延出力を生じる遅延回路
の出力切換により行なう実施例であり、これは、例えば
、第１図の光変調器制御回路７に含まれる。

光検出器１２はドラム型光導電体６の走査開始位［（記
録開始位置）付近に設置されており、さらに、走査終了
位置にも光検出器１４を設置する。

走査された光ビームが走査開始位置に致達したことを光
検出器１２が検出すると、クロック・ゲート２１か開い
てカウンタ１８はクロック発生器１３からの基準クロッ
クＣＬＫのカウントを開始する。そして走査された光ビ
ームが走査終了位置に到達したことを光検出器１４が検
出すると、クロック・ゲート２１が閉じられ、カウンタ
１８はカウントを停止し、出力Ｃｒで各鏡面毎の光ビー
ム走査時間を表示する。

一方、走査開始と同時に、カウンタ１９はｌだけカウン
ト・アップし、カラン）　Ｉｆｋ　Ｃ、で回転多面鏡４
の鏡面番号を表示する。従って、回転多面鏡４の鏡面数
をＮｓとすると、カウンタ１９はＮ８進カウンタとして
おく。走査終了時毎に、カウンタ１８のカウント１直Ｃ
ｒがメモリ２０に書込まれるが書込まれる領域は、カウ
ンタ１９が示す鏡面番号Ｃ２をメモリ・アドレスとする
領域である。

走査開始時には、カウンタ１９が示す鏡面番号Ｃ寓をメ
モリ・アドレスとして（この走置開始時に偏向動作を行
なう鏡面は、カウンタ１９が示す鏡面番号のものである
。耶ち本装置では電源をオンにして前記の記憶操作を行
なう時に動作位置におった鏡面が番号Ｏの鏡面とされ、
以後１１源オフまで仁の状態が維持される）メモリ２０
にアクセスしてＮ８回前の走査時、つまり同一鏡面の前
回走査時の元ビーム走査時！ｆＪｌ　（Ｃｒ　）を読出
し、該光ビーム走査時間の値Ｃ８をアドレスとして読出
し専用メモリ１７から、ｙ０ビーム走査時間Ｃｒに対す
るデータセレクタ切替回数Ｎｔｓつまり、元ビーム走査
時間Ｃｒに対して、規格、平均化された時間−走査誤差
特性の関数に近似するためのデータセレクタ切替回数Ｎ
ｔと、光ビーム変調制御クロックＣＱＮＴ　ＣＬＫの周
期へ修正方向（周期を延ばすか縮めるか）Ｄを読出す。

ここで、データセレクタ切替回数Ｎｔは、次のように定
める。例えば、１回の走査での全画素数を２，０００個
とすると、各鏡面圧ついて、走を開始から走査終了まで
の時間（光ビーム走査時間）が一定ならば、クロック周
期Ｔｃは Ｔｃ”光ビーム走査時間／２０００ で与えられる。

このクロックの１周期で１ドツトづつ印字すれば、正常
な印字を行なうことができる。

しかしながら、光ビーム走査時間が各鏡面毎に異なるた
めに、クロック周期Ｔｃを一定とする印字ずれを生じる
。

例えば、ある２つの鏡面の光ビーム走査時間が、それぞ
れ２００１　”／４　Ｔ　ｃ　、１９９９３／８Ｔ　ｃ
だとすると、第９図のように印字ずれを生じる０この印
字ずれを防止するためには、光ビーム走査時間に応じて
クロック周期を伸縮すればよい。

遅延回路１５の作成するパルス例を８つであるとすると
遅延回路出力はＴｃ／８ずつ位相がずれているため１回
の出力切換でＴｃ／８だけ周期を伸縮できる。したがっ
て、光ビーム走査時間が２００１’／４Ｔｃ　だとする
と、 （２００１１／４−２０００）十”／Ｂ＝１０すなわち
、１０回だけクロック周期を伸ばす方向に遅延回路の出
力を切換えれば↓いＯ また、光ビーム走査時間が１９９９”／ＢＴｃだとする
と、 （１９９９３／Ｂ−２０００）＋１／Ｂ＝−５すなわち
、５回だけクロック周期を縮める方向に遅延回路の出力
を切換えればよい。

これらの値を読出し専用メモリ１７に格納させ、！査問
始時には、カウンタ１９が示す鏡面番号Ｃ３をメモリｅ
アドレスとして、メモリ２０にアクセスして同一鏡面の
前回走査時の光ビーム走査時間（Ｃｒ　）を読出し、光
ビーム走査時間の憾Ｃ３をアドレスとして、データセレ
クタ切替回数Ｎｔと周期の修正力向りを読出す。

次に、読出し専用メモリ２５は、読出し専用メモリ１７
の出力Ｎｔとカウンタ２４の出力をアドレスとして、可
変分周器２３の分周比Ｎｃを出力する。

カウンタ２４は、走査開始時に光検出器１２の出力によ
り、リセットされ、データセレクタ切替が行なわれるご
とに、つまり、可変分周器２３が分周比Ｎ　ｃをカウン
トする毎に出力するパルスＣＰが入力されるどとに１づ
つ増加する。

読出し専用メモリ２５の決定する分周比Ｎｃは、例えば
、全画素数を２０００．光ビーム走査時間から算出され
るデータセレクタ切替回数を１０回とすると、データセ
レクタ切替位置を矢印↑で示すと、直線近似の場合は、
第１０図（ａ）に示す如く、分周比Ｎｃ＝　２００毎に
行なわれる。

また、関数近似の場合は、第１０図（ｂ）に示す如く、
カウンタ２４ａ出力とデータセレクタ切替回数Ｊとをア
ドレスとして、分周比Ｎｅを切替える０さらに、データ
セレクタ切替回数を５回とすると、直線近似の場合は、
第１０図（ｃ）に示す如く、分周比Ｎｃ”４００毎に行
なわれる。関数近似の場合は、第１０図（ｄ）に示す如
く、カウンタ２４の出力とデータセレクタ切替回数をア
ドレスとして、分周比Ｎｃを切替える。

ここで、データセレクタ切替を行なうどと、つまり、可
変分周器２３が分周比Ｎｃをカウントし、パルスＣＰを
出方するととのクロック周期の伸縮について説明する。

まず、回転多面鏡４の１つの鏡面による走査区間を第１
１図（ａ）に示すようにＬとし、光導電体６上の正規の
ドツト位置Ｐｇ＋　ｐＨＰｔ・・・叩・・とすると、走
査が等速で行なわれるなら各点Ｐｅ、Ｐｌ、Ｐｔ・・・
・・・・・・間の距離または走査時間はすべて等しく、
例えばクロック周期Ｔｏに等しい。これに反して走査速
度が増大または減少すれば該間隔は増減する。

一方、遅延回路１５によりクロック発振器１３が出力す
るクロックＣＬＫを第１１図（ｂ）に示すように一定時
間Δｔ（これは本例ではクロックＣＬＫ０１周期の１／
８に選ぶ）だけｌｉｔ次遅延させた複数、本例では８つ
のパルス列グ。〜グ、を作り、これらのパルス列を切換
使用することを考えると、これてパルス周期の変更が可
能である。例えばパルス列〆。を使用しているとき、現
在パルスＰＰに対する次のパルスを同じパルス列ｍ。の
パルスＮ　Ｐ　ｏとはしないでグ、パルス列のパルスＮ
Ｐ１とするとパルス周期はΔｔだけ伸び、これとは逆に
ｇｙパルス列のパルスＮＰγとするとパルス周期はΔｔ
だけ縮むことになる。この様な周期変更を１走査期間中
何回か行なえば所望の走査速度修正が可能であり、その
修正を行なう迄のパルスＣＬＫの個数と周期増減方向は
、走査速度の実測により算出できる。このパルスＣＬＫ
の個数が前記ＮＯであり、増減方向が前記りである。

信号りは、例えば＋１．−１．０の３値をとり、信号Ｎ
ｅにより指定された点Ｐｉ（ｉけ、第１０図伽）の例で
は、１４０，１６５，１９５．２３０・・・・・）で遅
延量を増加するか、減少するか、或いはそのままにする
かを決定する〇 クロック〆０−が、け、遅延回路１５に、基準クロック
ＣＬＫをΔｔだけ遅延させる本例では８つの遅延回路を
設けることにより簡単に発生させることができる。従っ
て、クロッフグ０〜グアと基準クロックＣＬＫの周波数
は等しく、上記修正を考慮しなければ光ビーム変調制御
クロックＣ０ＮＴＣＬＫの周波数とも等しい。データセ
レクタ１６は、遅延回路１５の出力グ◎〜タフからアッ
プダウンカウンタ２２の計数値Ｃ，により指定された順
番のもの１つを選択する。アップダウンカウンタ２２の
計数方向は前述した読出し専用メモリ１７からの信号り
により決定され、そして可変分周器２３は制御クロック
Ｃ０ＮＴ　　ＣＬＫを計数してこれが読出し専用メモリ
２５からのパルス数Ｎｃになる毎に１個のパルスＣＰを
アップダウンカウンタ２２、カウンタ２４に送出する。

アップダウンカウンタ２２はパルスＣＰが到来するごと
に計数値を変え、データセレクタ１６を介して出力され
るパルス列を変更する。また、カウンタ２４はパルスＣ
Ｐが到来するごとに１づつ増加し、この出力が読出し専
用メモリ２５に入力され、分周比Ｎｃを変更する。従っ
て、このパルスＣＰの発生タイミングが第１０図（ｂ）
の矢印↑で示す点に対応する。

以上説明したように本実施例によれば、走査範囲内の位
置による走査誤差補正精度の変動を減少することができ
る。

次に、本発明にかかる回転多面鏡の走査誤差補正装置の
他の実施例について説明する。

前述の実施例で示した遅延回路を用いる方式では、クロ
ック発振器１３の出力周波数は光ビーム変調制御クロッ
クＣ０ＮＴ　ＣＬＫの周波数とはソ同じであり、該周波
数を４０ＭＨｚ　とすれば発振器１３等はやはり４０Ｍ
Ｈ！　のものでよい。クロック周期の修正には分周器を
用いて（本例では１゜２．３・・・・・・・・・８分周
器を用いて）行なう方法も考えられるが、この方式では
最初のクロックの周波数を高く（本例では８倍の３２０
　ＭＨｚ　）する必要があり、クロック発振器および分
周器などが高価になる欠点がある〇 第１２必は光ビーム変調制御クロックに与える遅延量を
連続して変化させる本発明の他の実施例であり、第８図
と同一部分には同一符号が何しである。この実施例は第
８図の遅延回路１５．データセレクタ１６．アップダウ
ンカウンタ２２、可変分周器２３、カウンタ２４および
読出し専用メモリ２５を、走査誤差関数発生器２６およ
び電圧制御遅延回路２７に置き換え、１走査の全期間で
均等に制御クロックＣ０ＮＴ　　ＣＬＫの周期を修正す
る（第８図ではΔｔずつ不連続に修正する）ようにした
ものである。即ち、電圧制御遅延回路２７け、走査誤差
関数発生器２６からの制御電圧ＶＣに比例した遅延量を
、基準クロックＣＬＫに与える。このため、読出し専用
メモリ１７には予め光ビーム走査時間に応じて定めた制
御データＤｃを格納しておき、これにより走査誤差関数
発生器２６から所要とする走査誤差関数の制御電圧ＶＣ
を発生させる０この制御データＤＣには、制御電圧ＶＣ
の初期値と振幅を含ませておく。この振幅は、走査速度
の実測により算出される値である。

例えば、第１３図に示すように、走査時間（１）を基準
とし、この場合同図（４）のようにクロックＣＬＫに一
定の遅延量ｔｄを与えるものとすれば、制御データＤｅ
の自答は、傾きｏ１初期値は遅延量ｔｄを与える一定電
圧となる。これに対し、Δｔ′だけ長い走査時間即ち遅
い走査速度（２）の場合には同図（５）で示すように遅
延量がある関数特性にしたがって増加するように変化さ
せる。このことにより制御クロックＣ０ＮＴ　　ＣＬＫ
の周期は延長される。

この場合の電圧制御遅延回路２７への０−１期間中の入
力のか＼る増加関数は初期値と振幅を与えることにより
走査誤差関数発生器２６が簡単に発生することができる
。また、走査時間（１）よりΔｔ″だけ短い走査時間（
３）の場合には同図（６）に示すように遅延量がある関
数特性にしたがって減少するように変化させる。このこ
とにより制御クロックＣ０ＮＴ　ＣＬＫの周期は短縮さ
れる。

電圧制御遅延回路２７で設定する遅延量の絶対値は非常
に小さいので、その制御精度は低くて良い。このため、
電圧制御型の容量可変素子として可変容量ダイオードを
用いて安価に構成することが可能である。この−例を第
１４図に示す。同図において、２８は基準クロックＣＬ
Ｋを受けるインバータ、２９は出力段で波形整形を行な
うシュミット回路である。コンデンサＣ１は可変容量ダ
イオードＣ１の容量に比べ十分大きく積分回路３゜の時
定数は、コンデンサＣ３に直列接続された可変容量ダイ
オードＣ１および抵抗Ｒにより規定される。この可変容
量ダイオードＣ１の容量が走査誤差関数発生器２６から
の制御電圧Ｖｃで制御される。

上述した２つの実施例のうち第８図のディジタル式のも
のは全く初期調整が不要であるが、反面周期変化は１走
査の間に不連続に行なわれる。これに対し、第１２図の
アナログ式のものは全走査範囲にわたって連続的に制御
クロック周期が制御されるが、若干の初期調整は必要で
ある。しかし、これらの差異は第１図に示した回転多面
鏡４の工作精度による誤差、或いはその駆動モータの回
転周期変動による誤差を吸収する上では全く問題となら
ない。また、本発明では光ビーム変調制御クロックＣ０
ＮＴ　　ＣＬＫの周期を基本的に遅姑箪の変化で震える
ものであるから、基準クロックＣＬＫは制（財）クロッ
クＣ０ＮＴ　　ＣＬＫと同様に低い周波数でよい。また
、第８図の火施汐（ｊの場合に、データセレクタ１６に
よるクロッフグ。〜ρ丁の切り換えは略クロックの１周
期内に行なえばよいので、データセレクタ１６に高速動
作可能なものを用いる必要がない。

（Ｇ）　　発明の効果 以上述べた本発明の走置光クロック補正装置であれは、
高精度にして安価且つ経年変化のないクロックが得られ
るＯまた、メモリ２０へはその都度光ビーム走査特性が
書き込まれるので回転多面鏡４の変換時等の調整は不要
である０そして、回転多面鏡４およびその駆動モータの
工作精度要求は可能な限り低下できるので、その分低価
格化が図れる利点がある０

【図面の簡単な説明】

第１図はレーザ・プリンタの構成図、第２図は第１図に
おける１４１ｍタイミンクずれの説明図、第３図は第１
図の回転多面鏡の説明図、第４図は回転多面鏡の加工誤
差の説明図、第５図は回転多面鏡の時間−走査誤差特性
説明図、第６図は回転多面鏡の時間−走査誤差特性の規
格化平均値を示す図、第７図は走査誤差特性を関数近似
した例を示す図、第８図は本発明の一実施例を示すブロ
ック図、第９図は光ビーム走査時間の差による印字ずれ
を示す図、第１０図は分周比の切替えを説明する図、第
１１図は第８図の動作説明に用いたタイムチャート、第
１２図は本発明の他の実施例を示すブロック図、第１３
図は第１２図の動作説明に用いたタイムチャート、第１
４図は第１２図の電圧制御遅延回路の具体的な回路図で
ある。 １・・・・・・・・・レーザ、　　２・・・・・・・・
・光変調器、４・・・・・・・・・回転多面鏡、７・・
・・・・・・・光変調器制御回路、１２．１４・・・光
検知器、１３・・・・・・基準クロック発生器、１５・
・・・・・・・・遅延回路、１６・・・・・・データセ
レクタ、１７．２５・・・読出し専用メモリ、 １８．１９．２４・・・・・・カウンタ、２０・・・・
・・・・・メモリ、　　２１・・・・・・・・・クロッ
クゲート、２３・・・・・・・可変分周器、 ２６・・・・・・・・・走査誤差関数発生器、２７・・
・・・・・・・電圧制御遅延回路、　２８・・・インバ
ータ、２９・・・・・・・・シュミット回路、　　３ｏ
・曲・積分回路。 代理人　弁理士　松　岡　宏四部 ） 躬　ｌ　ロ 第　３　図 走査誤差 走１ｉｉ１’誤１ 電６日 走在開如 ↓ ７０・・／７閤期　−一月−ｆしコ１−ローチｈ−１２
３４ ’ｚ’ｒ閏 走イ１込Ｊ −十−十−トニ←Ｉ ○ ｖｌｌ１図 ｖＪｌＺ図 ヵ。　　　　　　　　　　　ニア・・ 妃１３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光ビーム発生手段、光ビーム変調手段、該光ビーム変調
   手段を制御する変調制御クロック発生手段、該光ビーム
   発生手段からの光ビームを偏向させる回転多面鏡、該回
   転多面鏡により偏向された光ビームの走査面における平
   均走査速度を検知する平均走査速度検知手段、該回転多
   面鏡の各鏡面の光ビーム走査誤差特性の平均値を記憶す
   る平均走査誤差記憶手段、前記＆　ｉＪ　ｔ）ｔｌＪ麹
   クロりりの周期を補正する変調制御クロック周期補圧手
   段とを具備してなり、前記変調制御クロック周期補圧手
   段は、前記平均走査速度検知手段から得られる平均走査
   速度と前記平均走査誤差記憶手段に記憶された平均走査
   誤差特性とに応じて前記度調ルリ御クロックの周期を補
   正することを特徴とする回転多面鏡の走査誤差補正装置
   。