JPS59124547A - 精密位置決め装置 - Google Patents
精密位置決め装置Info
- Publication number
- JPS59124547A JPS59124547A JP23365082A JP23365082A JPS59124547A JP S59124547 A JPS59124547 A JP S59124547A JP 23365082 A JP23365082 A JP 23365082A JP 23365082 A JP23365082 A JP 23365082A JP S59124547 A JPS59124547 A JP S59124547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- base plate
- position detector
- fixed
- ceiling plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37297—Two measurements, on driving motor and on slide or on both sides of motor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、旋削加工機等の補助装置において、駆動源１
１１１１に設置された位置検出器と、被加工物を載置す
るテーブル側に設置された位置検出器の相方からテーブ
ルの位置制御を行う精密位置決め装置に関するものであ
る。
１１１１に設置された位置検出器と、被加工物を載置す
るテーブル側に設置された位置検出器の相方からテーブ
ルの位置制御を行う精密位置決め装置に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点
従来の精密位置決め装置としては、第１図、第２図に示
すように駆動源となるモータ側にエンコーダ１を設け、
回転角度からモータ２を制御する制御部３を設けてテー
ブルの位置決めを行なうものがあった。ボールネジ４は
、ベースプレー１−５土に固定されたベアリングホルダ
６にはめこ１扛たベアリング７でその一端を支持さ扛、
他端はベースプレート５の端面Ａに固定さｎたベアリン
グ８．９を内在したベアリングホルダ１０で支持され、
その端部はカンプリング１１によりエンコーダ１を組み
こんたモータ２の出力軸１２と連結されている。またボ
ールネジ４のナンド部１３は、バゾクラツンーを減少さ
せるためダブルナツトとなっており、天板１４に固定さ
れたナツトホルダ１６に固定されている。ベースプレー
ト６土には７字型のセンターブロック１６，１了が固定
されており、一方天板１４にはセンターブロック１６゜
１７にかみ合うＶ字型のガイドプロッタ１８．１９及び
サイドブロック２０が固定されている。摺動面２１と２
２の間、２３と２４の間、２５と２６の１…及び２７と
２８の間には精密針状ころが９軸受２９，３０．３１及
び３２が挿入されており、またサイドブロックのネジ３
３により精密針状ころがり軸受２９．３０．３１及び３
２へ予圧を加えろ構成になっている。この装置において
は、制御装置３からの信号で、モータ２が回転すると同
時にボールネジ−が回転し、天板１４が精密針状ころが
ｖ軸受２９，３０．３１及び３２を介してセンターブロ
ック１６ 、（７に沿って摺動する。
すように駆動源となるモータ側にエンコーダ１を設け、
回転角度からモータ２を制御する制御部３を設けてテー
ブルの位置決めを行なうものがあった。ボールネジ４は
、ベースプレー１−５土に固定されたベアリングホルダ
６にはめこ１扛たベアリング７でその一端を支持さ扛、
他端はベースプレート５の端面Ａに固定さｎたベアリン
グ８．９を内在したベアリングホルダ１０で支持され、
その端部はカンプリング１１によりエンコーダ１を組み
こんたモータ２の出力軸１２と連結されている。またボ
ールネジ４のナンド部１３は、バゾクラツンーを減少さ
せるためダブルナツトとなっており、天板１４に固定さ
れたナツトホルダ１６に固定されている。ベースプレー
ト６土には７字型のセンターブロック１６，１了が固定
されており、一方天板１４にはセンターブロック１６゜
１７にかみ合うＶ字型のガイドプロッタ１８．１９及び
サイドブロック２０が固定されている。摺動面２１と２
２の間、２３と２４の間、２５と２６の１…及び２７と
２８の間には精密針状ころが９軸受２９，３０．３１及
び３２が挿入されており、またサイドブロックのネジ３
３により精密針状ころがり軸受２９．３０．３１及び３
２へ予圧を加えろ構成になっている。この装置において
は、制御装置３からの信号で、モータ２が回転すると同
時にボールネジ−が回転し、天板１４が精密針状ころが
ｖ軸受２９，３０．３１及び３２を介してセンターブロ
ック１６ 、（７に沿って摺動する。
天板１４の移動量はエンコーター１の回転角度により制
御さ汎る。
御さ汎る。
しかし上記のような構成では、モータとテーブルの間に
はネジ等の機械的伝達装置を有するため、ハノクラノと
−その他により精度的に問題がある。
はネジ等の機械的伝達装置を有するため、ハノクラノと
−その他により精度的に問題がある。
捷だ従来においては、テーブル側に光学的センサ等の位
置検出器を設けたものがあった。しかしこの場合１位置
検出器で読み取る時点では、テーブルの正確な位置をつ
かむことができるが、この信号をモータ側へ伝達し駆動
系を停止させる段階での時間的、機械的遅れが生じテー
ブルの正確な位置でめ停止は困難であった。
置検出器を設けたものがあった。しかしこの場合１位置
検出器で読み取る時点では、テーブルの正確な位置をつ
かむことができるが、この信号をモータ側へ伝達し駆動
系を停止させる段階での時間的、機械的遅れが生じテー
ブルの正確な位置でめ停止は困難であった。
その上、従来の駆動系においては、モータの出力軸とネ
ジ部とはカップリングによって接続されていたためにが
たが生じるという欠点があった。
ジ部とはカップリングによって接続されていたためにが
たが生じるという欠点があった。
発明の目的
本発明は、このような問題を解決するもので。
テーブルの精密位置決め装置の精度全向上させることを
目的とする。
目的とする。
発明の構成
この目的全達成するために本発明はモータ等の駆動装置
を、ネジ機構等を用いることに、ｒ、り、ベース７１ｚ
−）上を摺動するテーブルの位置決めを行なう構成とし
、駆動装置側に設置された位置検出器と、テーブル側に
設置された位置検出器の相方から、正確な位置へテーブ
ル全移動するようにしてきわめて高い精度を確保するも
のである。
を、ネジ機構等を用いることに、ｒ、り、ベース７１ｚ
−）上を摺動するテーブルの位置決めを行なう構成とし
、駆動装置側に設置された位置検出器と、テーブル側に
設置された位置検出器の相方から、正確な位置へテーブ
ル全移動するようにしてきわめて高い精度を確保するも
のである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しｌがら説
明する。第３図において、３７は被加工物を載置するテ
ーブルであり、その側面にはテーブルの動きを知７）た
めのスケール部３８が設けらｎている。このテーブル３
７を摺動させるためにモータ３９がネジ機構を介して設
けられており、このモータの回転速度を検出するタコジ
ェネレータ４０がモータ３９と共に設置さｎている。制
御部４１はテーブル３了の側面に設けられたスケール部
３８からの信号と、タコジェネレータ４ｏからの信号を
受け、モータ３９へ信号を送る機能を有するものである
。
明する。第３図において、３７は被加工物を載置するテ
ーブルであり、その側面にはテーブルの動きを知７）た
めのスケール部３８が設けらｎている。このテーブル３
７を摺動させるためにモータ３９がネジ機構を介して設
けられており、このモータの回転速度を検出するタコジ
ェネレータ４０がモータ３９と共に設置さｎている。制
御部４１はテーブル３了の側面に設けられたスケール部
３８からの信号と、タコジェネレータ４ｏからの信号を
受け、モータ３９へ信号を送る機能を有するものである
。
次に第４図、第６図を用いてその構造を詳しく説明する
。
。
モータロータ部４２、タコジェネレータロータ部４３を
有するボールネジ４４の一端は、ベースグレート４６土
に固定されたベアリングチホルタ゛。
有するボールネジ４４の一端は、ベースグレート４６土
に固定されたベアリングチホルタ゛。
４６にはめ込−ｔｎたベアリング４７で軸支さ扛てお９
、他端部はベースグレート４５とベースプレート４６に
固定されたセンターブロック４８．４９とに固定された
ベアリングホルダ５−６０にはめ込捷れたベアリング５
１．５２により支持ばれている。またボールネジ４４の
ナツト剖６３はノくツクラッシュｋｉｄ少させるためダ
ブルナツトとなっており、天板６４に固定さｎたナツト
ホルダ６５に固定されている。ベースグレート４６土に
はＶ字型のセンターブロック４８．４９が固定さ扛てお
り、一方天板５４にはセンターブロック４Ｂ、４９にか
み合う、Ｖ字型のガイドブロック６６．６了及びサイド
ブロック６８が固定されている。摺動面６９と６０．６
１と６２．６３と６４及び６５と６６の間には精密針状
ころがり軸受６７．６８゜６９及びＴｏが挿入されてお
ジ、サイドブロック６８のネジ７１により予圧が加えら
れている。
、他端部はベースグレート４５とベースプレート４６に
固定されたセンターブロック４８．４９とに固定された
ベアリングホルダ５−６０にはめ込捷れたベアリング５
１．５２により支持ばれている。またボールネジ４４の
ナツト剖６３はノくツクラッシュｋｉｄ少させるためダ
ブルナツトとなっており、天板６４に固定さｎたナツト
ホルダ６５に固定されている。ベースグレート４６土に
はＶ字型のセンターブロック４８．４９が固定さ扛てお
り、一方天板５４にはセンターブロック４Ｂ、４９にか
み合う、Ｖ字型のガイドブロック６６．６了及びサイド
ブロック６８が固定されている。摺動面６９と６０．６
１と６２．６３と６４及び６５と６６の間には精密針状
ころがり軸受６７．６８゜６９及びＴｏが挿入されてお
ジ、サイドブロック６８のネジ７１により予圧が加えら
れている。
天板６４の側面にはガラス面に金属薄膜を蒸着し光によ
り干渉しまをつくり出すスケール７２が板バネ７３で取
り付けられており、この干渉しまの読み取りを行う光学
式センサー７４がベースグレート４６に固定さｆている
。
り干渉しまをつくり出すスケール７２が板バネ７３で取
り付けられており、この干渉しまの読み取りを行う光学
式センサー７４がベースグレート４６に固定さｆている
。
またモータ、・タコジェネレータ部の構成は、第６図の
ようにボールネジ４４の端部にモータ３９及びタコジェ
ネレータ４０のロータ部の鉄心７６゜７６が圧入されて
おり、このそれぞれの鉄心７５゜７６の丑わりにコイル
７７．７８かまかれている。
ようにボールネジ４４の端部にモータ３９及びタコジェ
ネレータ４０のロータ部の鉄心７６゜７６が圧入されて
おり、このそれぞれの鉄心７５゜７６の丑わりにコイル
７７．７８かまかれている。
一方モータ３９．タコジェネレータ４０のステータ部で
ある磁石７９．８０とブラシ８１．８２はケーシング８
３へ固定されている。
ある磁石７９．８０とブラシ８１．８２はケーシング８
３へ固定されている。
次に本装置の動きについて説明する。
モータ部３９は、スケール部３８及びタコジェネレータ
部４０からの信号を受けた制御部４１で制（１１されな
がら作動し、ホールネジ４４が回転することで天板６４
は精密針状ころがｐ軸受６７゜６８．６９及び７０を介
して摺動する。指定の位置に天板が来ればモータ部３９
は停止する。外方が加われば変位した量たけ補正するよ
うモータ部３９が作動する◎ ここでスケール部での移動量の読み取り方法を第７図を
用いて説明する。光源であるミニチーアランプ９１より
出た光は、コンデンサレンズ９２に集光さ汎、その光は
数μｍの間隔でガラスに蒸着さ汎た格子目盛９３′ｆｆ
：有するガラススク−−ル９４を通過後走査板９６を通
してシリコン受光素子９６への入力光が変化するため、
シリコン受光素子９６の出力も変化する。従って出力波
形の変化をカウントすれば移動量を検出することができ
る。
部４０からの信号を受けた制御部４１で制（１１されな
がら作動し、ホールネジ４４が回転することで天板６４
は精密針状ころがｐ軸受６７゜６８．６９及び７０を介
して摺動する。指定の位置に天板が来ればモータ部３９
は停止する。外方が加われば変位した量たけ補正するよ
うモータ部３９が作動する◎ ここでスケール部での移動量の読み取り方法を第７図を
用いて説明する。光源であるミニチーアランプ９１より
出た光は、コンデンサレンズ９２に集光さ汎、その光は
数μｍの間隔でガラスに蒸着さ汎た格子目盛９３′ｆｆ
：有するガラススク−−ル９４を通過後走査板９６を通
してシリコン受光素子９６への入力光が変化するため、
シリコン受光素子９６の出力も変化する。従って出力波
形の変化をカウントすれば移動量を検出することができ
る。
また、モータ、タコジェネレータそれぞ汎のロータ部と
ネジ部との一体化に、［：り精度の同上を図ることがで
き、精度面において優扛た効果を奏する。
ネジ部との一体化に、［：り精度の同上を図ることがで
き、精度面において優扛た効果を奏する。
発明の効果
上記実施例より明らかなように、テーブルに設置された
スケール部とモータ部に設置されたタコジェネレータ部
の相互の信号を検出し、フィードバックできるため、テ
ーブルの高精度で正確な位置決め、位置補正が可能とな
る。
スケール部とモータ部に設置されたタコジェネレータ部
の相互の信号を検出し、フィードバックできるため、テ
ーブルの高精度で正確な位置決め、位置補正が可能とな
る。
第１図は従来の精密位置決め装置の正面断面図、第２図
は第１図の一部断面図、第３図は本発明に第５図は第４
図の一部断面図、第６図は第４図のモータ、タコジェネ
レータ部の拡大断面図、第７図は同要部スケール部の要
部斜視図である。 ３４・・・・・・ヲーッ ト、３５・川・・カラー、３
６・°゛・°°［甲工板、８３・・・・・・駆動系ケー
シング、８４・・用ナツト、８６・・・・・・カラー、
８６・・・・・・押え板、８７・・・・・・モータステ
ータ部、８８・川・・タコジェネレータステータ部、８
９．９０・・印・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ＷＪ
２図 ｍ 第３図 Δ！ ４／ 第５図 第６図 ３７４゜
は第１図の一部断面図、第３図は本発明に第５図は第４
図の一部断面図、第６図は第４図のモータ、タコジェネ
レータ部の拡大断面図、第７図は同要部スケール部の要
部斜視図である。 ３４・・・・・・ヲーッ ト、３５・川・・カラー、３
６・°゛・°°［甲工板、８３・・・・・・駆動系ケー
シング、８４・・用ナツト、８６・・・・・・カラー、
８６・・・・・・押え板、８７・・・・・・モータステ
ータ部、８８・川・・タコジェネレータステータ部、８
９．９０・・印・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ＷＪ
２図 ｍ 第３図 Δ！ ４／ 第５図 第６図 ３７４゜
Claims (1)
- （１）モータ等の駆動装置をネジ機構等を用いることに
より、ベースプレート上を摺動するテーブルの位置決め
を行なう構成とし、前記駆動装置側に設置された位置検
出器と、前記テーブル側に設置された位置検出器の相方
から、前記テーブルの位置を制御する精密位置決め装置
。 ？） テーブルを摺動させる送りネジ機構は、前記駆動
装置に設けらｎるそれぞれのロータ部を前記ネジの一部
とした特許請求の範囲第１項記載の精密位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23365082A JPS59124547A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 精密位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23365082A JPS59124547A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 精密位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124547A true JPS59124547A (ja) | 1984-07-18 |
Family
ID=16958364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23365082A Pending JPS59124547A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 精密位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124547A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195418A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 位置制御方法および制御装置 |
| JPS63143609A (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-15 | Nikon Corp | 移動体の位置決め装置 |
| CN112556530A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-03-26 | 浙江省开化七一电力器材有限责任公司 | 一种用于开关柜触头盒的检测装置 |
-
1982
- 1982-12-29 JP JP23365082A patent/JPS59124547A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195418A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 位置制御方法および制御装置 |
| JPS63143609A (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-15 | Nikon Corp | 移動体の位置決め装置 |
| CN112556530A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-03-26 | 浙江省开化七一电力器材有限责任公司 | 一种用于开关柜触头盒的检测装置 |
| CN112556530B (zh) * | 2020-12-18 | 2022-04-22 | 浙江省开化七一电力器材有限责任公司 | 一种用于开关柜触头盒的检测装置 |
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