JPS59124547A - 精密位置決め装置 - Google Patents
精密位置決め装置Info
- Publication number
- JPS59124547A JPS59124547A JP57233650A JP23365082A JPS59124547A JP S59124547 A JPS59124547 A JP S59124547A JP 57233650 A JP57233650 A JP 57233650A JP 23365082 A JP23365082 A JP 23365082A JP S59124547 A JPS59124547 A JP S59124547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- base plate
- position detector
- fixed
- ceiling plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37297—Two measurements, on driving motor and on slide or on both sides of motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、旋削加工機等の補助装置において、駆動源１
１１１１に設置された位置検出器と、被加工物を載置す
るテーブル側に設置された位置検出器の相方からテーブ
ルの位置制御を行う精密位置決め装置に関するものであ
る。
１１１１に設置された位置検出器と、被加工物を載置す
るテーブル側に設置された位置検出器の相方からテーブ
ルの位置制御を行う精密位置決め装置に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点
従来の精密位置決め装置としては、第１図、第２図に示
すように駆動源となるモータ側にエンコーダ１を設け、
回転角度からモータ２を制御する制御部３を設けてテー
ブルの位置決めを行なうものがあった。ボールネジ４は
、ベースプレー１−５土に固定されたベアリングホルダ
６にはめこ１扛たベアリング７でその一端を支持さ扛、
他端はベースプレート５の端面Ａに固定さｎたベアリン
グ８．９を内在したベアリングホルダ１０で支持され、
その端部はカンプリング１１によりエンコーダ１を組み
こんたモータ２の出力軸１２と連結されている。またボ
ールネジ４のナンド部１３は、バゾクラツンーを減少さ
せるためダブルナツトとなっており、天板１４に固定さ
れたナツトホルダ１６に固定されている。ベースプレー
ト６土には７字型のセンターブロック１６，１了が固定
されており、一方天板１４にはセンターブロック１６゜
１７にかみ合うＶ字型のガイドプロッタ１８．１９及び
サイドブロック２０が固定されている。摺動面２１と２
２の間、２３と２４の間、２５と２６の１…及び２７と
２８の間には精密針状ころが９軸受２９，３０．３１及
び３２が挿入されており、またサイドブロックのネジ３
３により精密針状ころがり軸受２９．３０．３１及び３
２へ予圧を加えろ構成になっている。この装置において
は、制御装置３からの信号で、モータ２が回転すると同
時にボールネジ−が回転し、天板１４が精密針状ころが
ｖ軸受２９，３０．３１及び３２を介してセンターブロ
ック１６ 、（７に沿って摺動する。
すように駆動源となるモータ側にエンコーダ１を設け、
回転角度からモータ２を制御する制御部３を設けてテー
ブルの位置決めを行なうものがあった。ボールネジ４は
、ベースプレー１−５土に固定されたベアリングホルダ
６にはめこ１扛たベアリング７でその一端を支持さ扛、
他端はベースプレート５の端面Ａに固定さｎたベアリン
グ８．９を内在したベアリングホルダ１０で支持され、
その端部はカンプリング１１によりエンコーダ１を組み
こんたモータ２の出力軸１２と連結されている。またボ
ールネジ４のナンド部１３は、バゾクラツンーを減少さ
せるためダブルナツトとなっており、天板１４に固定さ
れたナツトホルダ１６に固定されている。ベースプレー
ト６土には７字型のセンターブロック１６，１了が固定
されており、一方天板１４にはセンターブロック１６゜
１７にかみ合うＶ字型のガイドプロッタ１８．１９及び
サイドブロック２０が固定されている。摺動面２１と２
２の間、２３と２４の間、２５と２６の１…及び２７と
２８の間には精密針状ころが９軸受２９，３０．３１及
び３２が挿入されており、またサイドブロックのネジ３
３により精密針状ころがり軸受２９．３０．３１及び３
２へ予圧を加えろ構成になっている。この装置において
は、制御装置３からの信号で、モータ２が回転すると同
時にボールネジ−が回転し、天板１４が精密針状ころが
ｖ軸受２９，３０．３１及び３２を介してセンターブロ
ック１６ 、（７に沿って摺動する。
天板１４の移動量はエンコーター１の回転角度により制
御さ汎る。
御さ汎る。
しかし上記のような構成では、モータとテーブルの間に
はネジ等の機械的伝達装置を有するため、ハノクラノと
−その他により精度的に問題がある。
はネジ等の機械的伝達装置を有するため、ハノクラノと
−その他により精度的に問題がある。
捷だ従来においては、テーブル側に光学的センサ等の位
置検出器を設けたものがあった。しかしこの場合１位置
検出器で読み取る時点では、テーブルの正確な位置をつ
かむことができるが、この信号をモータ側へ伝達し駆動
系を停止させる段階での時間的、機械的遅れが生じテー
ブルの正確な位置でめ停止は困難であった。
置検出器を設けたものがあった。しかしこの場合１位置
検出器で読み取る時点では、テーブルの正確な位置をつ
かむことができるが、この信号をモータ側へ伝達し駆動
系を停止させる段階での時間的、機械的遅れが生じテー
ブルの正確な位置でめ停止は困難であった。
その上、従来の駆動系においては、モータの出力軸とネ
ジ部とはカップリングによって接続されていたためにが
たが生じるという欠点があった。
ジ部とはカップリングによって接続されていたためにが
たが生じるという欠点があった。
発明の目的
本発明は、このような問題を解決するもので。
テーブルの精密位置決め装置の精度全向上させることを
目的とする。
目的とする。
発明の構成
この目的全達成するために本発明はモータ等の駆動装置
を、ネジ機構等を用いることに、ｒ、り、ベース７１ｚ
−）上を摺動するテーブルの位置決めを行なう構成とし
、駆動装置側に設置された位置検出器と、テーブル側に
設置された位置検出器の相方から、正確な位置へテーブ
ル全移動するようにしてきわめて高い精度を確保するも
のである。
を、ネジ機構等を用いることに、ｒ、り、ベース７１ｚ
−）上を摺動するテーブルの位置決めを行なう構成とし
、駆動装置側に設置された位置検出器と、テーブル側に
設置された位置検出器の相方から、正確な位置へテーブ
ル全移動するようにしてきわめて高い精度を確保するも
のである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しｌがら説
明する。第３図において、３７は被加工物を載置するテ
ーブルであり、その側面にはテーブルの動きを知７）た
めのスケール部３８が設けらｎている。このテーブル３
７を摺動させるためにモータ３９がネジ機構を介して設
けられており、このモータの回転速度を検出するタコジ
ェネレータ４０がモータ３９と共に設置さｎている。制
御部４１はテーブル３了の側面に設けられたスケール部
３８からの信号と、タコジェネレータ４ｏからの信号を
受け、モータ３９へ信号を送る機能を有するものである
。
明する。第３図において、３７は被加工物を載置するテ
ーブルであり、その側面にはテーブルの動きを知７）た
めのスケール部３８が設けらｎている。このテーブル３
７を摺動させるためにモータ３９がネジ機構を介して設
けられており、このモータの回転速度を検出するタコジ
ェネレータ４０がモータ３９と共に設置さｎている。制
御部４１はテーブル３了の側面に設けられたスケール部
３８からの信号と、タコジェネレータ４ｏからの信号を
受け、モータ３９へ信号を送る機能を有するものである
。
次に第４図、第６図を用いてその構造を詳しく説明する
。
。
モータロータ部４２、タコジェネレータロータ部４３を
有するボールネジ４４の一端は、ベースグレート４６土
に固定されたベアリングチホルタ゛。
有するボールネジ４４の一端は、ベースグレート４６土
に固定されたベアリングチホルタ゛。
４６にはめ込−ｔｎたベアリング４７で軸支さ扛てお９
、他端部はベースグレート４５とベースプレート４６に
固定されたセンターブロック４８．４９とに固定された
ベアリングホルダ５−６０にはめ込捷れたベアリング５
１．５２により支持ばれている。またボールネジ４４の
ナツト剖６３はノくツクラッシュｋｉｄ少させるためダ
ブルナツトとなっており、天板６４に固定さｎたナツト
ホルダ６５に固定されている。ベースグレート４６土に
はＶ字型のセンターブロック４８．４９が固定さ扛てお
り、一方天板５４にはセンターブロック４Ｂ、４９にか
み合う、Ｖ字型のガイドブロック６６．６了及びサイド
ブロック６８が固定されている。摺動面６９と６０．６
１と６２．６３と６４及び６５と６６の間には精密針状
ころがり軸受６７．６８゜６９及びＴｏが挿入されてお
ジ、サイドブロック６８のネジ７１により予圧が加えら
れている。
、他端部はベースグレート４５とベースプレート４６に
固定されたセンターブロック４８．４９とに固定された
ベアリングホルダ５−６０にはめ込捷れたベアリング５
１．５２により支持ばれている。またボールネジ４４の
ナツト剖６３はノくツクラッシュｋｉｄ少させるためダ
ブルナツトとなっており、天板６４に固定さｎたナツト
ホルダ６５に固定されている。ベースグレート４６土に
はＶ字型のセンターブロック４８．４９が固定さ扛てお
り、一方天板５４にはセンターブロック４Ｂ、４９にか
み合う、Ｖ字型のガイドブロック６６．６了及びサイド
ブロック６８が固定されている。摺動面６９と６０．６
１と６２．６３と６４及び６５と６６の間には精密針状
ころがり軸受６７．６８゜６９及びＴｏが挿入されてお
ジ、サイドブロック６８のネジ７１により予圧が加えら
れている。
天板６４の側面にはガラス面に金属薄膜を蒸着し光によ
り干渉しまをつくり出すスケール７２が板バネ７３で取
り付けられており、この干渉しまの読み取りを行う光学
式センサー７４がベースグレート４６に固定さｆている
。
り干渉しまをつくり出すスケール７２が板バネ７３で取
り付けられており、この干渉しまの読み取りを行う光学
式センサー７４がベースグレート４６に固定さｆている
。
またモータ、・タコジェネレータ部の構成は、第６図の
ようにボールネジ４４の端部にモータ３９及びタコジェ
ネレータ４０のロータ部の鉄心７６゜７６が圧入されて
おり、このそれぞれの鉄心７５゜７６の丑わりにコイル
７７．７８かまかれている。
ようにボールネジ４４の端部にモータ３９及びタコジェ
ネレータ４０のロータ部の鉄心７６゜７６が圧入されて
おり、このそれぞれの鉄心７５゜７６の丑わりにコイル
７７．７８かまかれている。
一方モータ３９．タコジェネレータ４０のステータ部で
ある磁石７９．８０とブラシ８１．８２はケーシング８
３へ固定されている。
ある磁石７９．８０とブラシ８１．８２はケーシング８
３へ固定されている。
次に本装置の動きについて説明する。
モータ部３９は、スケール部３８及びタコジェネレータ
部４０からの信号を受けた制御部４１で制（１１されな
がら作動し、ホールネジ４４が回転することで天板６４
は精密針状ころがｐ軸受６７゜６８．６９及び７０を介
して摺動する。指定の位置に天板が来ればモータ部３９
は停止する。外方が加われば変位した量たけ補正するよ
うモータ部３９が作動する◎ ここでスケール部での移動量の読み取り方法を第７図を
用いて説明する。光源であるミニチーアランプ９１より
出た光は、コンデンサレンズ９２に集光さ汎、その光は
数μｍの間隔でガラスに蒸着さ汎た格子目盛９３′ｆｆ
：有するガラススク−−ル９４を通過後走査板９６を通
してシリコン受光素子９６への入力光が変化するため、
シリコン受光素子９６の出力も変化する。従って出力波
形の変化をカウントすれば移動量を検出することができ
る。
部４０からの信号を受けた制御部４１で制（１１されな
がら作動し、ホールネジ４４が回転することで天板６４
は精密針状ころがｐ軸受６７゜６８．６９及び７０を介
して摺動する。指定の位置に天板が来ればモータ部３９
は停止する。外方が加われば変位した量たけ補正するよ
うモータ部３９が作動する◎ ここでスケール部での移動量の読み取り方法を第７図を
用いて説明する。光源であるミニチーアランプ９１より
出た光は、コンデンサレンズ９２に集光さ汎、その光は
数μｍの間隔でガラスに蒸着さ汎た格子目盛９３′ｆｆ
：有するガラススク−−ル９４を通過後走査板９６を通
してシリコン受光素子９６への入力光が変化するため、
シリコン受光素子９６の出力も変化する。従って出力波
形の変化をカウントすれば移動量を検出することができ
る。
また、モータ、タコジェネレータそれぞ汎のロータ部と
ネジ部との一体化に、［：り精度の同上を図ることがで
き、精度面において優扛た効果を奏する。
ネジ部との一体化に、［：り精度の同上を図ることがで
き、精度面において優扛た効果を奏する。
発明の効果
上記実施例より明らかなように、テーブルに設置された
スケール部とモータ部に設置されたタコジェネレータ部
の相互の信号を検出し、フィードバックできるため、テ
ーブルの高精度で正確な位置決め、位置補正が可能とな
る。
スケール部とモータ部に設置されたタコジェネレータ部
の相互の信号を検出し、フィードバックできるため、テ
ーブルの高精度で正確な位置決め、位置補正が可能とな
る。
第１図は従来の精密位置決め装置の正面断面図、第２図
は第１図の一部断面図、第３図は本発明に第５図は第４
図の一部断面図、第６図は第４図のモータ、タコジェネ
レータ部の拡大断面図、第７図は同要部スケール部の要
部斜視図である。 ３４・・・・・・ヲーッ ト、３５・川・・カラー、３
６・°゛・°°［甲工板、８３・・・・・・駆動系ケー
シング、８４・・用ナツト、８６・・・・・・カラー、
８６・・・・・・押え板、８７・・・・・・モータステ
ータ部、８８・川・・タコジェネレータステータ部、８
９．９０・・印・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ＷＪ
２図 ｍ 第３図 Δ！ ４／ 第５図 第６図 ３７４゜
は第１図の一部断面図、第３図は本発明に第５図は第４
図の一部断面図、第６図は第４図のモータ、タコジェネ
レータ部の拡大断面図、第７図は同要部スケール部の要
部斜視図である。 ３４・・・・・・ヲーッ ト、３５・川・・カラー、３
６・°゛・°°［甲工板、８３・・・・・・駆動系ケー
シング、８４・・用ナツト、８６・・・・・・カラー、
８６・・・・・・押え板、８７・・・・・・モータステ
ータ部、８８・川・・タコジェネレータステータ部、８
９．９０・・印・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名ＷＪ
２図 ｍ 第３図 Δ！ ４／ 第５図 第６図 ３７４゜
Claims (1)
- （１）モータ等の駆動装置をネジ機構等を用いることに
より、ベースプレート上を摺動するテーブルの位置決め
を行なう構成とし、前記駆動装置側に設置された位置検
出器と、前記テーブル側に設置された位置検出器の相方
から、前記テーブルの位置を制御する精密位置決め装置
。 ？） テーブルを摺動させる送りネジ機構は、前記駆動
装置に設けらｎるそれぞれのロータ部を前記ネジの一部
とした特許請求の範囲第１項記載の精密位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57233650A JPS59124547A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 精密位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57233650A JPS59124547A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 精密位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124547A true JPS59124547A (ja) | 1984-07-18 |
Family
ID=16958364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57233650A Pending JPS59124547A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 精密位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124547A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195418A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 位置制御方法および制御装置 |
| JPS63143609A (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-15 | Nikon Corp | 移動体の位置決め装置 |
| CN112556530A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-03-26 | 浙江省开化七一电力器材有限责任公司 | 一种用于开关柜触头盒的检测装置 |
-
1982
- 1982-12-29 JP JP57233650A patent/JPS59124547A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195418A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 位置制御方法および制御装置 |
| JPS63143609A (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-15 | Nikon Corp | 移動体の位置決め装置 |
| CN112556530A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-03-26 | 浙江省开化七一电力器材有限责任公司 | 一种用于开关柜触头盒的检测装置 |
| CN112556530B (zh) * | 2020-12-18 | 2022-04-22 | 浙江省开化七一电力器材有限责任公司 | 一种用于开关柜触头盒的检测装置 |
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