JPS59121095A - 表面音響波デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面にて表面音響波を伝搬する圧電基板と、前
記表面にて所定伝搬方向に沿って伝搬する表面波エネル
ギーを送出したり、または受けたＩ）りするトランスジ
ューサ手段とを有しており、前記トランスジューサ手段
が、伝搬通路に沿って一連の重み付はタップの作用を成
すべく配置される長さで重み付けしたインターディジタ
ル電極アレイを具え、前記タップの重み付は係数が主ロ
ーブ！・１、と、少なくとも該主ローブの前後にそれぞ
れ小口１−ブとを有する重み付は係数値の包結線に一致
し、主として、信号周波数の電位差を印加したり、また
は検出したりする一対のオーバーラツプする隣接電極の
オーバーラツプ部分か、または前記電極。

対と同様な電極対を複数個電気的に直列に配置しり電極
のオーバーラツプ部分により前記各タップを形成して、
前記伝搬方向に沿って伝搬する同相の表面音響波を変換
するようにし、かつ小さな重み付は係数に関連する数個
のタップの各々を、大１．。

きな重み付は係数に関連するタップよりも多数の前記直
列接続の電極対によって形成するようにした表面音響波
デバイスに関するものである。

斯種の表面音響波デバイスについては“’　ＩＥＥＥＩ
ｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　５ｐｅｃ：ｔａｌ：ｔｓｔ
　Ｓｅｍ１ｎａｒ　ｏｎ　ｃｏｍｐｏｎｅｎｔＰｅｒｆ
ｏｒｎａｎａｅ　ａｎｄ　Ｓｙｓｔｅｍｓ　Ａｐｐｌｉ
ｃａｔｉｏｎｓ　ｏｆ　５ｕｒｆａｃｅＡＯＯｕＳｔｉ
ＣＷａｖｅ　Ｄｅｖｉｃｅｓ”（１９７８年第１４１〜
１５１頁）におけるＲφｎｎｅｋｌｅｉＶ　Ａ、外１名
著ニヨる論文”　Ｄｅｓｉｇｎ　ｐｒｏｂｌｅｍｓ　ｉ
ｎ　５ｕｒｆａｃｅ　ｗａｖｅ　ｆｉｌｔｅｒｓ　”に
記載されている。

（８） 周知の如く、アポダイズしたインターディジタ１ル電極
アレイを用いる表面前１波フィルターはトランスバーサ
ルフィルター形態のものであり、このフィルターにおけ
る重み付はタップの作用は主として、例えば対向ブスバ
ーに接続されて反対［！−・性の信号が供給される導電
ス）　ＩＪツブ形態の対応する隣接電極対のオーバーラ
ツプ部分によって行われる。関連する重み付は係数は、
特に電極がオーバーラツプする量に依存する。

アボダイズしたトランスジューサに沿う電極がＩｌｌオ
ーバーラツプする部分の分布は、オーバーラツプ包結線
、即ちインターディジタルアレイに沿う隣接電極間の各
オーバーラツプ部分の端部を辿って描いた一対の線によ
って線図的に示すことができる。オーバーラツプ包結線
の外側の境界部はドパランスジューサの音響開口の境界
部を示す。

理想的なトランスバーサルフィルターは、フーリエ合成
およびコンピュータの最適化処理によってタップの重み
付は係数および周期性の項を計算して、所定の近似範囲
内にて所望なレスポンス特！゛性を満足させることがで
きる。その処理には、隣１接する電極対の分布およびそ
れら電極のオーバーラツプ部分の長さについての結果を
求めるのに、それ相当の捕装置および許容量を付与して
、それに対応する理想的なアボダイズーインターデイジ
・タル電極アレイを形成することができる。これがため
、電極のオーバーラツプ包結線は、トランスバーサルフ
ィルターの対応するタップに割り当てられる重み付は係
数値の包絡線を表わすものと見なすこともできる。

例えば、カラーテレビジョン装置に屡々必要とされるよ
うな、位相リプルが低くて、非常に幅広で、頂部が平坦
で、しかも側部が急峻なフィルター通過帯域の場合には
、フーリエ変換を適用することにより、重み付は係数値
の包結線が主ローブ゛の形態を成し、トランスジューサ
アレイに沿って上記主ローブの前後に、場合によっては
相当な距離にわたり一連の小ロープが延在することを推
測し得る。

重み付は係数が小さいタップは、それ相当に短パい電極
オーバーラツプ部分によって形成されることは明らかで
ある。従って、開口が数波長分の大きさのトランスジュ
ーサの場合でも、小ローブを成す多数のタップは、電極
を波長分の長さ、またはそれ以下の長さ程度オーバーラ
ツプさせること−・によって形成されることになる。こ
のことは回折理論から考察して、斯様なオーバーラツプ
部分が短い変換部に関連する表面音響波面は、トランス
ジューサに沿って音響波面が走行する距離が大きくなる
につれて、計算により想定される理想的な１・・特性を
呈さなくなる傾向にあることを意味する。

前記論文には、電極の短いオーバーラツプ部分によって
形成されるタップによる悪影響を低減させる方法が提案
されている。斯かる論文では、トランスジューサアレイ
における幾つかのタップま１・たけすべての各タップを
、一方の信号ブスバーから他方のブスバーに至るトラン
スジューサアレイ間にて、電極を同じようにオーバーラ
ツプさせて配置し、これらのオーバーラツプ電極を対に
して電気的に直列に接続することにより形成して、ア・
・レイの軸線に沿って伝搬する線形表面音響波面を１同
相に変換するようにしている。単一電極対によって形成
される重み付は係数と同じ重み付は係数を有するタップ
を形成するためには、直列に接続する各電極対のオーバ
ーラツプ部分の長さを同等・の単一電極対のオーバーラ
ツプ部分の長さとほぼ同じとする必要がある。このよう
にすれば、回折によるエネルギー拡散が低い一層平行な
ビーム成分を変換することのできる多数の同相変換素子
（即ち、オーバーラツプする逆成極の電極対）がｊ・・
アレイ開口間に分配される。

前記論文に記載されている上述したような表面音響波デ
バイスにおけるタップは各トランスジューサにて８λ。

／２および５λ。／２の距離だけ離間しており、こ＼に
λ。は通過帯域の中心周波数で゛ある。しかし、λ／２
の通常の電極間隔を採用する大きなタップ密度、従って
それ相当のタップ間隔を有するフィルターを構成しよう
とすると、測定レスポンスが、デバイスに係わる計算し
た電極構成に対する基礎として用いられる設計基準値か
′・・（７） ら逸脱してしまうと云う厄介な問題が生ずる。　゛本発
明の目的は上述した種類の表面音響波デバイスを改善す
ることにある。

本発明は冒頭にて述べた種類の表面音響波デバイスにお
いて、トランスジューサアレイをオーバ）−ラップしな
い一連のタップ群で形成し、それぞれ同数の直列接続の
前記電極対によって各々形成される複数個のタップによ
り前記各タップ群を構成し、かつｎ＞１とする場合に各
群から、直列に接続されるｎ個の異なる数の電極対でタ
ップが形１・。

成される隣りの群に至る転換部が、重み付は係数値の包
結線における対応する零点とほぼ一致すべく配置される
ようにしたことを特徴とする。

本発明はつぎのような認識に基いて成したものである。

即ち、オーバーラツプさせる電極対の数１゛を相違させ
て形成する各直列接続によって少なくとも幾つかの隣接
タップを形成するようにして、密に離間させたインター
ディジタル電極アレイを構成するのでは、転換部の両側
に隣接してそれぞれ直列に接続する電極の異なる数の縁
部間にて異ツ゛（８） なる信号電位で不所望な表面音響波変換作用が起１す、
このために斯かる転換部の個所にて不所望なタップの作
用が生じたり、または所望タップに対する重み付は係数
が不所望なものとなったりして、デバイスの応答特性を
著しく乱し、また上述した・ようなデバイスにおける斯
様な欠点は、直列に接続する興なる数の電極対間の各転
換部を、重み付は係数値の包絡線における対応する零点
の個所に位置させることにより低減または克服すること
ができ、従って所定の転換部の両側における隣接電ｌ・
・接縁部間の不所望な変換作用の正および負の成分の大
きさは比較的簡単に平衡させることができる。

図面につき本発明を説明する。

第１図に示す本発明による表面音響波デバイスは、例え
ば回転Ｙカッ）Ｘ伝搬ニオブ酸リチウム１結晶ウエハー
のような圧電体ｌを具えており、この圧電体の表面上に
は表面前１波を送り出したり、受けたりするためのアボ
ダイズした（　ａｐｏｄｉｓｅｄ　）インターディジタ
ルトランスジューサアレイ２゜８および例えばトランス
ジューサ２のような一層゛・のトランスジューサの中心
軸線１１を含むトラフ１りに沿ってこのトランスジュー
サによす送出される表面音響波エネルギーを抽出したり
、他方のトランスジューサ８の中心軸ｌ／１Ｊ１２を含
む別のトラックに沿ってそのトランスジューサの方向に
少な・くとも多少のエネルギーを表面音響波として再送
出したりするためのマルチストリップ−カップラー５を
位置させる。このよ、うにすることにより、表面波の速
度に近い速度でバルク波が走行することに起因するデバ
イスのレスポンスに及ぶ悪影響１・・を著しく低減させ
ることができる。

トランスジューサ２，８およびマルチストリップ−カッ
プラー５は、金属蒸着層から写真印刷法によって適当に
形成する。各トランスジューサ２゜８は、長さで重み付
けしたインターディジタル電極ドアレイを具えており、
このアレイにおける電極の中心から中心までの間隔はλ
。／２（こ＼にλ。はデバイスの通過帯域の中心周波数
）とし、かつ各電極は二重電極、即ち中心から中心まで
λ。／４離間させたλ。７８幅の２つの平行な電極スト
リップ２・・形態とする。一般に、各電極は各対向ブス
バー　１１４および１５または１７および１８に交互に
接続し、これらのブスバー間に信号を送給したり、また
はその間から変換電気信号を取出す。各アレイに沿って
隣接電極対がオーバーラツプしており曵各電極対はアレ
イに沿う表面音響波遅延線路に関連する重み付は係数を
有するタップを形成し、この重み付は係数は電極がオー
バーラツプする敏およびそのオーバーラツプの仕方に依
存する。

インターディジタル電極アレイ２および８の第１・ｌ−
バーラップ部分の包結線を第１１図に８および９にて示
してあり、これらの包絡線は、対応するトランスバーサ
ルフィルターコンポーネントの重み付けした等価的なタ
ップ列に関連する重み付は係数値の包結線にほぼ対応し
、上記フィルターコ・ンボーネントの作用は長さで重み
付けした各インターディジタル電極アレイ２，３によっ
てシミュレートされる。各オーバーラツプ包結線８，９
、従って重み付は係数値の対応する包結線が中央主ロー
プと相俟って、各アレイを通る表面波伝搬路−・・に沿
って主ロープの前後に分布される複数個の小ｌロープを
含むことは明らかである。

アレイ２．８はそれぞれ２つの領域から成り、これらの
各領域は対応するタップ群を包含している。アレイ２に
おける例えば第１図の線２０の右゛側の第１領域に含ま
れるタップ群の各タップは端末ブスバー１４．１５によ
り成る信号周波数の電位差で給電される対応する単一の
隣接電極対をオーバーラツプさせて形成する。アレイ２
の線２０の左側の第２領域には数個の小ロープが見られ
、１１・この第２領域に包含される別のタップ群の各タ
ップは、一方の端末ブスバー１４から他方のブスバー１
５に電気的に直列に接続されて、アレイ２の中心軸線１
１に沿って伝搬する同相の線形表面音響波面を変換する
ように配置される２つの同様なｌ・隣接電極対部分をオ
ーバーラツプさせて形成する。

本例ではアレイ２の直列接続部分２１．２２が、中央ブ
スバー２４によって形成される中間の共通直列接続部を
有している。第１図のアレイ８も同様に、各タップが単
一のオーバーラツプ電極対に！・・よって形成される主
ロープを含む第１領域と、アルレイの後方、即ち第１図
の右側で、各タップが２つのオーバーラツプ隣接電極対
の直列接続部によって形成される第２領域とを具えてい
る。

本発明によれば、オーバーラツプする隣接電極・対の数
を相違させて形成する各タップ群を含むアレイ２におけ
る第１領域と第２領域との間の線２０にて示す転換部を
、重み付は係数値に係わる包絡線における対応する零点
、即ち主ロープとアレイ後方の第１小ローブとの間の零
点とほぼ一致１・・させるべく配置する。アレイ８の転
換部も同様に対応する位置に位置させる。

第２図はアレイ２の一部を拡大して示したものであり、
これに含まれる転換部の線２０の右側に位置する第１領
域における各タップは単一の隣接に重電極対８１．８２
のオーバーラツプ部分によって形成され、これらの二重
電極は幅がλ。／８の平行な導電ストリップ３８により
形成され、しかもこれらの電極は中心から中心までの間
隔をλ。／４として、それぞれ対応する対向端末ブスバ
ー１４．・・１５に接続する。慣例の如く、各電極８１
．８２’の端部と、これら端部に対向するブスバー１５
゜１４との間の空所には同じく二重構成のダミー電極８
５．８４を充填させる。

転換部の線２０の左側の第２領域は２つのイン・ターデ
ィジタル電極アレイ２１および２２によって形成し、こ
れらのアレイは並んで配置すると共に、共通の中間ブス
バー２４を介して一方の端末ブスバー１４から他方のブ
スバー１５へと直列に接続する。この第２領域内では、
共通プスノク−１・・２４を介して直列に接続される２
対の隣接電極４１’　、　４２’と、４１’　、　４２
’のオーバーラツプ部分によって各タップを形成し、か
つこれらの各タップを、アレイ２の伝搬軸線１１に対し
て直角の方向の共通軸線４３のまわりに各電極対が対称
Ｉ゛に配置されるように位置付けて、アレイ軸ｉｉ１に
沿って伝搬する同相の表面音響波を変換するようにする
。

斯様に直列に接続する各電極対に必要とされる電極のオ
ーバーラツプ鼠は、所定のタップに対し！−て同じとし
、またその量は、端末ブスバー１４，１１５間に接続さ
れて、タップに所定の重み付は係数を与えるのに必要な
単一電極対のオーバーラツプ部分の長さともほぼ同じと
する。その理由は、各２つの直列接続対間の信号電圧が
端末ブスバー゛・間の電圧の僅か匙でも、アレイ間の全
長が単一電極対のオーパーラ２．プ部分の長さの２倍の
等測的な変換コンポーネントによってトランスジューサ
アレイとマルチカップラーとの間にて表面音響波エネル
ギーが実際上より一層有効に変換される１・・からであ
る。

アレイ２の第１領域と第２領域との間の転換部２０は、
第１および第２図における主ロープの左側の第１零点付
近に位置する。転換部２０の個所では、二重電極８２’
　、　８４／の左側縁部が二重′＃Ｌ″極４５．４４お
よび二重ダミー電極４７．４６の右側縁部に隣接して位
置する。電極８４／と４４は同じブスバー１４に接続す
るため、これらの隣接する縁部間では変換作用は起らな
い。同様に、電極８４／と４７も同じブスバー１５に接
続するた　−′（１５） め、これらの電極の隣接する縁部間でも変換作用１は起
らない。しかし、電極４５および４６は中間の共通ブス
バー２４に接続されており、しかも端末ブスバー１４と
１５との間に直列に接続する２つのアレイ２１．２２は
ほぼ同一作用をするため一共通ブスパー２４の信号電位
は端末ブスバー１４の電位とブスバー１５の電位との中
間の電位となる。従って、ブスバー１５を接地し、ブス
バー１４に信号■を印加するか、またはそのブスバー１
４に信号Ｖを発生させる場合には、ブスバー　ｌ１１２
４にＶ／２の信号が現われる。このことは、電極８４／
と４６との隣接する縁部間および電極８２／と４５との
隣接する縁部間にて逆の変換作用が起ることな意味し、
しかもこれらの合成作用の大きさおよび符号は、各電極
の隣接する縁部がオーバＩ・−ラップする部分の長さの
差に依存する。

第２図に示す例では、電極８２／および８４′を、隣接
する電極縁部の６対のオーバーラツプ部分が同じとなる
ような長さに配置して、転換部の個所におけるタップに
関連する重み付は係数の値が零！・・値となるようにす
る。

本発明によれば転換部２０を重み付は係数値の包結線に
おける対応する零点とほぼ一致させるべく配置する必要
があるも、成る所定の小さな重み付は係数値を有する転
換部の点にタップを位置させることが望まれた沙、また
はそのようにする必要性も屡々あることは明らかであり
、このようにするには隣接する電極縁部の６対のオーバ
ーラツプ部分の長さを適当に相違させてやれば可能であ
り、この場合にも前述したように、重み付は係数１を決
定するオーバーラツプ部分の長さが、端末ブスバー間の
信号電圧の僅か匙にしか関係しないことに留意すべきで
ある。

斯様なタップの形成法を第８図に線図的に示してあり、
こ＼では第１および２図に示すアレイ２１の変形例にお
ける転換部２０に隣接する個所の電極だけを示す。第２
図の場合と同様に、二重（電極）導体８２／とダミーの
二重導体＋３４／の左側の導体８８ａおよび８８Ｃの左
側の縁部分は、共通の中間ブスバー２４に接続される二
重導体４５とダミーの二重導体４６の右側縁部に隣接し
ているｂ従って、中間信号電位、即ちブスバー２４に接
続される導体４６の縁部が、ブスバー１４に接続される
導体８８Ｃとオーバーラツプし、その長さは距１１１Ａ
Ｂで示す長さであり、またブスバー２４に・接続される
導電体４５の縁部が、端末ブスバー１５に接続される導
体８８ａともオーバーラツプし、その長さは距離ＢＤに
て示す長さである。距離ＣＤを距離ＡＢと同じとなるよ
うに区切ると、オーバーラツプ部分ＡＢと（３Ｄの変換
作用は等しｌ・１＜、シかも逆の作用をするも、この際
ＢＯにて示すオーバーラツプ距離により発生される正味
の変換作用が残存し、共通ブスバー２４の低減信号電位
により上記オーバーラツプ距＠ＢＯによって転換部２０
におけるタップの重み係数が決定される８第８図には電
極８２および３４をそれぞれ形成する導体ａａａ、ａａ
ｂと８８０．８８（１（Ｄ長さを相違させたインターデ
ィジタルアレイの他の変形例も示しである。このように
することにより方形タップを主タップ列からλ／４だけ
変位させる−・・・ことができ、その方形タップの重み
付は係数はダ１ミー電８ｉｉ３４’の導体８８０と電極
８２／の導体８ａｂとの間のオーバーラツプ部分によっ
て決定される。

このようなタップは補正目的に使用することができ、所
要に応じ一連の方形タップをアレイに沿つ・て設けるこ
とができる。電極８２’とその右隣りの電極８１との間
におけるタップに対する重み付は係数は、右側の導体ｓ
ｓｂと電極３１との間のオーバーラツプ部分によって主
として決定されるも、すべてのタップの場合も同様、重
み付は係数の計１・・算に当っては最も近くの隣り合う
電極を考慮する必要があることは明らかである。

第４図は第１および２図に示すアレイ２のさらに他の変
形例を示したものであり、この例ではインターディジタ
ルアレイ２の後方部分を成す直列°゛接続各アレイ２１
および２２をさらに別の直列接続のアレイ対５１．５２
と５１３．５４に分割し、これらのアレイ対に対応する
各中間接続ブスバー５５および５６もさらにブスバー２
４の場合と同様にテーパー付きのブスバ一部分５５／、
５５’と　″・・（１９） 、５６／、５６’とに分割する。ブスバー２４のチー１
パー付き部分２４’、　２４’は外側ブスバー１４／お
よび１５／と同様に後方に延在させる。内側にテーパー
の付いているブスバーは後方に伝搬する音響表面波エネ
ルギーを所望伝搬方向に対して成る角゛・度を成して反
射せしめると共に、そのエネルギーを、通常ウェファ１
の表面上におけるアレイの能動領域、マルチストリップ
−カップラーおよび所望伝搬路以外の個所に被着する吸
収媒体１０によって殆ど分散或いは吸収せしめる。

本発明によれば、２つの直列接続アレイ２１゜２２と、
４つの直列接続アレイ５１，５２．５８および５４との
間の転換部５０な、第４図の主ロープの左側における第
２小ローブと第３小ロープとの間の零点の付近に位置さ
せる。転換部５０の］・まわりにおける電極配置につい
ては、転換部２０について前述した所と同様なことが云
える。

本発明のさらに他の例を第５図に示してあり、これは第
１図に示すデバイスにおけるアレイ２および８の代りに
用いるインターディジタルトラン−′（。

スジューサアレイ６２である。このアレイ６２は（端末
ブスバー１４と１５との間に接続した隣接電極対のオー
バーラツプ部分の包結線１８によって示すように、第１
中央区分７０を含んでおり、この区分では主ロープの両
側がタップの重み付は作・用に係わる第１小ローブに接
している。アレイ６２は、各タップが単一の隣接電極対
によって形成される中央区分７０と、各タップが同じ横
−直線上に位置付けられる８つのオーバーラツプ電極対
の直列接続により形成される後方区分７１およ１・・び
前方区分７２との間に２つの転換部６０．６１も包含し
ている。

後方区分７１は、相互接続ブスバー６６、ｆ１７によっ
て接続される直列接続の８つのインターディジタルアレ
イ６８．６４．６５により形成し、１各アレイ６８，６
４．６５のブスバーは前例と同様、内方にテーパーを付
けて、反射表面波の悪影響を低減させるようにする。本
発明によれば、第５図の主ロープの左側における第１小
ロープと第２小ロープとの間における重み付は係数配分
の零□・・点付近に転換部６０を位置させる。

本例では前方区分７２も、各相互接続ブスバー７７およ
び７８を介して端末ブスバー１４と１５との間に接続さ
れる直列接続の８つのインターディジタルアレイ７４，
７５．７６に細分割する。−・前方区分７２におけるブ
スバー１４．１５．７７゜７８は、その区分の前方部分
へ向けて平行とし、この前方部分では速度区分７９の境
界部を成す密に隣接させた接地ブスバーに平行となるよ
うに前記ブスバー１４　、１５　、フ７１７８にテーパ
ーをＩｌｌ付け、前記速度整合区分７９を英国特許願第
８２１１２４８号に記載されている装置のように、接地
ダミー導体で満たすと共に、この整合区分のマルチスト
リップカップラー５に隣接する通信端部をカップラーの
導体と平行にして、信号搬送導体１゛の電気的に不平衡
な前方縁部による不都合な変換作用を低減させるように
する。

第５図に示す表面音響波デバイスでは、アレイが対称と
なると云う利点がある。実際上、第１または４図に示す
デバイスもアレイの前方部分を単！・・に細分すること
によって対称にすることができるｂ本発明によれば、１
対２．２対４または１対８以外の異なる数の電極対間の
転換部を、重み付は係数配分における適当な零点の位置
付近に配置することもでき、また中央の主ロープを所要
に応じ直−・列接続の電極対で形成されるタップによっ
て形成することもできることは明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による表面音智波デバイスの一例を示す
線図； 第２図は第１図におけるトランスジューサアレイの一部
を拡大して示す線図１ 第８図は第２図の変形例を示す線図１ 第４図は第１図の変形例の一部を示す線図１第５図は本
発明のさらに他の例のアレイ形成部Ｉ・分を示す線図で
ある。 １・・・圧電体 ２．８・・・トランスジューサアレイ ５・・・マルチストリップカップラー ８．９・・・電極がオーバーラツプする部分の包結線！
・、１０・・・表面音響波吸収媒体 １４、１５．１７．１８・・・ブスバー２０・・・転換
部の線 ２１、２２・・・アレイの直列接続部分２４・・・中間
ブスバー。 ＜　２５１　　　　　　　　　６７７−（２４）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　表面にて表面音響波を伝搬する圧電基板と、前記表
   面にて所定伝搬方向に沿って伝搬する表面波エネルギー
   を送出したり、または受けたりするトランスジューサ手
   段とを有しており、前記トランスジューサ手段が、伝搬
   通路に沿って一連の重み付はタップの作用を成すべく配
   置される長さで重み付けしたインターディジタル電極ア
   レイを具え、前記タップの重み付は係数が主ロープと、
   少なくとも該主ロープの前後にそれぞれ小ローブとを有
   する重み付は係数値の包絡線に一致し、主として、信号
   周波数の電位差を印加したり、または検出したりする一
   対のオーバーラツプする隣接電極のオーバーラツプ部分
   か、または前記電極対と同様な電極対を複数個電気的に
   直列に配置した電極のオーバーラツプ部分により前記各
   タップを形成して、前記伝搬方向に沿つ−て伝搬する同
   相の表面音響波を変換するよう１にし、かつ小さな重み
   付は係数に関連する数個のタップの各々を、大きな重み
   付は係数に関連するタップよりも多数の前記直列接続の
   電極対によって形成するようにした表面音響波デバイス
   において、トランスジューサアレイをオーバーラツプし
   ない一連のタップ群で形成し、それぞれ同数の直列接続
   の前記電極対によって各々形成される複数個のタップに
   より前記各タップ群を構成し、かつｎ＞１と１・・する
   場合に各群から、直列に接続されるｎ個の異なる数の電
   極対でタップが形成される隣りの群に至る転換部が、重
   み付は係数値の包結線における対応する零点とほぼ一致
   すべく配置されるようにしたことを特徴とする表面１音
   響波デバイス。 区　特許請求の範囲ｌ記載の表面音響波デバイスにおい
   て、前記タップ群における直列接続する電極対を対応す
   る共通の相互接続ブスバーを介して直列に接続すること
   を特徴とする特許表面音響波デバイス。 ＆　特許請求の範囲１または２に記載の表面音響波デバ
   イスにおいて、トランスジューサアレイが中央主ローブ
   のまわりに前記タップ群の対称配置を具えるようにした
   ことを特徴と５する表面音響波デバイス。 ４　特許請求の範囲１〜８のいずれか１つに記載の表面
   音響波デバイスにおいて、所定の小さな重み付は係数を
   有するタップを前記転換部に位置させるようにしたこと
   を特徴とする１、。 表面音響波デバイス。