JPS59119467A - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
- Publication number
- JPS59119467A JPS59119467A JP57227131A JP22713182A JPS59119467A JP S59119467 A JPS59119467 A JP S59119467A JP 57227131 A JP57227131 A JP 57227131A JP 22713182 A JP22713182 A JP 22713182A JP S59119467 A JPS59119467 A JP S59119467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- pattern
- image
- image processing
- unnecessary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/10—Segmentation; Edge detection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は画像処理装置に関し、特に、処理される画像の
うちの不要データを除去する処理の高効−芯化を１Δっ
たものである。
うちの不要データを除去する処理の高効−芯化を１Δっ
たものである。
＝一般゛に、コンピュータにより画像処理を行う画像処
理装置において、そのコンピュータは広い領域にわたっ
て画像を処理し、大量のデータを扱うために、長い処理
時間を必要とする。そこで、所−望の画像処理を行う前
段階として、処理される画像のうちの不要データを除去
して処理領域を小さくし、以て処理時間を短縮する処理
（以下、前処理と訂う）を行っている。。
理装置において、そのコンピュータは広い領域にわたっ
て画像を処理し、大量のデータを扱うために、長い処理
時間を必要とする。そこで、所−望の画像処理を行う前
段階として、処理される画像のうちの不要データを除去
して処理領域を小さくし、以て処理時間を短縮する処理
（以下、前処理と訂う）を行っている。。
従来のこの種画像処理装置においては、第１ＵＡに示す
ように、画像の視野を示す線１の内側にマスク線２を設
け、視野線ｌとマスク線２とにより囲まれる領域を取り
除くことによって［ｊｉＪ処理を行っていた。例えば、
ここて、３，４．５および８を検査対象のパターンとし
、そのうちパターン４および５を画像処理に係るデータ
、パターン３および６を不要データとして前処理を施す
場合、マスク線２を図示のように設定すれば、パターン
６のデータは完全に除去できる。
ように、画像の視野を示す線１の内側にマスク線２を設
け、視野線ｌとマスク線２とにより囲まれる領域を取り
除くことによって［ｊｉＪ処理を行っていた。例えば、
ここて、３，４．５および８を検査対象のパターンとし
、そのうちパターン４および５を画像処理に係るデータ
、パターン３および６を不要データとして前処理を施す
場合、マスク線２を図示のように設定すれば、パターン
６のデータは完全に除去できる。
しかしながら、パターン３の画像の−ｒａ＋はマスク線
２の内側にデータとして残留するので、コンピュータは
この不要δ１（分についてもデータ処理を強いられるこ
とになる。そこで、従来はマスク線２より小さくマスク
線２゛を設定し、パターン３を除去する処理を行ってい
たが、これによると心変なデータであるパターン５をも
除去することになる。従って、このようにマスク線を小
さくして不要データを取り除くためには、必要なパター
ンを予め画面中央部のパターン４の位置に移動せねばな
らず、そのためには他のセンサを伺加する必要が生じ、
画像処理装置が高価になら−ざるを得なかった。
２の内側にデータとして残留するので、コンピュータは
この不要δ１（分についてもデータ処理を強いられるこ
とになる。そこで、従来はマスク線２より小さくマスク
線２゛を設定し、パターン３を除去する処理を行ってい
たが、これによると心変なデータであるパターン５をも
除去することになる。従って、このようにマスク線を小
さくして不要データを取り除くためには、必要なパター
ンを予め画面中央部のパターン４の位置に移動せねばな
らず、そのためには他のセンサを伺加する必要が生じ、
画像処理装置が高価になら−ざるを得なかった。
すなわち、従来の画像処理装置においては、前処理に際
し、マスク線を設定しても除去不能な不要データが残留
する問題点が生じ、その問題点を除くためにマスク面を
ぎらに狭く設定すると、必要データについて新たに位置
決めをしなければならない問題点があった。
し、マスク線を設定しても除去不能な不要データが残留
する問題点が生じ、その問題点を除くためにマスク面を
ぎらに狭く設定すると、必要データについて新たに位置
決めをしなければならない問題点があった。
本発明は」二連の問題点に鑑みてなされたもので、その
目的は、不要データをすべて取り除く前処理を施し、処
理領域を減少させて処理速度を高めることによって、画
像処理を効率よく行うことかでさるようにした画像処理
装置を提供することにある。
目的は、不要データをすべて取り除く前処理を施し、処
理領域を減少させて処理速度を高めることによって、画
像処理を効率よく行うことかでさるようにした画像処理
装置を提供することにある。
かかる目的を達成するために、本発明は、少なくとも１
つの検査対象およびその周辺の第１の領域の画像を撮影
するカメラと、画像を画像情報として記憶する記憶手段
と、記憶手段に記憶された画像情報を処理する画像処理
手段とを具え、第１の領域内には少なくとも１つの検査
対象を含むように第２の領域を規定するマスク線を設定
し、第２の領域内の画像について、 少なくとも１つの検査対象をそれぞれ区別する第１の手
段と、不要部分を少なくとも１つの検査対象と区別する
第２の手段と、マスク線に接触または交わる部分を不要
部分にする第３の手段と、少なくとも１つの検査対象の
大きさから推定してマスク線に接触または交わることが
明らかな部分を不要部分とする第４の手段と、不要部分
に接触する部分とする第５の手段とを有し、 第１ないし第５のいずれかの手段を用いて少なくとも１
つの検査対象に対応した画像情報のみを画像処理手段に
よって処理するようにしたものである。
つの検査対象およびその周辺の第１の領域の画像を撮影
するカメラと、画像を画像情報として記憶する記憶手段
と、記憶手段に記憶された画像情報を処理する画像処理
手段とを具え、第１の領域内には少なくとも１つの検査
対象を含むように第２の領域を規定するマスク線を設定
し、第２の領域内の画像について、 少なくとも１つの検査対象をそれぞれ区別する第１の手
段と、不要部分を少なくとも１つの検査対象と区別する
第２の手段と、マスク線に接触または交わる部分を不要
部分にする第３の手段と、少なくとも１つの検査対象の
大きさから推定してマスク線に接触または交わることが
明らかな部分を不要部分とする第４の手段と、不要部分
に接触する部分とする第５の手段とを有し、 第１ないし第５のいずれかの手段を用いて少なくとも１
つの検査対象に対応した画像情報のみを画像処理手段に
よって処理するようにしたものである。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明画像処理装置の構成の一例を示し、ここ
で、１１は検査対象を撮影するテレビカメラ、１２はそ
のテレビカメラ１１が読取った映像をディジタル量のデ
ータに変換する２値化回路、１３は２ イ＋ｆｉ化され
たデータから検査対象のパターンのセグメントデータを
抽出する抽出回路、１４はデー画像メモリ１４には、あ
るパターンについて、その水平走査方向の線分の垂直走
査方向（Ｙ方向）の位置、水射走査方向（×方向）の左
端位置および右端位置の情報を順次格納し、ＣＰｔ１１
５は、そのパターンを構成する各線分について、それら
の位置情報を比較することによってそのパターンを認識
する。例えば、第３図に示すように、画像メモリ１４に
は、１回の水平走査によって現われる線分文ｌ−文４毎
の情報、すなわち、ある線分を含むバクーン番号Ｎ、ｉ
Ｍ分の左端位置（座標ＸＩ、）および右端位置（座標Ｘ
Ｒ）を書込むテーブルを設け、垂１１に走査方向のある
座標ＹＮと次回の水平走査を行う座標ＹＮ＋１とについ
て、各水平走査線毎にそれら情報を格納してゆく。座標
ＹＮ−１において水平走査を行う場合には、座標ＹＮに
おける水平走査によりパターン番号Ｎは既に明らかであ
るので、各テープルの水平走査方向の情報を比較するこ
とによって、各線分にパターン番号Ｎを付してゆく。Ｃ
ＰＵ１５はそのパターン番号Ｎによりパターンのデータ
の要および不要を判定し、必要と判定したパターンにつ
いてのみ画像処理を施す。
で、１１は検査対象を撮影するテレビカメラ、１２はそ
のテレビカメラ１１が読取った映像をディジタル量のデ
ータに変換する２値化回路、１３は２ イ＋ｆｉ化され
たデータから検査対象のパターンのセグメントデータを
抽出する抽出回路、１４はデー画像メモリ１４には、あ
るパターンについて、その水平走査方向の線分の垂直走
査方向（Ｙ方向）の位置、水射走査方向（×方向）の左
端位置および右端位置の情報を順次格納し、ＣＰｔ１１
５は、そのパターンを構成する各線分について、それら
の位置情報を比較することによってそのパターンを認識
する。例えば、第３図に示すように、画像メモリ１４に
は、１回の水平走査によって現われる線分文ｌ−文４毎
の情報、すなわち、ある線分を含むバクーン番号Ｎ、ｉ
Ｍ分の左端位置（座標ＸＩ、）および右端位置（座標Ｘ
Ｒ）を書込むテーブルを設け、垂１１に走査方向のある
座標ＹＮと次回の水平走査を行う座標ＹＮ＋１とについ
て、各水平走査線毎にそれら情報を格納してゆく。座標
ＹＮ−１において水平走査を行う場合には、座標ＹＮに
おける水平走査によりパターン番号Ｎは既に明らかであ
るので、各テープルの水平走査方向の情報を比較するこ
とによって、各線分にパターン番号Ｎを付してゆく。Ｃ
ＰＵ１５はそのパターン番号Ｎによりパターンのデータ
の要および不要を判定し、必要と判定したパターンにつ
いてのみ画像処理を施す。
このように前処理を行うにあたっては、以下の点を考応
する。
する。
（１）各パターンには、走査過程での出現順に°“Ｉ”
、”２”、・・・、”Ｎ”のように番号をイ・］す。
、”２”、・・・、”Ｎ”のように番号をイ・］す。
（２）不要パターンは、そのパターン番号を０“とする
。
。
（３）マスク線に接触または交わる線分を含むパターン
は不要パターンとして、パターン番号を”ｏ“′とする
。
は不要パターンとして、パターン番号を”ｏ“′とする
。
（４）走査過程の所定の座標ＹＬにおいて新たなパター
ンが出現しても、処理対象であるパターンの寸法から４
ｆｌｉ定して、そのパターンが垂直走査方向下方のマス
ク線に接触または交わることが明らかである場合には、
そのパターンを不要として、パターン番号を°゛０′′
とする。
ンが出現しても、処理対象であるパターンの寸法から４
ｆｌｉ定して、そのパターンが垂直走査方向下方のマス
ク線に接触または交わることが明らかである場合には、
そのパターンを不要として、パターン番号を°゛０′′
とする。
（５）不要パターンに接触している線分は不要パターン
に含まれるものとする。
に含まれるものとする。
本発明画像処理袋４は、それら５項目について前処理を
行い、不要パターンと判断したデータすなわち、ＣＰＵ
１５がパターン番号を°°０゛と判断したデータについ
てはその後の画像処理を行わないようにする。
行い、不要パターンと判断したデータすなわち、ＣＰＵ
１５がパターン番号を°°０゛と判断したデータについ
てはその後の画像処理を行わないようにする。
第４図は本発明画像処理装置を用いて半導体チップを検
査する場合の前処理を説明する図であり、ここで、検査
対象である一辺の長さがＬの圧力形状の半導体チップの
パターンＣ１，Ｃ２，・・・、Ｃ９のうち、Ｃ１のみを
必要データとして前処理を行うものとする。
査する場合の前処理を説明する図であり、ここで、検査
対象である一辺の長さがＬの圧力形状の半導体チップの
パターンＣ１，Ｃ２，・・・、Ｃ９のうち、Ｃ１のみを
必要データとして前処理を行うものとする。
パターンＣ１の正方形が画面ｌ上に現われる角度および
位置は不定であって、従来装置におけるマスク線２の縮
小による前処理を施すことは明らかにイη・策ではない
。これに対し、本発明装置によってかかるパターンを処
理するに、まず、上述の処理（３）によってパターンＣ
２、Ｃ３、・・・、Ｃ６が除去される。ざらに、破線Ｙ
しより下では、新たにパターンが出現しても、そのパタ
ーンが下刃のマスク線に接触または交わることが明らか
であるので、処理（４）によってパターン０７．Ｃ８，
１；１３が除去される。この前処理の結果、画像処理に
かかるパターンＣ１のみが残留し、処理領域が減少する
ことになる。
位置は不定であって、従来装置におけるマスク線２の縮
小による前処理を施すことは明らかにイη・策ではない
。これに対し、本発明装置によってかかるパターンを処
理するに、まず、上述の処理（３）によってパターンＣ
２、Ｃ３、・・・、Ｃ６が除去される。ざらに、破線Ｙ
しより下では、新たにパターンが出現しても、そのパタ
ーンが下刃のマスク線に接触または交わることが明らか
であるので、処理（４）によってパターン０７．Ｃ８，
１；１３が除去される。この前処理の結果、画像処理に
かかるパターンＣ１のみが残留し、処理領域が減少する
ことになる。
以上説明してきたように、本発明によれば、画像のうち
の不要データを完全に除去する前処理を施すことができ
るように画像処理装置を構成したので、処理領域か格段
に減少し、以て画像処理を高速度に、しかも効率よく行
うことができる効果が得られる。
の不要データを完全に除去する前処理を施すことができ
るように画像処理装置を構成したので、処理領域か格段
に減少し、以て画像処理を高速度に、しかも効率よく行
うことができる効果が得られる。
なお、本発明画像処理袋；６．は、画面上に複数の同一
形状もしくは異なる形状のパターンが現われている場合
に、そのうちのいずれかを除去する処理を必要とするあ
らゆる分野に広く適用することができ、特に、視覚によ
って検査および組立てを行う産業ロボットに用いても好
適である。
形状もしくは異なる形状のパターンが現われている場合
に、そのうちのいずれかを除去する処理を必要とするあ
らゆる分野に広く適用することができ、特に、視覚によ
って検査および組立てを行う産業ロボットに用いても好
適である。
第１図は従来の画像処理装置における前処理の手順を説
明する説明図、第２図は本発明画像処理装置の構成の一
例を示すブロック図、第３図はその画像メモリに格納す
る画像処理情報の格納手順を説明する説明図、第４図は
本発明画像処理装置を用いて半導体チップを検査する場
合の前処理を説明する説明図である。 ｌ・・・画像の視野を示す線、 ２．２゛・・・マスク線、 ３．４，５．６・・・検査対象のパターン、１１・・・
カメラ、 １２・・・２値化回路。 １３・・・データ抽出回路、 １４・・・画像メモリ、 １５・・・ＣＰＵ、 １；Ｉ、Ｃ：２．・・・、１３８・・・半導体チップの
パターン、Ｌ・・・寸法。 第１図 １ 第２図 第３図 Ｃ７Ｃ８
明する説明図、第２図は本発明画像処理装置の構成の一
例を示すブロック図、第３図はその画像メモリに格納す
る画像処理情報の格納手順を説明する説明図、第４図は
本発明画像処理装置を用いて半導体チップを検査する場
合の前処理を説明する説明図である。 ｌ・・・画像の視野を示す線、 ２．２゛・・・マスク線、 ３．４，５．６・・・検査対象のパターン、１１・・・
カメラ、 １２・・・２値化回路。 １３・・・データ抽出回路、 １４・・・画像メモリ、 １５・・・ＣＰＵ、 １；Ｉ、Ｃ：２．・・・、１３８・・・半導体チップの
パターン、Ｌ・・・寸法。 第１図 １ 第２図 第３図 Ｃ７Ｃ８
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも１つの検査対！４．８よひその周辺の第１の
領域の画像を撮影するカメラと、前記画像を画像情報と
して記憶する記憶手段と、該記ｔα手段に記憶された画
像情報を処理する画像処理手段とを具え、 前記第１の領域内には前記憶なくとも１つの検査対象を
含むように第２の領域を規定するマスク線を設定し、前
記第２の領域内の画像について、 前記憶なくとも１つの検査対象をそれぞれ区別する第１
の手段と、不要部分をｍ記憶なくとも１つの検査対象と
区別する第２の手段と、前記マスク線に接触または交わ
る部分を不要部分とする第３の手段と、前記憶なくとも
１つの検査対象の大きさからａ定して前記マスク線に接
触または交ゎることが明らかな部分を不要部分とする第
４の手段と、前記不要部分に接触する部分を不要部分と
する第５の手段とを有し、 前記第１ないし第５のいずれかの手段を用いて前記憶な
くとも１つの検査対象に対応したｉｉｊ記画（ｔ ＋ｉ
！ｉ報のみを前記画像処理手段によって処理するように
したことを特徴とする画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57227131A JPS59119467A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57227131A JPS59119467A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 画像処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119467A true JPS59119467A (ja) | 1984-07-10 |
Family
ID=16855956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57227131A Pending JPS59119467A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119467A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61174890A (ja) * | 1985-01-29 | 1986-08-06 | Nichiden Mach Ltd | 画像安定化回路 |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP57227131A patent/JPS59119467A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61174890A (ja) * | 1985-01-29 | 1986-08-06 | Nichiden Mach Ltd | 画像安定化回路 |
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