JPS59114403A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPS59114403A JPS59114403A JP58231616A JP23161683A JPS59114403A JP S59114403 A JPS59114403 A JP S59114403A JP 58231616 A JP58231616 A JP 58231616A JP 23161683 A JP23161683 A JP 23161683A JP S59114403 A JPS59114403 A JP S59114403A
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- Japan
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41092—References, calibration positions for correction of value position counter
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Transplanting Machines (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、スケールの目盛に沿って設けられかつ目盛に
絶対的に付設されている参照マークを有し、その参照マ
ークで走査ユニットと協働して再生可能な電気的パルス
を発生し、そのパルスが測定装置の電子計数器と制御装
置またはこれらのうちの一方を作用させるようになって
いる測定装置、特にインクレメンタル測定装置に関する
。
絶対的に付設されている参照マークを有し、その参照マ
ークで走査ユニットと協働して再生可能な電気的パルス
を発生し、そのパルスが測定装置の電子計数器と制御装
置またはこれらのうちの一方を作用させるようになって
いる測定装置、特にインクレメンタル測定装置に関する
。
この種の測定装置では、参照マークに発生した制御パル
スを種々の仕方で、例えば計数器のゼロ位置を再生する
ために、また一定の位置にもたらして測定を開始するた
めに、干渉パルスを制御するために、ならびに出口側で
接続された制御装置を作用させるだめに用いることがで
きる。
スを種々の仕方で、例えば計数器のゼロ位置を再生する
ために、また一定の位置にもたらして測定を開始するた
めに、干渉パルスを制御するために、ならびに出口側で
接続された制御装置を作用させるだめに用いることがで
きる。
ドイツ特許明細書２５４０４１２からインクレメンタル
測定装置が公知であり、この測定装置では、スケールの
上Ｋ、すでに目盛を作るときに、相互に固定した間隔で
一列の参照マークが設けられ、そして少な（とも一つの
選択要素がスケール自体の上でまたはそのすぐ近くで溝
内を摺動可能に配置されている。選択要素にょシーっま
たは複数の参照マークを選択してその都度スイッチ手段
と協働させることができるが、そのために測定過程の際
に作用しなければならない各参照マークには、走査ユニ
ットが通過するときにそこに取りつけられた電気的スイ
ッチを制御する磁石が付設され、そのスイッチの電気的
出口が走査ユニットの電気的出口と共に電子的構造ユニ
ットに配置され、この電子的構造ユニットは、走査ユニ
ットの出口とスイッチの出口で同時に電気信号が隣接す
るときにのみ、電子的構造ユニットの出口で制御パルス
を発信する。
測定装置が公知であり、この測定装置では、スケールの
上Ｋ、すでに目盛を作るときに、相互に固定した間隔で
一列の参照マークが設けられ、そして少な（とも一つの
選択要素がスケール自体の上でまたはそのすぐ近くで溝
内を摺動可能に配置されている。選択要素にょシーっま
たは複数の参照マークを選択してその都度スイッチ手段
と協働させることができるが、そのために測定過程の際
に作用しなければならない各参照マークには、走査ユニ
ットが通過するときにそこに取りつけられた電気的スイ
ッチを制御する磁石が付設され、そのスイッチの電気的
出口が走査ユニットの電気的出口と共に電子的構造ユニ
ットに配置され、この電子的構造ユニットは、走査ユニ
ットの出口とスイッチの出口で同時に電気信号が隣接す
るときにのみ、電子的構造ユニットの出口で制御パルス
を発信する。
ドイツ特許明細書３０３７８１０には、同様にスケール
の百嚢に沿って設けられた参照マークを有すルインクレ
メンタル測定装置が記載されておシ、この装置では参照
マークの選択がオプトエレクトロ二ック装置により行わ
れる。例えば光源の形態の選択要素が、選択された参照
マークに一致するだめにスケール担持体の溝内を摺動可
能である。走査ユニットが通過したときに選択要素の光
が、走査ユニットに配置された光要素を作用させるので
、関連する参照マークが作用することになる。選択され
た参照マークに一致させるために選択要素を溝内を摺動
させることは、走査ユニットの連行部材によっても行う
ことができる。
の百嚢に沿って設けられた参照マークを有すルインクレ
メンタル測定装置が記載されておシ、この装置では参照
マークの選択がオプトエレクトロ二ック装置により行わ
れる。例えば光源の形態の選択要素が、選択された参照
マークに一致するだめにスケール担持体の溝内を摺動可
能である。走査ユニットが通過したときに選択要素の光
が、走査ユニットに配置された光要素を作用させるので
、関連する参照マークが作用することになる。選択され
た参照マークに一致させるために選択要素を溝内を摺動
させることは、走査ユニットの連行部材によっても行う
ことができる。
このようなインクレメンタル測定装置は、例えば機械部
品の相対位置を測定するだめの処理機械で使用される。
品の相対位置を測定するだめの処理機械で使用される。
しかしながら、このような機械で発生する振動によシ選
択要素が溝内を変位することになり得るので、選択要素
が選択された参照マークに明白に一致すること、および
参照マークの作用発生とがもはや保証されない。
択要素が溝内を変位することになり得るので、選択要素
が選択された参照マークに明白に一致すること、および
参照マークの作用発生とがもはや保証されない。
参照マークが接近して＠接している場合に、選択要素が
このように変位すると、間違った参照マークが作用する
ことになシ得るので、計数器で誤った制御作動、例えば
ゼロ電圧作動が解放され、そのため誤った測定結果にな
る。従って、走査ユニットの移動方向に摺動可能な選択
要素を、その都度選択された参照マークに関して再生可
能な位置に固定できなければならない。その他、磁石の
形態の選択要゛素が強く金属屑を引きつけ、それを除去
するのが困難である。同様に、光源、鏡またはプリズム
の形態の選択要素から別の夾雑物を除去する作業を実行
子るのも簡単ではない。
このように変位すると、間違った参照マークが作用する
ことになシ得るので、計数器で誤った制御作動、例えば
ゼロ電圧作動が解放され、そのため誤った測定結果にな
る。従って、走査ユニットの移動方向に摺動可能な選択
要素を、その都度選択された参照マークに関して再生可
能な位置に固定できなければならない。その他、磁石の
形態の選択要゛素が強く金属屑を引きつけ、それを除去
するのが困難である。同様に、光源、鏡またはプリズム
の形態の選択要素から別の夾雑物を除去する作業を実行
子るのも簡単ではない。
本発明は、このような測定装置において、参照マークを
簡単にかつ誤差動なく選択できるようにすることを課題
の基礎としている。
簡単にかつ誤差動なく選択できるようにすることを課題
の基礎としている。
この課題は、本発明によシ特許請求の範囲第１項の特徴
事項により解決される。
事項により解決される。
本発明で達成される利点は、特に、別々の選択要素、す
なわち選択要素を摺動させるための案内溝ならびに選択
要素を関連する参照マークに明白に一致させるだめの固
定要素を々くすることができることにあシ、それにより
そのような測定装置の簡単でしかも経済的な構成が”得
られる。参照マークを間違いなく選択することによシ、
測定システムおよびこれと接続された機械の作動の安全
度をさらに高めることができる。
なわち選択要素を摺動させるための案内溝ならびに選択
要素を関連する参照マークに明白に一致させるだめの固
定要素を々くすることができることにあシ、それにより
そのような測定装置の簡単でしかも経済的な構成が”得
られる。参照マークを間違いなく選択することによシ、
測定システムおよびこれと接続された機械の作動の安全
度をさらに高めることができる。
さらに、夾雑物を簡単な仕方で除去することができる。
本発明の有利な発展例は実施態様項に記載しである。
以下、本発明の実施例を図面によシ詳細に説明する。
第１図には、スケール１ａと走査ユニット２とからなる
光電的インクレメンタル長さ測定装置を概略的に示す。
光電的インクレメンタル長さ測定装置を概略的に示す。
スケール１ａと走査ユニット２はそれぞれ、図示して・
丞）仕方で処理機械の被測定物体と接続されている。ス
ケール１ａには直線格子（第２図）の形態の目盛３ａが
施されており、直線格子は入射光で光電的に接触せずに
走査ユニット２により走査される。目盛３ａに沿ってス
ケール１ａには一列の等間隔の参照マーク４ａが設けら
れており、これらの参照マーク４ａはそれぞれ、一定の
直線分割を有する直線群からなる。
丞）仕方で処理機械の被測定物体と接続されている。ス
ケール１ａには直線格子（第２図）の形態の目盛３ａが
施されており、直線格子は入射光で光電的に接触せずに
走査ユニット２により走査される。目盛３ａに沿ってス
ケール１ａには一列の等間隔の参照マーク４ａが設けら
れており、これらの参照マーク４ａはそれぞれ、一定の
直線分割を有する直線群からなる。
目盛３ａの走査によ多発生した周期的な走査信号は、走
査ユニット２で増幅されて矩形波信号Ｔ１．Ｔ２に変換
されるが、電気的導体５，６を介して、測定値をデジタ
ルの形態に示す電子計数器７を制御する。目盛３ａの格
子定数の四分の−だけ互に位相がずらされた矩形波信号
Ｔ１．Ｔ２は走査方向の区別に役立つ。参照マーク４ａ
で発生した信号が走査ユニット２で増幅され、矩形波信
号ＳＢに変換され、そして導体１１を介して電子構造ユ
ニット８に給送される。
査ユニット２で増幅されて矩形波信号Ｔ１．Ｔ２に変換
されるが、電気的導体５，６を介して、測定値をデジタ
ルの形態に示す電子計数器７を制御する。目盛３ａの格
子定数の四分の−だけ互に位相がずらされた矩形波信号
Ｔ１．Ｔ２は走査方向の区別に役立つ。参照マーク４ａ
で発生した信号が走査ユニット２で増幅され、矩形波信
号ＳＢに変換され、そして導体１１を介して電子構造ユ
ニット８に給送される。
本発明により、第２図による参照マーク４ａに沿って、
個々の参照マーク４ａに付設された磁気的選択情報９ａ
を含む磁化可能な層からなるトラック１４ａが設けられ
ており、選択情報９ａは走査ユニット２の要素１０によ
シ走査されることにより、関連する参照マーク４ａを選
択して測定過程のために作用させる。走査ユニット２が
選択された参照マーク４ａに接近すると、トラック１４
ａ上の関連する磁気的選択情報９ａが例えばフィールド
（磁界）板または音要素の形態の要素１０を制御し、そ
の出力信号ＳＲが導体１２で同様に電子的構造ユニット
８に給送される。信号ＳＢ、ＳＲが導体１１．１２で同
時に電子的構造ユニット８の入口で隣接するときにのみ
、その出力導体１３で信号ＳＢ′が電子計数器７に給送
され、それによシミ子計数器７が例えば数値ゝ゛ゼロに
設定される。
個々の参照マーク４ａに付設された磁気的選択情報９ａ
を含む磁化可能な層からなるトラック１４ａが設けられ
ており、選択情報９ａは走査ユニット２の要素１０によ
シ走査されることにより、関連する参照マーク４ａを選
択して測定過程のために作用させる。走査ユニット２が
選択された参照マーク４ａに接近すると、トラック１４
ａ上の関連する磁気的選択情報９ａが例えばフィールド
（磁界）板または音要素の形態の要素１０を制御し、そ
の出力信号ＳＲが導体１２で同様に電子的構造ユニット
８に給送される。信号ＳＢ、ＳＲが導体１１．１２で同
時に電子的構造ユニット８の入口で隣接するときにのみ
、その出力導体１３で信号ＳＢ′が電子計数器７に給送
され、それによシミ子計数器７が例えば数値ゝ゛ゼロに
設定される。
第３図によれば、フィルム製のトラック１４ｂに参照マ
ーク４ｂに沿って磁化可能なフィールド１５が設けられ
ており、これらのフィールドはそれぞれ個々の参照マー
ク４ｂに付設されていてかつ磁気的選択情報９ｂを含み
、これらの選択情報が走査ユニット２の要素１０により
選択されることによシ、関連する参照マーク４ｂを選択
して測定過程のために作用させる。
ーク４ｂに沿って磁化可能なフィールド１５が設けられ
ており、これらのフィールドはそれぞれ個々の参照マー
ク４ｂに付設されていてかつ磁気的選択情報９ｂを含み
、これらの選択情報が走査ユニット２の要素１０により
選択されることによシ、関連する参照マーク４ｂを選択
して測定過程のために作用させる。
選択された参照マーク４のだめの選択情報９を走査ユニ
ット２の要素１０によりトラック１４に記録し、かつも
はや必要とされない参照マーク４のだめの選択情報９を
トラック１４で消すのが特に好都合である。要素１０が
この目的のだめに、記録要素、消滅要素および読取り要
素からなる磁気ヘッドを有する。選択された参照マーク
４に関して選択情報９を記録するだめに、走査コーニッ
ト２がこの参照マーク４へ搬送され、そして走査ユニッ
ト２で参照・（ルスが発生するときに記録要素により選
択情報９がトラック１４に記録要素により選択情報９が
トラック１４に記録される。同様にして、もはや必要と
されないトラック１４の選択情報９が消されるときには
消滅要素により行われる。かくして、トラック１４に対
して選択情報９を記録したシする作業は、測定装置が使
用される例えば処理機械の処理プログラムに依りプログ
ラム制御して行うことができる。また、選択情報をトラ
ックに対して記録したり消したシする作業は、手動で任
意に行うこともできる。
ット２の要素１０によりトラック１４に記録し、かつも
はや必要とされない参照マーク４のだめの選択情報９を
トラック１４で消すのが特に好都合である。要素１０が
この目的のだめに、記録要素、消滅要素および読取り要
素からなる磁気ヘッドを有する。選択された参照マーク
４に関して選択情報９を記録するだめに、走査コーニッ
ト２がこの参照マーク４へ搬送され、そして走査ユニッ
ト２で参照・（ルスが発生するときに記録要素により選
択情報９がトラック１４に記録要素により選択情報９が
トラック１４に記録される。同様にして、もはや必要と
されないトラック１４の選択情報９が消されるときには
消滅要素により行われる。かくして、トラック１４に対
して選択情報９を記録したシする作業は、測定装置が使
用される例えば処理機械の処理プログラムに依りプログ
ラム制御して行うことができる。また、選択情報をトラ
ックに対して記録したり消したシする作業は、手動で任
意に行うこともできる。
さらに、スケール１は磁化可能な材料、特に鋼からなる
こともできる。選択情報をトラックに容量的にまたは誘
導的に記録することもできる。
こともできる。選択情報をトラックに容量的にまたは誘
導的に記録することもできる。
本発明は、インクレメンタルトラックを有する絶対的測
定装置（コード送信機）の場合にも有意に使用すること
ができる。
定装置（コード送信機）の場合にも有意に使用すること
ができる。
本発明は光電測定装置に限定されないで、磁気的、誘導
的および容量的測定装置の場合にも成巧裡に使用できる
。
的および容量的測定装置の場合にも成巧裡に使用できる
。
第１図はインクレメンタル長さ測定装置の概略図、第２
図は長さ測定装置のスケールを示す図、第３図は本発明
の特徴を有する別のスケールを示す図である。 １・・・スケール ２・・・走査ユニット３・・
・目盛 ４・・・参照マーク７・・・電子計
数器 ９・・・選択情報１０・・・走査ユニットの
要素 代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史
図は長さ測定装置のスケールを示す図、第３図は本発明
の特徴を有する別のスケールを示す図である。 １・・・スケール ２・・・走査ユニット３・・
・目盛 ４・・・参照マーク７・・・電子計
数器 ９・・・選択情報１０・・・走査ユニットの
要素 代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史
Claims (11)
- （１）スケールの目盛に沿って設けられていてかつ目盛
に絶対的に付設されている参照マークを有し、この参照
マークで走査ユニットと協働して再生可能な電気的パル
スを発生し、そのパルスが測定装置の電子計数器と制御
装置まだはこれらのうちの一方を作用させるようになっ
ている測定装置、特にインクレメンタル測定装置におい
て、参照マーク（４）には、電気的に付加された少なく
とも一つの選択情報（９）が付設され、この選択情報が
走査ユニット（２）の少なくとも一つの要素（１０）に
より走査されることにより少なくとも一つの参照マーク
（４）を選択して作用させることを特徴とする測定装置
。 - （２）走査ユニット（２）の要素（１０）によシ、選択
された参照マーク（４）のだめの選択情報（９）がトラ
ック（１４）上に付加可能であり、かつもはや必要とさ
れない参照マーク（４）のだめの選択情報（９）がトラ
ック（１４）上で消滅可能である、特許請求の範囲第１
項記載の測定装置。 - （３）トラック（１４ｂ）が−列のフィールド（１５）
からなり、これらのフィールドは選択情報（９ｂ）を鬼
受けるために個々の参照マーク（４ｂ）に付設されてい
る、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 - （４）トラック（１４）上の選択情報（９）が磁気的に
記録される、特許請求の範囲第１項捷たは第３項記載の
測定装置。 - （５）トラック（１４ａ）が磁化可能な層により形成さ
れている、特許請求の範囲第４項記載の測定装置。 - （６）トラック（１４ｂ）が磁化可能なフィルムにより
形成されている、特許請求の範囲第４項記載の測定装置
。 - （７）スケール（１）が磁化可能な材料、特に鋼からな
る、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 - （８）走査ユニット（２）の要素（１ｏ）が磁石ヘッド
を含み、この磁石ヘッドが記録要素、消滅要素および読
取多要素を有する、特許請求の範囲第１項または第２項
記載の測定装置。 - （９）読取多要素が音要素またはフィールド板からなる
、特許請求の範囲第８項記載の測定装置。 - （１０） トラック上の選択情報が容量的に記録される
、特許請求の範囲第１項または第３項記載の測定装置。 - （１１） ）ラック上の選択情報が誘導的に記録される
、特許請求の範囲第１項または第３項記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3245914A DE3245914C1 (de) | 1982-12-11 | 1982-12-11 | Messeinrichtung |
| DE3245914.9 | 1982-12-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59114403A true JPS59114403A (ja) | 1984-07-02 |
| JPH0262009B2 JPH0262009B2 (ja) | 1990-12-21 |
Family
ID=6180434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58231616A Granted JPS59114403A (ja) | 1982-12-11 | 1983-12-09 | 測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4462159A (ja) |
| EP (1) | EP0116118B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59114403A (ja) |
| AT (1) | ATE48473T1 (ja) |
| DE (2) | DE3245914C1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02291911A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-12-03 | Celette Sa | 車両ボディの位置測定装置 |
| JP2011252912A (ja) * | 2005-04-13 | 2011-12-15 | Sri Internatl | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3334398C1 (de) * | 1983-09-23 | 1984-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
| GB2183951B (en) * | 1985-11-28 | 1990-05-23 | Duracell Int | Displacement measuring apparatus |
| DE3611204A1 (de) * | 1986-04-04 | 1987-10-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Messeinrichtung |
| DE8613887U1 (de) * | 1986-05-22 | 1990-09-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 83301 Traunreut | Meßeinrichtung |
| JPH0238922A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Fanuc Ltd | 磁気式絶対位置エンコーダ |
| DE3914739A1 (de) * | 1989-05-05 | 1990-11-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Inkrementale positionsmesseinrichtung mit referenzmarken |
| DD287774A5 (de) * | 1989-09-06 | 1991-03-07 | �@�@�����@���k�� | Inkrementales laengenmesssystem |
| ATE83314T1 (de) * | 1989-10-06 | 1992-12-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische positionsmesseinrichtung. |
| AT394446B (de) * | 1990-10-11 | 1992-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales laengenmesssystem |
| DE4132942C2 (de) * | 1991-10-04 | 1994-05-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Meßeinrichtung für zwei Meßrichtungen |
| DE4244178C2 (de) * | 1992-12-24 | 1997-01-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE4434928C2 (de) * | 1993-12-10 | 2000-02-24 | Hewlett Packard Co | Positionssensorsystem und Verfahren zur Kalibrierung eines ortsfesten Positionssensors |
| DE4442371A1 (de) * | 1994-11-29 | 1996-05-30 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Maßverkörperung |
| JP3506613B2 (ja) | 1998-09-21 | 2004-03-15 | 株式会社ミツトヨ | 原点検出方式 |
| DE19922363A1 (de) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Rexroth Star Gmbh | Einrichtung zur Ermittlung der Relativposition zweier relativ zueinander beweglicher Körper und Verfahren zur Herstellung einer solchen Einrichtung |
| EP1085291B1 (de) | 1999-09-16 | 2009-11-11 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zur Positionsbestimmung und Ermittlung von Führungsfehlern |
| DE19962278A1 (de) | 1999-12-23 | 2001-08-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE102004063462B3 (de) * | 2004-12-23 | 2006-03-23 | Märzhäuser Senso Tech GmbH | Maßstabträger für magnetische Längen- oder Winkelmessung |
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Family Cites Families (8)
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