JPS59113994A - レ−ザ加工機用外部光学装置 - Google Patents
レ−ザ加工機用外部光学装置Info
- Publication number
- JPS59113994A JPS59113994A JP57224310A JP22431082A JPS59113994A JP S59113994 A JPS59113994 A JP S59113994A JP 57224310 A JP57224310 A JP 57224310A JP 22431082 A JP22431082 A JP 22431082A JP S59113994 A JPS59113994 A JP S59113994A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- bellows
- cylindrical
- cylindrical bodies
- outside
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0006—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発Ｆ３ＡＩ″ｉ、発振器から発射されだレーザを用い
て加工作業を行う場合のレーザ光路への光路外からの粉
塵、蒸発物、爆発性物質などの侵入を防止しだいとき、
あるいは人体を含む光路周辺へのレーザ直接光まだは間
接光の危険防止を必要とする所に使用するレーザ加工機
用外部光学装置に関するものである。
て加工作業を行う場合のレーザ光路への光路外からの粉
塵、蒸発物、爆発性物質などの侵入を防止しだいとき、
あるいは人体を含む光路周辺へのレーザ直接光まだは間
接光の危険防止を必要とする所に使用するレーザ加工機
用外部光学装置に関するものである。
２ ベーン
従来例の構成とその問題点
第１図はレーザ加工の基本を説明する図であるが、レー
ザ発振器１から発振されたレーザ２はミラー３などによ
って屈折させられ、レンズ４で集光した後、焦点６の高
密度エネルギーを利用して被加工物６を加工する。
ザ発振器１から発振されたレーザ２はミラー３などによ
って屈折させられ、レンズ４で集光した後、焦点６の高
密度エネルギーを利用して被加工物６を加工する。
このとき被加工物６が容易に移動可能であれば第２図に
示すようにミラー３およびレンズ４の位置を固定させた
状態で被加工物６を位置人から位置Ｂへ移動させれば良
い。
示すようにミラー３およびレンズ４の位置を固定させた
状態で被加工物６を位置人から位置Ｂへ移動させれば良
い。
つぎに被加工物６が重量物で移動が困難な場合あるいは
第３図（Ａ） 、 （Ｂ）に示すようにドラム７に巻か
れたシート状被加工物８にレーザ９を照射してシートの
端面加工を行いドラム１に再巻き取りを行う場合など、
レーザ９の側面方向の位置Ｃを位置りに移動させるだめ
にはドラム７．７′の平行移動が必要であるが、ドラム
７．７′を高精度に平行移動させることは技術的に困難
であった。また位置Ｃ，Ｄ周辺において端面の加工位置
を微量移動させる必要があってもシート状被加工物８を
平行３ノ。
第３図（Ａ） 、 （Ｂ）に示すようにドラム７に巻か
れたシート状被加工物８にレーザ９を照射してシートの
端面加工を行いドラム１に再巻き取りを行う場合など、
レーザ９の側面方向の位置Ｃを位置りに移動させるだめ
にはドラム７．７′の平行移動が必要であるが、ドラム
７．７′を高精度に平行移動させることは技術的に困難
であった。また位置Ｃ，Ｄ周辺において端面の加工位置
を微量移動させる必要があってもシート状被加工物８を
平行３ノ。
移動させるのは困難であった。
これら諸問題を解決するためには、第４図に示すように
ミラー３とレンズ４を移動させて加工を行う必要があっ
た。
ミラー３とレンズ４を移動させて加工を行う必要があっ
た。
一例として第５図にミラー移動式のレーザ加工用外部光
学装置を示す。この例では出力ミラー１０から発射され
たレーザ１１はレーザ発振器１２のレーザ出口孔１３か
らミラー１４に照射されて屈折させられ、その屈折され
たレーザ１１はレン合はスパッタ、燃焼させる場合は蒸
発物など）が発生して位置Ｅを経て出力ミラー１０を汚
したり、位置Ｆを経てミラー１４を汚したりする。まだ
レーザ発振器１２の外壁と移動光学台車２１との隙カバ
ーが必要であった。そして、保護カバーとして最も一般
的な蛇腹の場合、その長さが短かいと第６図に示すよう
にレーザ３５はレーザ発振器３６のレーザ出口孔３７よ
り、蛇腹３８の内部を通過して移動光学台車３９へ到達
するが、蛇腹の長さが長い場合は第７図に示すように、
レーザ３６は蛇腹自身の自重によってその位置工を保持
できず、位置Ｊのような形状を呈して、レーザ３６が３
５′の位置において蛇腹を焼損させ移動光学台車３９ま
で到達できなくなる。
学装置を示す。この例では出力ミラー１０から発射され
たレーザ１１はレーザ発振器１２のレーザ出口孔１３か
らミラー１４に照射されて屈折させられ、その屈折され
たレーザ１１はレン合はスパッタ、燃焼させる場合は蒸
発物など）が発生して位置Ｅを経て出力ミラー１０を汚
したり、位置Ｆを経てミラー１４を汚したりする。まだ
レーザ発振器１２の外壁と移動光学台車２１との隙カバ
ーが必要であった。そして、保護カバーとして最も一般
的な蛇腹の場合、その長さが短かいと第６図に示すよう
にレーザ３５はレーザ発振器３６のレーザ出口孔３７よ
り、蛇腹３８の内部を通過して移動光学台車３９へ到達
するが、蛇腹の長さが長い場合は第７図に示すように、
レーザ３６は蛇腹自身の自重によってその位置工を保持
できず、位置Ｊのような形状を呈して、レーザ３６が３
５′の位置において蛇腹を焼損させ移動光学台車３９ま
で到達できなくなる。
まだ一般に蛇腹はレーザの持つエネルギーに耐えるだけ
の不燃性を持たせることが困難であるし、多少の強度ア
ップを図っても、万一レーザによる蛇腹の焼損が発生し
た場合の二次災害を考えると実用的ではなかった。
の不燃性を持たせることが困難であるし、多少の強度ア
ップを図っても、万一レーザによる蛇腹の焼損が発生し
た場合の二次災害を考えると実用的ではなかった。
内筒体４１として形成するが、この構成では隙間４２か
らの粉塵の光路への侵入を防止できない。
らの粉塵の光路への侵入を防止できない。
第９図の従来例は、うず巻ばね４３を用いる手６７′−
ジ 段で、この手段では隙間４４は無視できる程度の微量に
なるが、うず巻ばね４３の反撥力Ｆがレーザ発振器３６
と移動光学台車３９０間に生じ、移動光学台車３９の移
動に要する力が過大になり、コスト的技術的に問題があ
った。
ジ 段で、この手段では隙間４４は無視できる程度の微量に
なるが、うず巻ばね４３の反撥力Ｆがレーザ発振器３６
と移動光学台車３９０間に生じ、移動光学台車３９の移
動に要する力が過大になり、コスト的技術的に問題があ
った。
簡便な手段としては第１０図に示すように、板状の上カ
バー４５と下カバー４６を設ける手段があるが、これで
は隙間４７から粉塵が侵入したり下部解放部４Ｂ＆、４
８ｂが大気中に曝露されるので危険であった。
バー４５と下カバー４６を設ける手段があるが、これで
は隙間４７から粉塵が侵入したり下部解放部４Ｂ＆、４
８ｂが大気中に曝露されるので危険であった。
第５図において、２２は移動光学台車の重量を支えるシ
ャフト、２３はそれを支持板２４に固定するだめのナツ
ト、２６はスライド用ベアリング、２６は同ベアリング
の抜は止めリング、２７は移動用モータ、２８はモータ
取付用のねじ、２９はモータによって位置３０を与える
だめのねじまたはラック、３１はねじを固定するだめの
ナツト、３２はノズル用筒、３３はレンズ押え板、３４
は移動後の台車の位置を示す。
ャフト、２３はそれを支持板２４に固定するだめのナツ
ト、２６はスライド用ベアリング、２６は同ベアリング
の抜は止めリング、２７は移動用モータ、２８はモータ
取付用のねじ、２９はモータによって位置３０を与える
だめのねじまたはラック、３１はねじを固定するだめの
ナツト、３２はノズル用筒、３３はレンズ押え板、３４
は移動後の台車の位置を示す。
これら従来例は前述のようにレーザの漏洩防止６ ・・
−； （人体への危険、爆発など二次災害の発生）とミラー類
の保護を充分に満足させる方法でなく、レーザ加工の応
用範囲を限定させる一つの要因となっていた。
−； （人体への危険、爆発など二次災害の発生）とミラー類
の保護を充分に満足させる方法でなく、レーザ加工の応
用範囲を限定させる一つの要因となっていた。
発明の目的
本発明は、レーザを用いて加工を行う場合、被加工物は
固定のままとし、屈折ミラー側を容易に移動可能な構造
としても人体および周辺雰囲気への災害発生がなく、か
つ相当量の加工時飛散物があってもレーザ発振器および
外部屈折ミラーに影響を与えることがない外部レーザ光
路のカバーを簡易々構造で、かつ、確実性高く供給する
ことを目的とする。
固定のままとし、屈折ミラー側を容易に移動可能な構造
としても人体および周辺雰囲気への災害発生がなく、か
つ相当量の加工時飛散物があってもレーザ発振器および
外部屈折ミラーに影響を与えることがない外部レーザ光
路のカバーを簡易々構造で、かつ、確実性高く供給する
ことを目的とする。
発明の構成
そのだめの構成として、本発明は、複数の非可燃性の円
筒体を摺動可能に設け、それらの円筒体の一端を固定し
、他端を可動とし、相対的に可動する各円筒体間の他端
を外側から覆う蛇腹を設け、円筒体内を通過するレーザ
を粉塵、蒸発物、爆発性物質などから隔離し、かっレー
ザの外部漏洩を７−７ 防止するものである。
筒体を摺動可能に設け、それらの円筒体の一端を固定し
、他端を可動とし、相対的に可動する各円筒体間の他端
を外側から覆う蛇腹を設け、円筒体内を通過するレーザ
を粉塵、蒸発物、爆発性物質などから隔離し、かっレー
ザの外部漏洩を７−７ 防止するものである。
実施例の説明
以下、本発明の実施例につき第１１図、第１２図に沿っ
て説明する。レーザ４９はレーザ発振器５０のレーザ出
口孔５１より照射されるが、円筒状外筒体５２と同筒状
内筒体６３によって外部ヘレーザが漏洩しないように形
成している。これにりレーザは外部へ漏洩しない。
て説明する。レーザ４９はレーザ発振器５０のレーザ出
口孔５１より照射されるが、円筒状外筒体５２と同筒状
内筒体６３によって外部ヘレーザが漏洩しないように形
成している。これにりレーザは外部へ漏洩しない。
まだ円筒状外筒体６２の内寸ｙと円筒状内筒体６３の内
寸りとの間には隙間５６を設け、円筒状外筒体６２と円
筒状内筒体６３がスライドすることに支障となるものは
何もない状態にしておく。
寸りとの間には隙間５６を設け、円筒状外筒体６２と円
筒状内筒体６３がスライドすることに支障となるものは
何もない状態にしておく。
その上に蛇腹５６を円筒状外筒体６２と円筒状内筒体５
３の間に設け、バンド５７で強固に締結す寸で支持され
レーザ の光路に支障をきたすことは々い。
３の間に設け、バンド５７で強固に締結す寸で支持され
レーザ の光路に支障をきたすことは々い。
まだ円筒状外筒体５２の凸部６９は異常なレーザ反射光
６０などの漏洩を防止する効果があり、この構造によっ
てレーザ４９は外部からの粉塵Ｏ〜Ｈなどの侵入を受け
ることなく移動光学台車６１のレーザ出口孔６２ヘレー
ザを供給できる。なお間に中間筒体６２を設けて、蛇腹
６３．６４で一連の連結体を形成すれば良い。
６０などの漏洩を防止する効果があり、この構造によっ
てレーザ４９は外部からの粉塵Ｏ〜Ｈなどの侵入を受け
ることなく移動光学台車６１のレーザ出口孔６２ヘレー
ザを供給できる。なお間に中間筒体６２を設けて、蛇腹
６３．６４で一連の連結体を形成すれば良い。
発明の効果
本発明によれば、レーザ光路が短かい場合も、長い場合
も、レーザの外部への漏洩を防止するとともに外気のレ
ーザ光路への影響（スパッタ、蒸発物、爆発性物質など
）を受けることなくレーザを移動することができ、これ
によりレーザ加工の応用範囲が拡大できるとともに人体
への危害を防止でき、しかも低価格で安定性良く供給す
ることができる優れた効果を奏するものである〇９ ｌ
＜−ジ ザ加工の具体例を示す説明図、第３図（Ａ） 、 （Ｂ
）は被加工物の移動困難な一例の正面図および側面断面
図、第４図はレーザ外部光学装置を移動させだ例の説明
図、第５図はレーザ外部光学装置を移動可能にした機構
の断面図、第６図〜第１０図は従来例の正面断面図、第
１１図、第１２図は本発明の一実施例におけるレーザ加
工用外部光学装置の断面図である。
も、レーザの外部への漏洩を防止するとともに外気のレ
ーザ光路への影響（スパッタ、蒸発物、爆発性物質など
）を受けることなくレーザを移動することができ、これ
によりレーザ加工の応用範囲が拡大できるとともに人体
への危害を防止でき、しかも低価格で安定性良く供給す
ることができる優れた効果を奏するものである〇９ ｌ
＜−ジ ザ加工の具体例を示す説明図、第３図（Ａ） 、 （Ｂ
）は被加工物の移動困難な一例の正面図および側面断面
図、第４図はレーザ外部光学装置を移動させだ例の説明
図、第５図はレーザ外部光学装置を移動可能にした機構
の断面図、第６図〜第１０図は従来例の正面断面図、第
１１図、第１２図は本発明の一実施例におけるレーザ加
工用外部光学装置の断面図である。
４９・・・・・・レーザ、６ｏ・・・・・・レーザ発振
器、６２陶 ・・・・・・円筒状外筒体（円筒体）、５３・・・・・
・円筒状外筒体（円筒体）、５６，６３．６４・・・・
・・蛇腹、６２・・・・・中間筒体。
器、６２陶 ・・・・・・円筒状外筒体（円筒体）、５３・・・・・
・円筒状外筒体（円筒体）、５６，６３．６４・・・・
・・蛇腹、６２・・・・・中間筒体。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数の非可燃性の円筒体を摺動可能に設け、それらの円
筒体の一端を固定し、他端を可動とし、相対的に可動す
る各円筒体間の他端を外側から覆う蛇腹を設け、円筒体
内を通過するレーザを粉塵。 蒸発物、爆発性物質などから隔離し、かつレーザの外部
漏洩を防止するレーザ加工機用外部光学装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224310A JPS59113994A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | レ−ザ加工機用外部光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224310A JPS59113994A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | レ−ザ加工機用外部光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59113994A true JPS59113994A (ja) | 1984-06-30 |
Family
ID=16811753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57224310A Pending JPS59113994A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | レ−ザ加工機用外部光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59113994A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54105397A (en) * | 1978-02-06 | 1979-08-18 | Hitachi Ltd | Laser processing device |
| JPS57178390A (en) * | 1981-04-28 | 1982-11-02 | Toshiba Corp | Laser device |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP57224310A patent/JPS59113994A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54105397A (en) * | 1978-02-06 | 1979-08-18 | Hitachi Ltd | Laser processing device |
| JPS57178390A (en) * | 1981-04-28 | 1982-11-02 | Toshiba Corp | Laser device |
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