JPS5910855A - 弾性表面波加速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、弾性表面波加速度計に関し、さらに詳細には
、加速度作用のもとで曲がる弾性を有するプレートの両
面に設けられた変換手段に接続された少なくとも２つの
発振器を有する弾性表面波加速度計に関する。

（背景技術） このような構成では、加速度は、プレートの主面に対し
て直角方向に沿って測定することができる。このプレー
トは通常フレームに埋めこまれた一端部と、振動源質量
体が取り付けられている自由端部とを有している。変換
手段は弾性表面波を励起し集束させるようにして設計さ
れる。弾性表面波の伝播速度は既知のように機械的曲げ
応力の関数として変化する。第１の実施例では、変換手
段は、遅延時間により発振ループの位相シフトが決定さ
れるような伝搬線を形成する。第２の実施例では、変換
手段は、共振するネットワークキャヒティ内に設けられ
、キャビティの振動を維持するための手段に接続されて
いる。測定する加速度を表わす周波数は、互いにバラン
スのとれていない熱ドリフトを表わす２つの振動周波数
の引き算によって求められる。

実際に、これらの熱ドリフトはプレートの埋め込み固定
により、あるいは振動源質量体の取り付けにより生ずる
応力に起因している。これらの応力は、該応力の発生す
る領域が弾性表面波測定手段の設置領域と近接している
ときには、機械的曲げ応力に加わるようになる。

この機械的曲げ応力が一定断面積をもつビームの曲げ応
力であるとき、これらの強度は曲げトルクにより変化す
る。このことにより、弾性表面波測定手段の正確な位置
決めが請求される。さらに、応力の変化は、測定領域内
における弾性表面波の伝播速度の変化を引起こし、弾性
表面波の波面に乱れを生しさせる。

−１−記の欠点を解消するため、本発明は、弾性表面波
測定手段が設けられ、）かつ曲げに対する等価的負荷（
ｅｑｕａｌ　ｒｅｓｉｓｔａｆｃｅ　ｔｏ　ｂｅｎｄｉ
ｎｇ）である領域を石するようにカットされた平行な面
を有するプレートの使用を提案する。

（発明の課題） 本発明は、上述の欠点を解決するためになされたもので
あって、測定すべき加速度の作用のともに屈曲する、平
行な表面を看するプレートを具備し、前記表面に生じる
曲げ応力が弾性表面波振動手段により検出され、前記測
定手段が曲げと等価的負向を有する前記プレートの領域
中に設けられていることを特徴とする弾性表面波加速度
計を提供するものである。

（発明の構成及び作用） 以−ドの説明において、加速度によって生じ機械的曲げ
応力は、弾性表面波が化＋１ｌＯＴ能である物質から切
り出された一定の厚さのプレートの主面に現われる。プ
レートは、石英のような圧電性結晶物質から切り出され
たものを使用することができ、弾性表面波変換手段がよ
り複雑な構造になることを犠牲にすればシリカ酸のプレ
ートも使用することができる。ただし本発明はこれらの
物質に限定されるものではない。測定される加速度はプ
レートの主面に対して垂直な方向に沿った成分のもので
ある。カットアウトされた形状は、プレートの１：、面
に対して平行に作用する力による曲げに対する剛性が加
速度の垂直成分を測定するために考慮される剛性より大
きくなるような形状である。

加速度計は、曲げを可能にするプレート支持体を有して
いることが必要である。測定用質量体は、プレート自身
により、°あるいは振動源質量体により形成されている
。後者の場合、プレートは、支持体及び振動＃ｉ質量体
との間に弾性的結合を形成し、全ての部材は同じ加速度
を受けるとされる。

第１図では、既知の型である弾性表面波加速度計が、示
されている。測定される加速度γの方向はｙＩｋ１１方
向に平行であり、この加速度γは支持体１、振動源質量
体３及び支持体ｌと振動源質量体３とを連結する弾性プ
レート２とに加わる。ｘｙＷ面に平行である部分に相当
するプレート２の断面は、幅すと高さｈの矩形である。

プレート２が加速度γの作用を受けて曲がるとき、その
慣性モｂΦｈ３ −メントは式−−Ｔ７−−により与えられる（ただし、
ｈはｂより実質的に小さい）。Ｘ軸に沿って作用する力
に対しては、慣性モーメントは、非割に大きくなり、Ｚ
軸に沿った力に対しては、曲げは考泣：されない。

プ＋ｙ−）２の歪みは弾性表面波測定手段によって検出
される。例えば、プレート２が、２５℃の温度で熱ドリ
フトが零であるようなＳＴカットの石英プレートならば
、主面４と５はそれぞれインターティジタル型電極６．
７．８．９及び１０．１１．１２．１３を有し、これら
の電極はＸ軸方向に沿って広がるキャップを形成してい
る。電極６と７は弾性表面波を発生させる変換器を形成
し、この弾性表面波はＺ軸に進み、受信変換器を形成す
る電極アレイ８と９によって検出される。面４により支
持される導電性電極アレイは弾性表面波遅延線を形成し
、該遅延線は増幅器１４に対するループの役割をする。

而５により支持される導電Ｍ：　’ｉｔｔ極アレイアレ
イ遅延線を形成し、該遅延線は１曽１咄器１５の入出力
のりループの役割をする。これにより、１組の発振器が
得られ、その発振周波ｅ！！　ｆ　＋　とｆ２は、面４
と５に沿って伝播する弾性表面波の伝播時間１．．１２
に関係する。増幅器１４．１５の出力は、引算ミクサ１
６の人力に接続され、ミクサ１６の出力１７は周波数ｆ
＝　ｆ。

−ｆ２の交番信号を出力する。関連図面を簡単にするた
めに、グランドＧは、第１図の回路図に書き加えである
。加速度γの存在のもとで、ブレー］・２の単純な曲げ
により、面４．５における機械的曲げ応力が現われ、伝
播時間１．．１．は、その変化分が逆になるように変化
する。その結果、新しい発振周波数はｆ、＋ΔＦ及びｆ
２−ΔＦとなり、出力１７における信号の周波数はｆ＋
２ΔＦとなる。従って、加速度γは周波数の変化分２Δ
Ｆによって測定されることが分かる。

単純な曲げによるフレート２の歪みは機械的ずれ応力を
も発生させる。しかし、この機械的ずれ応力は、弾性表
面波を伝播させる自由面４と５には存在しない。これは
、単純な曲げが真曲げと同様であることによる。斜め曲
げを防ぐために、プレート２及び質量体３はｙｚ平面に
平行でありかつ対称的な面形状となっている。このよう
にして、プレート２の機械的ねじれ応力を防Ｉトしてい
る。

−力、第１図の配置では、支持体ｌ及び振動源質に体３
にプレート２が埋設されているため、寄生応力か機械的
曲げ応力に加わることになる。プレート２の熱膨張は、
支持体ｌと振動源質量体３の溝の熱膨張と相異するので
、加速度の正確な測定を行なうことができない。

第２図では、第１図と同じ要素には同じ参照番号を付し
である。同図において、プレート２の各断面部における
曲げモーメントはかなり変化して身　　　　→ いる。直線１８は、先端負荷Ｆ＝ｍγに対するＺ軸に沿
った曲げモーメン）Ｍの変化を表わしている。曲線１９
は、プレート２の固有の質量による曲げモーメン）Ｍの
変化を表わしている。第２図は、　・足の慣性モーメン
トの断面と一定の厚さをもつプレー１の場合における機
械的曲げ応力の大きさが、弾性表面波が変換される測定
領域により実質的に変化することを示している。

機械的曲げ応力の変化は、弾性表面波の伝播速度に相当
する変化量に対応している。これは、弾性表面波の波面
と遅延電気信号に影響を及ぼす歪みの原因となる。さら
に、変換手段の位置は、感度がプレートに沿って設けら
れる変換手段の位置に依存しているので、重要である。

第３図には、支持体ｌに埋め込まれた２つのプレートが
示されおり、これらのプレートは、ｘｙ平面において、
埋め込み部分に向って徐々にその側面が広がっている。

プレートが−・定の厚さｈを有し、かつ、プレートの固
有の質量のみが測定する加速度に対応する場合であって
、変形した形状が−・定の曲率半径βをものときには、
一定値の弾性曲げ応力が得られる。原点Ｏから距離ＺＯ
におけるＩＩＩＪ　ｂ　ｏと高さｈのプレートの断面に
作用する基本的曲げモーメン］・をＯから７０まで積分
する。

Ｍ（２０）を得られた曲げモーメント、■−−上二二上
上−を当該断面の慣性モーメント。

２ Ｅをプレート２を形成する物質の弾性率とすると６・式
が得られる。

等価的負荷の状態は曲げモーメン）Ｍ（Ｚｏ）に比例す
る曲げＥ−Ｉに対する剛性を選ぶことに等しいことか分
かる。ＸＺ平面におけるプレート２のプロファイルは、
第２の位置を占めるプレート２に関する限り、第３図に
示すごときパラボラ状の２つの円弧によって形成されて
いる。インターディジタル型のくし形変換器６．７．８
．９は、面４の軸Ｚの左側半分に設けられている。一方
、インターディジタル型のくし形変換器１Ｏ１１１，１
２，１３は、面５の軸Ｚの右側半分に設けられている。

側方に偏倚を有する上記のごとき構成は、面４と面５の
測定手段間の容量性結合を減少させるために好ま１７い
。また第３図には、第１の位置に設けられたプレート２
が示されているが、その曲げと等価的負荷の状態はＯを
頂点とする三角形によってリーえられる。このケースは
、固有の買置が振動源質量（ｍｏ）に関して無視でき、
力Ｆ−ｍｏγ（γは測定する加速度）が点Ｏに作用する
ときのプレートに相当する。一般的には、プレートの固
有の質量と伺加的賀量は、第３図に示すような２つのタ
イプの中間の、曲げと等価的な負荷のプロファイルを形
成する。

第４図は、断面部２３を有する端領域２２と、一定の幅
、高さの断面部２４を有する埋設領域２６とそれぞれ接
続されかつ曲げに対する等価的負荷の中間領域２５を有
する、本発明による加速時計のプレート２を示している
。端部領域２２は、２つの慣性ブロック２０．２１を支
持するためここを貫通する取り付はピン２７を有してい
る。測定する加速度のために、力Ｆ□がブロック２０と
２１番こ作用する。端部領域２２には力ＦＰが作用する
。

等価的負荷の状態は、力Ｆ４とＦＰにより生ずる曲げモ
ーメントか作用する断面部２３から加わる。

等価的負荷２５の領域の全ての断面部は、断面部２３と
、該断面部２３と断面部２４との中間の断面部との間の
プレートの固有の質量による付加的な負荷を考慮に入れ
ることにより、幅の寸法が決定される。等測的負荷領域
２５の各断面部が受ける曲げモーメンｌ−Ｍは、該断面
部の慣性モーメントに比例して、すなわち、該断面部の
幅に比例して変化するということが実際に確認ξれるで
あろう。等測的負荷領域２５は台形状であるが、底面と
接続する両側面は、プレートの固有質量を考慮する必要
があるときは、第４図に示すようにわずかにカーブして
いなければならない。

第５図の部分的な等大図は、平行な面を有する圧′屯プ
レート２を使った加速度計の一実施例を表わしている。

プレート２のカット部分は等価的曲げ負荷領域２５を形
成している。第５図に示されているカントは環状フレー
ムを有し、該フレームは４１１１定用舌状体とその内部
で接続している。この舌状体は環状フレームに対する近
接端に等価的負前領域２５を有すると共に遠方端に慣性
ブロック２０．２１．２７より成る゛７センブリを有す
る。

プレー］・２のカントは第５図の場合プレート２の円形
外郭の直径であるＺ軸に関して対称であると良い。

この特別な配列は、プレート２を固定するための部材を
面４．５によって支持される弾性表面波変換器を収容す
る測定領域２５から間隔を置いて設けることができるの
で有利である。このような間隔を設けることにより、環
状フレームと舌状体接続部に対して反対の径方向の位置
において、プレート２の固定手段によって生じる応力を
減衰させることかできる。加速度のために環状フレーム
中に生ずる曲げ応力、ねじれ応力及びずれ応力は領域２
５ではほとんど作用しない。プレート２の環状フレーム
を補強するために、第５図に示すようにアーチ型の２つ
の補強部材２８と２９を、プレート２の面４と５に取り
付けても良い。

これら補強部材２８と２９は、プレート２を形成するた
めに用いられたものと同一のプレートから切り出された
ものであることが好ましく、さらに組立て時に結晶配向
が同一となるよ月ご注意する。これにより、部材２８．
２９及びプレート２の間の熱膨張の差による応力の発生
を避しすることかできる。

プレート２及び部材２８．２９の組は、ノ＼−フケース
３６に固定するためのアセンブリを形成する。このハー
フケース３６はアセンブＩＪを形成−１−る材料に固有
の熱Ｗ張係数と相異なる熱膨張係数をもする材料からで
きている。

このように、アセンブリがｘｙ平面内で自由に膨張でき
ると共に該アセンブリを／＼−フケース３６のフランジ
３５　Ｊ：に正しく設けることのできる固定手段を用い
ることは有利である。

第５図は、中間支持手段として作用する一組のポールＬ
に置かれた実施例を示す。第１のポール３２は、フラン
ジ３５と補強部材２９＆こそれぞれ形成された２つの円
錐状の力・ンブの門番こ設けられている。

この第１の留め具により、ノ＼−フケースはアセンブリ
に対してピボットされる。第２のポール３４は、好まし
くはポール３２のハウジングの方向に向き、かつフラン
ジ３５と補強部材２９にそれぞれ形成された２つのＶ字
型の溝の間に設けられている。この第２の留め其により
、アセンブリは自由に１膨張することが１能であるが、
その方向はｘｙ１１１面に固定される。フランジ３５と
補強部材２９にそれぞれ設けられた２つの平担なベアリ
ング面の間にはさまれた第３のポール３３により、ハー
フケース１−のアセンブリを安定して据え付けることか
でき、アセンブリは自由に膨張する。第５図では１部材
２．２８．２９から成るアセンブリの−Ｌ部に設けられ
るもう１つのハーフケースを省略している。このもう１
つのハーフケースは円柱状部材３７を介してハーフケー
ス３６１−に載置され、そのフランジは、ポール３２．
３３及び３４と同様のポールを介して補強部材２８に接
続されている。第５図には、これらの３つのポールのう
ち２つを収容するために、補強部材２８に形成されたＶ
字型のハウジング３１と円錐状のハウジング３０が示さ
れている。第５図は、アーチ状の補強部材を南するアセ
ンブリを示しているが、これらの補強部材は省略されて
も良いし、プレート２の環状フレーム全面に覆うように
しても良い。

第６図に本発明のよる加速度計の別の実施例をボす。ケ
ース３６は、ブラケット３９を介してプレー１・２から
形成された可動アセンブリを支持する。力、トは舌状体
４０を形成し、この舌状体４０の・端は振動域質量体と
して作用する環状フレーム４１に接続され、等測的曲げ
負荷領域２５をはさんだ他端はブラケット３９の中に埋
め込まれている。アセンプリン３８は、領域に設けられ
た弾性表面波測定手段と共に動作する発振器とミクサ１
す１路を有する。

第６図に示す好ましい配置を第５図に適用しても良い。

このようにすると、プレート２に追加された振動源質量
体２０．２１及び２７は、舌状体の両側にある２つの空
間を支配するプレート２の延長部と置換される。同様に
、第５図に示した有利な配置を第６図に適用しても良い
。この場合、ブラケット３９はボール取付はホルダと置
換され、該ホルダーはプレート２よりカットアウトされ
た内側が、開放されているフレームに収容される。

このフレームの２つの屈曲した脚部は舌状体を囲む２つ
のエンプティ部を支配する。

前述したように、９＠性表面波による曲げの測定は、平
行は面を有するプレートをカットすることによって得ら
れる等測的曲げ負荷領域内で行なわれる。形成される舌
状体は、ケース上に取り付けるための手段としての役割
をする開放型フレームまたは閉塞型フレームと一体成形
される。この舌状体の自由端は、測定する加速度に対し
て感度を向トさせるために質量体を追加する伸長部を有
する。

本発明はシンプルな測定用舌状体を有するカット（切抜
き体）に駆足されるものではなく、フレームは、曲げに
対する等価的負荷の測定領域をそれぞれ有する複数の舌
状体に共通であっても良い。

第７図は更に別の実施例の測定アセンブリ２を示すもの
で、該アセンブリ２は、平行四辺形状をなすフレーム内
に等価的負荷２５１と２５２の領域をそれぞれ持つ２つ
の測定用舌状体を具備している。舌状体は軸４５または
軸４６に関して対称的には（台形状に力・シトアウトさ
れている。舌状体の自由端は振動源質量体２０１と２０
２をそれぞれ支持している。各等価的負荷領域２５１．
２５２は、プレート２の２つの面−Ｆに弾性表面波測定
手段を有する。第７図において用いられる測定手段は、
弾性表面波共振器である。各共振器は、エツチングある
いはイオン注入によってプレート２の主面上に形成され
た反射線の２つのアレイによって定められるキャビティ
を有する。電極は、増幅回路１４１，１５１．１５２及
び１４２が弾性表面波を受けるようにしておくために各
共振器のキャビティ内にフォトエツチングされる。

このようにして第７図において４つの発振器がり一えら
れ、それらの発振周波数は測定する加速度によって発生
する曲げ応力に応じて変化する。第７図の２つの測定用
舌状体が同じように図面に対して垂直な方向の加速度に
対して反応し、かつ、発振器１４１．１４２．１５１及
び１５２の静止周波数がそれぞれｆ、、ｆ２　、ｆ３及
びｆ、であるとすると、ミクサ１６１は周波数差分子、
−ｆ３を出力し、ミクサ１６２は差分子４−ｆ２を出力
する。ミクサ１６は、ミクサ１６１と１６２から供給ｙ
れる信号を受は取り、周波数変化ｆ、十ｆ２−ｆ、−ｆ
、、がアセンブリの受ける加速度を表わすごとき信号を
出力する。実際、Δｆを加速度により生じる周波数変化
分とすれば、発振周波数は、それぞれｆ１＋Δｆ　、ｆ
２＋Δｆ　、ｆ３−Δｆ及びｆ４−Δｆとなり、ミクサ
１６の出力においてｆ、＋ｆ、−ｆ３−ｆ４＋４Δｆの
値の周波数な信号が得られる。ΔＦ１、ΔＦ２、ΔＦ３
及びΔＦ４を４つの振動子の温度ドリフトとすると、熱
により変化する周波数はそれぞれｆ１＋ΔＦ１、ｆ２＋
ΔＦ７．ｆ３＋ΔＦ３．ｆ４＋ΔＦ４となる。そしてミ
クサ１６の出力における周波数は、ｆ、＋ｆ２−ｆ３−
ｆ４＋ΔＦ１＋ΔＦ２−ΔＦ３−ΔＦ、ｌとなる。従っ
て、このような配置により、熱ドリフト分ΔＦ］＋ΔＦ
２−ΔＦ３−ΔＦ４を２つの発振器を有する場合より効
果的に相殺することができる。ハーフケース３６上への
第７図に小オアセンブリの取り付けは、測定用舌状体を
一体成形されていないフレームサイドの中央部の２点で
行なわれる。このために、埋め込まれた支持体４３とピ
ボット支持体４２が使われている。

第８図は、第７図のライン４４に沿った断面図であり、
アセンブリ２の右側部は２つのハーフケース３６１と３
６２の間にクランプＳれているが、完全に固定されては
いない。２つのハーフケース３６２と３６１との間の左
側部分は、ピボット軸４９と５０により支持される。軸
４９と５０は、ハーフケース３６２と３６１内に形成さ
れた円錐状ハウジングと、アセンブリ２に固定されたピ
ボットプロ・ンク４７．４８に形成された円錐状／＼ウ
ジングとの間に支持される。このような取付はシステム
により熱が原因となる応力を大部分防止することができ
る。

第９図に示す加速度計は、第７図及び第８図に示す加速
度計とは（同様に設計されているが、測定則舌状体が２
つの補強部材２５３と２５４によって補強された中央の
長手状部を有している。振動源質量体は、プレート２を
カットアウトする際直接的に形成される翼部２０１と２
０２によって形成されている。領域５１．５２．５３及
び５４は、インターディジタルなくし形遅延線もしくは
ネットワーク共振器である弾性表面波測定手段が設けら
れている各位置を示している。当然、これらの領域は２
つの測定用舌状体の等測的負荷領域内に含まれている。

第１Ｏ図は、８字状のカットアウト部の中央の脚部をな
す単一の測定用舌状体を用いた更に別の実施例を示して
いる。測定用舌状体の端部は、振動源質量体として機能
する翼部２０１が設けられている。舌状体の等測的負荷
領域２５１と−・体になっているＵ字状部は、補強のた
めに各面にＵ字型補強部材２５３が設けられている。こ
のように形成された単一ブロックアセンブリは、第７及
び８図のアセンブリと同じ方法で据え付けられている。

ブロック３８には、領域２５１内に設けられている弾性
表面波測定手段と共に動作する発振器及びミクサ回路が
収容されている。

第１１図はプレート２の別のカットアウト形状を示して
いる。振動源質量体２０１．２０２が備え付けられた２
つの測定用舌状体２５１．２５２は、中央の舌状体２６
０と一体成形されており、舌状体２６０は矩形フレーム
と一体成形されている。舌状体２６０が、一体となって
いるフレームの端部に対して反対側の端部を用いて、フ
レームを加速度計に固定することにより、測定領域２５
１と２５２における固定による応力の影響を最大限に減
少させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来型の弾性表面波加速度計の等大国、第２
図は、プレートに加わる曲げモーメントの説明図である
。第３図は弾性表面−変換手段を具備する曲げに対する
等価的負荷の構造を示す等大国、第４図は本発明による
弾性表面波加速度計のプレートを示す図、第５図は本発
明による弾性表面波加速度計の部分等大図、第６図は本
発明による加速度計の第一の変形例を示す等大国、第７
図は本発明による加速度計の第２の変形例を示す図、第
８図は第７図の変形例の拡大図、第９図は本発明による
加速度計の第３の変形例を示す部分等大図、第１０図及
び第１１図は本発明による加速度計の別の実施例を示す
図である。 ２・・・プレート、 ４．５・・・主面、 ６〜１５・・・弾性表面波振動測定手段。 ２５・・・曲げと等価的負荷。 特許出願人 トムソンーセーエスエフ 特許出願代理人 弁理士　山本恵− 手続補正歯（自発） 昭和５８年８月１４日 特許庁長官　若杉和夫殿 ２、発明の名称 りＰ性表面波加速度計 ３、補止をする者 事件との関係　　特許出願人 名　称　　トムソンーセーエスエフ ４、代理人 ５、補正の対象 明　　　細　　　書

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）測定すべき加速度の作用のもとに屈曲する、乎行
   な表面を有するプレートを具備し、前記表面に生じる曲
   げ応力が弾性表面波振動測定手段により検出され、前記
   測定手段が曲げと等価的負荷を有する前記プレートの領
   域中に設けられていることを特徴とするりｌ性表面波加
   速度計。 （２）前記曲げと等価的負荷を有する前記領域が舌状体
   に属し、該舌状体が自由端と測定すべき加速度を受ける
   ケースに固定される固定端とを崩し、前記舌状体の形状
   か加速度の測定方向を含む曲げ面に関して対称である特
   許請の範囲第１項記載の加速度計。 （３）前記自由端が付加的振動源質緻体を支持する特許
   請求の範囲第２項記載の加速度計。 （４）前記舌状体がフレームと一体形成され、該フレー
   ムが、熱応力を受けないで位置決めを確実に行なわせる
   接続部材により前記ケースに接続される特許請求の範囲
   第２項記載の加速度計。 （５）前記プレートと同−物資からカー／　’Ｐアウト
   された補強部材が補強を必要とする前記フレームの一部
   に結合される特許請求の範囲第４項に記載の加速度計。 （６）前記接続部材が複数のボール状部材から成り、該
   複数のボール状部材のうち一つが円錐状ハウジングに収
   容され、別のボール状部材がＶ字状ハウジングに収容さ
   れる特許請求の範囲第４項記載の加速度計。 （７）前記舌状体の前記自由端が振動源質量体をなす前
   記プレートの一部と一体形成される特許請求の範囲第２
   項記載の加速度計。 （８）前記プレートの一部がフレームを形成している特
   許請求の範囲第７項記載の加速度計。 （９）前記プレートの一部が補助翼部を形成している特
   許請求の範囲第７項記載の加速度計。 （１０）前記プレートが、曲げに対する等価的負荷領域
   をそれぞれ有する２つの測定用舌状体をＪ４備　　□す
   るアセンブリを形成する特許請求の範囲第１項記載の加
   速度計。 （１１）前記舌状体がフレームの２つの対向する側辺部
   に一体に形成され、前記フレームの他の２つの側辺部に
   より前記ケースへの結合が行なわれる特許請求の範囲第
   １Ｏ項記載の加速度計や（１２）前記舌状体が長手状部
   材と一体成形され、８ｋｌｉ手状部材が前記ケースへの
   固定のための吊下手段をなす特許請求の範囲第１０項記
   載の加速度計。 （１３）前記長手状部材が前記フレームを一体成形Ｓれ
   る特許請求の範囲第１１項記載の加速度計。 （１４）　　４つ弾性表面波測定発振器が設けられ、第
   １のミクサ手段が前記発振器により形成される信号の発
   振周波数を２つずつ引き算し、第２のミクサ手段が前記
   第１のミクサ手段より供給される信号の周波数を特徴と
   する特許請求の範囲第１Ｏ項記載の加速度計。 （１５）前記プレートが圧電性である特許請求の範囲第
   １項記載の加速度計。 （１６）前記発振手段が、遅延線もしくは反射形ネット
   ワーク共振器タイプの弾性表面同調手段を具備する特許
   請求の範囲第１項記載の加速度計。 （１７）前記プレートの前記表面によって支持される前
   記同調手段が、曲げに対する等価的負荷の前記領域の曲
   げ面に関して反対方向に側方にオフセットする特許請求
   の範囲第１６項記載の加速度計。