JPS59107A - 色分解フイルタの製造方法 - Google Patents
色分解フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS59107A JPS59107A JP57110522A JP11052282A JPS59107A JP S59107 A JPS59107 A JP S59107A JP 57110522 A JP57110522 A JP 57110522A JP 11052282 A JP11052282 A JP 11052282A JP S59107 A JPS59107 A JP S59107A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- film
- color separation
- treatment
- vapor deposited
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は色分解フィルタの製造方法に関するものであり
、特にカラービデオカメラ等に使用可能で歩留υの小さ
い無機材料半導体膜フィルタの製造方法を提供するもの
である。
、特にカラービデオカメラ等に使用可能で歩留υの小さ
い無機材料半導体膜フィルタの製造方法を提供するもの
である。
従来より、耐熱性に優れた無機材料による色分解フィル
タには、多層膜干渉フィルタ以外にも、半導体の基礎吸
収を用いた半導体膜フィルりが使用できる。例えば第１
図は、半導体膜フィルりを用いた従来の色分解フィルタ
を示しており、同フィルタの製造方法はガラス基板Ｑ］
）上に多層膜干渉フィルタによるシアンストライプフィ
ルり０２ヲ形成シ、その後、シアンストライプフィルタ
（６）上に光学的整合層としてＡｔ２０．膜０３を形成
し、さらに同Ａｌ２Ｏ３膜０：！ｊ上に第１の反射防止
層としてＺｒＯ２膜０４）を形成する。さらにＺ ｒＯ
２膜０４上にＺｎＸＣｄ 、−ｚ Ｓ （ｘ＝０．２
）膜ストライプフィルタＯｅを形成する。その後第２の
反射防止層としてＺｒＯ２膜ＯＱを形成し、このＺｒＯ
２膜Ｍをガラス膜（１７）により被膜した後同ガラス膜
ｕ′７）の表面を研摩によって平滑化を行なう。
タには、多層膜干渉フィルタ以外にも、半導体の基礎吸
収を用いた半導体膜フィルりが使用できる。例えば第１
図は、半導体膜フィルりを用いた従来の色分解フィルタ
を示しており、同フィルタの製造方法はガラス基板Ｑ］
）上に多層膜干渉フィルタによるシアンストライプフィ
ルり０２ヲ形成シ、その後、シアンストライプフィルタ
（６）上に光学的整合層としてＡｔ２０．膜０３を形成
し、さらに同Ａｌ２Ｏ３膜０：！ｊ上に第１の反射防止
層としてＺｒＯ２膜０４）を形成する。さらにＺ ｒＯ
２膜０４上にＺｎＸＣｄ 、−ｚ Ｓ （ｘ＝０．２
）膜ストライプフィルタＯｅを形成する。その後第２の
反射防止層としてＺｒＯ２膜ＯＱを形成し、このＺｒＯ
２膜Ｍをガラス膜（１７）により被膜した後同ガラス膜
ｕ′７）の表面を研摩によって平滑化を行なう。
このようにして得られた従来の色分解フィルタの分光特
性を第２図に示す。同図の分光透過性は、第１図の白色
部を通過する光りを１００％としたときの透過光Ａ、Ｂ
、Ｃに関する分光透過特性である。
性を第２図に示す。同図の分光透過性は、第１図の白色
部を通過する光りを１００％としたときの透過光Ａ、Ｂ
、Ｃに関する分光透過特性である。
ＺｎｘＣｄ、４Ｓ（ｘ−０２）膜ストライプフィルタ叫
を用いた黄色フィルタは、反射防止層であるＺｒＯ２膜
α蜀の効果も手つだって高い透過率を示すが、第２図中
の矢印ケ）で示すように、多層膜干渉フィルタのよう々
、透過帯での短波長側での鋭い透過特性の立上りを示さ
ず、いく分かなまった特性を示す。このだめカメラ特性
では、色再現（緑の彩度等）に難があった。
を用いた黄色フィルタは、反射防止層であるＺｒＯ２膜
α蜀の効果も手つだって高い透過率を示すが、第２図中
の矢印ケ）で示すように、多層膜干渉フィルタのよう々
、透過帯での短波長側での鋭い透過特性の立上りを示さ
ず、いく分かなまった特性を示す。このだめカメラ特性
では、色再現（緑の彩度等）に難があった。
このような欠点を除去するため、ごくわずかなハロゲン
気体を含む雰囲気中で熱処理を行ない、立上り特性の改
善を行な−〕だ。例えば第３図のように、ＣＣｌ４中を
通過させたＡｒキャリアガスを開口部（Ｐ）よυ熱処理
管賄）に導入し、電気炉（３２を用いて試刺（３３）を
熱処理した。排気は開口（Ｑより行なった。
気体を含む雰囲気中で熱処理を行ない、立上り特性の改
善を行な−〕だ。例えば第３図のように、ＣＣｌ４中を
通過させたＡｒキャリアガスを開口部（Ｐ）よυ熱処理
管賄）に導入し、電気炉（３２を用いて試刺（３３）を
熱処理した。排気は開口（Ｑより行なった。
この時４００°Ｃで３０分間又は４５０“Ｃで１０分間
の処理によυはぼ処理効果が飽和する。このようにして
改善された黄色フィルタの分光透過特性を第２図のＢ′
に示す。このようにして得られた周波数分離用色分解ス
トライプフィルタは、ビデオカラーカメラに実装時も良
好な色再現を示し、緑色の彩度も十分なものでめった。
の処理によυはぼ処理効果が飽和する。このようにして
改善された黄色フィルタの分光透過特性を第２図のＢ′
に示す。このようにして得られた周波数分離用色分解ス
トライプフィルタは、ビデオカラーカメラに実装時も良
好な色再現を示し、緑色の彩度も十分なものでめった。
しかし、上記の処理効果は、その後の同色分解フィルタ
の製造工程中の温度上昇に伴い、効果がを含むＡｒガス
中で熱処理を行なったサンプル４５０°Ｃで３０分間、
４００°Ｃで６０分間の真空中での温度上昇でほぼ完全
に処理前の特性にもどる。
の製造工程中の温度上昇に伴い、効果がを含むＡｒガス
中で熱処理を行なったサンプル４５０°Ｃで３０分間、
４００°Ｃで６０分間の真空中での温度上昇でほぼ完全
に処理前の特性にもどる。
本発明は、上記の欠点を除去し、特性が安定で色再現の
良好な色分解フィルタを再現性よく得られる色分解フィ
ルタの製造方法を提供する６以下本発明の実施例に係る
色分解フィルりの製造方法を説明する。
良好な色分解フィルタを再現性よく得られる色分解フィ
ルタの製造方法を提供する６以下本発明の実施例に係る
色分解フィルりの製造方法を説明する。
（実施例１）
第４図に示すようにガラス基板（４１）上に金属膜を全
面形成したのちリフトオフ法、又は反応性ス／くツタエ
ツチングによってストライプ状のシアン多層膜干渉フィ
ルタ（４”Ａを形成する。その後光学的整合層として膜
厚が約１６００ＸのＡｅ２ｏ， Ｆｌ：刈（４３）およ
び６００Ａの膜厚の第１の反射防止層としてＺ ｒ Ｏ
２膜（柵を蒸着する。次にＺｎｏ，ｌ：ｄｏ，８Ｓ膜
を蒸着した後、レジスト膜をマスク材としてスパッタエ
ツチングでヌトライブ化したＺｎｏ．２Ｃｄｏ．８Ｓ膜
（４０を形成する。レジストを除去後第３図に示す熱処
理管にて、室温のＣＣＩ４液中を透過させたＡｒガスを
流し、４００°Ｃで３０分間の熱処理を行なう。その後
第２の反射防止層として室温から４００℃の温度範囲で
Ｚｒ０２膜ｔ４ｆｉｌを蒸着する。
面形成したのちリフトオフ法、又は反応性ス／くツタエ
ツチングによってストライプ状のシアン多層膜干渉フィ
ルタ（４”Ａを形成する。その後光学的整合層として膜
厚が約１６００ＸのＡｅ２ｏ， Ｆｌ：刈（４３）およ
び６００Ａの膜厚の第１の反射防止層としてＺ ｒ Ｏ
２膜（柵を蒸着する。次にＺｎｏ，ｌ：ｄｏ，８Ｓ膜
を蒸着した後、レジスト膜をマスク材としてスパッタエ
ツチングでヌトライブ化したＺｎｏ．２Ｃｄｏ．８Ｓ膜
（４０を形成する。レジストを除去後第３図に示す熱処
理管にて、室温のＣＣＩ４液中を透過させたＡｒガスを
流し、４００°Ｃで３０分間の熱処理を行なう。その後
第２の反射防止層として室温から４００℃の温度範囲で
Ｚｒ０２膜ｔ４ｆｉｌを蒸着する。
さらに必要とあらば、ガラス膜（４７１を１５０”Ｃ〜
３５０’Ｃの範囲でスパッタ蒸着を行ない表面を平滑化
する。
３５０’Ｃの範囲でスパッタ蒸着を行ない表面を平滑化
する。
（実施例２）
前記実施例１と同様にガラス基板上に、シアンフィルタ
、Ａ７！２０，膜、Ｚ ｒ０２膜、Ｚｎｏ，Ｃｄｏ，８
Ｓストライプフイルタ膜を形成し、約４５０“′Ｃの温
度で第２の反射防止層Ｚｒ０２１模を形成する。その後
、ＣＣ７？４を含むＡｒガス中で４００°Ｃで３０分間
の熱処理を行なう。その後、１５０°Ｃ〜３５０”Ｃの
範囲でガラス膜をスパッタ蒸着を行ない、表面を平滑化
して色分解フィルタを形成する。
、Ａ７！２０，膜、Ｚ ｒ０２膜、Ｚｎｏ，Ｃｄｏ，８
Ｓストライプフイルタ膜を形成し、約４５０“′Ｃの温
度で第２の反射防止層Ｚｒ０２１模を形成する。その後
、ＣＣ７？４を含むＡｒガス中で４００°Ｃで３０分間
の熱処理を行なう。その後、１５０°Ｃ〜３５０”Ｃの
範囲でガラス膜をスパッタ蒸着を行ない、表面を平滑化
して色分解フィルタを形成する。
以上のようにして得られた色分解フィルタは、良好な色
再現を示した。
再現を示した。
以上述べたように本発明の色分解フィルタの製造方法に
よ・れば色再現の良好な色分解フィルタが歩留シよく提
供できるもので工業上の利用価値が高い。
よ・れば色再現の良好な色分解フィルタが歩留シよく提
供できるもので工業上の利用価値が高い。
第１図は従来の色分解ストライプフィルタの断面図、第
２図は色分解ストライプフィルタの分光透過特性を示す
図、第３図は半導体膜フィルタのｉ？！！，処理装置を
示す図、第４図は本発明の一実施例に係る色分解フィル
タの断面図である。 （４１）・・・透光性基板（ガラス基板Ｌ１４２）・・
・シアン多Ｉｔ’ｌ１ＭＥＴｌ）フィルｐ、＋４３１
・ｈ１２ｏ， ｍ、（４４）・・・ＺｒＯ２１１１ｆ％
（反射防止膜） 、１４Ｆｉｌ ・・・ＺｎｘＣ．ｄ
Ｉ −ｘｓ 、ｆ４６ｉ ”・ＺｒＯ２（反射防止膜）
、（４７）・・・ガラス膜 代理人 森 本 義 弘 第１図 第４図 ９
２図は色分解ストライプフィルタの分光透過特性を示す
図、第３図は半導体膜フィルタのｉ？！！，処理装置を
示す図、第４図は本発明の一実施例に係る色分解フィル
タの断面図である。 （４１）・・・透光性基板（ガラス基板Ｌ１４２）・・
・シアン多Ｉｔ’ｌ１ＭＥＴｌ）フィルｐ、＋４３１
・ｈ１２ｏ， ｍ、（４４）・・・ＺｒＯ２１１１ｆ％
（反射防止膜） 、１４Ｆｉｌ ・・・ＺｎｘＣ．ｄ
Ｉ −ｘｓ 、ｆ４６ｉ ”・ＺｒＯ２（反射防止膜）
、（４７）・・・ガラス膜 代理人 森 本 義 弘 第１図 第４図 ９
Claims (1)
- １、 透光性幕板上に少なくとも第１の反射防止層を形
成する工程と、半導体の基礎吸収を用いた色分解フィル
タ膜を形成する工程と、上記色分Ｍ−フィルタ膜をハロ
ゲンイオン又はガスを含む雰囲気中で熱処理を行なう工
程と、第２の反射防止層を形成する工程とを具備してな
る色分解フィルタの製造方法において、上記熱処理後の
工程中における上記基板温度を４００°Ｃ以下とするこ
とを特徴とする色分解フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110522A JPS59107A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 色分解フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110522A JPS59107A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 色分解フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107A true JPS59107A (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=14537927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57110522A Pending JPS59107A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 色分解フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119202U (ja) * | 1984-07-06 | 1986-02-04 | 株式会社クラレ | 色選択性と防げん性を有するフイルタ− |
| CN109574065A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-04-05 | 陕西科技大学 | 一种类叶片状的Zn0.2Cd0.8S材料的制备方法 |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP57110522A patent/JPS59107A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119202U (ja) * | 1984-07-06 | 1986-02-04 | 株式会社クラレ | 色選択性と防げん性を有するフイルタ− |
| CN109574065A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-04-05 | 陕西科技大学 | 一种类叶片状的Zn0.2Cd0.8S材料的制备方法 |
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