JPS59105573A - 磁束計 - Google Patents

磁束計

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Publication number
JPS59105573A
JPS59105573A JP57215386A JP21538682A JPS59105573A JP S59105573 A JPS59105573 A JP S59105573A JP 57215386 A JP57215386 A JP 57215386A JP 21538682 A JP21538682 A JP 21538682A JP S59105573 A JPS59105573 A JP S59105573A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic flux
minute
magnetic
magnetic field
fluxmeter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57215386A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Horikoshi
堀越　英二
Kazunori Yamanaka
一典 山中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPS59105573A publication Critical patent/JPS59105573A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/10—Plotting field distribution ; Measuring field distribution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の技術分野 本発明は磁束計に関するもので、さらに詳しくはＳ　Ｑ
　Ｕ　Ｉ　Ｄ　（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ　Ｑ
ｕａｎｔｕｍＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ　Ｄｅｖｉｃｅ
ｓ　）　ｆ：用いた高感度の磁束計に関する。
（２）　　技術の背景 微小な磁束分布の測定は特にスーパーコンピュータ、す
なわちジョセフソン効果を利用したコンピュータの開発
に伴ない必要とされている。またこのような微小な磁束
の測定はその他磁気記録の分野において適用され、例え
ば磁気ディスクの磁束分布を調べたり、人体に発生する
磁場や地磁気の検出に必要とされている。
（３）従来技術と問題点 従来微小な磁束の分布を測定する装置としてホール素子
がある。しかしながらこのホール素子はその大きさが小
さいものでも０．５簡角程度で大きく、マトリックス配
置をすることが困難で、磁場に対する感度は５Ｘ１０”
−３Ｇ程度であり、一層微小な部分の微小な磁場の分布
を検出することができないという欠点があった。
（４）発明の目的 本発明の目的は小さな５ＱＵＩＤをマトリックス状に配
置するととＫよって、微小部分の磁束分布を高感度に検
出する方法を提供することである。
（５）発明の構成 本発明は高感度の磁束分解能を有する５ＱＵＩＤをチッ
プ内に微小間隔でマ）　ＩＪソックス置することになシ
、微小部分の微小な磁束の分布を検出できるように構成
されたものである。すなわち本発明は５ＱＵＩＤ′ｔｌ
−チップ内にマ）　ＩＪソックス状配置したことを特徴
とする、微小々磁束の分布を測定する磁束計を提供する
。
５ＱＵＩＤとは超伝導量子干渉計を意味し、最近実用化
されたもので磁場に対して極めて敏感なものである。ま
たマトリックス配置の間隔は１０μ〜２１ｆｌの範囲に
あシ、チップの大きさは１簡〜１ｃｒｎ角の範囲にあれ
ばよい。微小部分の磁束分布はこの微小な５ＱＵＩＤに
よりｔ流を検出し測定される。
（６）発明の実施例 第１図に示すように２■×２筋のチップ内に１００１１
ｍ間隔に２０Ｘ２０個の５ＱＵＩＤ’ｚｆｆトリツクス
配置した。このマトリックス配置された５ＱＵＩＤ’ｉ
ｉ第２図（ａ）のように４．２にで、直径０．１ｍ（α
、β）の孔が０．５ｍ＋（γ）隔てて２箇所にある、ｐ
ｂの超伝導磁気シールド板４を隔てて、１ｍＧの交流磁
場を加え、第１図に示したと同じ構成の磁束計３によシ
検出した。その結果第２図（ｂ）のような磁束の分布が
観測された。
（７）発明の効果 本発明によれば１００μｍ以下の位置分解能を有し、磁
場感度が１０＝Ｇより小さい高感度の磁束計が得られる
。
【図面の簡単な説明】
第１図はマトリックス配置された５ＱＵＩＤの構造を示
す略図であシ、 第２図は磁束の測定状況を示すもので、（ａ）はマトリ
ックス配置された５ＱＵＩＤの磁束検出の略図であり、
（ｂ）はその測定結果を表わす図である。 １・・・チップ、２・・・５ＱＵＩＤ、３・・・マトリ
ックス配置された５ＱＵＩＤを有する磁束計、４・・・
ｐｂシールド板。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士　青　木　　　朗 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士　山　口　昭　之

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、　８ＱＵＩＤ（超伝導量子干渉計）をチップ内にマ
    トリックス状に配置したことを特徴とする、微小々磁束
    の分布を測定する磁束計。
JP57215386A 1982-12-10 1982-12-10 磁束計 Pending JPS59105573A (ja)

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JP57215386A JPS59105573A (ja) 1982-12-10 1982-12-10 磁束計

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59133474A (ja) * 1982-12-22 1984-07-31 シ−メンス，アクチエンゲゼルシヤフト 生体磁気の多チャンネル測定装置とその製造方法
WO1991010914A1 (en) * 1990-01-15 1991-07-25 Oxford Medical Limited Magnetic field monitor
JPH04116481A (ja) * 1990-09-07 1992-04-16 Daikin Ind Ltd 磁場測定方法、およびその装置

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