JPS59104544A - 質量分析装置 - Google Patents

質量分析装置

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Publication number
JPS59104544A
JPS59104544A JP57214545A JP21454582A JPS59104544A JP S59104544 A JPS59104544 A JP S59104544A JP 57214545 A JP57214545 A JP 57214545A JP 21454582 A JP21454582 A JP 21454582A JP S59104544 A JPS59104544 A JP S59104544A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
peak
center
image screen
scanning signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP57214545A
Other languages
English (en)
Inventor
Junichiro Shoda
庄田 純一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Nihon Denshi KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd, Nihon Denshi KK filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP57214545A priority Critical patent/JPS59104544A/ja
Publication of JPS59104544A publication Critical patent/JPS59104544A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/022Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不RtIIl tま線引中心位置を衷示己せるtAにし
た質量分析装置に関する。
第1図は一般的な質量分析装置の概略を示したもので、
イオン源1で生じたイオンは加速電源2からの電圧によ
り加速され、加速スリット3.■ネルー1−−セレクタ
用電揚4を通過し、磁場5で質量電荷比に応じて分離さ
れる。該分離されたイオンはコレクタスリット6を通過
して検出器7に入り、陰極線管8のY 1tilliに
送られる。9は走査信号発生回路で前記7Jl′I速電
源2と電場電[10に、一定電圧信号に走査信号をjJ
口算して送り、加速電界及び電場4を同期して1吊引づ
るど同11テに、前記陰極線管8のX軸にも同期して一
定電圧信号に走査イ之角をtJft gゴして送る。従
って前記陰極線管8の画面上には第2図に示す様に横軸
(X軸)に走査信g強曵、縦軸(Y引h)にイオン強1
ヶを取るスペクトルが表示どれる。尚、この時の加速電
界の掃引にLいij記一定電[1−信号値Voを中心に
して正会行う。
ざて、例えば分解能の測定を行う場合、第3図に示す様
にf9Jえば、質量数MOど〜1o−1の2本のビーク
の距離之と、各ピークにおける波高値5〜10%の波形
幅+1 、 、 d 2を油[定し、次の式から分解能
IRを求める。
λ に−二ロー二〜×K <1<は試料により決まる定数) 従って、分解能の測定を行う場合には、質量数\’I 
Oど1VIo −1のピークが画面全面に表示される様
に、1′IO記走査信号発生回路9の走査信号の制御(
こより画面の中央の電圧値Voを中心とした(吊用幅を
小さくして加速電界を1吊引する。そこで、先ず、画面
」−を観察しなかも磁場5の強度を佑揚電源11ににリ
コントロールして、質量数M cのピークの中心が画面
の中央に来る様にピークを移動させる。そして、画面の
中央の電圧値VOを中心に棒引幅を小ざくして加速電界
を掃引する。しかし、両面の中央にピークの中心を助で
持って来ることは非常に慣(シい。ぞして、掃引幅を小
さくすると、MOと’、、4cm1とのピーク間隔や各
々の振:jljljや波形幅が広がって行くので、質量
¥1Moの中心が掃引の中心に合っていないと、画面上
に分2F能測定可能な状態の〜10と〜1o−1のピー
クを表示出来ないことがある。この様な場合、再び前記
走査1r3弓発生回路9をili制御して掃引幅を大き
くし−C第281(こ示す様にNノ1o と1vic−
1のピークを含む;R山のピークを画面に出し、磁場5
の強度を磁場°市源11によりコントロールして、M、
のビータを左か右に適宜移動させ、再度(W川幅を小さ
くして所望のピークを拡大表示させる体にする。この時
、未だ第3図に示す如き表示が出来ないと、:)1]記
操作を繰り返づことtこなる。この操作は非常に厄介で
あり、又、高分解能になる程、その度合は増す。
4〜発明はこの様な蝋に鑑みてな8れたもので、イηン
源、該イηン源からのイオンを加速J゛る為の加速電界
発生手段、加速されたイオンを買量電(i:j Lヒ(
、二応じて分1雄する為の手段、該分離されたイオンを
倹1j;づろ為の検出手段、該検出信号を表示−!lI
’ h為の表示手段、前記加速電界発生手段と表示−f
j)にf’i jjl シー(’ ”B3引iハ翼を送
る為の走査信号発生手段、及び経用1g号の中心レベル
を検出する手段からなり、該線引信号の中心レベルを前
記表示手段に表示さゼる様(こした新規な質が分析装置
を提供するものである。
第4図は本発明の一実施例を示した質量分析装置の概略
図で、図中第1図にて用いた番号と同一番号の付された
ものは同一構成要素である。
図中12は走査信号発生回路9が発生する一定電圧イ菖
>’; l1ji (\/c )に走査(i号を加算し
たものが、一定電lTI信号値(Vo )の01、即ち
走査信号値が零の旧、輝喰変調信号を発して、該信号を
陰極線管8のグリッドへjスる零検出回路である。該陰
極線質は該!揮1哀変調イ5舅が送られて来たIn’7
、両面上の輝瓜を変化させる紅にする。
!’Ji<の如さ装置において、走査信号発生回路9か
らの信号により陰極線管8の画面上には、xIlllh
に走査イニ冷強度、Y ’+’illにイオン強度を取
るスペクトルが表示される。この時、零検出回路12は
前記走査信号発生回路9からの信号の内、走査信号のi
ij+が零の詩に、前記陰極線管8に輝度変調(3号を
送るので、第5図に示す様に該陰極線質画面上には(1
j1引中心位置を示す輝度マーカMが表示される。そこ
−(、前記走査信号発生回路9からの信号の内、一定電
圧伯母1直(VO)を適宜高くして輝)哀マーカ1゛ソ
1を直1f目の中心(第5シ1の破線)に移動ご(涜、
更に質量数へ110のピークが践画面の中心にjIj 
)”Lンi′、、、′こマーカ上に来る様に、磁場電源
17をコン[〜ロールする。ぞして、分解能を測定する
場合に、質N ’11 M oのピークか位置覆る画面
の中心位置の電圧fz呂値(Vo′ )を中心として適
宜な小(11引幅で画面上及び加速電界とエネルキーセ
レクタ用電揚が掃引される様に前記走査信号発生回路9
の走査fD号をコントロールサれば、第3図に示り如さ
゛質量数Ma ’、Mo −1のピークが画面上tこ表
示される。
オ(発明1こよねば、非常に簡単に所望の質量数のピー
クを表示ざLることが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の質量分析装置の概略図、第2図及びり’
H3図(は質量分析スペクトルを示す図、第4図(よ本
発明の一実施例を示した質量分析装置の概略図、第5図
は本発明の詳細な説明を補足する為の図である。 1:イオン源、2:加速電源、5:磁場、7:検出器、
8:陰極線管、9:走査(8号発生回路、12:零検出
回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. イオン河(、該イオン源からのイオンを加速する為の加
    速電界発生手段、加速されたイオンを質量電動1ヒに応
    じて万円1する為の手段、該分離されたイオンを検出す
    る為の検出手段、該検出信号を表示する為の表示手段、
    前記加速電界発生手段と表示手段に同期して1吊引侶号
    を送る為の走査(厄号発生手設、及び線引信号の中心レ
    ベルを(う2出づ−る手段からなり、該(帛引信号の中
    心レベルを前記表示手段にテ、2示させる様にした質h
    )分析阜装置。
JP57214545A 1982-12-07 1982-12-07 質量分析装置 Pending JPS59104544A (ja)

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JP57214545A JPS59104544A (ja) 1982-12-07 1982-12-07 質量分析装置

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JP57214545A JPS59104544A (ja) 1982-12-07 1982-12-07 質量分析装置

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JPS59104544A true JPS59104544A (ja) 1984-06-16

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ID=16657510

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JP57214545A Pending JPS59104544A (ja) 1982-12-07 1982-12-07 質量分析装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158990A (en) * 1978-06-06 1979-12-15 Jeol Ltd Mass spectrograph for detecting multiple ions

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158990A (en) * 1978-06-06 1979-12-15 Jeol Ltd Mass spectrograph for detecting multiple ions

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