JPS5910437B2 - タングステン系合金を電気メツキする方法 - Google Patents

タングステン系合金を電気メツキする方法

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JPS5910437B2
JPS5910437B2 JP13255076A JP13255076A JPS5910437B2 JP S5910437 B2 JPS5910437 B2 JP S5910437B2 JP 13255076 A JP13255076 A JP 13255076A JP 13255076 A JP13255076 A JP 13255076A JP S5910437 B2 JPS5910437 B2 JP S5910437B2
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JP
Japan
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tungsten
internal stress
aqueous solution
electroplating
hypophosphite
Prior art date
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Expired
Application number
JP13255076A
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English (en)
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JPS5357139A (en
Inventor
順雄 岩崎
寿郎 岡村
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、タングステンとニッケル、鉄、コバルト等の
少なくとも1種とよりなる2元又は3元合金メッキ(以
下タングステン系合金メッキという)を行う方法に関し
、詳しくは電解液に次亜リン酸塩を0.1モル/を以下
添加することにより、低い内部応力のタングステン系合
金メッキ層を形成させる’方法を提供するものである。
タングステン系合金メッキは、高い硬質性と大なる耐酸
性などの性質を具備している。
この特徴を生かして電気接点部分あるいは機械的摩耗部
分あるいは耐酸性器具などにメッキされ広範囲に利用さ
れている。しかし、電気メッキによるタングステン系合
金メッキは、内部応力が高いため、クラック、はがれ、
あるいはメッキ物のそりなどが発生し問題となつていた
。このため一般にメッキ膜厚を約3μ程度に薄くするこ
とで利用されているが、時間を経るごとに応力が緩和さ
れ、クラックなどが発生することがある。
この問題点を解決するためには、タングステン系合金の
内部応力を低下させる必要があり、一般には浴組成の検
討、メッキ条件の検討あるいは新しいメッキ方法の開発
などが行なわれているが今だ成功の例をみない。本発明
は、浴組成を検討した結果から電気メッキによる内部応
力の少ないタングステン系合金メッキ層を得ることを見
い出したものである。
本発明は、タングステン酸塩水溶液とニッケル、鉄、コ
バルト等の金属塩の少なくとも1種の金属塩水溶液とク
エン酸酒石酸又はその塩の少なくとも1種よりなる錯化
剤を含む水溶液との混合水溶液に、更に、次亜リン酸0
.1モル/を以下を加えた電解液を使用して70℃以下
の温度のもとで電気メッキすることにより低い内部応力
のタングステンとニッケル、鉄又はコバルト等の電気メ
ッキ層を形成する合金メッキ方法である。本発明で使用
する電解液は70℃以下の洞度のもとでは化学メッキが
不可能である。
すなわち、従来の次亜リン酸塩を還元剤とする化学メッ
キでは、次亜リン酸塩の濃度が約0.2モル/を以上で
あり、かつ浴温度は、80℃〜100℃で行なわれてい
る。このような高温度では、プラスチック上あるいはエ
ポキシ樹脂等の絶縁体上に銅箔で形成した電気回路上に
タングステン系合金メッキを・ 行なうことは、およそ
実用的ではなかつた。又、このような化学メッキ浴では
浴偏度を低下させて70℃以下にすると、メッキ析出速
度が極度に低下し全く実用にならない。硬に、このよう
な化学メツキ浴組成で電気メツキを行うと、陰極表面で
は、次亜リン酸塩の分解水素ガスの発生反応のみが進行
しおよそタングステン系合金の析出はみられない。本発
明は、このような従来のタングステン系合金化学メツキ
の致命的欠点と、先に述べた電気メツキの欠点を改良す
べく研究をかさねた結果得られたものであわ、かつ、従
来の化学メツキではかえりみられなかつた次亜リン酸塩
の低濃度域で電気メツキを行なえば浴温度、陰極効率、
メツキ物のひずみなどを解決しうることを見いだしたこ
とに基くものである。
従つて、本発明は、公知の次亜リン酸塩を還元剤とする
タングステン系合金の化学メツキ方法とは本質的に異な
るものである。本発明の機構の詳細は明らかではないが
本発明者らは、内部応力の発生機構及び本発明の効果を
次の様に推定した。タングステン金属のみを水溶液から
電解析出させることは不可能であわ、ニツケル、鉄、コ
パルトなどの金属と共に合金として析出させることのみ
可能である。
この様に、強制的に析出させられたタングステン金属を
含むタングステン系合金メツキ膜は、結晶中に大きな歪
をもつていると考えられる。これに対して、本発明によ
る電解液は、次亜リン酸塩を含むため析出金属中に、リ
ン金属が数%から数十%含有され、タングステン系合金
の結晶を乱す作用を行つたため内部応力が減少したと考
えられる。しかし、次亜リン酸塩類と同様の還元作用を
もつ水素化ホウ素ナトリウム又はその誘導液に添加して
も内部応力が減少する効果はなかつた。この様なことか
ら、リンを含むタングステン系合金のみ内部応力が低い
と考えることが、出来る。今一つ次の様な推定を行うこ
ともできる。
タングステン系合金メツキは陰極効率が低く、水素の発
生が大であることから、水素が析出金属中に抱き込まれ
メツキ時あるいはメツキ後除々に析出金属中から外部に
拡散するため、メツキ膜の内部応力が増大すると考えら
れ妬これに対して本発明による次亜リン酸塩類を含む電
解液を用いると陰極効率が従来の約40%から70%へ
と増大し水素の発生が抑御され、前述の如く発生する内
部応力が減少したと推定することができる。
以上、本発明の機構について2つの推定を述べたが、い
ずれにしても、本発明に従えば内部応力の小さいタング
ステン系合金メツキ膜を得ることができる。しかもタン
グステン系合金メツキ膜中にリンが数%から数十%含ま
れているが、硬度、耐酸性は従来のものと同等あるいは
同等以上であるo実施例 1 タングステン酸ナトリウム 50f1/t硫酸ニツケ
ル 20f/tクエン酸
70f1/t次亜リン酸ナトリウム
5f/tの組成を有す水溶液をアンモニア水でPH=9
.0に調整し電気メツキ用の電解液とし浴温度60℃電
流密度5A/Dm2で30分間電気メツキを行うと陰極
効率は約70%で約15μのメツキ膜厚を得ることがで
き、ビツカース硬度は約700である。
又内部応力は約25kg/Mllであるニツケル・タン
グステン・リン合金メツキ膜を得ることができた。又次
亜リン酸ナトリウムを添加しないそれと比較して内部応
力は約1/8・に減少し実施例 2 夕〕ノグステン酸ナトリウム 509/t硫酸ニツ
ケル 10g/t硫酸コバルト
101/tクエン酸 70
f/t次亜リン酸ナトリウム 7g/tの組成
を有す水溶液をアンモニア水でPH−9.0に調整―電
気メツキ用の電解液とし、浴温度60℃で電流密度5A
/Ddで30分間電気メツキを行うと、陰極効率は約7
0%で約15μのメツキ膜厚を得ることができ、ビツカ
ース硬度は約760である。
又内部応力が約20k!9/M7lであるニツケル゛・
タングステン・リン合金メツキ膜を得ることができる。
又次亜リン酸ナトリウムを添加しないそれと比較して内
部応力は約1/10に゜減少しb実施例 3 タングステン酸ナトリウム 50f/t硫酸コバルト
20y/tクエン酸
70′/t次亜リン酸ナトリウム 3f/
tの組成を有す水溶液をアンモニア水でPH=9.0に
調整し電気メツキ用の電解液とし浴温度65℃で電流密
度5A/Dm2で30分間電気メツキを行うと陰極効率
は約75(F6で約17μのメツキ膜厚を得ることがで
きビツカース硬度は約800である。
又内部応力は、約20k9/7!l!!であるコバルト
・タングステン・リン合金メツキ膜を得ることができた
。又次亜リン酸ナトリウムを添加しないそれと比較して
内部応力は約1/5を減少した。以上説明したように従
来の電気メツキによるタングステン系合金メツキでは、
小さい内部応力のメツキ膜を得ることができなかつたが
、本発明による次亜リン酸塩を添加した電解液を用いる
と内部応力の小さいメツキ膜を得ることができるもので
以下その効果を具体的に示す〇(1)次亜リン酸塩を添
加したタングステン系合金メツキ電解液を用いて電気メ
ツキされて得られたタングステン系合金メツキ膜は従来
のものと比較して内部応力がs〜・皿に減少した。
(2)陰極効率が約40%から約70(F6に向上した
(3)電解液の経時変化が小さくなり浴寿命が向上した
。(4)浴温度が70℃以下であるため作業性が向上し
た。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 タングステン酸塩水溶液とニッケル、鉄、コバルト
    等の金属塩の少なくとも1種の金属塩水溶液と、クエン
    酸酒石酸又はその塩の少なくとも1種の錯化剤を含む水
    溶液との混合水溶液に、更に次亜リン酸塩を0.1モル
    /l以下添加した水溶液を電解液とし、温度70℃以下
    のもとで電気メッキすることを特徴とするタングステン
    とニッケル、鉄、コバルト等の少なくとも1種とよりな
    るタングステン系合金を電気メッキする方法。
JP13255076A 1976-11-04 1976-11-04 タングステン系合金を電気メツキする方法 Expired JPS5910437B2 (ja)

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Publication Number Publication Date
JPS5357139A JPS5357139A (en) 1978-05-24
JPS5910437B2 true JPS5910437B2 (ja) 1984-03-08

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