JPS59101788A - ランプ・アニ−ル装置 - Google Patents
ランプ・アニ−ル装置Info
- Publication number
- JPS59101788A JPS59101788A JP21193682A JP21193682A JPS59101788A JP S59101788 A JPS59101788 A JP S59101788A JP 21193682 A JP21193682 A JP 21193682A JP 21193682 A JP21193682 A JP 21193682A JP S59101788 A JPS59101788 A JP S59101788A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- lamp annealing
- shutter
- annealing device
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はハロゲン・ランプによるランプ・アニール装置
構造に関する。
構造に関する。
従来、ハロゲン・ランプによるランプ・アニール装置に
はシャッターが付いていず、アニール時間の制御にはラ
ンプへ入力電源のオン、オフによっていた。
はシャッターが付いていず、アニール時間の制御にはラ
ンプへ入力電源のオン、オフによっていた。
しかし、上記従来技術では、試料表面への光照射の立上
り、立下がり時間が長く、瞬時アニールが行なえないと
いう欠点があった。
り、立下がり時間が長く、瞬時アニールが行なえないと
いう欠点があった。
本発明は、かかる従来技術の欠点をなくシ、ハロゲン・
ランプによるランプ・アニールを瞬時に一括アニールす
る装置を提供することを目的とする。
ランプによるランプ・アニールを瞬時に一括アニールす
る装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明の基本的な構成は、ラ
ンプ・アニール装置において、ハロゲン・ランプを光源
とし、シャッターを通して、瞬時に試料表面を一括アニ
ールする構造を具備せる事を特徴とする。
ンプ・アニール装置において、ハロゲン・ランプを光源
とし、シャッターを通して、瞬時に試料表面を一括アニ
ールする構造を具備せる事を特徴とする。
以下、実施例により、本発明を詳述する。
第１図は本発明によるランプ・アニール装置の、蝉略を
示す模式図である。・・・ゲン・ランプ１からの光は、
反射ミラー２等を反射した光、あるいは直射光による光
３を水冷したシャッター支持フレーム４に支持されたシ
ャッター５を開閉して、瞬時光６を試料台８上の試料７
の表面を一括瞬時、ア＝−″する構造を有するう／７’
−７，＝″−″−″装置。
示す模式図である。・・・ゲン・ランプ１からの光は、
反射ミラー２等を反射した光、あるいは直射光による光
３を水冷したシャッター支持フレーム４に支持されたシ
ャッター５を開閉して、瞬時光６を試料台８上の試料７
の表面を一括瞬時、ア＝−″する構造を有するう／７’
−７，＝″−″−″装置。
□ 上記如き装置を用いることにより、シャッターを用
いない場合には第２図に示す時間一温度特性のＡ曲線の
如き試料表面温度が゛）変化するのに対し、本装置によ
ると、第２図Ｂ曲線の如き特性をもつ瞬時一括アニール
が可能となる効果がある。
いない場合には第２図に示す時間一温度特性のＡ曲線の
如き試料表面温度が゛）変化するのに対し、本装置によ
ると、第２図Ｂ曲線の如き特性をもつ瞬時一括アニール
が可能となる効果がある。
尚、一括照射は試料全面である必斐はなく、部分的ある
いはステップ吻アンド―リピートによる照射も可能であ
ることは云うまでもない。
いはステップ吻アンド―リピートによる照射も可能であ
ることは云うまでもない。
第１図は本発明によるランプ・アニール装置の概要を示
す模式図である。第２図は本装置によるアニールの効果
を示す時間一温度特性である。 １・・１・・ハロゲン・ランプ ２・・・・・・反射鏡 ３・・・・・・放射光 ４・・・・・・シャッター支持枠 ５・・・・・・シャッター ６・・・・・・照射光 ７・・・・・・試 料 ８・・・・・・試料支持台 Ａ・・・・・・従来特性 Ｂ・・・・・・本特性 以上 出願人 株式金社詠訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務
す模式図である。第２図は本装置によるアニールの効果
を示す時間一温度特性である。 １・・１・・ハロゲン・ランプ ２・・・・・・反射鏡 ３・・・・・・放射光 ４・・・・・・シャッター支持枠 ５・・・・・・シャッター ６・・・・・・照射光 ７・・・・・・試 料 ８・・・・・・試料支持台 Ａ・・・・・・従来特性 Ｂ・・・・・・本特性 以上 出願人 株式金社詠訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ハロゲン・ランプを光源とし、シャッターを通。 して、瞬時に試料表面を一括アニールする構造を具備せ
る事を特徴とするランプ・アニール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21193682A JPS59101788A (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | ランプ・アニ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21193682A JPS59101788A (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | ランプ・アニ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59101788A true JPS59101788A (ja) | 1984-06-12 |
Family
ID=16614129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21193682A Pending JPS59101788A (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | ランプ・アニ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59101788A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4948572A (ja) * | 1972-09-12 | 1974-05-10 |
-
1982
- 1982-12-02 JP JP21193682A patent/JPS59101788A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4948572A (ja) * | 1972-09-12 | 1974-05-10 |
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