JPS59100404A - 三角形状の反射型レリ−フ回折格子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ｊ支術分野　） 本う〆１明（ま三角形状の反射型レリーフ回折格子ンこ
関するもので、主な利用分野として、分光器σ）波長分
散素子、ホロスキー八・ナーて・のホロクラム媒体、光
梁債旧１［ｔｌ＜での「０１伝楢了、光導７皮、１酪へ
Ｑ）グレーティノブ・カゾラ、光通信て゛の波長分散素
子等を挙け４）ことができろ。

（従来技術） 反射コ′ｌ＋１１衣１イ［ルリーノ回折格子では、回折
格子形状がブレーズ条件を潤だず場合に高い爬１折タノ
ノ４、が得らねることが知６ｉている。

ここで、プレース条件とは、回折、活了（Ｌ′ｒＣ入射
した光の回折角を、プレースさ才また表面の、三ヂ１１
形の斜面て゛の反射、ｆ′Ｉ−１に一致させることで゛
得らブ１ろ。

例えは、ぢ′１図（Ｃおいて、回折４チ：子間隔なｄと
し、ブ１／−ス角θの直線格子１シて波長λσ−）光を
入射角αで入射させた場合を考えてろζ〕。１、−σ）
とき、１次回折尤の回折弁１少でβとず１＋は、プレー
ス匍２に対して入射光と回折光が正反射の関係（す４Ｃ
わちα−θ−θ−β）にあるとぎ、フレーズ条（牛へで
満たずという。

し１１えは光導？支路へのグレープインク・カブラに用
いらねろ反射型プレース回折格子では、回折楕間隔ｄな
狭くする必要が、、！ｌ−）るが、上Ｍｅ　’−）γう
な反射型ブレーズ憎子では、Ｌｉ折格−ｊ″−間隔ｄが
））たくなるにつλ１て、入射光りの愉光ガ！米に−Ｊ
二つ、回折光り、の回折効率が必ずしく、旨く（ま／、
［くなる。そし。

て、この傾旧」は特（（、入射光りの偏光方向がＬｌ）
１折烙子ｊ祢に平行（考・１図の六栽面をＹｊ＜方向）
な的絨財）■、の］表１１合一τ著（−い０．又、上記
ブｌ／−ズ条件を整ぐ−イ）ことが回折効率４−・向上
すく）上でどこまで崩効１）１１Ｊ’ｊらかで（・よな
い、うなお、則・１図中、才ｑ’９　’ｉ、ｏ　　は０
次光を／ト’Ｊ”’　（＋ （［−１的） こｕ’）発明＋７１　ｉｉ的ば、［１１１折格丁−調（
（刈し一ゴ′行な電気−＼、（＋　Ｔｈルイぐイｆする
泊線偏光が入射−七ζ）場合に、１・（１：ｌ’ｉ格子
ζ１□腎が狭くｔ３、−っても高いＩＡ’ｌ　Ｍ「効谷
二を得イ）とどがで゛さる↓うな尺帽型しリー゛ソ回折
相子を提供」　二）こ−と　１こ　ｋ）ろ　１、 とｌ：ン）光１ｑｌｌ　ｉフ）土部１目的（，７従っビ
（二、回折格子形状が−等′）、遅三ユ・′４・ト・ｒ
り反射２リグレーズ回折格ｒが提供さ才１　ζ１゜ （＋ｊ４　　　吸） ＋２１ン：］　ｔ’ｔ−’マｌ′Ｆ：香１］Ｌ′リーフ
ＩＧ＋折格−「を拡大（７た状貢゛６うｆ示１−か、［
ゞ゛（ｊ中、１１ｊ１折略了ｎｉｌトｉ彰ｄ及び同１七
丁格子ン嘗″：、さろ＋、、５ト′として三〕了」月４
の斜面（）゛レース［翔）の：１届ｄ１　　を変ｆ１□
さぜ４）・二、と“て゛回１Ｊ−ｉ格子の三角形状が変
化するＯ　ｆＡＪ女−ばｄｊ　、、、’　ｄ　＝　０　
　では、すσ〕直角三角形、ｄｉ　／　ｄ　＝　（１，
５て゛はニ二等辺三角形、ｄ’、　／　ｄ・・１で（ま
右σ）曲角二伯形の形状とな、り）。北６１シ中、ｄ＋
／ｄ　＝１１７）ときがプレース条件ケ（１ν１だ−づ
゛回折格子形状で’、’ｉ）’４）。

十３図ハ、ＦシＱ４’　Ｊｆａ　しＩ）　−、、ｙ　：
：：４Ｌ、了−６ノフｖ　−ス４１１　（７）効果を検
剃す４）ためＨｚＣ行なわ才またシミュレーン−４／の
絹仁嚇を不し７たもジ）で、回Ｊｊｆ化了−の一■玉角
形状Δ二変六−たときの回υ「〃ノ４ｇ、の変化３−示
（−７−ζ−いと１．１．叱；４図’ｔｃ　ｉ−Ｊ結果
（」１、””　〕＋　件””　＜ｓ　トＩ／ｉｆ　（Ｖ
　Ｄ）ｔｌだ。

（１）　　入射光（、ｊ　７．ｒジ艮ス＝　０．６３２
８８〜ハ）（ｅ　−Ｎｅレー→２光で・、［１′）ｌ、
す「４各寸）賃（（・Ｆ行へ−１凸６糸戻年階）Ｙ、六
′ＱＪ二ム１１する。

（２）　　人肘角Ｑｚ１、入牙ｊ角とＩＮＪ　’ＪＪ７
角：′戸−ｆｊ（−Ｊ”　７）　Ｉ’：１計□１す［・
ロー入射と−なるよう設定′１−ζ）、］）Ｈ・１コ一
　人種条件！’Ｌ　矛１１ｆｉｌで−（ｘ＝−βの場合
゛でありα−”５ｌ１１（λ　／　２ｄ　）　　　へで
　イも、′１　／こ　づ−。

（３）　　回折格子（Ｔ）反射体−２銀を蒸７・ｉ％：
　Ｌ、、−７二もｅ）を使用する。

図示”）　・’、、ｔ１　＜、［「１：折格了間Ｉ′：
：゛、”１［・こ−Ｌす［１１：旧パλ）ｒ　−ｆ；　
ｆ　、’、＞ご什；Ｌ′Ｔ）１〜か、仁が屓なっている
ことがわ、勧ろ。１．１１−１　’／１ｄ　＞　１．（
１０Ｉｌｍではブｔ／−スへニブ／Ｐ　（ｄ、　、、、
／　ｄ＝　］、ｏ　）で”　ｌ！ｌ　ｔ’ｆｉ’　Ｓｌ
＋　”ｌ　ｂ”　最大トナー）　（イＺ）が、ｄ５ｏ、
ｓ。

で゛（づ、で等辺王角卓２状（［（１／　ｄ　＝　０．
５　）　　θ）１）−きに［［〕Ｉ士斤効率ｚ′〕・Ｉ
′１．′−犬となってい４・。−）まり、津ミレλ−０
、ｂ’３２８　ｐｍ　！１．）光が人射才ζ）賜金に（
・マ、回折格子間［（：’、ｌｉ　ｂ’；　（１、８０
μｍ以下（、り修了ではグレーズ化・ツ）りｔＩ−果が
ないといえＫ）。

１２ノ、上　＆）　ｉ砒：ｊ−ｙ、ｌｌ　　、　　１１
４ｉ　　ｒ斤ｔ＋　　子ｒ＝’ｌ　ｊ；、、：　　ｋ　
Ａ　Ｑ寸）’ｆ−，０）ｐａｌ　　畏゛１″：規イζ′
イ化し２、［；１つ、１［（シのンミョ、レーン−３７
・〕−）結果等へで％％：、、合し、で、ｄ２・′λＣ
ｌ　−２５（’）　場合、反躬県１／リ　−ニア　　ｆ
（７十１十汀（各子で゛は、　４各　イ　ガ２状を　−
二六〜辺三　角　形　とし、たときに１蓼、還・１Ｌ１
１十打つやいり、・か林ンらおること（Ｃな乙）。

次、／（″、、Ａ・４図色−祭ｆｉｔ：、　ｉる（ｆζ
、と杓は、正画形状の反射型し・リ−７′［す、叫［〒
洛トの入身司白躇化υ′こ対する１に１１１Ｊ１力゛ｊ
率変化を示（−てい４）。［゛ン１示σ−）品゛果（よ
、回すｉ格子］￥ｊｌ　ｔ’、’１１ｄ二０．４４７μ
ｍ　＋　Ｉけ（折格子緑さｌに０．５３Ｉｔｍ　　Ｑ〕
二等辺三Ｌし（１形状な有し、ＩＯ１街格イ表面には、
ｉｌＬ！が蒸甑さＪｌている反射型レリーフ回折格子に
、彼（（λ−（１，６３２８μｍであって回折格子溝Ｌ
ｒ（平行に的＃ｊｌ　’Ｉλぽ（光す６　Ｈｅ　’　−
Ｎｅレーザ光を入射させて盪らｆ′ｌた。図示の如く、
入射食ａ−４５°で回折効率が最大と／Ｉっでいること
がわかイ）１うす［」ち１．＝　１！’ｌ　＋と、入射
１’ｌ’ｌ　（１＝　ｓｉｎ　　（λ／　２ｄ　）　　
１７）とλ、回１ｆ−１効−１４が有ン人となる）こと
を；曾、（床（−１−こいイ）２、〒ｌ゛ｒっで、（１
／′λ　Ｃ］、　、２５　　　ｆ、７　７．）　　ご　
３ｑ　、（、Ｂ　　Ｅ、　ｆ’＋　　Ｊし　ａ　　”）
　　ガン　第ｉ’　　”１”、　　”　　！］　　　　
　７匡Ｖｌ　４Ｊ１４各　了　て゛（・↓　、　　人　
’Ｍ　　戸−Ｉ　　Ｑ−ｓｉｎ　　　　　（λ　／　２
ｄ　）　　　グ）６１度で光る・入射さぜλ）ｊは、ｌ
ｊｒ；ｌ折効？１・を・最大’：Ｃすることかできろ。

本発明（、て係ろ二角形状ε′）Ｊシ射・リレｉＪ　−
、−、、（−・［１〒伶−ｆは公立目つ刀−リ７グエ／
／）に↓二りアノしミニュウム（：４；、　４反ケはか
くことで１乍製て゛き′乙）。斗［１１１←十かぎシで
よｉ）ｉ乍製さλまた］「）、１　’ｊｊｆ　３イ≦子
ノ［、′状へで田′５［ごン：（・べ′示−［・１、又
、ガン；べ一７１文土１二「ホトし７／スト省：’７）
Ｊ、屯う１１二：　ｔｅｌ、　ｌ・１：肌ヤ塗布し、；
己光末干渉光てｌＳ７、）Ｉ［′冊−７、功１ダ１−≧
、）ボトリ７／グラノ、イー抄４１ｈ、筐よ−）−〔＜
、作製で゛き’　６　（、ホトす／クシ７−（−技（Ｌ
ｉｔで゛１．ｊ、Ｉｅｓ川＝　ｉ’；’、子１［・−状
０１．市弦ｊ反状であ４）が、堝す１．像を行なうこと
で゛＋６　ｃ＋Ｉに７）ミす々１」＜ガラス（水板３　
Ｊ−のＬ鳳ヴ凸１−：二］南７４　＋）ｒ♀１」１を’
ＤＩ名−当−辺三角形状とず乙）ことかて・ぎ、とｔｌ
、に光反射ｉイ］の金属７層お１杉１ユに寸　イ）こ　
とて・二寺ｔυニー：ｐ’＋ｔし状α）最　１ｊ’　２
ｕツレリ一フ回折枯了５ご得る。

更し１−、上記のけかいたアルミごユウノ、児板や、７
」、トす、／グラノ、・−桟部をがれ（〜た感光！体位
」脂５層りでマスター＝と（−６公知の復製技術を用い
てｔ／ブリカをｉ’ｆ：　”、博し、そｌ〕）六−面に
グ「−反氾附の金脳層シ形成して玉１ｉ１）ｆ２４）こ
の反四型ｌ／リーノ回Ｕ口を子を作水１（す４）・−ど
も−ご゛きる・、 （効　果） 、−で’）　、Ｉ　’）　ＶＣ本発明−Ｃ゛匹１ｄ　／
λ≦１．２５　　の回折１１“１５Ｉ聞隔ｌＸ：もつ反
ジ、ｊ−，４，−，４１ｙ、リーフ７回折、７子（τお
いて、回」ｆ１゛（名子形状を・二〜１２ζ１三λ′で
４月〉どずイ）ことで、ブレーズ条１．ｔ）を、％’ｌ
た才回折格−「よりｄ）亮い回折効率？例会、二とがで
きる１、 又、上記本発ＬＶ）］ｌ・こ係る反射型レリ〜ノ回折格
子によ・；いて入射角（１”−’　Ｓ　ｌ　ｎ　　（λ
／２ｄ）て゛波長λｉ、７）光ケ入躬１さぜる、二と゛
′ζ≦゛最火回折力ｊ率をｊ焙ることか千゛き不）。

【図面の簡単な説明】

３１′］図（・ま反＠−＋ｌ型しリーノ回折活子への久
躬光、１７：；ｌ　４Ｊ−ｉ光１す１−４保を説（ｊれ
１１．た回折格ｆ部σ）：広大Ｙびｉ面図、’Ａ′２’
２．１は、ｌｉ：、ｌ　ｉ’ｒ　折７　＋間１ｆｉ　ト
斜面幅の関係をｊ４５Ｗ明した反射型ｌ、・・リーフｊ
ｙＪ、’ｊ折格子↑“小の私法断面［゛ン１、計３図は
１（１折格子間隔及び回折格−ｐ、、　Ｊ）正角形状と
１−］１折＋ｉ’＋１屑、玉との［、′、目係る・説、
明した図、Ｃ（・・１図は外１発［１１に係る二角形状
の反射型り、＝　ＩＪ　’−）回折格子におげ４）入射
角と１ｉｊｊ祈効；イ、二の関１糸を１１虻、ヴ１した
（裂、１・５（ン７□、オ・ＯＩネｊは＝ｈＺｚ本うた
１明１・こ係イ）Ｅ　ｆ”’：形形状９阪回１斤格子　
な魚１乍す、ζ）ｉ岐本呈（、−、　、ｌ，マげ　イ）
１！−ｉ１七５−や？′ーイ音［じ′）［広大ｊ．ｉｊ
ｔ１ｊｍ　ｌ”７．　ｉである。 ＼ レーーーーーーーー５７−ーーー□ １７− 沿ａ１０ ｄ７ｉＱ。 ・最４又 入射角べ（皮）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　１Ｔｌｉ折格子間’Ａ％がｄの反射賊表面しリー
   フ回折格ｆにおいて、波長がλであって回折格子溝と佇
   行ブ「電気ベクトルを有する直線偏光か、ｄ／λ４ノ、
   、２５　で入射さ牙することを条件として回折格子形状
   を二等辺三角形で形成したことを特６′１．と１−４）
   三角形状の反射型レリーノ回折格子。