JPS5897245A - イオン源 - Google Patents
イオン源Info
- Publication number
- JPS5897245A JPS5897245A JP56195312A JP19531281A JPS5897245A JP S5897245 A JPS5897245 A JP S5897245A JP 56195312 A JP56195312 A JP 56195312A JP 19531281 A JP19531281 A JP 19531281A JP S5897245 A JPS5897245 A JP S5897245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- argon
- specimen
- adsorbed
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/142—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers using a solid target which is not previously vapourised
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は質量分析装置に用いて好適なイオン源に関し、
％ｔＣ試料を高速の中性粒子−こよって衝撃しイオン化
するようにしたイオン１１＃ｃ関する０近年ターデッド
上薯こ塗布した試料Ｉこ高速の中性粒子を衝突させ、該
試料をこの中性粒子のエネルギーｌζよってたたき出し
、更ＩＣイオン化する方式のイオン源が注目されている
。このイオン源は質量分析装置のイオン源として用いた
場合、イオン化のエネルギーが小さくソフトなイオン化
であること、正イオンばかりでなく負イオンの生成率も
高いこと、更には試料に中性粒子を＊＊＊すること力）
らチャージアップがなく絶縁物試料でも容易にイオン化
ができる等多くの優れた峙蔑を有している０しかしなが
らこのイオン源では気体試料をイオン化することは困−
であった。
％ｔＣ試料を高速の中性粒子−こよって衝撃しイオン化
するようにしたイオン１１＃ｃ関する０近年ターデッド
上薯こ塗布した試料Ｉこ高速の中性粒子を衝突させ、該
試料をこの中性粒子のエネルギーｌζよってたたき出し
、更ＩＣイオン化する方式のイオン源が注目されている
。このイオン源は質量分析装置のイオン源として用いた
場合、イオン化のエネルギーが小さくソフトなイオン化
であること、正イオンばかりでなく負イオンの生成率も
高いこと、更には試料に中性粒子を＊＊＊すること力）
らチャージアップがなく絶縁物試料でも容易にイオン化
ができる等多くの優れた峙蔑を有している０しかしなが
らこのイオン源では気体試料をイオン化することは困−
であった。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、ｖ：、科
ガスを吸′着性を有する部材に一旦吸着させ、該部材に
中性粒子をあてること１こよりイオン化することを特徴
としている。以下ｇｌｒＩＢを用いて本発明を＃ｉＩＰ
説する。
ガスを吸′着性を有する部材に一旦吸着させ、該部材に
中性粒子をあてること１こよりイオン化することを特徴
としている。以下ｇｌｒＩＢを用いて本発明を＃ｉＩＰ
説する。
第１弱は本発明の一実織岡の構成を示す新聞図であり、
図中１はアルゴンイオン銃である。該イオン銃１から発
生した高速度、のアルゴンイオンビームは内部ｌζ１ル
ゴンガスが満たされた衝突９２内に入射し、その一部は
アルゴンガスとｆｒ突して電荷を奪われ、高速のアルゴ
ン中性粒子となる〇この衝突Ｗ１２の下部には静電偏向
板６が配電されでおり、該偏向板５によって衝突＃Ｌ２
を通過したアルゴンイオンは偏肉されて取り除かれ、電
荷を持たないアルゴン中性粒子のみが該偏向板６の下部
に配置されたイオン化箱４内に導入される０該イオン化
箱４内１ζは岡えば鋼製のターデッド５が配置されてお
り、錬ターデッド５のｔｋ面一ζは吸着性を有する部材
筒えば活性炭の粉末を固めた薄板６が取り付けられてい
る。そして該薄板のと方には導入−寸イブ７の吹出口が
近接して配置される〇鋏導入Ｉくイブ７１こはガスクロ
７トグラフ８がキャＩＪ ７ガスを除去するためのセ／
くレータ９を介してＩａ続されているロ上記イオン化４
４及びターゲット５には電源１０から岡えば３ Ｋ Ｖ
、’ｌｉ度のイオン加速電圧が印加されており、ｊ！＋
ここの加速電圧は分圧器１１で分圧され、スリット電極
群１４１ｃ印加される〇 と述したＫＪｉ！！構成ｉｃおいてイオン銃１から発生
した高速のアルゴンイオンの内のかなりの部分は主とし
て衝突＃１１２内においてアルゴン原子と衝突して電荷
を失う。従って該資央痙２からは中性の高速アルゴン原
子と衝央痙内で電荷を失わなかつ？：アルゴンイオンと
の混合ビームが得られ、このうちアルゴンイオンは偏向
板Ｓによって偏向されて取り除かれる。その結果中性の
アルゴン原子ビームのみがイオン化ｌａ４内の薄板６に
入射すること１ζなるが、該薄板６のＡｔａ６ｃは同時
湯ζガスクロマトグラフ８で分離されたｇ科ガスが吹き
つけられ、該試料ガスの一部は薄板を構成する活性炭に
吸着された状態となっている口そのためこの薄板６に＾
遭のアルゴン原子ビームが入射すると、該アルゴン原子
のエネルギーにより吸着されている試料ガスは活性炭と
共にイオン化される０この嫌にして生成されたイオンは
スリット電極界１４によって引出され、頁には加速され
て図示しない質量分析部へ導かれる。
図中１はアルゴンイオン銃である。該イオン銃１から発
生した高速度、のアルゴンイオンビームは内部ｌζ１ル
ゴンガスが満たされた衝突９２内に入射し、その一部は
アルゴンガスとｆｒ突して電荷を奪われ、高速のアルゴ
ン中性粒子となる〇この衝突Ｗ１２の下部には静電偏向
板６が配電されでおり、該偏向板５によって衝突＃Ｌ２
を通過したアルゴンイオンは偏肉されて取り除かれ、電
荷を持たないアルゴン中性粒子のみが該偏向板６の下部
に配置されたイオン化箱４内に導入される０該イオン化
箱４内１ζは岡えば鋼製のターデッド５が配置されてお
り、錬ターデッド５のｔｋ面一ζは吸着性を有する部材
筒えば活性炭の粉末を固めた薄板６が取り付けられてい
る。そして該薄板のと方には導入−寸イブ７の吹出口が
近接して配置される〇鋏導入Ｉくイブ７１こはガスクロ
７トグラフ８がキャＩＪ ７ガスを除去するためのセ／
くレータ９を介してＩａ続されているロ上記イオン化４
４及びターゲット５には電源１０から岡えば３ Ｋ Ｖ
、’ｌｉ度のイオン加速電圧が印加されており、ｊ！＋
ここの加速電圧は分圧器１１で分圧され、スリット電極
群１４１ｃ印加される〇 と述したＫＪｉ！！構成ｉｃおいてイオン銃１から発生
した高速のアルゴンイオンの内のかなりの部分は主とし
て衝突＃１１２内においてアルゴン原子と衝突して電荷
を失う。従って該資央痙２からは中性の高速アルゴン原
子と衝央痙内で電荷を失わなかつ？：アルゴンイオンと
の混合ビームが得られ、このうちアルゴンイオンは偏向
板Ｓによって偏向されて取り除かれる。その結果中性の
アルゴン原子ビームのみがイオン化ｌａ４内の薄板６に
入射すること１ζなるが、該薄板６のＡｔａ６ｃは同時
湯ζガスクロマトグラフ８で分離されたｇ科ガスが吹き
つけられ、該試料ガスの一部は薄板を構成する活性炭に
吸着された状態となっている口そのためこの薄板６に＾
遭のアルゴン原子ビームが入射すると、該アルゴン原子
のエネルギーにより吸着されている試料ガスは活性炭と
共にイオン化される０この嫌にして生成されたイオンは
スリット電極界１４によって引出され、頁には加速され
て図示しない質量分析部へ導かれる。
尚吸着された試料ガスが離脱しやすいようにするために
薄板６を加熱する手段を設けることが好ましい。
薄板６を加熱する手段を設けることが好ましい。
試料ガスを吸着させる方法は土紀夷織例の４９１１こ表
面から吹き付けるだけでなく、第２１１ｉｌに示す様に
導入−寸イプ７の先端に薄板６を取付け、１ルゴン原子
が入射する−の反対側から試料ガスを送り込んで吸着さ
せることも可能である◎第３図は２寸イブ７の先端部の
拡大図を示し、該先端部夢ζは多数の小穴があｔすられ
たキャップ１２が取り付けられ、その上面に薄板６が取
付けられている０ガスクロ７トグラフからのガスは上記
小穴を介して薄板６を通り抜ｔする関＃ＣＩ＆着され、
上方から入射するアルゴン原子台こよってイオン化され
る。
面から吹き付けるだけでなく、第２１１ｉｌに示す様に
導入−寸イプ７の先端に薄板６を取付け、１ルゴン原子
が入射する−の反対側から試料ガスを送り込んで吸着さ
せることも可能である◎第３図は２寸イブ７の先端部の
拡大図を示し、該先端部夢ζは多数の小穴があｔすられ
たキャップ１２が取り付けられ、その上面に薄板６が取
付けられている０ガスクロ７トグラフからのガスは上記
小穴を介して薄板６を通り抜ｔする関＃ＣＩ＆着され、
上方から入射するアルゴン原子台こよってイオン化され
る。
以上詳述した如く本発明：こよれば気体試料であっても
中性粒子でイオン化することが可能となる０
中性粒子でイオン化することが可能となる０
第１図は本発明の一実織例の構成を示す断面図であり、
第２１！ｌｌ及びＩＩＩｋ３図は他の実施例の要部新Ｉ
ｉｉ図である。 １：γルゴンイオン銃、２：衝突痙、６：静電偏向板、
６：薄板、７：導入Ｉ４イブ、８：ガスクロマトグラフ
、１２：キャップ。
第２１！ｌｌ及びＩＩＩｋ３図は他の実施例の要部新Ｉ
ｉｉ図である。 １：γルゴンイオン銃、２：衝突痙、６：静電偏向板、
６：薄板、７：導入Ｉ４イブ、８：ガスクロマトグラフ
、１２：キャップ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 中性粒子ビームを作成する手段と、該中性粒子ビー
ムの通路）＋に配置される吸着性を持つ部剃と、該部材
１こ吸着させる試料ガスを導入するための試料導入手段
を備え、試料を吸着した前記部材Ｉｃ１１１１１ｅ中性
粒子をあてて試料をイオン化するようにした仁とを特徴
とするイオン源。 龜 ガスクロマトグラフを＊ｇ試料導入手段に接続した
特許請求の範囲第１項記載のイオン源〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56195312A JPS5897245A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56195312A JPS5897245A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897245A true JPS5897245A (ja) | 1983-06-09 |
Family
ID=16339055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56195312A Pending JPS5897245A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897245A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071065U (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-20 | 日本電子株式会社 | イオン源 |
| JPS6361199A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-17 | 日本電気株式会社 | 粒子線発生装置 |
-
1981
- 1981-12-04 JP JP56195312A patent/JPS5897245A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071065U (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-20 | 日本電子株式会社 | イオン源 |
| JPH043386Y2 (ja) * | 1983-10-21 | 1992-02-03 | ||
| JPS6361199A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-17 | 日本電気株式会社 | 粒子線発生装置 |
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