JPS5896877A - 金属板のエツチング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は長尺の金属板の所定部を黴ｌｌ１１１１密にエ
ツチングする方法−二関するものである。

発明の技術的背景と間隠点 例えばオラー受像管は−Ａ用、モニター用、航？！　＠
　４：積載すみディスプレイ用など、その用途が多舷儂
；わたっており、この内一般家庭用を別とし工、モニタ
ー用、ディスプレイ用のものは極めて黴細な画質が要求
されているため、これらζ；使用するカラー受像管１：
装着する７ヤドウｉスクの電子ビーＡ通孔部は高精度で
且つ黴細なもの力１賛求されている。

このようなンヤドウマスクの電子ビーム通孔部の形状を
説明すると、第１図も：示すよう一：７ヤドウマスク素
材（１）じブリッジ（２）を介して長手方向）６を連接
された矩形状通孔部（３１は電子ビーム（４）の入射す
る１ｉ１１：小側孔１ｔ（３□）、螢−ｙｔ向鉤Ｉ：大
側孔部（３１）が形成され、矩形状通孔部（３）内面で
電子ビーム（４）が反射すゐのをＶ止するため、素材板
厚け１４二対して小側孔部（組）　の深８（ｔｌを小と
するようｇ：　Ｉｔぼナイフェツジ状舊：形成されてい
ゐ、また他の例とじ又は第Ｚ＠４：示すよう（；クヤド
ウマスク素材甑υにほぼ３角形の各頂点（二設けられた
円形状通孔部１ｌｔ３が同じく電子ビー五〇の入射する
ｉｉ］１：小鉋孔部（１３，）、＊　ｊｔ、　ｊｊｌ　
ｍ　ｇ”　大＠　孔ｓ（１−％　）　カラＮ　ＭＥ　；
ｉ’　し、この目形状通孔１！（１４内向で電子ビーム
Ｑ４１が反射するため勤素材板厚（丁１ｃ対して小側孔
１１（１３，）の深さくｔｌを小とするよう、はぼナイ
フェツジ状−二形成されている。このような電子ビーム
の過孔部なエツチングｌ二より穿設したクヤドりマスク
は７ヲツト！スクから成形プレスする際とか、カラー受
像管の管内感二装曹された場合１：も適切な機械的！！
！！１度が必要である。

１１ｉ述の如くエツチングにより微細で高精度、即ち寸
法精度、ばらつきの小さいンヤドクマスクの遥孔部など
の孔１１な穿設するには、鉄などの被エツチング用の金
属板の板厚が薄い時、即ちエツチング時間が短く、且つ
露党崎に使用する焼付ネガがＪ［Ｊｉ［の形状を忠実−
二再現することに関しては一刹である。しかしこのよう
に板厚か趣いものは機械的！ｌ１ｉＩＩｆＩＤ点で劣り
、後工程で成形したりする跨１；所定の目的を遁威出米
ない、このため、あＪ＋１１度の機械的強度が要求され
為ものでは板厚な厚くしなければならないが、板厚の厚
い金属板に微細で高精度の孔部を穿設しようとすると、
エツチング時間が長くかかり、そのためこのエツチング
による寸法、形状のくずれが生じ易く、安定性に欠ける
。

このエツチングを両面から行なう従来のエツチング方法
では過度にエツチングしたり、また不規則にエツチング
したりする。この場合過度のエツチングは被エツチング
材を垂［にエツチングする（二伴い、壷方向即ち孔部の
４１ｉｉＩｉ方回のエツチングも進行するため微細な孔
部の穿設が困難である。

そしてこの両面からエツチングする方法を連続的に帯状
の金属板ζ；適用する場合には更に微細な孔部の穿設が
岡離となる。

この両面からエツチングする方法の欠点をＷｔ＊する方
法としては片面エツチング方法と称し、エツチングの前
半で金属板の例えは表側より一度エツチングを行ない、
洗浄、乾燥したのち、ニスやレジンのような物質で一時
的にエツチングを行なった面を蓋すし、エツチングの後
半において裏面からエツチングして孔部を穿設する方法
とか、ニスやレジンのほかに！イラーベースとが１ボジ
プ謬フイルムなどを有用し″Ｃ部分的に鐘蔽しながらエ
ツチングする方法などが使用されているが、これらはい
ずれも処端方法がｌｌ繍であり、かつ手間がかかり、量
産性には同かない欠点があった・＠明の目的 本鴎明は金ａｔｉｔの所定部をエツチングすゐに際し、
金属板の厚み方向の不所望なエツチングを抑−し乍らｌ
ｌａでｉ精度６ニエツチングすることを目的とする。

発明のａｍ 本発明は金属板の両主函のうち一方の主面に接着剤を介
して有ｓｌｉフィルムを圧着してこの鈎の腐蝕を防止し
乍ら他面を所定部迄エツチングし、次いで有機フィルム
を剥離除去後再度両画からエッテンクスることによっ工
微細なパターンのエツチングを高、精度に行うものであ
る。

発明の実施例 本発明をカラー受像管用７ヤドクｉス！のエツチングに
適用した例について以下に説明する。

まずエツチングに先立って長尺の鉄を主成分とする金属
板の両面にはレジスト族が１に布され、一枚のシャドウ
マスクに相当するよう一定間隔な随いて９Ｊ１１図及び
第２図に示すような所定の微細孔に対２するパターン、
即ちエツチング終了時点で両面の開孔ナイズが異なるよ
うに設定された丁イズの異なるパターンが光露光法によ
って形成され、金属板面の選択的エツチングを可能とす
る。次いで金属板の一方の面、例えば第１図の電子銃側
の小側孔部（３Ｉ）に対応する面に接着剤により有機フ
ィルムを圧着する。接着剤としてはアクリル樹脂を用い
、有機フィルムとしては厚さ０．１　ｍのポリエチレン
フィル＾を用いた。この有機フィルムの圧着は第３図ζ
；示すように、適用する金属板（２）に対応する幅の有
ｊＭフィルム１１：予め接着剤が塗覆 布され剥離紙（［６１で被゛璽′されロール状≦二巻か
れたドラムから供給されゐ、有機フィルム（１５は口〜
ラーＱ７１により張力をかけ乍ら同時にローラーσａに
よって剥離紙ｒ１Ｇが分離され、次いで有機フィルム〇
は接着剤ｍ布面が金属板Ｕに対接するよう（；ローラ−
■及び四によって加圧され乍ら圧着される。この時の加
圧力は約２Ｋｆ／ａｉで、［８フイル＾の粘着ｇ二有機
フィルムを圧着し、２０℃、３００ｗ１分、１８０゜剥
離で画定した蝋である。粘着力が２００（ｇ／２５■ｍ
）以下では以降のエツチング工程で有機フィルムと金属
板の間に腐蝕液が侵透し、腐蝕液を完全に履蔽すること
が出来ない、腋た粘着力が４００（ｇ／　２５ｗ幅）以
上では更に以降の有機フィルムの剥離が困難であり、接
着剤が金属板側に残存したり、時にはレジス）Ｍをも剥
離してしまう為である。

さて、一方の面に有機フィルムが圧着された金属板は腐
蝕液により他面の露出面だけがスプレーエツチング【；
より所定のエツチングが施される。

次いで有機フィルムが剥Ｓされた後金属板は更に両面側
からスプレーエツチングにより所定のエツチングが施さ
れる。エツチングの条件は適宜目的１一応じて選択され
るべきであるが、上記実施例の場合は、腐蝕液圧約１．
５〜２．０４／ａｔ、液置約６５℃、塩化第２鉄の比重
的１．０５．Ｍ″向エツチング時間約４分、両面エツチ
ング時間約４分で所定のと一ム開孔パターンのエツチン
グが光子した・以上の説明はカラー受侭管のンヤドウマ
スク（＝適用した例−二ついて述べたが、本発明はこれ
ｔ：限られるものではなく金属板への種々の微細バター
・ ンのエツチングにも適用できることは言うまでもない。

発明の効果 以上のように本発明によれば、金属板の微細パターンの
エツチングに計重、金属板の１ｌＩＩ［方向エツチング
に伴う横方向のエツチングを実質的に抑制制御すること
が出来、微細パターンを高精度で連続的にエツチングす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１因は７ヤドクマスク素材に矩形状孔部を穿設した状
態を示す図で、（１１図は平面図、（１１図は一１図の
ムーム′線に沿う断面図、１８２図はンヤドウマスク用
素材に円形状孔部を穿設した状態を示す図で、（ｍｌ＠
ｌは平面図、（１１図は葎１図の１−１′−６；沿う断
ｊｋ１図、第３因は本発明の実施例の一工程時の装置を
示す概略図である。 （ハ）・・・・・・有＄１１フィルム ３ト・・・・・金属板 （７３１７）代廻人　弁珈士　則　近　憲　佑（ほか１
名） 第１図　　　第２図 （誌〕　　　　　（＾） １４３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ）両主函の所＊ＳにレジスＦ属を被着形成した金属板
   を腐蝕ｔ４−より選択的にエツチングするに餘し、前記
   金属板の一方の正向（＝接着剤を介して１１機フィルム
   を圧着し腐蝕液を鐘蔽し乍ら前記金属板の他方の正向を
   エツチングする工程と、前記有機フィル＾を制御する工
   程と、ｌＩＩ記金属板の両正向をエツチングする工程と
   からなることを特徴とする金属板のエツチング方法。 ２）　有ＪＩｌフィル＾の粘着力を２００乃至４００　
   ｇ／２５麿幅とすることを特徴とする特許請求のＩ！Ｉ
   Ｉｖｓ１項記載の金属板のエツチング方法曇